JP3376680B2 - 顕微鏡装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は顕微鏡装置に関し、特
に自動焦点調節装置を備えた顕微鏡装置に関する。
に自動焦点調節装置を備えた顕微鏡装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の顕微鏡装置として、焦点ずれ検出
用の補助光を交換可能な対物レンズを通してステージ上
の試料に照射し、その反射光を対物レンズを通して受光
することにより焦点を検出する自動焦点調節装置を備え
たものがある。
用の補助光を交換可能な対物レンズを通してステージ上
の試料に照射し、その反射光を対物レンズを通して受光
することにより焦点を検出する自動焦点調節装置を備え
たものがある。
【０００３】焦点ずれ検出用の補助光として可視域の連
続光を用いると、顕微鏡装置の視野内で補助光が見えて
しまい、本来の観察に支障を来す。この問題を解決する
従来の顕微鏡装置として、補助光として赤外レーザ光線
などの不可視光を用いたものがあるが（米国特許第3721
827 号）、不可視域では対物レンズの色収差があり、し
かも色収差は倍率毎に異なる。すなわち、受光素子上で
の焦点位置がそれぞれ異なるため、倍率を変える毎に焦
点が合うように受光素子をずらさなければならないとい
う問題があった。
続光を用いると、顕微鏡装置の視野内で補助光が見えて
しまい、本来の観察に支障を来す。この問題を解決する
従来の顕微鏡装置として、補助光として赤外レーザ光線
などの不可視光を用いたものがあるが（米国特許第3721
827 号）、不可視域では対物レンズの色収差があり、し
かも色収差は倍率毎に異なる。すなわち、受光素子上で
の焦点位置がそれぞれ異なるため、倍率を変える毎に焦
点が合うように受光素子をずらさなければならないとい
う問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の問題を解決する
従来の顕微鏡装置として、受光素子の前方に可動レンズ
を配置し、その可動レンズを対物レンズの倍率に応じて
モータ等の駆動装置で動かすようにしたものがある（特
公平2-59963 号公報）。
従来の顕微鏡装置として、受光素子の前方に可動レンズ
を配置し、その可動レンズを対物レンズの倍率に応じて
モータ等の駆動装置で動かすようにしたものがある（特
公平2-59963 号公報）。
【０００５】同じく上述の問題を解決する従来の顕微鏡
装置として、受光素子にＣＣＤを用いたものがある（特
開昭60-100114 号公報）。以下この顕微鏡装置について
説明する。
装置として、受光素子にＣＣＤを用いたものがある（特
開昭60-100114 号公報）。以下この顕微鏡装置について
説明する。
【０００６】図７はＣＣＤ上に結像された光源像のＣＣ
Ｄの受光信号を示す図である。倍率Ｍ0 での結像位置に
ＣＣＤを設置すると、図７に示すように、倍率Ｍ0 で受
光信号が最大となる。倍率Ｍ1 ，Ｍ2 では、対物レンズ
の色収差のため少しピントがボケた信号となる。倍率Ｍ
0 の場合、走査線上のＡ点を結像位置とすると、領域ａ
と領域ｄ−ａとの受光信号の積分値を比較し、その差が
ゼロになるようにＺ軸駆動モータを動かし、試料を上下
動させる。同様に、倍率Ｍ2 の場合は、Ｂ点を結像位置
とし、領域ｂと領域ｄ−ｂとの受光信号の積分値を比較
し、倍率Ｍ1 の場合は、Ｃ点を結像位置とし、領域ｃと
領域ｄ−ｃとの受光信号の積分値を比較する。このよう
に電気的に結像位置をＣＣＤ上で設定することにより上
述の問題を解決するようにした。
Ｄの受光信号を示す図である。倍率Ｍ0 での結像位置に
ＣＣＤを設置すると、図７に示すように、倍率Ｍ0 で受
光信号が最大となる。倍率Ｍ1 ，Ｍ2 では、対物レンズ
の色収差のため少しピントがボケた信号となる。倍率Ｍ
0 の場合、走査線上のＡ点を結像位置とすると、領域ａ
と領域ｄ−ａとの受光信号の積分値を比較し、その差が
ゼロになるようにＺ軸駆動モータを動かし、試料を上下
動させる。同様に、倍率Ｍ2 の場合は、Ｂ点を結像位置
とし、領域ｂと領域ｄ−ｂとの受光信号の積分値を比較
し、倍率Ｍ1 の場合は、Ｃ点を結像位置とし、領域ｃと
領域ｄ−ｃとの受光信号の積分値を比較する。このよう
に電気的に結像位置をＣＣＤ上で設定することにより上
述の問題を解決するようにした。
【０００７】ところが、特公平2-59963 号公報のもの
は、受光素子の前方に配置した可動レンズを対物レンズ
の倍率に応じて動かす駆動機構及び回路が必要であり、
