KR100519266B1 - 공초점 현미경 - Google Patents

Abstract

본 발명은 측정속도를 향상시켜 실시간으로 2차원 영상을 얻는 것이 가능하고, 빛의 편향 방식에 따른 비축수차를 제거하며, 측정 분해능을 유지하면서도 측정영역을 확대하고, 장비의 구성에 필요한 구성요소를 단순화하여 소형화, 경량화가 가능한 공초점 현미경에 관한 것이다.

본 발명에 따른 공초점 현미경은 시편에 조사할 빛을 발생시키는 광원과; 시편에서 반사되는 빛에 의한 상을 얻는 영상획득장치와; 상기 광원에서 발생된 빛을 시편에 조사하고, 시편에서 반사되는 빛을 상기 영상획득장치로 보내주는 스캔헤드부와; 시편 상의 각 위치에서 반사되는 빛에 대응하여 상기 영상획득장치의 각 위치에 상이 맺히도록 상기 스캔헤드부를 이송하는 이송장치를 포함하고;

상기 스캔헤드부는 시편에 빛을 조사하는 대물렌즈와, 시편에서 반사되는 빛이 상기 영상획득장치에 상을 맺도록 하는 결상렌즈와, 선형 개구인 슬릿이 형성된 제1마스크를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

공초점 현미경{CONFOCAL MICROSCOPE}

본 발명은 공초점 현미경에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 시편 상의 각 위치에서 반사되는 빛에 대응하여 상기 영상획득장치의 각 위치에 상이 맺히도록, 광원에서 발생된 빛을 시편에 조사하고 시편에서 반사되는 빛을 영상획득장치로 보내주는 스캔헤드부를 이송가능 하게 구성한 공초점 현미경에 관한 것이다.

공초점 현미경(confocal microscope)은 시료에 일정 파장의 빛을 조사하여 시료로부터 반사되는 빛을 핀홀과 같은 공초점 개구(confocal aperture)에 통과시켜 대물렌즈의 초점에서 발산된 빛만을 광전검출기(photo-detector, PD)로 검출하는 장치로서, 그 기본적인 원리는 대한민국 특허공개 제2002-0084786호의 종래기술에 개시된 바와 같다.

상기 공개특허에 개시된 바와 같은 공초점 현미경에서 대물렌즈의 초점평면(focal plane) 밖에 있는 부분에서 반사된 빛은 핀홀을 통과하지 못하여 광전검출기에서 검출되지 않기 때문에 공초점 현미경은 광축방향으로 높은 분해능을 가질 뿐만 아니라, 광축에 수직한 방향으로도 기존의 광학 현미경에 비하여 높은 분해능을 갖는다. 또한 시편 상의 원하는 평면을 관찰하는 것과 시편의 입체적인 3차원 영상(image)을 얻는 것도 가능하다.

이와 같은 높은 분해능력과 3차원 영상 획득 능력으로 인하여 공초점 현미경은 최근에 세포 생물학 분야와 반도체 칩 검사분야에서 널리 이용되고 있다.

이와 같은 공초점 현미경을 이용하여 2차원 평면 영상을 얻기 위하여 종래에는 텔레비전 주사선 방식의 점 스캐닝(point scanning) 방식으로 측정영역의 각 지점에 대하여 빛을 주사하였다. 이를 위한 구조는 일본 특개평 06-018786호에 개시된 바와 같이 2개의 광편향부재를 사용하여 직교하는 2개의 축방향으로 빛을 각각 편향시켜 주사하는 방식을 사용하였다. 그리고 상기 2개의 광편향부재로 2개의 갈바노미터(Galvano Meter)를 사용하거나 갈바노미터와 음향광학굴절기(Acousto-Optic Deflector, AOD)를 함께 사용하였는데, 갈바노미터만을 사용하는 경우는 기계적인 속도의 한계로 인하여 하나의 2차원 영상을 얻는데 긴 시간이 걸리는 문제가 있었으며, 음향광학굴절기를 함께 사용하는 경우 빛의 주사속도는 빨라지나 광전검출기에서 검출되는 신호를 컴퓨터를 이용하여 직렬 신호 처리(serial signal processing)하는 데 따른 많은 계산부하가 걸리게 되어 2차원 영상을 얻는데 역시 긴 시간이 걸리는 문제가 있어 대상물에 대한 실시간으로 영상을 얻을 수 없었다.

