CN107924801B - 带电粒子束装置以及样品平台的对准调整方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的涉及，能利用低倍率的光学像和高倍率的光学像高精度、操作性良好、高吞吐量地调整样品平台与光学像的对准。本发明涉及，能使用第1处理完毕光学像实施基于样品台对准的对准调整，其中，第1处理完毕光学像是通过数字处理对保持了样品的样品台的光学像进行放大或缩小或视野变更而得到的，能使用与第1处理完毕光学像不同的第2处理完毕光学像实施基于对准点指定的对准调整。根据本发明，不将保持了样品的样品台从样品室取出，就能以样品台的外形和样品上的特征点为基准来调整样品平台与光学像的对准。

Description

带电粒子束装置以及样品平台的对准调整方法

技术领域

本发明涉及扫描型电子显微镜等带电粒子束装置，特别涉及样品平台的对准调整。

背景技术

在具备摄像机设备的带电粒子束装置中，利用摄像机设备取得载置于样品台的样品的光学像，能在该取得的样品的光学像上选择照射带电粒子束进行观察的样品上的位置或范围。为了高精度地选择位置或范围，需要高精度地调整挪动样品台的样品平台与光学像的对准。

在JP特开2010-198998号公报(专利文献1)中，在由摄像机设备摄像并显示了样品台和样品的光学像的显示画面中，显示用于识别光学像中的样品台的大小的由与样品台相同的形状构成的样品台识别用的调整引导，在显示画面上进行该调整引导的放大/缩小/移动，使其与显示画面上的样品台的光学像一致，由此来识别光学像上的样品台的大小和中心位置。并且，根据该识别出的显示画面上的样品台的光学像的大小与预先积蓄的该样品台的实际的大小的对应，来运算由摄像机设备取得的光学像的放大倍率以及该光学像上的样品台的中心位置，调整样品平台与光学像的对准。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2010-198998号公报

发明内容

发明要解决的课题

本申请发明者针对高精度、操作性良好且高吞吐量地调整样品平台与光学像的对准进行了潜心研究，结果是得到如下见解。

为了实施高精度的对准调整，期望不是如专利文献1那样仅以样品台的外形(低倍率的光学像)作为基准，而是还以样品上的特征点(高倍率的光学像)作为基准。

但是，在想要使用光学式变焦的摄像机设备来实施以样品台的外形(低倍率的光学像)和样品上的特征点(高倍率的光学像)这两者为基准的对准调整的情况下，由于低倍率的光学像与高倍率的光学像的中心位置一致，因此若在低倍率的光学像的中心附近不存在样品上的特征点，就不能实施以样品上的特征点(高倍率的光学像)为基准的对准调整。由于样品上的特征点微小，在低倍率的光学像中难以确认，因此若不尝试取得高倍率的光学像就难以确认其有无。因此，在高倍率的光学像中不存在适于对准调整的样品上的特征点的情况下，需要微调整保持于载台等的摄像机设备的位置，或微调整样品台上的样品位置。在保持了样品的样品台处于带电粒子束装置的样品室内时，在将样品室对大气开放而取出样品台后，进行样品位置的微调整、光学像的再取得，并送回样品室，在此基础上，需要将样品室再次真空排气，操作工序变得烦杂，招致观察吞吐量的降低。

本发明的目的涉及，能利用低倍率的光学像和高倍率的光学像高精度、操作性良好、高吞吐量地调整样品平台与光学像的对准。

用于解决课题的手段

本发明涉及，能使用第1处理完毕光学像实施基于样品台对准的对准调整，其中，第1处理完毕光学像是通过数字处理将保持了样品的样品台的光学像放大或缩小或者视野变更而得到的，能使用与第1处理完毕光学像不同的第2处理完毕光学像实施基于对准点指定的对准调整。

