JP2000039562A5 - - Google Patents

Description

【００１５】
【課題を解決するための手段】 請求項１によれば、レーザ光源と、レーザ光源からのレーザ光を試料面上に集光する対物レンズと、対物レンズに入るレーザ光を偏向することで試料面上を走査する光偏向部材と、試料からの光を検出する検出器と、検出器で検出された画像信号を基に画像を表示するモニタとを備えた走査型レーザ顕微鏡において、試料面上で合焦画像を得たい部位を指示する操作部と、操作部で指示した部位にレーザ光が照射されるように光偏向部材の偏向角を制御し、試料からの光の輝度情報が最大となるように対物レンズと試料を相対的に移動させ合焦制御を行う制御手段と、を備えた走査型レーザ顕微鏡である。

請求項２によれば、請求項１記載の走査型レーザ顕微鏡において、前記制御手段は、前記操作部で指示された部位に前記レーザ光が照射されるように前記光偏向部材の偏向角を固定するものである。

請求項３によれば、請求項１記載の走査型レーザ顕微鏡において、制御手段は、光偏向部材の偏向制御中にレーザ光が操作部で指示した部位に照射されたときに同期して試料からの光の輝度情報をサンプリングする機能を備えている。
請求項４によれば、請求項１、３に記載の走査型レーザ顕微鏡において、操作部で指示した任意の２点で合焦したときのそれぞれのＺ位置を検出し、このときのＺ位置の差により、２点間の段差を求めるものである。
請求項５によれば、請求項３に記載の走査型レーザ顕微鏡において、光偏向部材は、共振型のガルバノミラーである。

しかるに、これら第１及び第２のガルバノミラー３、９によりＸＹ方向に固定偏光された光ビーム２は、瞳投影レンズ１０、結像レンズ１１を通って対物レンズ４の瞳１２に入射し、この対物レンズ４によって試料１３面上に回折によって制限される点状光を生じさせ、かつこの点状光を試料１３面上の目的の部位のみに照射させる。

Claims (5)

1. レーザ光源と、
   前記レーザ光源からのレーザ光を試料面上に集光する対物レンズと、
   前記対物レンズに入るレーザ光を偏向することで前記試料面上を走査する光偏向部材と、
   前記試料からの光を検出する検出器と、
   前記検出器で検出された画像信号を基に画像を表示するモニタとを備えた走査型レーザ顕微鏡において、
   前記試料面上で合焦画像を得たい部位を指示する操作部と、
   前記操作部で指示した部位に前記レーザ光が照射されるように前記光偏向部材の偏向角を制御し、前記試料からの光の輝度情報が最大となるように前記対物レンズと前記試料を相対的に移動させ合焦制御を行う制御手段と、
   を具備したことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
2. 前記制御手段は、前記操作部で指示された部位に前記レーザ光が照射されるように前記光偏向部材の偏向角を固定することを特徴とする請求項１記載の走査型レーザ顕微鏡。
3. 前記制御手段は、前記光偏向部材の偏向制御中に前記レーザ光が前記操作部で指示した部位に照射されたときに同期して前記試料からの光の輝度情報をサンプリングする機能を備えていることを特徴とする請求項１記載の走査型レーザ顕微鏡。
4. 前記操作部で指示した任意の２点で合焦したときのそれぞれのＺ位置を検出し、このときのＺ位置の差により、２点間の段差を求めることを特徴とする請求項１、３に記載のレーザ顕微鏡。
5. 前記光偏向部材は、共振型のガルバノミラーであることを特徴とする請求項３記載の走査型レーザ顕微鏡。