JPH1138324A - レーザ走査顕微鏡 - Google Patents

レーザ走査顕微鏡

Info

Publication number
JPH1138324A
JPH1138324A JP9212597A JP21259797A JPH1138324A JP H1138324 A JPH1138324 A JP H1138324A JP 9212597 A JP9212597 A JP 9212597A JP 21259797 A JP21259797 A JP 21259797A JP H1138324 A JPH1138324 A JP H1138324A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
image
image information
slice
scanning microscope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP9212597A
Other languages
English (en)
Inventor
Kouji Yamagaki
浩司 山垣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP9212597A priority Critical patent/JPH1138324A/ja
Publication of JPH1138324A publication Critical patent/JPH1138324A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 試料の厚さを予め計算しなくとも過不足のな
い切片像を連続的に取得できるレーザ走査顕微鏡を提供
する。 【解決手段】 励起レーザ光を反射させるとともに蛍光
を透過させるダイクロイックミラー3と、励起レーザ光
を試料13上で2次元走査する2次元スキャンユニット
4と、2次元スキャンユニット4と試料13との間に配
置された対物レンズ7と、試料13と対物レンズ7との
光軸方向における相対位置を移動可能なZ軸コントロー
ラ8と、蛍光を観察するモニタ22とを備えたレーザ走
査顕微鏡において、Z軸コントローラ8を駆動させて相
対位置を光軸方向へ所定距離ずつ移動させ、その移動の
度に取得される切片像同士の画像情報を比較し、この画
像情報の比較結果に基づいて切片像の取得を終了させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ走査顕微鏡に
関する。
【0002】
【従来の技術】共焦点レーザ走査顕微鏡は、励起レーザ
光を試料に照射するレーザ光源と、励起レーザ光と試料
から発せられる蛍光とを分離するダイクロイックミラー
と、励起レーザ光を2次元走査する2次元スキャンユニ
ットと、2次元スキャンユニットと試料との間に配置さ
れた対物レンズと、ダイクロイックミラーと検出装置と
の間に配置され、集光レンズと集光レンズの焦点面に設
けられたピンホールと、試料と対物レンズとの光軸方向
における相対位置を移動可能な駆動装置と、蛍光を観察
する観察装置とを備える。
【0003】レーザ光源から射出された励起レーザ光
は、ダイクロイックミラーによって反射された後、2次
元スキャンユニットによって2次元走査され、対物レン
ズによって光軸にほぼ直角な試料面に集光される。
【0004】励起レーザ光の照射によって試料から発生
した蛍光は励起レーザ光とともに対物レンズから走査ミ
ラーへと光路を逆行し、ダイクロイックミラーで励起レ
ーザ光と分離される。
【0005】ダイクロイックミラーを透過した蛍光は、
集光レンズにより光路中に配置したピンホールに集光さ
れる。このとき、試料の結像部で発した蛍光のみがピン
ホールを通過し、検出装置で受光されるとともに、検出
装置で光量に応じた電気信号に変換される。
【0006】この電気信号と走査位置情報とをコンピュ
ータを用いて所定の処理を行うことで試料の非常に薄い
切片像が得られる。このとき、駆動装置を駆動して焦点
面を光軸方向へ移動させて対物レンズと試料との距離
(ピント)を変えることにより、各焦点面における切片
像を連続的に取得することができる。
【0007】試料全体の切片像を取得するには、予め試
料の厚さを求め、この厚さに応じて焦点面の移動間隔や
取得する切片像の枚数等の条件を、予めメモリに記憶さ
せておく必要がある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、試料の厚さを
求めるには、1枚目(試料の最上部)の画像取得時のス
テージのZ方向(光軸方向)の位置と最後(試料の最下
部)の画像取得時のステージのZ方向の位置とから試料
の厚さを予め計算しておく必要があり、煩わしいもので
あった。