发明效果

根据本发明，不将保持了样品的样品台从样品室取出，就能以样品台的外形和样品上的特征点为基准来调整样品平台与光学像的对准。

附图说明

图1是扫描电子显微镜的整体构成的概略图。

图2是摄像机设备的概略图。

图3是基于样品台对准的对准调整的说明图。

图4是基于对准点指定的对准调整的说明图。

图5是切出光学像并将其显示在GUI画面的情况的说明图。

图6是进行图像移位的情况的说明图。

图7是求取图像移位后的中心坐标的流程图。

图8是样品偏离的情况下的光学像取得的说明图。

图9是具有4个样品台的多位固定器的概略图。

图10是多位固定器涉及的GUI画面的说明图。

图11是具有14个样品台的多位固定器的概略图。

图12是对3条直线进行移动调整的样品台对准的说明图。

图13是指定样品台外形的3点的样品台对准的说明图。

具体实施方式

在实施例中公开了带电粒子束装置，具备：样品平台，其载置保持了样品的样品台，至少进行二维移动；照射光学系统，其对所述样品照射带电粒子束；检测器，其检测从所述样品放出的信息信号；显示装置，其显示基于所述信息信号形成的带电粒子像；光学显微镜，其拍摄所述样品台；存储部，其存储由所述光学显微镜拍摄的光图像；以及对准调整部，其将处理完毕光学像显示在所述显示装置，该处理完毕光学像是通过数字处理对存储于所述存储部的光学像进行放大或缩小或视野变更而得到的，在第1处理完毕光学像上显示样品台对准用指示器，能经由输入设备操作所述第1处理完毕光学像或所述样品台对准用指示器来实施基于样品台对准的对准调整，在与所述第1处理完毕光学像不同的第2处理完毕光学像或带电粒子像上显示指针，能经由所述输入设备操作所述第2处理完毕光学像或者所述带电粒子像或所述指针来实施基于对准点指定的对准调整。

另外，在实施例中公开了对准调整方法，将由光学显微镜拍摄的保持了样品的样品台的光学像存储在带电粒子束装置的存储部，将第1处理完毕光学像显示在带电粒子束装置的显示装置，该第1处理完毕光学像是通过数字处理对存储于所述存储部的所述光学像进行放大或缩小或视野变更而得到的，在所述第1处理完毕光学像上显示样品台对准用指示器，能经由输入设备操作所述第1处理完毕光学像或所述样品台对准用指示器来实施基于样品台对准的对准调整，将与所述第1处理完毕光学像不同的第2处理完毕光学像显示在所述显示装置，该第2处理完毕光学像是通过数字处理对存储于所述存储部的所述光学像进行放大或缩小或者视野变更而得到的，从照射光学系统对载置于至少二维移动的样品平台的所述样品台所保持的所述样品照射带电粒子束，由检测器检测从该样品放出的信息信号，将基于该信息信号形成的带电粒子像显示在所述显示装置，在与所述第1处理完毕光学像不同的第2处理完毕光学像或带电粒子像上显示指针，能经由所述输入设备操作所述第2处理完毕光学像或所述带电粒子像或所述指针来实施基于对准点指定的对准调整。

另外，在实施例中公开了，在实施了基于样品台对准的对准调整后，将比第1处理完毕光学像更放大的第2处理完毕光学像显示在所述显示装置，能实施基于对准点指定的对准调整。

另外，在实施例中公开了，所述样品台对准用指示器是模仿载置于所述样品平台的样品台的轮廓的形状，或者是能输入显示于所述第1处理完毕光学像的样品台的轮廓点的坐标的指针。

另外，在实施例中公开了，在所述样品平台载置了多个样品台的情况下，所述对准调整部能对各样品台实施基于所述样品台对准的对准调整以及基于所述对准点指定的对准调整。

另外，在实施例中公开了，在经由输入设备选择了所述多个样品台当中的给定的样品台的情况下，所述样品平台基于对该样品台施加的对准调整至少进行二维移动。

另外，在实施例中公开了，所述对准调整部基于某样品台的对准调整来辅助其他样品台的对准调整。

以下参酌附图来说明上述以及其他本发明的新的特征和效果。另外，在实施例中，作为带电粒子束装置的一例以扫描电子显微镜(SEM)为例进行说明，但本发明除了SEM以外，一般还能对外观检查装置、聚焦离子束装置或离子显微镜这样能在测量、检查以及加工中使用的带电粒子束装置应用。