特開昭60-100114 号公報のものは、ＣＣＤを用いるた
め、その信号処理にマイコンが必要となり、両方とも製
造コストが高いという問題があるとともに、図７に示す
ように、受光素子を位置調整した対物レンズ以外の倍率
では、光源像がピンボケとなっており、感度及び精度が
劣るという問題がある。
は、受光素子の前方に配置した可動レンズを対物レンズ
の倍率に応じて動かす駆動機構及び回路が必要であり、
特開昭60-100114 号公報のものは、ＣＣＤを用いるた
め、その信号処理にマイコンが必要となり、両方とも製
造コストが高いという問題があるとともに、図７に示す
ように、受光素子を位置調整した対物レンズ以外の倍率
では、光源像がピンボケとなっており、感度及び精度が
劣るという問題がある。
【０００８】また、上述の自動焦点調節装置を用いて顕
微鏡写真撮影やテレビ観察を行うときに、カメラへの補
助光の入射を防ぐために、それぞれのカメラの前方に赤
外カットフィルタを配置して補助光をカットしている。
ところが、できるだけ色収差を抑えるため、補助光の波
長を可視域に近い波長、例えば約700 〜800 nmの近赤外
光が用いられることが多く、それにつれて赤外カットフ
ィルタも可視域に近いものになるが、そのために本来の
顕微鏡観察像の赤色がカットされ、青みがかった像にな
ってしまうという問題がある。
微鏡写真撮影やテレビ観察を行うときに、カメラへの補
助光の入射を防ぐために、それぞれのカメラの前方に赤
外カットフィルタを配置して補助光をカットしている。
ところが、できるだけ色収差を抑えるため、補助光の波
長を可視域に近い波長、例えば約700 〜800 nmの近赤外
光が用いられることが多く、それにつれて赤外カットフ
ィルタも可視域に近いものになるが、そのために本来の
顕微鏡観察像の赤色がカットされ、青みがかった像にな
ってしまうという問題がある。
【０００９】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は低コストで、しかもカメラによる
撮影や観察の際に青みがからない自然な色の像を得るこ
とができる顕微鏡装置を提供することである。
たもので、その課題は低コストで、しかもカメラによる
撮影や観察の際に青みがからない自然な色の像を得るこ
とができる顕微鏡装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の顕微鏡装置は、観察用光源と、
前記観察用光源からの光によって照射されたステージ上
の試料を結像する対物レンズと、所定の周期で点滅する
可視域の補助光を前記試料に前記対物レンズを介して照
射する焦点ずれ検出用の補助光源と、前記試料からの反
射光を受光して受光信号に変換する受光手段と、前記受
光信号から検出したずれ量に基づいて焦点ずれを調節す
る焦点ずれ調節手段とを備えている。
め請求項１記載の発明の顕微鏡装置は、観察用光源と、
前記観察用光源からの光によって照射されたステージ上
の試料を結像する対物レンズと、所定の周期で点滅する
可視域の補助光を前記試料に前記対物レンズを介して照
射する焦点ずれ検出用の補助光源と、前記試料からの反
射光を受光して受光信号に変換する受光手段と、前記受
光信号から検出したずれ量に基づいて焦点ずれを調節す
る焦点ずれ調節手段とを備えている。
【００１１】また、請求項２記載の発明の顕微鏡装置
は、前記試料の光学像を撮影するカメラと、前記補助光
源が点灯していないとき前記カメラのシャッタが開くよ
うに、前記カメラのシャッタと前記補助光源の点滅とを
連動させるタイミング設定手段とを備えている。
は、前記試料の光学像を撮影するカメラと、前記補助光
源が点灯していないとき前記カメラのシャッタが開くよ
うに、前記カメラのシャッタと前記補助光源の点滅とを
連動させるタイミング設定手段とを備えている。
【００１２】更に、請求項３記載の発明の顕微鏡装置
は、前記試料の光学像を撮影するカメラと、前記補助光
源が点灯していないときであって、前記焦点ずれ調節手
段によって焦点ずれが調節された後に前記カメラのシャ
ッタが開くように、前記カメラのシャッタと前記補助光
源の点滅とを連動させるタイミング設定手段とを備えて
いる。
は、前記試料の光学像を撮影するカメラと、前記補助光
源が点灯していないときであって、前記焦点ずれ調節手
段によって焦点ずれが調節された後に前記カメラのシャ
ッタが開くように、前記カメラのシャッタと前記補助光
源の点滅とを連動させるタイミング設定手段とを備えて
いる。
【００１３】また、請求項４記載の発明の顕微鏡装置
は、前記試料の光学像を撮像するテレビカメラと、電子
