JP5024864B2 - コンフォーカル顕微鏡、及びコンフォーカル画像の撮像方法 - Google Patents
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Description
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、簡便な構成で焦点を調整することができるコンフォーカル顕微鏡、及びコンフォーカル画像の撮像方法を提供することを目的とする。
100 光学系、
101 光源 104 ビームスプリッタ 105 ガルバノミラー
102、103、106、107、108 レンズ 109 二分割光センサ
110 ラインセンサ 111 試料ホルダ
120 遮光板 130 スリット
131 焦点位置用開口部 132 画像照明用開口部
200 回路部
201a、201b クランプ回路 202 引算回路 203 加算回路
204 除算回路 205 積分回路 206 サンプルホールド回路
207 ドライブアンプ 208 軸駆動モータ 209a、209b PD
210 タイミング回路
300 試料
Claims (10)
- 照明光を出射する光源と、
前記光源からの照明光を線状の光に変換する光変換手段と、
前記線状の光を走査する走査手段と、
前記光変換手段と共役な位置に配置された試料上に前記線状の光を結像し、前記試料からの透過光又は反射光を結像面に結像する結像手段と、
前記透過光又は前記反射光を受光するよう前記結像面に配置され、前記線状の光に対応する画素列を有する観察用検出器と、
前記光源からの光の光路上に配置され、前記光源からの光の一部を遮光する遮光部材と、
前記走査手段によって前記線状の光とともに走査される光のうち前記試料で反射した光を検出する焦点位置用センサと、
前記遮光部材を前記光路上に配置している状態における焦点位置用センサからの出力に基づいて、前記線状の光の焦点位置を調整する焦点調整手段と、
前記走査手段の走査端に配置された走査位置検出用検出器と、
前記走査位置検出用検出器からの出力に基づいて、前記積分回路の積分値を増減させないクランプ動作を行なうクランプ回路と、を備えるコンフォーカル顕微鏡。 - 前記位置検出用センサからの出力を積分する積分回路をさらに備え、
前記積分回路での積分値に基づいて、前記焦点調整手段が焦点を調整することを特徴とする請求項1に記載のコンフォーカル顕微鏡。 - 前記走査位置検出用検出器からの出力に基づいて、前記積分回路の積分値をリセットすることを特徴とする請求項1又は2に記載のコンフォーカル顕微鏡。
- 前記光変換手段がライン状の照明用開口部を有するスリット板であって、
前記スリット板に焦点位置用センサに受光される光を透過する焦点位置用開口部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のコンフォーカル顕微鏡。 - 前記焦点調整手段によって焦点が調整されている状態で、前記観察用検出器で線状の光を受光して観察を行なう場合に、前記遮光部材が前記光源からの光の一部を遮光しないことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のコンフォーカル顕微鏡。
- コンフォーカル光学系を介して光を検出して、コンフォーカル画像を撮像するコンフォーカル画像の撮像方法であって、
光路上に配置された遮光部材によって光の一部を遮光するステップと、
前記遮光された光を走査手段によって走査するステップと、
前記走査された光を前記試料に集光して照射するステップと、
前記試料で反射した反射光を焦点位置用センサで検出するステップと、
前記焦点位置用センサからの出力に基づいて、前記試料の焦点を調整するステップと、
前記試料の焦点が調整された状態で、ライン状の光を前記走査手段によって走査するステップと、
前記走査手段によって走査されたライン状の光を前記試料に集光して照射するステップと、
前記試料に照射されたライン状の光のうち前記試料で反射した反射光、又は前記試料を透過した透過光を、前記線状の光に対応する画素列を有する観察用検出器でコンフォーカル光学系を介して受光するステップとを有し、
前記走査手段に走査端では、前記積分値を増減させないクランプ動作を行なうことを特徴とするコンフォーカル画像の撮像方法。 - 前記試料の焦点を調整するステップでは、前記焦点位置用センサからの出力を積分した積分値に基づいて、前記焦点を調整することを特徴とする請求項6に記載のコンフォーカル画像の撮像方法。
- 前記走査手段の走査の一端において、前記積分値がリセットされることを特徴とする請求項6又は7に記載のコンフォーカル画像の撮像方法。
- 前記線状の光をライン状の照明用開口部を有するスリット板によって生成し、
前記スリット板に設けられた焦点位置用開口部を通過して、前記試料で反射した反射光を前記焦点位置用センサで検出することを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載のコンフォーカル画像の撮像方法。 - 前記ライン状の光を前記走査手段によって走査するステップでは、前記光の一部が遮光されていないことを特徴とする請求項6乃至9のいずれかに記載のコンフォーカル画像の撮像方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006339836A JP5024864B2 (ja) | 2006-12-18 | 2006-12-18 | コンフォーカル顕微鏡、及びコンフォーカル画像の撮像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006339836A JP5024864B2 (ja) | 2006-12-18 | 2006-12-18 | コンフォーカル顕微鏡、及びコンフォーカル画像の撮像方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008152011A JP2008152011A (ja) | 2008-07-03 |
JP5024864B2 true JP5024864B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=39654241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006339836A Expired - Fee Related JP5024864B2 (ja) | 2006-12-18 | 2006-12-18 | コンフォーカル顕微鏡、及びコンフォーカル画像の撮像方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5024864B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101080382B1 (ko) | 2009-09-15 | 2011-11-04 | 광주과학기술원 | 공초점 레이저 주사 현미경 |
JP5827064B2 (ja) * | 2011-08-05 | 2015-12-02 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 透過x線分析装置及び方法 |
JP6355961B2 (ja) * | 2014-04-30 | 2018-07-11 | オリンパス株式会社 | 標本観察装置 |
JP7145030B2 (ja) * | 2018-10-16 | 2022-09-30 | レーザーテック株式会社 | 測定方法及び測定装置 |
WO2020171173A1 (ja) * | 2019-02-20 | 2020-08-27 | ソニー株式会社 | 顕微鏡システム、焦点調整プログラム、および焦点調整システム |
WO2020179068A1 (ja) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | 株式会社ニコン | 顕微鏡 |
CN111665227B (zh) * | 2020-06-05 | 2023-02-03 | 哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院 | 基于虚拟调制成像的激光扫描显微成像方法、装置和系统 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0476512A (ja) * | 1990-07-18 | 1992-03-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 走査型顕微鏡の撮像方法 |
JP2633718B2 (ja) * | 1990-10-03 | 1997-07-23 | 株式会社東芝 | 形状認識装置 |
JP2989330B2 (ja) * | 1991-07-17 | 1999-12-13 | レーザーテック株式会社 | 顕微鏡観察装置 |
JP3376680B2 (ja) * | 1994-03-15 | 2003-02-10 | 株式会社ニコン | 顕微鏡装置 |
JP3628741B2 (ja) * | 1995-02-13 | 2005-03-16 | オリンパス株式会社 | オートフォーカス顕微鏡 |
JPH1164735A (ja) * | 1997-08-25 | 1999-03-05 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 顕微鏡 |
JP2002048978A (ja) * | 2000-08-01 | 2002-02-15 | Olympus Optical Co Ltd | 対物レンズユニット、対物レンズユニットを有する光学装置及びその光学装置を用いた観察方法 |
JP3616999B2 (ja) * | 2001-12-04 | 2005-02-02 | レーザーテック株式会社 | コンフォーカル顕微鏡 |
JP4635145B2 (ja) * | 2004-03-17 | 2011-02-16 | レーザーテック株式会社 | コンフォーカル顕微鏡及び膜厚測定装置 |
-
2006
- 2006-12-18 JP JP2006339836A patent/JP5024864B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008152011A (ja) | 2008-07-03 |
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