【0009】試料の厚さが正確に求められていないと、
連続的に取得される切片像の枚数に過不足が生じてしま
う。
【0010】図4及び図5は試料の厚さと切片像の枚数
との関係を説明する図である。
【0011】例えば、計算で求めた試料の厚さが実際の
試料113よりも薄い場合には、試料113の厚さ方向
において必要とする枚数の切片像113Aを取得するこ
とができず、試料113の画像情報113Bが不足して
しまう(図4参照)。
【0012】逆に計算で求めた試料の厚さが実際の試料
113の厚さより厚い場合には、試料113の画像情報
113Bとして意味のない切片像113Aまで取得して
しまう(図5参照)。
【0013】また、試料113の厚さを求めるためには
試料113の同じ部分をレーザ光によって繰り返し走査
するので、レーザ光の照射によって蛍光を発する試料の
場合には、試料のダメージや蛍光の退色が大きくなって
しまうという問題がある。
【0014】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は試料の厚さを予め計算しなくとも
過不足なく、試料全体の切片像を連続的に取得できるレ
ーザ走査顕微鏡を提供することである。
【0015】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項1記載の発明のレーザ走査顕微鏡は、励起レー
ザ光を反射するとともに蛍光を透過する光分離手段と、
前記励起レーザ光を試料上で2次元走査する走査手段
と、前記走査手段と前記試料との間に配置された対物レ
ンズと、前記試料と前記対物レンズとの光軸方向におけ
る相対位置を移動可能な駆動手段と、前記光分離手段を
透過した蛍光を受光して、試料の切片像を取得する観察
手段とを備えたレーザ走査顕微鏡において、前記駆動手
段を駆動して前記相対位置を光軸方向へ所定距離ずつ移
動させ、その移動の度に、移動前後に取得される切片像
同士の画像情報を比較し、この画像情報の比較結果に基
づいて前記切片像の取得を終了させる制御手段を備えて
いることを特徴とする。
【0016】駆動手段を駆動させて相対位置を光軸方向
へ所定距離ずつ移動させ、その移動の度に取得される切
片像同士の画像情報を比較し、この画像情報の比較結果
に基づいて切片像の取得を終了させるので、試料が存在
し、前に取得した切片像と後で取得した切片像の画像情
報が異なっている間は、焦点面の移動と切片像の取得と
が行われ、試料が存在しなくなり隣り合う切片像の画像
情報が同じになったとき、光軸方向の移動と切片像の取
得とが終了する。
【0017】請求項2記載の発明のレーザ走査顕微鏡
は、請求項1記載のレーザ走査顕微鏡において、前記画
像情報は各画素の輝度情報であり、前記比較する前の前
記輝度情報が予め定められた閾値以上の値を所定の割合
以上有するとき、前記制御手段は切片像の取得を続ける
ことを特徴とする。
【0018】比較する前の輝度情報が予め定められた閾
値以上の値を所定の割合以上有するときには、試料が存
在すると判断され、切片像取得が続けられる。
【0019】請求項3記載の発明のレーザ走査顕微鏡
は、請求項1記載のレーザ走査顕微鏡において、前記画
像情報は各画素の輝度情報であり、前記比較結果が予め
定められた閾値以下の値を所定割合以上有するとき、制
御手段は切片像の取得を終了する。
【0020】比較結果が予め定められた閾値以下の値を
所定割合以上有するとき、試料が存在しないと判断さ
れ、切片像の取得が終了する。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
【0022】図1はこの発明の第1実施形態に係る共焦
点レーザ走査顕微鏡のブロック構成図である。
【0023】共焦点レーザ走査顕微鏡は、レーザ光源1
と、ビームエクスパンダ2と、ダイクロイックミラー
(光分離手段)3と、2次元スキャンユニット(走査手
段)4と、スキャナコントローラ5と、集光レンズ6
と、対物レンズ7と、Z軸コントローラ(駆動手段)8
と、吸収フィルタ9と、集光レンズ10と、ピンホール
フィルタ11と、光検出器12と、コンピュータ(制御
手段)20と、画像処理回路21と、モニタ(観察手
段)22とを備える。
【0024】光源1は励起レーザ光(以後、レーザ光と
いう)を発してステージ(図示せず)上に載置された試
料13に照射する。
【0025】ビームエクスパンダ2はレーザ光を対物レ
ンズの瞳面を満たす大きさに拡大する。
【0026】ダイクロイックミラー2はレーザ光を透過
させないが試料13から発せられる蛍光を透過させる。
【0027】2次元スキャンユニット4はスキャナコン
トローラ5によってXY方向の走査を行う水平スキャナ
4Aと垂直スキャナ4Bとを備える。
【0028】スキャナコントローラ5はコンピュータ2
0から出力される水平同期信号21aと垂直同期信号2