이러한 속도의 한계를 극복하기 위하여 바늘구멍 개구인 핀홀을 선형 개구인 슬릿으로 대체하고 빛을 한 방향으로만 편향시켜 2차원 영상을 얻도록 한 공초점 현미경이 제안되었으나, 이러한 방식의 공초점 현미경도 빛을 편향시켜 줌에 따라 대물렌즈에 입사하는 평행광이 대물렌즈의 광축에 나란하지 못하고 기울어져 입사되어 비축수차(off-axis aberration)가 발생하는 문제를 여전히 갖고 있었다.

또한, 빛을 편향 시키는 방식의 공초점 현미경에서 편향된 빛이 대물렌즈의 후 초점 평면(Back focal plane)의 개구를 채우기 위해서는 중계광학계(Relay Optics)가 필요하기 때문에 구성요소가 많아지고 장비의 크기가 커진다는 단점이 있었다.

또한, 종래의 이러한 공초점 현미경은 측정 가능한 영역이 대물렌즈의 영상영역(Field of view)만 한정되었는데, 대물렌즈의 영상영역을 넓게 하기 위하여는 대물렌즈의 개구수(numerical aperture)가 작아져야 하고, 대물렌즈의 개구수가 작아지면 영상의 분해능이 감소되는 되는 문제가 있었다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 측정속도를 향상시켜 실시간으로 2차원 영상을 얻는 것이 가능하고, 빛의 편향 방식에 따른 비축수차를 제거하며, 측정 분해능을 유지하면서도 측정영역을 확대하고, 장비의 구성에 필요한 구성요소를 단순화하여 소형화, 경량화가 가능한 공초점 현미경을 제공하는 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 공초점 현미경은 시편에 조사할 빛을 발생시키는 광원과; 시편에서 반사되는 빛에 의한 상을 얻는 영상획득장치와; 상기 광원에서 발생된 빛을 시편에 조사하고, 시편에서 반사되는 빛을 상기 영상획득장치로 보내주는 스캔헤드부와; 시편 상의 각 위치에서 반사되는 빛에 대응하여 상기 영상획득장치의 각 위치에 상이 맺히도록 상기 스캔헤드부를 이송하는 이송장치를 포함하고;

상기 스캔헤드부는 시편에 빛을 조사하는 대물렌즈와, 시편에서 반사되는 빛이 상기 영상획득장치에 상을 맺도록 하는 결상렌즈와, 선형 개구인 슬릿이 형성된 제1마스크를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 스캔헤드부는 상기 광원으로부터 상기 제1마스크로 입사되는 빛을 상기 슬릿에 모아주는 제1집광렌즈와, 상기 슬릿을 통과하여 대물렌즈와 입사되는 빛을 평행광으로 변환시켜주기 위한 경통렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 공초점 현미경은 상기 광원에서 상기 스캔헤드부로 입사되는 빛을 소정의 광폭을 갖는 평행광으로 변환시켜주기 위한 조명장치를 더 포함하고,

상기 조명장치는 광원에서 입사되는 빛을 모아주는 제2집광렌즈와 상기 제2집광렌즈에서 모인 빛이 통과하는 핀홀이 형성된 제2마스크와, 상기 핀홀을 통과한 빛을 평행광으로 변환시켜주는 시준렌즈를 포함하거나,