实施例1

图1是扫描电子显微镜(SEM)的整体构成的概略图。本实施例的SEM大致由电子光学镜筒23、样品室12、以及其他控制系统构成。

首先，说明电子光学镜筒23。由电子枪1放出的一次电子束4被阳极2控制、加速，通过聚光透镜3以及物镜6会聚、照射在存在于样品平台9上的样品8。在一次电子束4的路径设置偏转器5。对偏转器5按照给定的设定倍率从偏转控制部10提供给定的偏转电流。由此，一次电子束4发生偏转，二维地扫描样品的表面。对样品照射电子束而产生的二次电子7被二次电子检测器13检测，并被放大器14放大。信息信号在变换成数字信号后作为图像数据存储在帧存储器等图像存储部15中。这时的图像信号显示在CRT或LCD等监视器17。

另外，也可以除了检测二次电子以外，还由给定的检测器检测反射电子、透过电子、特性X射线或激发光等的信息信号，并图像化。

样品平台9以三维移动(X，Y，Z)、倾斜(T)以及旋转(R)这5轴驱动。样品8载置在容纳于样品室12内的样品台上。样品台能通过样品平台9在XY平面内自由移动。SEM向对准点的视野移动通过样品平台9的移动来实施。通过平台控制部11对样品平台9进行控制，能将样品平台9定位到任意的位置。

电子光学镜筒23的各种动作条件被主控制部16(SEM控制部)控制。另外，在主控制部16连接起到SEM的管理控制台的作用的计算机18。在监视器17显示用于设定电子光学镜筒23的动作条件的GUI画面。装置用户操作与计算机18连接的鼠标20或键盘21等输入设备来在GUI画面设定SEM的动作条件。另外，SEM的动作条件设定还能使用专用操作面板22不经由GUI画面地执行。

图2是摄像机设备的概略图，表示摄像机设备24的构成。摄像机设备24在立足于能载置样品台的安装部的柱部将光学式摄像机与安装部正对地朝下配置。摄像机设备24将在单焦点透镜点取得的光学像经由计算机18显示在监视器17。存储介质19(数据库)具备非易失性存储器、硬盘等二次存储装置，对与由摄像机设备24取得的光学像数据、对准数据相关的信息进行存储、管理。

另外，也可以将光学式摄像机配置在样品室12内来拍摄载置于样品平台9的样品台。

要求在SEM像观察中掌握相对于样品整体以哪个位置作为观察对象。作为满足其的1个方法，有使用SEM像与光学像的对准在光学像上选择进行SEM像观察的样品上的位置、范围的方法。为了执行该方法，需要样品平台(SEM像)与光学像的对准调整(校正)。

图3是基于样品台对准的对准调整的说明图。在样品台对准中，用摄像机设备24拍摄样品台外形来取得光学像。所取得的光学像25经由计算机18显示在监视器17。在样品台对准的开始时间点，在监视器17显示模仿了样品台外形的点线圆27。然后，操作输入设备，将点线圆27放大/缩小/移动而匹配成与样品台外形重叠。由此，计算机18识别光学像25上的样品台的大小(D)和中心位置(C(Cx，Cy))。然后，根据作为已知存储于存储介质19的样品台的实际的大小(例如直径15mm)以及监视器17的纵横的分辨率(分别为h和w)来求取光学像25的正确的倍率、相当于监视器17的1像素的样品平台的移动量。

另外，并不限于点线圆，也可以匹配搭载于样品平台9的样品台而显示正方形或矩形等的点线。另外，也可以不挪动点线圆，或者与点线圆的操作相配合，通过对光学像一方进行变焦以及图像移位来进行对准调整。

图4是基于对准点指定的对准调整的说明图。在对准点指定中，用摄像机设备24拍摄样品来取得光学像。之后，将保持了样品的样品台载置在样品平台而取得样品的SEM像。所取得的光学像25和SEM像28经由计算机18并排显示在监视器17。然后，装置用户将在所取得的光学像25和SEM像28这两者中都能识别的样品上的有特征的部分作为对准点。移动指针来指定光学像25上的对准点(例如T1(T1x，T1y))，接着指定与其相当的SEM像28上的对准点(例如S(Sx，Sy))，将它们建立关联。对准点例如指定3点(第1点：T1(T1x，T1y)、第2点：T2(T2x，T2y)、第3点：T3(T3x，T3y))。由此，计算机18识别光学像25中的对准点间的距离、和与其相当的SEM像28中的各对准点间的平台坐标中的距离。根据这些关系求取相当于1像素的样品平台的移动量。