1bとに基づいて水平スキャナ4Aと垂直スキャナ4B
とを制御する。
【0029】対物レンズ7は2次元スキャンユニット4
と試料13との間に配置され、Z軸コントローラ8によ
って試料13に対して光軸方向に移動される。
【0030】Z軸コントローラ8はコンピュータ20か
ら出力される、光軸方向の移動間隔及び移動方向aを指
示する移動信号20bによって制御される。
【0031】Z軸コントローラ8としては、例えばDC
サーボモータを用いることができる。
【0032】集光レンズ10はダイクロイックミラー3
によって分離され、吸収フィルタ9を通過した光を集光
させる。
【0033】ピンホールフィルタ11は対物レンズ7の
焦点面と共役な位置に設けられ、試料13の結像部で発
した光だけを通過させる。
【0034】蛍光検出器12はピンホールフィルタ11
を通過した試料13の光を検出し、入力した光を光強度
を表す信号12aに変換する。
【0035】画像処理回路21はA/D変換器、フレー
ムメモリ、D/A変換器等の画像化のための回路を備え
る。
【0036】この画像処理回路21は光検出器12の信
号12aとコンピュータ20から出力される、ピクセル
クロック信号20aとに基づいて試料の切片像をフレー
ムメモリに記録するとともに、取得した切片像をモニタ
22に表示する。また、取得した切片像の画像情報をコ
ンピュータ20に送信する。
【0037】図2はコンピュータ20による切片画像の
取得方法を説明するフローチャートである。なお、図2
においてS1〜S8は各ステップを示す。
【0038】まず、ユーザは光軸方向の移動間隔等の情
報をキーボード(図示せず)から入力する。この情報は
メモリ20Aに記憶される。
【0039】操作者は、Z軸コントローラ8を駆動し、
モニタ22で画像を見ながら試料13の上端部の画像に
焦点を合わせ、1枚目の切片像としてZ方向(光軸方
向)の位置を設定する。この焦点位置で2次元スキャン
ユニット4による2次元走査を行い、切片像の画像情報
をメモリ20Aに記憶する。(S1)。
【0040】次に、コンピュータ20はZ軸コントロー
ラ8を駆動し、対物レンズ7を光軸方向へ所定間隔だけ
下降させる(S2)。
【0041】この新たな焦点位置で、2次元スキャンユ
ニット4による試料13の2次元走査を行い、切片像の
画像情報を取得する(S3)。
【0042】コンピュータ20は、画像処理回路21か
ら取得し画像情報から、各画素のピクセル値を求め、ピ
クセル値(輝度値を0〜255の段階に数値化したも
の)が20以上になるピクセル数の占める割合が全ピク
セル数の10%以下であるか否かを判定する(S4)。
【0043】S4でピクセル値が20以上になるピクセ
ル数の占める割合が全ピクセル数の10%以下でないと
判断された場合には、今回取得した切片像の画像情報を
メモリ20Aに記憶する(S5)。
【0044】S4でピクセル値が20以上になるピクセ
ル数の占める割合が全ピクセル数の10%以下であると
判断された場合には、今回取得した切片像の画像情報か
ら前回取得した切片像の画像情報を減算(対応するピク
セルのピクセル値の減算)する(S6)。
【0045】次に、コンピュータ20は、S6で減算し
たピクセル値の絶対値が10以下になるピクセル数を求
め、そのピクセル数の占める割合が全ピクセル数の90
%以上であるか否かを判定する(S7)。
【0046】ピクセル値の絶対値が10以下になるピク
セル数の占める割合が全ピクセル数の90%以上でない
場合には、取得した切片像の画像情報をメモリ20Aに
記憶する(S8)。
【0047】ピクセル値の絶対値が10以下になるピク
セル数の占める割合が全ピクセル数の90%以上である
場合には、試料13がないと判断して切片像の画像情報
の取得を終了する(S9)。
【0048】この第1実施形態によれば、以下の効果を
発揮できる。
【0049】試料13が存在し切片像間の画像情報が異
なっている間は、焦点面の移動と切片像の取得とを行
い、焦点面に試料13が存在しなくなり切片像間の画像
情報が同じになったとき、Z方向の移動と切片像の取得
を終了させるので、試料13の厚さを予め予め計算しな
くとも過不足なく切片像の画像情報を取得することがで
きる。
【0050】試料13の厚さを予め計算するために試料
13の同じ部分を繰り返し走査する必要がなく、1回の
走査だけでよいので、蛍光を発する試料13の場合でも
ダメージや蛍光の退色を抑えることができる。
【0051】ピクセル値が20以上になるピクセル数の
占める割合が全ピクセル数の10%以下でない場合、切
片像の画像情報を取得するようにしたので、切片像間の
ピクセル値の差が小さい場合でも切片像の取得を終了
し、画像情報が不足してしまうという不都合が生じな
い。
【0052】ピクセル値が10以下になるピクセル数の