상기 조명장치는 광원에서 입사되는 빛을 모아주는 제2집광렌즈와, 상기 제2집광렌즈에서 모인 빛을 전달하는 광섬유와, 상기 광섬유에서 전달되는 빛을 평행광으로 변환시켜주는 시준렌즈를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 스캔헤드부는 상기 광원에서 입사되는 빛을 상기 슬릿으로 반사시키는 반거울을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이송장치는 상기 스캔헤드부를 상기 슬릿의 길이 방향에 대하여 수직이고, 상기 대물렌즈의 광축에 수직인 방향으로 이송하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 영상획득장치는 2차원 평면영상을 획득하는 2차원 영상획득장치이며, 상기 2차원 영상획득장치에는 전하결합소자가 구비된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 시편 상에서 상기 대물렌즈의 초점에서 반사되는 빛은 상기 슬릿 상에 공액점을 갖도록 상기 제1마스크가 위치하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1집광렌즈는 상기 슬릿의 길이방향에 수직인 방향으로만 빛을 모아주는 원통렌즈인 것을 특징으로 한다.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 공초점 현미경을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도1은 본 발명의 제1실시예에 따른 공초점 현미경을 도시한 개략도이다. 이에 도시된 바와같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 공초점 현미경은 시편(A)에 조사할 빛을 발생시키는 광원(10)과, 상기 광원(10)에서 발생한 빛을 소정의 광폭을 갖는 평행광으로 변환시켜주는 조명장치(20)와, 상기 조명장치(20)에서 입사하는 빛을 시편(A)에 조사하고, 시편(A)에서 반사되는 빛을 다시 2차원 영상획득장치(50)로 보내주는 스캔헤드부(30)와, 상기 스캔헤드부(30)를 이송하는 이송장치(40)로 구성된다.

상기 광원(10)에서는 시편(A)에 조사할 빛이 발생되는데, 이 광원(10)으로는 레이저와 같은 광원이 사용된다. 광원(10)에서 발생된 빛은 조명장치(20)를 거치면서 원하는 광폭의 평행광으로 변환되는데, 이 조명장치(20)는 광원(10)에서 나오는 빛을 모아주는 제2집광렌즈(21)와, 상기 제2집광렌즈(21)에 의해 모인 빛을 필터링하도록 바늘구멍 개구인 핀홀(23)이 형성된 제2마스크(22)와, 상기 제2마스크(22)를 통과한 통과한 빛을 소정의 광폭을 갖는 평행광으로 변환시켜주는 시준렌즈(24)로 구성된다.

상기 스캔헤드부(30)에는 조명장치(20)로부터 입사되는 평행광을 시편(A)을 향하여 반사시켜주고 시편(A)에서 반사되는 빛은 투과시키는 반거울(31)과, 상기 반거울(31)에서 반사되는 평행광의 일부가 통과되도록 선형 개구인 슬릿(33)이 형성된 제1마스크(32)와, 상기 슬릿(33)을 통과한 빛을 시편(A)에 조사하는 대물렌즈(34)와, 상기 시편(A)에서 반사되는 빛이 상기 2차원 영상획득장치(50)에 상을 맺도록 하는 결상렌즈(35)로 구성된다. 상기 대물렌즈(34)와 상기 결상렌즈(35)는 광축(X)을 공유하도록 하고 상기 슬릿(33)도 광축(X) 상에 있도록 배치하여야 하며, 상기 제1마스크(32)는 상기 대물렌즈(34)의 초점에서 반사되는 빛의 공액점(conjugate point)이 상기 슬릿(33)에 형성되도록 적절한 위치에 두어야 한다.

상기 스캔헤드부(30)를 이송하는 이송장치(40)는 상기 스캔헤드부(30)를 상기 대물렌즈(34)의 광축(X)에 수직이고 슬릿(33)의 길이 방향에 대하여 수직인 방향으로 이송하게 된다.

상기 2차원 영상획득장치(50)에는 전하결합소자(Charge Coupled Device, CCD)와 같은 촬상소자가 구비되며, 상기 2차원 영상획득장치(50)에서 얻어진 신호는 영상처리부(미도시)에 의해 처리되어 모니터 등과 같은 디스플레이 장치로 보여진다. 전하결합소자를 이용한 2차원 영상획득장치는 최근 디지털카메라등에 널리 사용되는 부품으로서 입수가 용이한 장점을 갖는다.

이하에서는 상기 실시예에 따른 공초점 현미경의 작용을 설명한다.

광원(10)에서 나온 빛은 조명장치(20)를 거쳐 소정의 광폭을 갖는 평행광으로 변환되고, 이 평행광은 스캔헤드부(30)에 입사되어 반거울(31)에 의해 반사되어 경로가 바뀌어 제1마스크(32)로 입사된다. 제1마스크(32)로 입사되는 빛은 그 일부만이 슬릿(33)을 통과하여 대물렌즈(34)로 보내지는데, 이때 슬릿(33)에서는 빛의 회절 현상이 일어나므로 이 슬릿(33)은 마치 선 광원(10)과 같은 작용을 하게 된다. 슬릿(33)에서 회절된 빛은 대물렌즈(34)에 의해 시편(A)에 입사된다. 이 빛은 다시 시편(A)에서 반사되어 대물렌즈(34)에 의해 슬릿(33)으로 모아지고 슬릿(33)을 통과한 빛은 반거울(31)을 투과하여 결상렌즈(35)에 의해 상기 2차원 영상획득장치(50) 상에 상(image)을 맺게 된다.

이때, 시편(A) 상의 대물렌즈(34)의 초평면(focal plane)에서 반사되는 빛은 상기 슬릿(33)에 그 공액점(conjugate point)을 가지게 되어 슬릿(33)을 통과하여 결상렌즈(35)에 의해 상기 2차원 영상획득장치(50) 상에 상을 맺게 되지만, 초평면 밖에 있는 부분에서 반사되는 빛은 슬릿(33)을 통과하지 못하여 2차원 영상획득장치(50) 상에서 검지되지 않는다.

그리고 시편(A) 상에서 일정한 선에서 반사되는 빛만이 상기 슬릿(33)을 통과하기 때문에 상기 2차원 영상획득장치(50)에는 이 선에 대한 상(image)이 맺히게 된다. 2차원 적인 평면 영상을 얻기 위하여는 상기 스캔헤드부(30)를 대물렌즈(34)의 광축(X)에 수직이고 슬릿(33)의 길이 방향에 대하여 수직인 방향으로 이송하게 된다. 스캔헤드부(30)가 이송됨에 따라 시편(A) 상의 각 위치에 대응하는 선형의 상(image)이 2차원 영상획득장치(50)의 각 위치에 순차로 나타나게 되어 전체 영역에 대한 상을 얻을 수 있게 된다. 이렇게 하여 스캔헤드부(30)를 일 방향으로 1회 이송하면 전체 영역에 대하여 1개의 평면 영상을 얻을 수 있게 되는데, 1초당 20내지 30개의 평면 영상을 얻게 되면 시편(A)에 대한 실시간 관찰이 가능하게 된다.

이와 같이 본 발명의 제1실시예에 따른 공초점 현미경은 슬릿(33)을 이용하여 선형의 영상을 얻을 수 있기 때문에 종래에 핀홀(23)을 사용하던 공초점 현미경, 특히 갈바노미터로 빛을 편향시켜 주는 방식의 공초점 현미경이 갖는 기계적인 속도의 한계를 극복 할 수 있으며, 2차원 영상획득장치(50)에 의하여 시편(A)상의 각각의 위치에 대응하는 상을 2차원 영상획득장치(50)의 각각의 위치에 얻을 수 있기 때문에 종래의 광전검출기를 이용한 공초점 현미경과는 달리 직렬 신호처리에 따른 계산부하가 걸리지 않아 시편(A)의 측정속도가 빨라진다. 그리고 종래의 빔 편향 방식에 의한 공초점 현미경과 달리 스캔헤드부(30)를 이송하여 전체영역의 상을 얻기 때문에 중계광학계가 필요 없고 구성이 단순화 되어 소형화, 경량화가 가능해진다. 이는 스캔헤드부(30)의 이송을 용이하게 하기 때문에 측정속도 향상에도 기여한다.

그리고 본 실시예에 따른 공초점 현미경에서는 빛을 편향시키지 않기 때문에 시편(A)에서 측정되는 선 영역과, 슬릿(33)과, 2차원 영상획득장치(50) 상의 상(image)이 모두 광축(X) 상에 있어 비축수차가 생기지 않는다. 이는 스캔헤드부(30)를 이송하는 경우에도 마찬가지이다. 따라서 비축수차에 의한 분해능 감소 없이 시편(A)을 관찰 할 수 있다.

또한, 측정 가능한 시편(A)의 영역은 대물렌즈(34)의 영상영역에만 한정되지 않고, 스캔헤드부(30)의 이송 가능 거리에 의존하기 때문에 측정가능영역을 확대할 수 있고, 특히 개구수가 높은 대물렌즈(34)를 사용하는 경우에도 넓은 영역에 걸쳐서 높은 분해능으로 측정하는 것이 가능하다.

본 발명의 제2실시예에 따른 공초점 현미경은 도2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 공초점 현미경의 스캔헤드부(30)의 반거울(31)과 제1마스크(32) 사이에 반거울(31)에서 반사된 평행광을 슬릿(33)으로 모아주는 제1집광렌즈(36)가 부가된 것으로, 상기 제1집광렌즈(36)는 슬릿(33)으로 입사하는 광량을 증대시켜 광효율을 향상시키는 작용을 한다. 상기 제1집광렌즈(36)로는 슬릿(33)의 길이방향에 대하여 수직인 방향으로만 빛이 모이도록 하기 위하여 도3에 도시된 바와 같이 원통렌즈가 사용된다.

본 발명의 제3실시예에 따른 공초점 현미경은 도4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 공초점 현미경의 스캔헤드부(30)의 제1마스크(32)와 대물렌즈(34) 사이에 슬릿(33)에서 회절되는 빛을 평행광으로 변환시켜 주기 위한 경통렌즈(37)가 부가된 것이다. 개구수가 높은 대부분의 대물렌즈(34)는 무한점에 대하여 보정되어 있기 때문에 평행광을 입사받아야 수차 없이 초점을 형성할 수 있으므로 본 실시예와 같이 경통렌즈(37)를 이용하면 개구수가 높은 대물렌즈(34)를 이용할 수 있게 된다.

본 발명의 제4실시예에 따른 공초점 현미경은 도5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 공초점 현미경의 스캔헤드부(30)의 반거울(31)과 제1마스크(32) 사이에 반거울(31)에서 반사된 평행광을 슬릿(33)으로 모아주는 제1집광렌즈(36)가 부가되고, 제1마스크(32)와 대물렌즈(34) 사이에 슬릿(33)에서 회절되는 빛을 평행광으로 변환시켜 주기 위한 경통렌즈(37)가 부가된 것이다. 이 제1집광렌즈(36)와 경통렌즈(37) 각각의 기능은 상기 제2실시예와 제3실시예에서와 동일하다.

본 발명의 제5실시예에 따른 공초점 현미경은 도6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 공초점 현미경의 조명장치(20)를 변경한 것으로, 본 실시예에 따른 공초점 현미경의 조명장치(20)는 광원(10)에서 입사되는 빛을 모아주는 제2집광렌즈(21)와, 상기 제2집광렌즈(21)에서 모인 빛을 전달하는 광섬유(25)와, 상기 광섬유(25)에서 전달되는 빛을 평행광으로 변환시켜주는 시준렌즈(24)를 포함한다. 시준렌즈(24)는 스캔헤드부(30) 내에 설치된다.

본 실시예에 따른 공초점 현미경은 광원(10)과 스캔헤드부(30)가 광섬유(25)를 통하여 기계적으로 유연하게 결합되어 있기 때문에 측정하고자 하는 대상물에 대한 접근성이 높아지게 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 공초점 현미경은 기계적인 속도의 한계를 극복하고, 직렬 신호 처리에 따른 계산부하를 제거하여 측정속도가 향상되어 측정 대상물의 실시간 영상을 얻는 것이 가능하다. 또한, 빛의 편향방식을 사용하지 않으므로 비축수차가 제거되어 비축수차에 따른 분해능 감소효과가 제거되며, 측정가능영역이 스캔헤드부의 이송 가능 거리에 의존하기 때문에 분해능의 감소 없이 측정가능영역을 확대할 수 있고, 전체적인 구성요소가 단순하여 소형화, 경량화가 가능하다.

따라서 본 발명에 따른 공초점 현미경은 반도체의 측정 및 검사 장비로 사용되어 측정속도를 향상시켜 생산성을 증대시킬 수 있으며, 소형화가 가능하기 때문에 산업용 고분해능 내시경 장비에 이용될 수 있다.

도1은 본 발명의 제1실시예에 따른 공초점 현미경을 도시한 개략도.

도2는 본 발명의 제2실시예에 따른 공초점 현미경을 도시한 개략도.

도3은 도2의 실시예의 요부를 도시한 사시도.

도4는 본 발명의 제3실시예에 따른 공초점 현미경을 도시한 개략도.

도5는 본 발명의 제4실시예에 따른 공초점 현미경을 도시한 개략도.

도6은 본 발명의 제5실시예에 따른 공초점 현미경을 도시한 개략도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10: 광원 20: 조명장치

21: 제2집광렌즈 22: 제2마스크

23: 핀홀 24: 시준렌즈

25: 광섬유 30: 스캔헤드부

31: 반거울 32: 제1마스크

33: 슬릿 34: 대물렌즈

35: 결상렌즈 36: 제1집광렌즈

37: 경통렌즈 40: 이송장치

50: 2차원영상획득장치 A: 시편

X: 광축

Claims (13)

1. 시편에 조사할 빛을 발생시키는 광원과; 시편에서 반사되는 빛에 의한 상을 얻는 영상획득장치와; 상기 광원에서 발생된 빛을 시편에 조사하고, 시편에서 반사되는 빛을 상기 영상획득장치로 보내주는 스캔헤드부와; 시편 상의 각 위치에서 반사되는 빛에 대응하여 상기 영상획득장치의 각 위치에 상이 맺히도록 상기 스캔헤드부를 이송하는 이송장치를 포함하고;

   상기 스캔헤드부는 시편에 빛을 조사하는 대물렌즈와, 시편에서 반사되는 빛이 상기 영상획득장치에 상을 맺도록 하는 결상렌즈와, 선형 개구인 슬릿이 형성된 제1마스크를 포함하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.
2. 제1항에 있어서,

   상기 스캔헤드부는 상기 광원으로부터 상기 제1마스크로 입사되는 빛을 상기 슬릿에 모아주는 제1집광렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.
3. 제1항 있어서,

   상기 스캔헤드부는 상기 슬릿을 통과하여 대물렌즈로 입사되는 빛을 평행광으로 변환시켜주기 위한 경통렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.
4. 제1항에 있어서,

   상기 스캔헤드부는 상기 광원으로부터 상기 제1마스크로 입사되는 빛을 상기 슬릿에 모아주는 제1집광렌즈와, 상기 슬릿을 통과하여 대물렌즈와 입사되는 빛을 평행광으로 변환시켜주기 위한 경통렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 공초점 현미경은 상기 광원에서 상기 스캔헤드부로 입사되는 빛을 소정의 광폭을 갖는 평행광으로 변환시켜주기 위한 조명장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.
6. 제5항에 있어서,

   상기 조명장치는 광원에서 입사되는 빛을 모아주는 제2집광렌즈와 상기 제2집광렌즈에서 모인 빛이 통과하는 핀홀이 형성된 제2마스크와, 상기 핀홀을 통과한 빛을 평행광으로 변환시켜주는 시준렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경
7. 제5항에 있어서,

   상기 조명장치는 광원에서 입사되는 빛을 모아주는 제2집광렌즈와, 상기 제2집광렌즈에서 모인 빛을 전달하는 광섬유와, 상기 광섬유에서 전달되는 빛을 평행광으로 변환시켜주는 시준렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.
8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 스캔헤드부는 상기 광원에서 입사되는 빛을 상기 슬릿으로 반사시키는 반거울을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.
9. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 이송장치는 상기 스캔헤드부를 상기 슬릿의 길이 방향에 대하여 수직이고, 상기 대물렌즈의 광축에 수직인 방향으로 이송하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.
10. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 영상획득장치는 2차원 평면영상을 획득하는 2차원 영상획득장치인 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.
11. 제10항에 있어서,

    상기 2차원 영상획득장치에는 전하결합소자가 구비된 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.
12. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 시편 상에서 상기 대물렌즈의 초점에서 반사되는 빛은 상기 슬릿 상에 공액점을 갖도록 상기 제1마스크가 위치하는 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.
13. 제2항 또는 제4항에 있어서,

    상기 제1집광렌즈는 상기 슬릿의 길이방향에 수직인 방향으로만 빛을 모아주는 원통렌즈인 것을 특징으로 하는 공초점 현미경.