在此，通过将样品台对准中使用的光学像25进行变焦以及图像移位后得到的像用在对准点指定中，不将保持了样品的样品台从样品室取出，就能以样品台的外形和样品上的特征点双方为基准来调整对准。由于若样品台对准和对准点指定双方完成，则低倍率的光学像以及高倍率的光学像各自中的1像素下的平台移动量就得以确定，因此能匹配由装置用户指定的导航用光学像的倍率，对取得了调整数据的低倍率的光学像或高倍率的光学像进行放大、缩小或合成等来作成导航用光学像，并基于此来选择进行SEM像观察的样品上的位置、范围，使平台移动。另外，还能选择性地实施样品台对准和对准点指定来进行对准调整。

图5是将光学像切出并显示在GUI画面的情况的说明图，表示将由摄像机设备24取得的光学像变焦、缩小的方法。

通常，由摄像机设备24取得的光学像设为倍率是1倍来处理。将所取得的光学像的纵和横的分辨率分别设为H、W。在以B点(Bx，By)为变焦中心的情况下，若将切出后的纵和横的分辨率分别设为h、w，则切出起点(变焦后的左端的坐标A点(Ax，Ay))能以下式表征：

Ax＝Bx-(w/2)

Ay＝By-(h/2)

将这里求得的切出区域在GUI画面作为导航区域进行显示。如此，以由摄像机设备24取得的分辨率(基准图像)与显示在GUI画面的区域的比例进行变焦、缩小。

变焦步骤设为以维持纵、横的分辨率的方式进行切出的尺寸。例如，在图像显示区的纵横比为4：3且纵和横的分辨率分别为横：1280、纵：960的情况下成为：

切出横尺寸＝横分辨率-切出倍数×4

切出纵尺寸＝切出横尺寸×3÷4

这里所说的切出倍数，将切取横4像素、纵3像素的情况设为1。将切取横8(4×2)像素、纵6(3×2)像素的情况设为2。

另外，这时的变焦倍率成为：

倍率＝横分辨率÷切出横尺寸(＝纵分辨率÷切出纵尺寸)。

图6是进行图像移位的情况的说明图，表示使变焦视野移动的方法。对希望进行图像显示区上的视野移动的位置和距原始图像的中心坐标的移动距离进行计算，求取切出起点坐标，由此进行变焦视野的移动。

首先，对原始图像W×H的图像以中心点坐标(Bx×By)为中心进行变焦处理。将切出的区域显示在GUI画面的图像显示区(导航区域)。接下来，在图像显示区上指定希望作为变焦视野的中心的中心位置。指定方法例如是鼠标等。将该中心位置设为P(Px，Py)。为了使所指定的中心位置显示(图像移位)到图像显示区的中心，进行一次针对原始图像的换算。图像移位的处理如以下那样。

图7是求取图像移位后的中心坐标的流程图。作为步骤1，求取所指定的中心位置(图像移位后的中心坐标)的坐标与图像显示区的中心坐标的距离。作为步骤2，由于变焦倍率不改变，因此将求得的距离变换成原始图像W×H的像素值。最后，作为步骤3，根据求得的像素值来求取与原始图像W×H的中心点坐标之间的距离，将在原始图像W×H的中心点坐标上加上该距离后得到的坐标更新为新的中心点坐标，求得变焦视野的移动后的切出起点的坐标。如此，在原始图像的中心点坐标上加上变焦后的图像中的移位距离(偏移)的量，进而以原始的变焦倍率显示在图像显示区，由此进行图像移位。

若能进行图像移位，则在希望更正确地进行对准调整而进行了变焦的情况下，在变焦中心从对准点偏离且对准点从变焦视野离开时，也能将对准点显示在图像显示区来实施基于对准点指定的调整。

图8是样品偏离的情况下的光学像取得的说明图。有时由摄像机设备取得的光学像的中心会从样品的中心较大偏离。由于光学式变焦以光学像中心为基准进行放大，因此若该中心从样品的中心较大偏离，则在进行光学式变焦时，样品的中心就会从变焦视野离开。如果不采取措施，就不能将处于样品的中心附近的特征点指定为对准点。因此，由于通过进行图像移位而将样品的中心附近映出在变焦视野内，因此能将处于样品的中心附近的特征点指定为对准点，进而能保持不变地在样品室中放入样品的状态下继续进行SEM像观察。

根据本实施例，通过对从摄像机设备取得的光学像实施基于图像切出的变焦处理，从而满足了搭载变焦功能的摄像机设备相当的操作性。进而，通过利用切出的部分进行图像移位处理，从而即使发生摄像机设备的位置偏离，也能进行以样品的中心为基准的变焦处理。

根据本实施例，由于通过应用光学像的变焦处理以及图像移位处理，能对所取得的光学像以任意的位置为变焦中心进行放大，因此在将样品放入样品室并开始电子显微镜观察后，即使在判明变焦中心发生了偏离而希望重新取得光学像的情况下，也是不需要将样品从样品室取出就能顺畅地进行观察。因此，进行电子显微镜图像的观察的一系列操作中的吞吐量得到提升。特别，能使用相同的光学像准确地实施以低倍率的光学像中的样品台的外形为基准的样品台对准和以高倍率的光学像中的样品上的特征点为基准的对准点指定。

实施例2

在本实施例中说明如下情况：在具有多个样品台的多位固定器中，对各个样品台的每一者进行样品台对准和对准点指定，记录对准数据，对应于通过GUI选择出的样品台来调整对准。以下，以与实施例1的相异点为中心来进行说明。

在图9示出具有4个样品台的多位固定器的概略图。在圆形的多位固定器32以2行2列保持4个样品台31。在各个样品台31分别保持样品。配置于扫描电子显微镜的多位固定器32的大小、样品台的数目、各样品台的中心位置、各样品台的大小以及保持于各样品台的样品等信息存储在扫描电子显微镜的数据库中。

在图10示出多位固定器所涉及的GUI画面的说明图。在该GUI画面的左侧有SEM像的显示区域35，在右侧上部有光学像的显示区域36，在右侧下部有多位固定器的操作区域37。在多位固定器的操作区域37显示模仿配置于扫描电子显微镜的多位固定器的操作图像，通过用鼠标点击相当于样品台的部分，从而过渡到操作该样品台的模式。在SEM像的显示区域35以及光学像的显示区域36分别显示该样品台所涉及的SEM像以及光学像。

SEM像与光学像的对准调整如下那样进行。在将样品配置在多位固定器的各样品台后，由摄像机设备取得多位固定器的光学像。之后，将多位固定器放入样品室，进行真空排气而成为能进行SEM观察的状态。然后，在利用多位固定器的操作区域37选择了样品台后，选择样品台对准的开始，使显示于光学像的显示区域36的点线圆放大/缩小/移动，使其与样品台的光学像一致，来进行样品台对准。接下来，选择对准点指定的开始，使显示于光学像的显示区域36的光学像进行变焦、图像移位，显示样品上的有特征的部分。另外，在SEM像的显示区域35还显示样品上的相同的部分。然后，用鼠标点击各个图像上的特征点等来进行对准点指定。将该对准点指定实施给定次数(例如3次)，结束对准点指定。其结果，针对选择出的样品台的样品台对准和对准点指定完成，该调整数据与选择出的样品台建立关联地存储在数据库中。对准调整中使用的光学像以及SEM像、加速电压、平台坐标等观察条件也建立关联地存储在数据库中。另外，还能选择性地实施样品台对准和对准点指定中的任一者来进行对准调整。

接下来，在利用多位固定器的操作区域37选择了另一样品台后，同样地实施样品台对准和对准点指定，将该调整数据存储在数据库中。若对全部样品台实施了该一系列作业，针对多位固定器的对准调整就完成了。

另外，在设置于扫描电子显微镜的多位固定器为己知的情况下，基于存储于数据库中的多位固定器的大小、样品台的数目、各样品台的中心位置以及各样品台的大小等信息，将利用多位固定器的操作区域37选择出的样品台的光学像、SEM像以易于进行对准调整的视野(观察位置、倍率)显示在光学像的显示区域36、SEM像的显示区域35。由于能大幅节省点线圆的放大/缩小/移动、光学像的变焦、图像移位、以及SEM像的视野搜寻等的时间和精力，因此能高效地实施各样品台的对准调整。进而，在对一部分样品台结束了对准调整后，通过还使用其数据临时设定利用多位固定器的操作区域37选择出的样品台的光学像、SEM像的视野，从而随着对一部分样品台结束对准调整，能愈发高效地实施剩余的样品台的对准调整。

在SEM观察时，对应于利用多位固定器的操作区域37选择出的样品台，从数据库读入调整数据，实施对准调整，在此基础上，在光学像的显示区域36、SEM像的显示区域35显示光学像、SEM像。然后，通过用鼠标等点击光学像的显示区域36中的所期望的位置，从而该位置的SEM像就高精度地显示在SEM像的显示区域35。

另外，针对实施了一次对准调整的多位固定器，通过除了从数据库读出调整数据以外，还读出对准调整时的加速电压等观察条件，从而不进行对准调整就能进行观察。即使是从样品室取出了一次的多位固定器，也能在重新配置于样品室后尽快地进行观察。

另外，在图11示出具有14个样品台的多位固定器的概略图。在大致矩形状的多位固定器34将14个样品台33分成3行来保持。在第1行和第3行有5个样品台33，在第2行有4个样品台33，从左上到右下分配编号。如此，作为多位固定器，能利用各种形态的多位固定器。

根据本实施例，对保持于多位固定器的多个样品进行电子显微镜观察时的吞吐量得到提升。特别，不用在样品室外重新取得光学像，能高效地实施各样品台的样品台对准和对准点指定。另外，通过与平台(SEM像的视野)移动到在光学像上指定的位置的导航功能等联动，能谋求更进一步的操作性提升。

实施例3

在本实施例中，说明取代圆而移动调整3条直线的样品台对准。以下，以与实施例1以及2的相异点为中心进行说明。

图12是移动调整3条直线的样品台对准的说明图。在本实施例所涉及的样品台对准中，在光学像的坐标上观察到的斜率分别不同的已知的3条直线引导线65(65-1、65-2、65-3)如图12(a)所示那样重叠显示。因此，若使这3条直线引导线65-1、65-2、65-3在GUI画面60上适当地平行移动，就能在GUI画面60上即光学像61上形成以相互不同组合的2条直线引导线彼此的交点67(67-1、67-2、67-3)为顶点的多个相似形的三角形68。

能根据成为三角形的各顶点的交点67(67-1、67-2、67-3)各自的坐标，以单纯的计算自动地、高精度且迅速地取得光学像上的样品台像62的尺寸和中心位置、以及包含样品台像62的光学像61的摄像倍率。

另外，3条直线引导线65(65-1、65-2、65-3)优选如图12所示那样，以形成将样品台像62的圆形的轮廓S大致三分的点的方式来确定各直线引导线65的斜率。由此，由于不依赖于用户，将圆形的轮廓S沿着其长度方向大致三分的外切点66(66-1、66-2、66-3)成为用于取得测定基准点的基准，因此能取得更高精度的摄像倍率。

实施例4

在本实施例中，不是将圆匹配样品台外形，而是说明指定样品台外形的3点的样品台对准。以下，以与实施例1～3的相异点为中心进行说明。

图13是指定样品台外形的3点的样品台对准的说明图。在本实施例所涉及的样品台对准中，在GUI画面上显示通过鼠标等的操作而在GUI画面上自由移动的指针70，例如在包含具有圆形、长方形、平行四边形、正多边形这样的轮廓S的样品台像的光学像61上，通过将指针70移动到该轮廓形状S上并落下，从而直接在这些样品台像62的轮廓上将多个点设定为测定基准点。

根据本实施例，通过根据处于圆形、长方形、平行四边形或正多边形等给定的轮廓形状上的轮廓点71(71-1、71-2、71-3)各自的坐标来运算其中心，从而能以单纯的计算自动地以少的工时迅速取得光学像上的样品台像的尺寸和中心位置、以及包含样品台像的光学像61的摄像倍率。

标号的说明

1 电子枪

2 阳极

3 聚光透镜

4 一次电子束

5 偏转器

6 物镜

7 二次电子

8 样品

9 样品平台

10 偏转控制部

11 平台控制部

12 样品室

13 二次电子检测器

14 放大器

15 图像存储部

16 主控制部

17 监视器

18 计算机

19 存储介质

20 鼠标

21 键盘

22 专用操作面板

23 电子光学镜筒

24 摄像机设备

25 光学像

27 点线圆

28 SEM像

31 样品台

32 多位固定器

33 样品台

34 多位固定器

35 SEM像的显示区域

36 光学像的显示区域

37 多位固定器的操作区域

60 GUI画面

61 光学像

62 样品台像

65 直线引导线

66 切点

67 交点

68 三角形

70 指针

71 轮廓点

Claims (12)

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：

平台，其载置能保持样品的样品台，且能移动；

照射光学系统，其对所述样品照射带电粒子束；

检测器，其检测从所述样品放出的信号；

显示装置，其显示基于所述信号形成的带电粒子像；以及

光学显微镜，其拍摄所述样品台，

所述带电粒子束装置在对由所述光学显微镜拍摄的光学像进行变焦以及/或者移位后得到的第1处理完毕光学像上，显示模仿所述样品台的外形的指示器，能操作该指示器来实施第1对准调整，在对所述光学像进行变焦以及/或者移位后得到的第2处理完毕光学像以及所述带电粒子像上显示指针，能操作该指针实施第2对准调整。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

能在实施所述第1对准调整后实施所述第2对准调整。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在对由所述光学显微镜拍摄的光学像进行变焦后，通过将该变焦后的像移位来形成所述第1以及/或者第2处理完毕光学像。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在所述平台载置了多个样品台的情况下，能对各样品台实施所述第1以及/或者第2对准调整。

5.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在从所述多个样品台选择了给定的样品台的情况下，所述平台基于对该样品台施加的所述第1以及/或者第2对准调整来移动。

6.根据权利要求4所述的带电粒子束装置，其特征在于，

基于某样品台的对准调整来辅助其他样品台的所述第1以及/或者第2对准调整。

7.一种对准调整方法，是带电粒子束装置中的对准调整方法，其中，该带电粒子束装置具备：

平台，其载置能保持样品的样品台，且能移动；

照射光学系统，其对所述样品照射带电粒子束；

检测器，其检测从所述样品放出的信号；

显示装置，其显示基于所述信号形成的带电粒子像；和

光学显微镜，其拍摄所述样品台，

该对准调整方法的特征在于，

在对由所述光学显微镜拍摄的光学像进行变焦以及/或者移位后得到的第1处理完毕光学像上，显示模仿所述样品台的外形的指示器，能操作该指示器实施第1对准调整，在对所述光学像进行变焦以及/或者移位后得到的第2处理完毕光学像以及带电粒子像上显示指针，能操作该指针实施第2对准调整。

8.根据权利要求7所述的对准调整方法，其特征在于，

能在实施所述第1对准调整后实施所述第2对准调整。

9.根据权利要求7所述的对准调整方法，其特征在于，

在对由所述光学显微镜拍摄的光学像进行变焦后，通过将该变焦后的像移位来形成所述第1以及/或者第2处理完毕光学像。

10.根据权利要求7所述的对准调整方法，其特征在于，

在所述平台载置了多个样品台的情况下，能对各样品台实施所述第1以及/或者第2对准调整。

11.根据权利要求10所述的对准调整方法，其特征在于，

在从所述多个样品台选择了给定的样品台的情况下，所述平台基于对该样品台施加的所述第1以及/或者第2对准调整来移动。

12.根据权利要求10所述的对准调整方法，其特征在于，

基于某样品台的对准调整来辅助其他样品台的所述第1以及/或者第2对准调整。