占める割合が全ピクセル数の90%以上である場合、切
片像の画像情報の取得を終了するので、切片像の画像情
報にノイズ成分が多く含まれ、切片像間のピクセル値の
差が零にならない場合でも、確実に切片像の取得を終了
し、意味のない画像情報を取得してしまうことがない。
【0053】図3はコンピュータ20による切片画像の
他の取得方法を説明するフローチャートである(第2実
施形態)。なお、図3においてS11〜S18は各ステ
ップを示す。
【0054】まず、ユーザは光軸方向の移動間隔等の情
報をキーボード(図示せず)から入力する。この情報
は、メモリ20Aに記憶される。
【0055】操作者は、Z軸コントローラ8を駆動し、
モニタ22で画像を見ながら試料13の上端部の画像に
焦点を合わせ、1枚目の切片像としてZ方向(光軸方
向)の位置を設定する。この焦点位置で2次元スキャン
ユニット4による2次元走査を行い、切片像の画像情報
をメモリ20Aに記憶する。(S11)。
【0056】次に、コンピュータ20はZ軸コントロー
ラ8を駆動し、対物レンズ7を光軸方向へ所定間隔だけ
下降させる(S12)。
【0057】この新たな焦点位置で、2次元スキャンユ
ニット4による試料13の2次元走査を行い、切片像の
画像情報を取得する(S13)。
【0058】コンピュータ20は、画像処理回路21か
ら取得した画像情報から、各画素のピクセル値を求め、
ピクセル値が20以上になるピクセル数の占める割合が
全ピクセル数の10%以下であるか否かを判定する(S
14)。
【0059】S14でピクセル値が20以上になるピク
セル数の占める割合が全ピクセル数の10%以下でない
と判断された場合には、今回取得した切片像の画像情報
をメモリ20Aに記憶する(S15)。
【0060】S14でピクセル値が20以上になるピク
セル数の占める割合が全ピクセル数の10%以下である
と判断された場合には、今回取得した切片像の画像情報
と前回取得した切片像の画像情報との除算(対応するピ
クセルのピクセル値の除算)を行う(S16)。
【0061】次に、コンピュータ20は、S16の除算
結果が1±0.2になるピクセル数を求め、そのピクセ
ル数の占める割合が全ピクセル数の90%以上であるか
否かを判定する(S17)。
【0062】除算結果が1±0.2になるピクセル数の
占める割合が全ピクセル数の90%以上でない場合に
は、取得した切片像の画像情報をメモリ20Aに記憶す
る(S18)。
【0063】除算結果が1±0.2になるピクセル数の
占める割合が全ピクセル数の90%以上である場合に
は、試料13がないと判断して切片像の画像情報の取得
を終了する(S19)。
【0064】この第2実施形態によれば、第1実施形態
と同様の効果を発揮することができる。
【0065】なお、上記各実施形態では対物レンズを用
いたが、DCモータではなくピエゾ素子、ステッピング
モータ及び超音波モータ等を用いることもできる。
【0066】
【発明の効果】以上に説明したように請求項1に記載の
発明のレーザ走査顕微鏡によれば、試料が存在し、前に
取得した切片像と後で取得した切片像の画像情報が異な
っている間は、焦点面の移動と切片像の取得とを行い、
試料が存在しなくなり、前に取得した切片像と後で取得
した切片像の画像情報が同じになったとき、光軸方向の
移動と切片像の取得を終了させるので、試料の厚さを予
め計算しなくとも過不足なく切片像の画像情報を取得す
ることができる。
【0067】また、蛍光を発する試料の場合でも、試料
の走査は1回でよいので、試料のダメージや蛍光の退色
を抑えることができる。
【0068】請求項2に記載の発明のレーザ走査顕微鏡
によれば、比較する前の輝度情報が予め定められた閾値
以上の値を所定の割合以上有するときには、試料が存在
すると判断され、切片像取得が続けられるので、切片像
間のピクセル値の差が小さい場合でも切片像の取得を終
了し、画像情報が不足してしまうという不都合が生じな
い。
【0069】請求項3に記載の発明のレーザ走査顕微鏡
によれば、比較結果が予め定められた閾値以下の値を所
定割合以上有するとき、試料が存在しないと判断され、
切片像の取得を終了させるので、切片像の画像情報にノ
イズ成分が多く含まれ、切片像間のピクセル値の差が零
にならない場合でも、確実に切片像の取得を終了し、意
味のない画像情報を取得してしまう不都合が生じない。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の第1実施形態に係る共焦点レ
ーザ走査顕微鏡のブロック構成図である。
【図2】図2はコンピュータによる切片画像の取得方法
を説明するフローチャートである。
【図3】図3はコンピュータによる切片画像の他の取得
方法を説明するフローチャートである。
【図4】図4は試料の厚さと切片像の枚数との関係を説
明する図である。
【図5】図5は試料の厚さと切片像の枚数との関係を説
明する図である。
【符号の説明】
1 レーザ光源 2 ビームエクスパンダ 3 ダイクロイックミラー(光分離手段) 4 2次元スキャンユニット(走査手段) 7 対物レンズ 8 Z軸コントローラ(駆動手段) 11 ピンホールフィルタ 20 コンピュータ(制御手段) 22 モニタ(観察手段)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 励起レーザ光を反射するとともに蛍光を
    透過する光分離手段と、 前記励起レーザ光を試料上で2次元走査する走査手段
    と、 前記走査手段と前記試料との間に配置された対物レンズ
    と、 前記試料と前記対物レンズとの光軸方向における相対位
    置を移動可能な駆動手段と、 前記光分離手段を透過した蛍光を受光して、試料の切片
    像を取得する観察手段とを備えたレーザ走査顕微鏡にお
    いて、 前記駆動手段を駆動して前記相対位置を光軸方向へ所定
    距離ずつ移動させ、その移動の度に、移動前後に取得さ
    れる切片像同士の画像情報を比較し、この画像情報の比
    較結果に基づいて前記切片像の取得を終了させる制御手
    段を備えていることを特徴とするレーザ走査顕微鏡。
  2. 【請求項2】 前記画像情報は各画素の輝度情報であ
    り、前記比較する前の前記輝度情報が予め定められた閾
    値以上の値を所定の割合以上有するとき、前記制御手段
    は切片像の取得を続けることを特徴とする請求項1記載
    のレーザ走査顕微鏡。
  3. 【請求項3】 前記画像情報は各画素の輝度情報であ
    り、前記比較結果が予め定められた閾値以下の値を所定
    割合以上有するとき、制御手段は切片像の取得を終了す
    ることを特徴とする請求項1記載のレーザ走査顕微鏡。
JP9212597A 1997-07-23 1997-07-23 レーザ走査顕微鏡 Withdrawn JPH1138324A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9212597A JPH1138324A (ja) 1997-07-23 1997-07-23 レーザ走査顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9212597A JPH1138324A (ja) 1997-07-23 1997-07-23 レーザ走査顕微鏡

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1138324A true JPH1138324A (ja) 1999-02-12

Family

ID=16625339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9212597A Withdrawn JPH1138324A (ja) 1997-07-23 1997-07-23 レーザ走査顕微鏡

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1138324A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002258163A (ja) * 2001-03-01 2002-09-11 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡制御装置、顕微鏡制御システム、顕微鏡の制御方法、プログラム、及び記録媒体
WO2004001402A1 (ja) * 2002-06-21 2003-12-31 Olympus Corporation 生体分子解析装置
WO2004036283A1 (ja) * 2002-09-06 2004-04-29 Celestar Lexico-Sciences, Inc. 顕微鏡画像処理システム、顕微鏡画像処理方法、プログラム、および、記録媒体
WO2004061515A1 (ja) * 2002-12-27 2004-07-22 Kansai Technology Licensing Organization Co., Ltd. 多層観察型光学顕微鏡及び多層観察ユニット
JP2013120285A (ja) * 2011-12-07 2013-06-17 Canon Inc 顕微鏡装置
EP3425438A4 (en) * 2016-02-29 2019-04-17 FUJIFILM Corporation APPARATUS AND METHOD FOR CELL OBSERVATION

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002258163A (ja) * 2001-03-01 2002-09-11 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡制御装置、顕微鏡制御システム、顕微鏡の制御方法、プログラム、及び記録媒体
WO2004001402A1 (ja) * 2002-06-21 2003-12-31 Olympus Corporation 生体分子解析装置
US6980294B2 (en) 2002-06-21 2005-12-27 Olympus Corporation Biomolecule analyzer
WO2004036283A1 (ja) * 2002-09-06 2004-04-29 Celestar Lexico-Sciences, Inc. 顕微鏡画像処理システム、顕微鏡画像処理方法、プログラム、および、記録媒体
AU2003261965B2 (en) * 2002-09-06 2007-03-22 Celestar Lexico-Sciences, Inc. Microscope image processing system, microscope image processing method, program, and recording medium
WO2004061515A1 (ja) * 2002-12-27 2004-07-22 Kansai Technology Licensing Organization Co., Ltd. 多層観察型光学顕微鏡及び多層観察ユニット
US7366394B2 (en) 2002-12-27 2008-04-29 Kansai Technology Licensing Organization Co., Ltd. Multilayer observation optical microscope and multilayer observation unit
JP2013120285A (ja) * 2011-12-07 2013-06-17 Canon Inc 顕微鏡装置
EP3425438A4 (en) * 2016-02-29 2019-04-17 FUJIFILM Corporation APPARATUS AND METHOD FOR CELL OBSERVATION
US11061214B2 (en) 2016-02-29 2021-07-13 Fujifilm Corporation Cell observation apparatus and method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7253420B2 (en) Scanning microscope system
JP2005529669A5 (ja)
US6248995B1 (en) Confocal microscopic equipment
JP4700299B2 (ja) 共焦点走査型顕微鏡
JP5053691B2 (ja) 標本スキャナ装置、該装置による標本位置検出方法
JP2006293219A (ja) 走査型共焦点顕微鏡および試料情報測定方法
JPH1138324A (ja) レーザ走査顕微鏡
WO2010143375A1 (ja) 顕微鏡装置および制御プログラム
JP3579166B2 (ja) 走査型レーザ顕微鏡
KR100971582B1 (ko) 공초점 현미경
JP5019279B2 (ja) 共焦点顕微鏡及び合焦カラー画像の生成方法
JP3783813B2 (ja) 共焦点顕微鏡装置
JP4179790B2 (ja) 共焦点走査型光学顕微鏡
JP4350365B2 (ja) レーザ走査型顕微鏡
JP4197898B2 (ja) 顕微鏡、三次元画像生成方法、三次元画像を生成する制御をコンピュータに行わせるプログラム、及びそのプログラムを記録した記録媒体
JP2007286284A (ja) 共焦点走査型顕微鏡システム、及びそれを使用した観察方法
JPH11326778A (ja) 顕微鏡画像観察装置
JP4398183B2 (ja) 共焦点顕微鏡
JP3486754B2 (ja) 走査型光学顕微鏡
JP2011237616A (ja) 走査型顕微鏡
JP4914567B2 (ja) 走査型共焦点顕微鏡
KR20110121497A (ko) Pzt 스테이지를 이용한 공초점 현미경 시스템 및 그 스캔방법
KR20190063027A (ko) 라인 스캐닝 방식의 공초점 현미경에서의 자동초점조절 방법 및 장치
JP2004170509A (ja) 測定反復モードを有する共焦点顕微鏡システム
JP2004177732A (ja) 光学測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20041005