ビームがフィールドの終点から次のフィールドの始点へ
と移動している間に前記補助光源が点灯するように、前
記テレビカメラの走査と前記補助光源の点滅とを同期さ
せるタイミング設定手段とを備えている。
は、前記試料の光学像を撮像するテレビカメラと、電子
ビームがフィールドの終点から次のフィールドの始点へ
と移動している間に前記補助光源が点灯するように、前
記テレビカメラの走査と前記補助光源の点滅とを同期さ
せるタイミング設定手段とを備えている。
【００１４】
【作用】焦点ずれ検出用の補助光源から可視域の補助光
を試料に照射し、前記試料からの反射光を受光手段で受
光して受光信号に変換し、焦点ずれ調節手段で前記受光
信号から検出したずれ量に基づいて焦点ずれを調節する
ようにしたので、対物レンズの色収差に影響せず、倍率
を変える毎に焦点が合うように受光手段をずらす必要が
なく、しかも可視域の補助光を所定の周期で点滅させる
ので、通常の観察（目視による観察）には全く影響がな
い。
を試料に照射し、前記試料からの反射光を受光手段で受
光して受光信号に変換し、焦点ずれ調節手段で前記受光
信号から検出したずれ量に基づいて焦点ずれを調節する
ようにしたので、対物レンズの色収差に影響せず、倍率
を変える毎に焦点が合うように受光手段をずらす必要が
なく、しかも可視域の補助光を所定の周期で点滅させる
ので、通常の観察（目視による観察）には全く影響がな
い。
【００１５】また、補助光源が点灯していないときであ
って、焦点ずれ調節手段によって焦点ずれが調節された
後にカメラのシャッタが開くように、タイミング設定手
段でカメラのシャッタと前記補助光源の点滅とを同期さ
せたので、カメラで写真撮影するとき、点滅する補助光
が写らず、自然な色の像を得ることができる。また、補
助光として可視域の光を用いるので赤外カットフィルタ
を入れる必要がなく像が青みがかることもない。
って、焦点ずれ調節手段によって焦点ずれが調節された
後にカメラのシャッタが開くように、タイミング設定手
段でカメラのシャッタと前記補助光源の点滅とを同期さ
せたので、カメラで写真撮影するとき、点滅する補助光
が写らず、自然な色の像を得ることができる。また、補
助光として可視域の光を用いるので赤外カットフィルタ
を入れる必要がなく像が青みがかることもない。
【００１６】更に、電子ビームがフィールドの終点から
次のフィールドの始点へと移動している間に補助光源が
点灯するように、タイミング設定手段でテレビカメラの
走査と前記補助光源の点滅とを同期させたので、テレビ
カメラで写真撮影するとき、点滅する補助光が写らず、
自然な色の像を得ることができる。また、補助光として
可視域の光を用いるので赤外カットフィルタを入れる必
要がなく像が青みがかることもない。
次のフィールドの始点へと移動している間に補助光源が
点灯するように、タイミング設定手段でテレビカメラの
走査と前記補助光源の点滅とを同期させたので、テレビ
カメラで写真撮影するとき、点滅する補助光が写らず、
自然な色の像を得ることができる。また、補助光として
可視域の光を用いるので赤外カットフィルタを入れる必
要がなく像が青みがかることもない。
【００１７】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１８】図１はこの発明の第１実施例に係る顕微鏡
装置の全体構成図である。試料９はステージ２５上に載
置され、試料９の上方には対物レンズ８及びハーフミラ
ー７が配置されている。観察用光源１０ａから出射され
た照明光は、コリメータレンズ１０ｂで集光されてハー
フミラー７で反射され、対物レンズ８を通って試料９上
に照射される。
装置の全体構成図である。試料９はステージ２５上に載
置され、試料９の上方には対物レンズ８及びハーフミラ
ー７が配置されている。観察用光源１０ａから出射され
た照明光は、コリメータレンズ１０ｂで集光されてハー
フミラー７で反射され、対物レンズ８を通って試料９上
に照射される。
【００１９】ハーフミラー７の上方にはハーフミラー６
が配置されている。例えばＬＥＤ等の光源（補助光源）
１から出射されたビーム（可視域の補助光）は、方向判
別のための遮光板３で光軸を境に半分遮光され、ハーフ
ミラー４、レンズ５及びハーフミラー７，６を経て、対
物レンズ８で試料９上に結像される。
が配置されている。例えばＬＥＤ等の光源（補助光源）
１から出射されたビーム（可視域の補助光）は、方向判
別のための遮光板３で光軸を境に半分遮光され、ハーフ
ミラー４、レンズ５及びハーフミラー７，６を経て、対
物レンズ８で試料９上に結像される。
