JPH10307252A - 自動合焦点光学式テレビカメラ顕微鏡 - Google Patents

自動合焦点光学式テレビカメラ顕微鏡

Info

Publication number
JPH10307252A
JPH10307252A JP9116915A JP11691597A JPH10307252A JP H10307252 A JPH10307252 A JP H10307252A JP 9116915 A JP9116915 A JP 9116915A JP 11691597 A JP11691597 A JP 11691597A JP H10307252 A JPH10307252 A JP H10307252A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
sample
line sensor
optical
microscope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9116915A
Other languages
English (en)
Inventor
Shogo Kosuge
正吾 小菅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Denshi KK
Original Assignee
Hitachi Denshi KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Denshi KK filed Critical Hitachi Denshi KK
Priority to JP9116915A priority Critical patent/JPH10307252A/ja
Publication of JPH10307252A publication Critical patent/JPH10307252A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Focusing (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 顕微鏡の視野に影響を与えることなく、焦点
を合わせるためのパターンの投影、受光機構を提供す
る。 【解決手段】 対物レンズと結像レンズを経由した試料
の像を含む像を結像し、電気信号に変更するエリアセン
サテレビカメラと、前記試料の像を含む像を分岐するビ
ームスプリッタと、該ビームスプリッタにより分岐した
像の内、前記試料の像を囲む周囲の像が結像する位置に
設けたラインセンサと、前記試料の周囲に合焦点用のパ
ターンを投影するためのハーフミラー及び照明系を有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学顕微鏡で試料
を観察または画像処理する場合の前処理として、試料を
顕微鏡焦点内に自動で位置決めする光学顕微鏡自動合焦
点装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来技術による光学顕微鏡自動合焦点装
置の1つとして、例えば図3に示す光学顕微鏡におい
て、試料台31に搭載した試料32を光学顕微鏡で観察
しつつ、対物レンズ33を介し、結像レンズ34の結像
面位置に配置したテレビカメラの光電変換センサ35よ
り映像信号を出力し、この映像信号の微分成分を処理装
置38において処理して駆動出力信号とし、駆動モータ
または圧電素子37で駆動して顕微鏡上下移動機構39
を上下移動させ、合焦点を行なう光学顕微鏡自動合焦点
装置がある。
【0003】映像信号は画像を輝度軸と時間軸に特性化
するものであり、微分するコントラストの強弱が検出で
きる。
【0004】この光学顕微鏡自動合焦点装置は、図4の
ように光電変換センサ35より出力される映像信号か
ら、処理装置において微分成分を検出して、微分成分に
応じた駆動出力信号を、試料と対物レンズの相対距離を
制御する駆動機構39へ出力して、微分成分が最大出力
となるように駆動機構を制御することで合焦点とするも
のである。
【0005】また、試料に微分成分がないときには、輝
度変化のあるパターンを発生する擬似白黒投影像40を
照明系41の光学的合焦点位置42に入れてハーフミラ
ー10を介して試料32へ投影させ、常に映像信号に微
分成分を形成させている。
【0006】一方、映像はビデオモニタ43に表示さ
れ、合焦点時には画面に擬似白黒投影像40が常に表示
されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来技術の欠点として
(1)試料の端面での不安定要素、すなわち、自動XY
移動試料台に搭載された試料の位置設定が悪く、画面内
の微分成分抽出エリアから試料が外れた時に、自動焦点
不可能となる不安定さがある。(2)試料本来の画像が
観察または画像認識できない、すなわち、輝度変化のあ
る擬似白黒投影像を照明系の光学的合焦点位置に入れて
試料へ投影させ、常に映像信号に微分成分を形成させて
