JP2009047727A - レーザ顕微鏡用レーザ導入装置およびレーザ顕微鏡 - Google Patents
レーザ顕微鏡用レーザ導入装置およびレーザ顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009047727A JP2009047727A JP2007210865A JP2007210865A JP2009047727A JP 2009047727 A JP2009047727 A JP 2009047727A JP 2007210865 A JP2007210865 A JP 2007210865A JP 2007210865 A JP2007210865 A JP 2007210865A JP 2009047727 A JP2009047727 A JP 2009047727A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- microscope
- laser beam
- angle
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
【解決手段】複数のレーザ光L1,L2をレーザ顕微鏡に導入するためのレーザ顕微鏡用レーザ導入装置100であって、1つのレーザ光L2の単独光路に設けられ、レーザ顕微鏡へのレーザ光L2の導入状態を調整する単独レーザ調整手段10と、単独レーザ調整手段10を経たレーザ光L2を含む少なくとも2つのレーザ光L1,L2の共通光路に設けられ、レーザ顕微鏡への少なくとも2つのレーザ光L1,L2の導入状態を、少なくとも2つのレーザ光L1,L2の相対関係を維持した状態で調整する共通レーザ調整手段20と、を有する。
【選択図】図1
Description
1つのレーザ光の単独光路に設けられ、前記レーザ顕微鏡への前記レーザ光の導入状態を調整する単独レーザ調整手段と、
該単独レーザ調整手段を経た前記レーザ光を含む少なくとも2つのレーザ光の共通光路に設けられ、前記レーザ顕微鏡への前記少なくとも2つのレーザ光の導入状態を、当該少なくとも2つのレーザ光の相対関係を維持した状態で調整する共通レーザ調整手段と、
を有することを特徴とするものである。
前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、予め設定した光軸と直交する基準面におけるレーザ光の位置を調整する位置調整手段を有することを特徴とするものである。
前記位置調整手段は、レーザ光の反射角度を調整する変位可能なミラーを含む反射光学系を有し、前記ミラーを変位させることにより前記基準面におけるレーザ光の位置を調整するように構成したことを特徴とするものである。
前記位置調整手段は、レーザ光を屈折透過させる変位可能なレンズを有し、該レンズを変位させて、その光軸を基準光軸に対して偏心させることにより、前記基準面におけるレーザ光の位置を調整するように構成したことを特徴とするものである。
前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、予め設定した光軸と直交する基準面におけるレーザ光の角度を調整する角度調整手段を有することを特徴とするものである。
前記角度調整手段は、レーザ光の反射角度を調整する変位可能なミラーを含む反射光学系を有し、前記ミラーを変位させることにより前記基準面におけるレーザ光の角度を調整するように構成したことを特徴とするものである。
前記角度調整手段は、レーザ光を屈折透過させる変位可能なレンズを有し、該レンズを変位させて、その光軸を基準光軸に対して偏心させることにより、前記基準面におけるレーザ光の角度を調整するように構成したことを特徴とするものである。
前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、予め設定した光軸と直交する基準面におけるレーザ光の波面曲率を調整する波面曲率調整手段を有することを特徴とするものである。
前記波面曲率調整手段は、少なくとも光軸方向に移動可能なレンズを含むリレー光学系を有し、前記レンズを光軸方向に移動させることにより前記基準面におけるレーザ光の波面曲率を調整するように構成したことを特徴とするものである。
前記波面曲率調整手段は、少なくとも形状可変ミラーを有し、前記形状可変ミラーの反射面形状を変化させることにより前記基準面におけるレーザ光の波面曲率を調整するように構成したことを特徴とするものである。
前記基準面を、前記レーザ顕微鏡に設けられるレーザ光を集光するレンズの瞳位置に設定したことを特徴とするものである。
前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、前記レーザ顕微鏡に対するレーザ光の焦点位置を調整することを特徴とするものである。
図1は、本発明の第1実施の形態に係るレーザ顕微鏡用レーザ導入装置の原理的構成を示す概念図である。このレーザ導入装置100は、第1レーザ光L1および第2レーザ光L2の2つのレーザ光を、ハーフミラーやダイクロイックミラー等からなる光路合成用光学素子1により光路を共通にして、図示しないレーザ顕微鏡に導入するものである。ここで、第1レーザ光L1および第2レーザ光L2は、波長が異なる場合もあるし、同一波長の場合もある。これら、第1レーザ光L1および第2レーザ光L2は、図示しないが、それぞれ独立したレーザ光源から得ることもできるし、1つのレーザ光源からのレーザ光を2分割し、その一方を第1レーザ光L1とし、他方を必要に応じて波長変換して第2レーザ光L2として得ることもできる。
図8は、本発明の第2実施の形態に係るレーザ顕微鏡用レーザ導入装置の概略構成図である。このレーザ導入装置200は、第1実施の形態のレーザ導入装置100において、光路合成用光学素子1に至る第1レーザ光L1の単独光路にも、単独レーザ調整手段40を設けたものである。
図10は、本発明の第3実施の形態に係るレーザ導入装置を備えるレーザ顕微鏡の概略構成図である。このレーザ顕微鏡50は、図6に示した第1実施の形態のレーザ導入装置100を具備するもので、該レーザ導入装置100に第1レーザ光L1および第2レーザ光L2を同時に、または選択的に導入して、共通レーザ調整手段20から出射されるレーザ光を、ガルバノスキャナ51、リレーレンズ52a,52bおよび集光レンズ53を経て標本54に集光して、標本54をガルバノスキャナ51により二次元走査するようにしたものである。
図12は、本発明の第4実施の形態に係るレーザ導入装置を備えるレーザ顕微鏡の概略構成図である。このレーザ顕微鏡60は、図8に示した第2実施の形態のレーザ導入装置200を具備するもので、該レーザ導入装置200に第1レーザ光L1および第2レーザ光L2を同時に、または選択的に導入して、共通レーザ調整手段20から出射されるレーザ光を、ガルバノスキャナ61、リレーレンズ62a,62bおよび集光レンズ63を経て標本64に集光して、標本64をガルバノスキャナ61により二次元走査するようにしたものである。