【００２０】試料９の表面で反射したビームは、図１の
斜線で示すように、ハーフミラー７，６、レンズ５及び
ハーフミラー４を経て、受光素子（受光手段）としての
２分割センサ２上に結像される。２分割センサ２は後述
する自動焦点調節装置（焦点ずれ調節手段）に接続され
ている。
斜線で示すように、ハーフミラー７，６、レンズ５及び
ハーフミラー４を経て、受光素子（受光手段）としての
２分割センサ２上に結像される。２分割センサ２は後述
する自動焦点調節装置（焦点ずれ調節手段）に接続され
ている。
【００２１】図２は自動焦点調節装置のブロック図であ
る。
る。
【００２２】発信器２３からの信号は変調回路２２で所
定の周期の信号になり、ドライバ２１から駆動信号が出
力され、光源１がパルス点灯する。このとき光源１を肉
眼で見えない速さで点滅させるが、人間の目に見えるか
否かは、図３に示すパルス幅、パルス高さ及びパルス間
隔によって決定され、パルス幅は短い程、パルス高さは
低い程、パルス間隔は長い程、人間の目には見えにくく
なる。しかし、それに反比例してパルス幅が短いと高速
応答の受光素子が必要になり、パルス高さが低いと光が
弱くなり、検出信号が小さくなる。また、パルス間隔が
長いと受光する間隔が長くなり、制御の応答に遅れが生
じ、合焦動作時にハンチング現象を起こし易くなる。し
たがって、パルス幅、パルス高さ及びパルス間隔を選ぶ
ことによって人間の目には見えず、合焦動作に支障のな
いパルス点灯が可能である。
定の周期の信号になり、ドライバ２１から駆動信号が出
力され、光源１がパルス点灯する。このとき光源１を肉
眼で見えない速さで点滅させるが、人間の目に見えるか
否かは、図３に示すパルス幅、パルス高さ及びパルス間
隔によって決定され、パルス幅は短い程、パルス高さは
低い程、パルス間隔は長い程、人間の目には見えにくく
なる。しかし、それに反比例してパルス幅が短いと高速
応答の受光素子が必要になり、パルス高さが低いと光が
弱くなり、検出信号が小さくなる。また、パルス間隔が
長いと受光する間隔が長くなり、制御の応答に遅れが生
じ、合焦動作時にハンチング現象を起こし易くなる。し
たがって、パルス幅、パルス高さ及びパルス間隔を選ぶ
ことによって人間の目には見えず、合焦動作に支障のな
いパルス点灯が可能である。
【００２３】２分割センサ２の受光部２ａ，２ｂで受光
された光源像は電気信号（受光信号）にそれぞれ変換さ
れ、プリアンプ１４，１５で増幅される。受光信号は光
源１が点灯している間だけ出力されるので、光源１の変
調周波数と同じ周波数のパルス信号になる。したがっ
て、復調回路１６，１７により光源１の変調周波数で復
調され、ＤＣ連続信号になる。そして、引き算回路１８
で復調回路１６，１７からの各ＤＣ連続信号を引き算
し、その結果が焦点のずれ量となるので、それに基づい
て駆動信号を作成し、その駆動信号をドライバ１９を通
してステージ２５又は対物レンズ８を駆動するモータ２
０に印加し、前記ずれ量がゼロになるまでステージ２５
又は対物レンズ８を動かす。
された光源像は電気信号（受光信号）にそれぞれ変換さ
れ、プリアンプ１４，１５で増幅される。受光信号は光
源１が点灯している間だけ出力されるので、光源１の変
調周波数と同じ周波数のパルス信号になる。したがっ
て、復調回路１６，１７により光源１の変調周波数で復
調され、ＤＣ連続信号になる。そして、引き算回路１８
で復調回路１６，１７からの各ＤＣ連続信号を引き算
し、その結果が焦点のずれ量となるので、それに基づい
て駆動信号を作成し、その駆動信号をドライバ１９を通
してステージ２５又は対物レンズ８を駆動するモータ２
０に印加し、前記ずれ量がゼロになるまでステージ２５
又は対物レンズ８を動かす。
【００２４】この実施例の顕微鏡装置によれば、焦点ず
れ検出用の補助光として可視域の光を用いたので、対物
レンズの色収差に影響せず、倍率を変える毎に焦点が合
うように受光手段をずらす必要がなく、また可視域の光
を肉眼で見えない周期で点滅させるようにしたので、肉
眼による観察には全く影響がない。また、上述の受光素
子の前方に可動レンズを配置し、その可動レンズを対物
レンズの倍率に応じて動かす従来例や、ＣＣＤを用いた
従来例などに較べ、構成が複雑にならないので、製造コ
ストを低減することができる。
れ検出用の補助光として可視域の光を用いたので、対物
レンズの色収差に影響せず、倍率を変える毎に焦点が合
うように受光手段をずらす必要がなく、また可視域の光
を肉眼で見えない周期で点滅させるようにしたので、肉
眼による観察には全く影響がない。また、上述の受光素