いるため、試料本来の画像が観察または画像認識できな
い。つまり、擬似白黒投影像が試料画像のじゃまにな
り、見づらくなる。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の問題を解
決するためにエリアセンサ(テレビカメラ)を画像処理
系は画像処理または観察用の専用とする。これとは別に
自動焦点系は、ラインセンサとする。画像処理系と自動
焦点系の2系統とし、これらの従来技術の欠点を是正す
る。
【0009】更に、前記自動焦点系のセンサは、観察用
エリアの範囲外の擬似白黒投影像を検出する。
【0010】
【発明の実施の形態】図1に発明の実施例を示す。図1
に示す光学顕微鏡において、XY方向移動試料台1に搭
載した試料2を光学顕微鏡で観察しつつ、光学像は対物
レンズ3を介し、結像レンズ4の結像面位置に配置した
光電変換エリアセンサテレビカメラ5より映像信号を出
力し、この映像信号を画像処理装置6に入れ画像処理す
る。映像はビデオモニタ7に表示されている。
【0011】擬似白黒投影像9は試料2に投影させるフ
ァイバ照明系8の光学的合焦点位置に入れている。この
擬似白黒投影像9の影を伴った光が試料2に反射され反
射像が対物レンズ3を介し、結像レンズ4の結像面位置
に配置した光電変換エリアセンサテレビカメラ5の画像
となる。
【0012】一方、ビームスプリッタ11で光学像はラ
インセンサ12にも入力する。ラインセンサからの出力
を画像処理装置6に入力し、自動焦点制御処理して駆動
出力信号とし、機構部13を駆動して顕微鏡14を上下
移動させ、合焦点を行なう。また上下の移動量は15の
変位センサで検出し画像処理装置6に入力する。
【0013】またXY方向移動試料台1はXY移動制御
を行なうステージ制御部20より指定の位置へ移動でき
るものとする。
【0014】本発明は、ラインセンサ12と擬似白黒投
影像の光学的な平面位置関係をCCDカメラの視野の外
側として、試料本来の画像を観察または画像認識できる
ようにしたことと、ラインセンサ12は上下の2個とし
て、両方の映像信号から微分成分を抽出できるようにし
た光学的な平面位置関係の工夫が主である。
【0015】エリアセンサテレビカメラ5の視野とライ
ンセンサ12と擬似白黒投影像9の光学的な平面位置関
係を図5に示す。なお、この実施例ではラインセンサを
2つ例で説明したが、これは1つでもよく、さらに、画
面上の各辺に1つづつ、計4つ設けてもよい。各辺に設
けた場合はより確実に、検出できる。
【0016】
【発明の効果】
(1)ラインセンサと擬似白黒投影像の光学的な平面位
置関係をCCDカメラ視野の外側として、試料本来の画
像を観察または画像認識できるようにした。
【0017】(2)自動XY移動試料台1に搭載された
試料2の位置設定がXY方向に悪くても2つのラインセ
ンサのどちらか1つに投影され、微分成分の検出が可能
となり、試料端面の自動合焦点が安定となる。例えば対
物レンズ5倍カメラ2/3インチのとき従来の可能範囲
約100μmに対し、発明による可能範囲約200μm
である。
【0018】(3)各種画像処理の応用として照明系向
きが90°異なってシステム化される場合があるがライ
ンセンサに投影される擬似白黒投影像はラインセンサに
投影され動合焦点検出が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示すブロック図
【図2】本発明の実施例の説明図
【図3】従来技術のブロック図
【図4】合焦点の技術説明図
【符号の説明】
5:センサTVカメラ、6:画像処理装置、7:ビデオ
モニタ、12:ラインセンサ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 自動合焦点光学式顕微鏡において、 対物レンズと結像レンズを経由した試料の像を含む像を
    結像し、電気信号に変更するエリアセンサテレビカメラ
    と、前記試料の像を含む像を分岐するビームスプリッタ
    と、該ビームスプリッタにより分岐した像の内前記試料
    の像を囲む周囲の像が結像する位置に設けたラインセン
    サと、前記試料の周囲に合焦点用のパターンを投影する
    ためのハーフミラー及び照明系と、前記ラインセンサか
    らの信号により制御される合焦点機構とを有することを
    特徴とする自動合焦点光学式テレビカメラ顕微鏡。
JP9116915A 1997-05-07 1997-05-07 自動合焦点光学式テレビカメラ顕微鏡 Pending JPH10307252A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9116915A JPH10307252A (ja) 1997-05-07 1997-05-07 自動合焦点光学式テレビカメラ顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9116915A JPH10307252A (ja) 1997-05-07 1997-05-07 自動合焦点光学式テレビカメラ顕微鏡

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10307252A true JPH10307252A (ja) 1998-11-17

Family

ID=14698818

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9116915A Pending JPH10307252A (ja) 1997-05-07 1997-05-07 自動合焦点光学式テレビカメラ顕微鏡

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10307252A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002088819A3 (de) * 2001-04-28 2003-09-25 Evotec Ag Vorrichtung und verfahren zur optischen messung von chemischen und/oder biologischen proben
KR100781095B1 (ko) 2007-05-07 2007-11-30 윈텍 주식회사 라인센서를 갖는 자동초점모듈을 포함하는 압흔 검사용미분간섭 현미경
US7593109B2 (en) 2004-07-19 2009-09-22 Helicos Biosciences Corporation Apparatus and methods for analyzing samples
CN104977779A (zh) * 2015-07-23 2015-10-14 中国科学院广州生物医药与健康研究院 一种自动对焦的装置及方法
WO2017199537A1 (ja) * 2016-05-17 2017-11-23 富士フイルム株式会社 観察装置および方法並びに観察装置制御プログラム

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002088819A3 (de) * 2001-04-28 2003-09-25 Evotec Ag Vorrichtung und verfahren zur optischen messung von chemischen und/oder biologischen proben
US7474777B2 (en) 2001-04-28 2009-01-06 Evotec Oai Ag Device and method for optical measurement of chemical and/or biological samples
US7593109B2 (en) 2004-07-19 2009-09-22 Helicos Biosciences Corporation Apparatus and methods for analyzing samples
KR100781095B1 (ko) 2007-05-07 2007-11-30 윈텍 주식회사 라인센서를 갖는 자동초점모듈을 포함하는 압흔 검사용미분간섭 현미경
CN104977779A (zh) * 2015-07-23 2015-10-14 中国科学院广州生物医药与健康研究院 一种自动对焦的装置及方法
WO2017199537A1 (ja) * 2016-05-17 2017-11-23 富士フイルム株式会社 観察装置および方法並びに観察装置制御プログラム
US11009689B2 (en) 2016-05-17 2021-05-18 Fujifilm Corporation Observation device, observation method, and observation device control program

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05264221A (ja) 半導体露光装置用マーク位置検出装置及びこれを用いた半導体露光装置用位置合わせ装置
JP2007251143A (ja) 外観検査装置
JP5053691B2 (ja) 標本スキャナ装置、該装置による標本位置検出方法
JP3733228B2 (ja) アオリ機構付き撮像装置、方法、及び記憶媒体
JP2007140183A (ja) 共焦点走査型顕微鏡装置
JPH10307252A (ja) 自動合焦点光学式テレビカメラ顕微鏡
JP2006145793A (ja) 顕微鏡画像撮像システム
JP5019279B2 (ja) 共焦点顕微鏡及び合焦カラー画像の生成方法
JP2000275534A (ja) 共焦点顕微鏡
JPH0427908A (ja) 走査型顕微鏡の視野探し装置
JP7021870B2 (ja) 顕微鏡装置
JP3314513B2 (ja) ビデオカメラを備えた顕微鏡
JPH1138324A (ja) レーザ走査顕微鏡
JPH10142516A (ja) 共焦点型顕微鏡の合焦装置
JP2864561B2 (ja) 走査型撮像装置
JP2006030619A (ja) 撮像装置及び色ずれ補正プログラム
JPS62166310A (ja) 固体撮像素子を用いた実体顕微鏡
JP4914567B2 (ja) 走査型共焦点顕微鏡
JP3376680B2 (ja) 顕微鏡装置
JP2992870B2 (ja) 顕微鏡撮影装置
JPH0421301B2 (ja)
JP2009063606A (ja) オートフォーカス装置、撮像装置、プロジェクタオートフォーカスシステム、プロジェクタ、およびプロジェクタのオートフォーカス方法
JP2000039562A5 (ja)
JP3316985B2 (ja) 顕微鏡
JPH08122623A (ja) オートフォーカス装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040318

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040318

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060419

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060516

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060530

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060627