2 基準面
10,40 単独レーザ調整手段
20 共通レーザ調整手段
11,21,41 位置・角度調整手段
12,22,42 波面曲率調整手段
11a,11b,21a,21b,41a,42b ミラー
12a,12b,22a,22b,42a,42b レンズ
12c,22c,42c 移動ステージ
30,50,60 レーザ顕微鏡
31,53,63 集光レンズ
31a,53a,63a 瞳位置
54,64 標本
72a,72b レンズ
100,200 レーザ導入装置
Claims (13)
- 複数のレーザ光をレーザ顕微鏡に導入するためのレーザ顕微鏡用レーザ導入装置であって、
1つのレーザ光の単独光路に設けられ、前記レーザ顕微鏡への前記レーザ光の導入状態を調整する単独レーザ調整手段と、
該単独レーザ調整手段を経た前記レーザ光を含む少なくとも2つのレーザ光の共通光路に設けられ、前記レーザ顕微鏡への前記少なくとも2つのレーザ光の導入状態を、当該少なくとも2つのレーザ光の相対関係を維持した状態で調整する共通レーザ調整手段と、
を有することを特徴とするレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。 - 前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、予め設定した光軸と直交する基準面におけるレーザ光の位置を調整する位置調整手段を有することを特徴とする請求項1に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記位置調整手段は、レーザ光の反射角度を調整する変位可能なミラーを含む反射光学系を有し、前記ミラーを変位させることにより前記基準面におけるレーザ光の位置を調整するように構成したことを特徴とする請求項2に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記位置調整手段は、レーザ光を屈折透過させる変位可能なレンズを有し、該レンズを変位させて、その光軸を基準光軸に対して偏心させることにより、前記基準面におけるレーザ光の位置を調整するように構成したことを特徴とする請求項2に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、予め設定した光軸と直交する基準面におけるレーザ光の角度を調整する角度調整手段を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記角度調整手段は、レーザ光の反射角度を調整する変位可能なミラーを含む反射光学系を有し、前記ミラーを変位させることにより前記基準面におけるレーザ光の角度を調整するように構成したことを特徴とする請求項5に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記角度調整手段は、レーザ光を屈折透過させる変位可能なレンズを有し、該レンズを変位させて、その光軸を基準光軸に対して偏心させることにより、前記基準面におけるレーザ光の角度を調整するように構成したことを特徴とする請求項5に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、予め設定した光軸と直交する基準面におけるレーザ光の波面曲率を調整する波面曲率調整手段を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記波面曲率調整手段は、少なくとも光軸方向に移動可能なレンズを含むリレー光学系を有し、前記レンズを光軸方向に移動させることにより前記基準面におけるレーザ光の波面曲率を調整するように構成したことを特徴とする請求項8に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記波面曲率調整手段は、少なくとも形状可変ミラーを有し、前記形状可変ミラーの反射面形状を変化させることにより前記基準面におけるレーザ光の波面曲率を調整するように構成したことを特徴とする請求項8に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記基準面を、前記レーザ顕微鏡に設けられるレーザ光を集光するレンズの瞳位置に設定したことを特徴とする請求項2〜10のいずれか一項に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、前記レーザ顕微鏡に対するレーザ光の焦点位置を調整することを特徴とする請求項1に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 請求項1〜12のいずれか一項に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置を具備する、ことを特徴とするレーザ顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007210865A JP5364253B2 (ja) | 2007-08-13 | 2007-08-13 | レーザ顕微鏡用レーザ導入装置およびレーザ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007210865A JP5364253B2 (ja) | 2007-08-13 | 2007-08-13 | レーザ顕微鏡用レーザ導入装置およびレーザ顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009047727A true JP2009047727A (ja) | 2009-03-05 |
JP5364253B2 JP5364253B2 (ja) | 2013-12-11 |
Family
ID=40500048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007210865A Expired - Fee Related JP5364253B2 (ja) | 2007-08-13 | 2007-08-13 | レーザ顕微鏡用レーザ導入装置およびレーザ顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5364253B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102759838A (zh) * | 2012-07-17 | 2012-10-31 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 用于连续调节飞秒cars量子显微镜信噪比的装置及调节方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004311742A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Nikon Corp | 光学系の調整方法、照明光学装置、露光装置、および露光方法 |