子の前方に可動レンズを配置し、その可動レンズを対物
レンズの倍率に応じて動かす従来例や、ＣＣＤを用いた
従来例などに較べ、構成が複雑にならないので、製造コ
ストを低減することができる。
【００２５】図４はこの発明の第２実施例に係る顕微鏡
装置の一部を示す図である。前述の実施例と共通する部
分には同一符号を付して説明を省略する。前述の実施例
では２分割センサ２を用いてビームの横ずれを検出する
方式について述べたが、この実施例では光学像の高周波
成分を検出する方式を用いた。すなわち、光源１からの
光をコリメータレンズ１１によって平行光にして光学パ
ターン１２に照射し、その像を試料９上に投影させ、そ
の投影像を光路分割プリズム２４を介してＣＣＤ１３に
入射させ、ＣＣＤ１３の出力信号から高周波成分を抽出
して画像処理し、焦点位置を求める。この第２実施例に
おいても補助光として可視域の光を肉眼で見えない周期
で点滅させるようにしたので、第１実施例と同様の効果
を得ることができる。
装置の一部を示す図である。前述の実施例と共通する部
分には同一符号を付して説明を省略する。前述の実施例
では２分割センサ２を用いてビームの横ずれを検出する
方式について述べたが、この実施例では光学像の高周波
成分を検出する方式を用いた。すなわち、光源１からの
光をコリメータレンズ１１によって平行光にして光学パ
ターン１２に照射し、その像を試料９上に投影させ、そ
の投影像を光路分割プリズム２４を介してＣＣＤ１３に
入射させ、ＣＣＤ１３の出力信号から高周波成分を抽出
して画像処理し、焦点位置を求める。この第２実施例に
おいても補助光として可視域の光を肉眼で見えない周期
で点滅させるようにしたので、第１実施例と同様の効果
を得ることができる。
【００２６】次に、第１、第２実施例の顕微鏡装置にカ
メラを搭載した第３実施例について述べる。第１、第２
実施例では、補助光として可視域の光を肉眼で見えない
周期で点滅させるようにしたが、カメラを搭載した第３
実施例では、補助光として可視域の光を肉眼で見えない
周期で点滅させることに加え、後述のように光源の点滅
とカメラのシャッタ動作との同期をとるようにした。
メラを搭載した第３実施例について述べる。第１、第２
実施例では、補助光として可視域の光を肉眼で見えない
周期で点滅させるようにしたが、カメラを搭載した第３
実施例では、補助光として可視域の光を肉眼で見えない
周期で点滅させることに加え、後述のように光源の点滅
とカメラのシャッタ動作との同期をとるようにした。
【００２７】図５は写真撮影時のタイミングチャートで
ある。光源が点灯した後次の点灯までの間、すなわち消
灯期間中に、受光信号を取り込み、取り込んだ信号を画
像処理して焦点位置を求め、モータを駆動してステージ
又は対物レンズを動かし、合焦動作の終了と同時にシャ
ッタを開く。
ある。光源が点灯した後次の点灯までの間、すなわち消
灯期間中に、受光信号を取り込み、取り込んだ信号を画
像処理して焦点位置を求め、モータを駆動してステージ
又は対物レンズを動かし、合焦動作の終了と同時にシャ
ッタを開く。
【００２８】この第３実施例の顕微鏡装置によれば、カ
メラで写真撮影したとき、点滅する補助光が写らず、自
然な色の像を得ることができる。また、補助光として可
視域の光を用いるので像が青みがかることもない。
メラで写真撮影したとき、点滅する補助光が写らず、自
然な色の像を得ることができる。また、補助光として可
視域の光を用いるので像が青みがかることもない。
【００２９】なお、この第３実施例の変形例として、光
源が点灯していないときにシャッタを開くようにしても
よい。光源を点灯させて焦点を測定したらジャストにな
っていて、調整が不要なとき、又は調整が必要であった
としてもピンボケにならない程度の小さな調整量のとき
は、この変形例のように構成しても第３実施例と同様の
効果を得ることができる。
源が点灯していないときにシャッタを開くようにしても
よい。光源を点灯させて焦点を測定したらジャストにな
っていて、調整が不要なとき、又は調整が必要であった
としてもピンボケにならない程度の小さな調整量のとき
は、この変形例のように構成しても第３実施例と同様の
効果を得ることができる。
【００３０】次に、第１、第２実施例の顕微鏡装置にテ
レビカメラを搭載した第４実施例について述べる。この
第４実施例では、後述のように光源の点滅とテレビカメ
ラの走査との同期をとるようにした。
レビカメラを搭載した第４実施例について述べる。この
第４実施例では、後述のように光源の点滅とテレビカメ
ラの走査との同期をとるようにした。
【００３１】図６はテレビカメラ観察時のタイミングチ
ャートである。偶数（奇数）フィールドの終点から奇数
（偶数）フィールドの始点までの電子ビームが移動して
いる間（垂直ブランキング期間）に、光源を点灯させる
ようにした。
ャートである。偶数（奇数）フィールドの終点から奇数
（偶数）フィールドの始点までの電子ビームが移動して
いる間（垂直ブランキング期間）に、光源を点灯させる
ようにした。
【００３２】この第３実施例の顕微鏡装置によれば、テ
レビカメラで観察したとき、点滅する補助光が写らず、
自然な色の像を得ることができる。また、補助光として
可視域の光を用いるので像が青みがかることもない。
レビカメラで観察したとき、点滅する補助光が写らず、
自然な色の像を得ることができる。また、補助光として
可視域の光を用いるので像が青みがかることもない。
【００３３】なお、本発明は対物レンズをコンデンサレ
ンズの代わりとする反射照明で説明したが、本発明は透
過照明でも行うことができる。
ンズの代わりとする反射照明で説明したが、本発明は透
過照明でも行うことができる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の顕微鏡装
置によれば、対物レンズの色収差に影響せず、倍率を変
える毎に焦点が合うように受光手段をずらす必要がな
く、しかも可視域の補助光を所定の周期で点滅させるの
で、目視による観察には全く影響がない。したがって、
受光素子の前方に配置した可動レンズを対物レンズの倍
率に応じて動かす方式のものなどに較べ、構成が複雑に
ならないので、製造コストを低減することができる。
置によれば、対物レンズの色収差に影響せず、倍率を変
える毎に焦点が合うように受光手段をずらす必要がな
く、しかも可視域の補助光を所定の周期で点滅させるの
で、目視による観察には全く影響がない。したがって、
受光素子の前方に配置した可動レンズを対物レンズの倍
率に応じて動かす方式のものなどに較べ、構成が複雑に
ならないので、製造コストを低減することができる。
【００３５】また、タイミング設定手段でカメラのシャ
ッタと補助光源の点滅とを同期させることにより、カメ
ラで写真撮影するとき、点滅する補助光が写らず、自然
な色の像を得ることができる。また、補助光として可視
域の光を用いるので赤外カットフィルタが必要なく像が
青みがかることもない。
ッタと補助光源の点滅とを同期させることにより、カメ
ラで写真撮影するとき、点滅する補助光が写らず、自然
な色の像を得ることができる。また、補助光として可視
域の光を用いるので赤外カットフィルタが必要なく像が
青みがかることもない。
【００３６】更に、タイミング設定手段でテレビカメラ
の走査と補助光源の点滅とを同期させることにより、テ
レビカメラで写真撮影するとき、点滅する補助光が写ら
ず、自然な色の像を得ることができる。また、補助光と
して可視域の光を用いるので赤外カットフィルタが必要
なく像が青みがかることもない。
の走査と補助光源の点滅とを同期させることにより、テ
レビカメラで写真撮影するとき、点滅する補助光が写ら
ず、自然な色の像を得ることができる。また、補助光と
して可視域の光を用いるので赤外カットフィルタが必要
なく像が青みがかることもない。
【図１】図１はこの発明の第１実施例に係る顕微鏡装置
の全体構成図である。
の全体構成図である。
【図２】図２は自動焦点調節装置のブロック図である。
【図３】図３は光源の点滅周期を示す図である。
【図４】図４はこの発明の第２実施例に係る顕微鏡装置
の一部を示す図である。
の一部を示す図である。
【図５】図５は写真撮影時のタイミングチャートであ
る。
る。
【図６】図６はテレビカメラ観察時のタイミングチャー
トである。
トである。
【図７】図７はＣＣＤ上に結像された光源像のＣＣＤの
受光信号を示す図である。
受光信号を示す図である。
１ 光源
２ ２分割センサ
８ 対物レンズ
９ 試料
１０ａ 観察用光源
１１ コリメータレンズ
１２ 光学パターン
２４ 光路分割プリズム
２５ ステージ
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−161916（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−80246（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−295813（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−298909（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−131219（ＪＰ，Ａ)
実開 平３−81913（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 21/00
G02B 21/36
Claims (4)
- 【請求項１】 観察用光源と、 前記観察用光源からの光によって照射されたステージ上
の試料を結像する対物レンズと、 所定の周期で点滅する可視域の補助光を前記試料に前記
対物レンズを介して照射する焦点ずれ検出用の補助光源
と、 前記試料からの反射光を受光して受光信号に変換する受
光手段と、 前記受光信号から検出したずれ量に基づいて焦点ずれを
調節する焦点ずれ調節手段とを備えていることを特徴と
する顕微鏡装置。 - 【請求項２】 前記試料の光学像を撮影するカメラと、 前記補助光源が点灯していないとき前記カメラのシャッ
タが開くように、前記カメラのシャッタと前記補助光源
の点滅とを連動させるタイミング設定手段とを備えてい
ることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。 - 【請求項３】 前記試料の光学像を撮影するカメラと、 前記補助光源が点灯していないときであって、前記焦点
ずれ調節手段によって焦点ずれが調節された後に前記カ
メラのシャッタが開くように、前記カメラのシャッタと
前記補助光源の点滅とを連動させるタイミング設定手段
とを備えていることを特徴とする請求項２記載の顕微鏡
装置。 - 【請求項４】 前記試料の光学像を撮像するテレビカメ
ラと、 電子ビームがフィールドの終点から次のフィールドの始
点へと移動している間に前記補助光源が点灯するよう
に、前記テレビカメラの走査と前記補助光源の点滅とを
同期させるタイミング設定手段とを備えていることを特
徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06991694A JP3376680B2 (ja) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | 顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06991694A JP3376680B2 (ja) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | 顕微鏡装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07253546A JPH07253546A (ja) | 1995-10-03 |
| JP3376680B2 true JP3376680B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=13416499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06991694A Expired - Fee Related JP3376680B2 (ja) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | 顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3376680B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007065077A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
| JP5024864B2 (ja) * | 2006-12-18 | 2012-09-12 | レーザーテック株式会社 | コンフォーカル顕微鏡、及びコンフォーカル画像の撮像方法 |
| JP5831782B2 (ja) * | 2010-12-01 | 2015-12-09 | 株式会社ニコン | 顕微鏡装置 |
-
1994
- 1994-03-15 JP JP06991694A patent/JP3376680B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07253546A (ja) | 1995-10-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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