JP2004317741A (ja) * | 2003-04-15 | 2004-11-11 | Olympus Corp | 顕微鏡およびその光学調整方法 |
JP2006292782A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-26 | Olympus Corp | 外部レーザ導入装置 |
JP2006301541A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Olympus Corp | 走査型蛍光観察装置 |
-
2007
- 2007-08-13 JP JP2007210865A patent/JP5364253B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004311742A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Nikon Corp | 光学系の調整方法、照明光学装置、露光装置、および露光方法 |
JP2004317741A (ja) * | 2003-04-15 | 2004-11-11 | Olympus Corp | 顕微鏡およびその光学調整方法 |
JP2006292782A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-26 | Olympus Corp | 外部レーザ導入装置 |
JP2006301541A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Olympus Corp | 走査型蛍光観察装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102759838A (zh) * | 2012-07-17 | 2012-10-31 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 用于连续调节飞秒cars量子显微镜信噪比的装置及调节方法 |
CN102759838B (zh) * | 2012-07-17 | 2015-11-25 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 用于连续调节飞秒cars量子显微镜信噪比的调节方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5364253B2 (ja) | 2013-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11067783B2 (en) | Light sheet microscope and method for imaging a sample by light sheet microscopy | |
JP5522443B2 (ja) | 走査型共焦点顕微鏡検査の改善、およびその関連技術 | |
JP4762593B2 (ja) | 外部レーザ導入装置 | |
JP2009058776A (ja) | フォーカシング光学系を有する光学系およびこれを用いたレーザ顕微鏡装置 | |
CN111095073B (zh) | 在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件以及激光扫描显微镜 | |
US20200408691A1 (en) | Multi-view light-sheet microscope with an optical arm combiner | |
JP2014163976A (ja) | 画像取得装置および画像取得システム | |
JP6116142B2 (ja) | 走査型共焦点レーザ顕微鏡 | |
JP2007286310A (ja) | 光学装置及び結像方法 | |
US11709137B2 (en) | Light sheet fluorescence microscope | |
JP5364253B2 (ja) | レーザ顕微鏡用レーザ導入装置およびレーザ顕微鏡 | |
WO2012090520A1 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
JP5991850B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP5107547B2 (ja) | 干渉型表面形状測定装置 | |
JP6385711B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP2019074594A (ja) | 顕微鏡装置 | |
WO2010095271A1 (ja) | レーザ顕微鏡用レーザ導入装置およびレーザ顕微鏡 | |
JP6037623B2 (ja) | レーザ走査型共焦点顕微鏡、及び、レーザ走査型共焦点顕微鏡の光学系のアライメント調整方法 | |
JP5856824B2 (ja) | 光走査装置および走査型顕微鏡装置 | |
JP2019533187A (ja) | 顕微鏡システム | |
JP2014029394A (ja) | 画像取得装置、画像取得システム及び顕微鏡装置 | |
JP2006106337A (ja) | 走査型光学顕微鏡 | |
JP2014056078A (ja) | 画像取得装置、画像取得システム及び顕微鏡装置 | |
JP2010276831A (ja) | 顕微鏡システム | |
JP2000221407A (ja) | 共焦点レーザ走査顕微鏡の照明光学系 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120904 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130305 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130502 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130827 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130909 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5364253 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |