DE112015007007T5 - Ladungsträgerstrahlvorrichtung, beobachtungsverfahren unter verwendung der ladungsträgerstrahlvorrichtung und programm - Google Patents

Ladungsträgerstrahlvorrichtung, beobachtungsverfahren unter verwendung der ladungsträgerstrahlvorrichtung und programm Download PDF

Info

Publication number
DE112015007007T5
DE112015007007T5 DE112015007007.9T DE112015007007T DE112015007007T5 DE 112015007007 T5 DE112015007007 T5 DE 112015007007T5 DE 112015007007 T DE112015007007 T DE 112015007007T DE 112015007007 T5 DE112015007007 T5 DE 112015007007T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
observation
image
observation position
display section
position display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE112015007007.9T
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Chiba
Yoshinobu Hoshino
Shigeru Kawamata
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi High Technologies Corp
Hitachi High Tech Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi High Technologies Corp, Hitachi High Tech Corp filed Critical Hitachi High Technologies Corp
Publication of DE112015007007T5 publication Critical patent/DE112015007007T5/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/29—Reflection microscopes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/202—Movement
    • H01J2237/20214—Rotation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/22—Treatment of data
    • H01J2237/221—Image processing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/2441—Semiconductor detectors, e.g. diodes
    • H01J2237/24415—X-ray
    • H01J2237/2442—Energy-dispersive (Si-Li type) spectrometer
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/24475—Scattered electron detectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/2448—Secondary particle detectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes
    • H01J2237/282—Determination of microscope properties
    • H01J2237/2823—Resolution

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung umfasst: ein optisches System, das eine auf einer Probenbühne montierte Probe mit einem Ladungsträgerstrahl bestrahlt; mindestens einen Detektor, der ein Signal detektiert, das von der Probe erzeugt wird; eine Bildgebungsvorrichtung, die ein Beobachtungsbild aus dem detektierten Signal erfasst; einen Mechanismus zum Ändern von Beobachtungspositionen in der Probe, der eine Bühne, die die Probenbühne verschiebt, und/oder einen Deflektor, der eine Bestrahlungsposition des Ladungsträgerstrahls ändert, aufweist; eine Anzeigeeinheit, die einen Bedienbildschirm anzeigt, der mit einem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt, der das Beobachtungsbild anzeigt, und einem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt, der eine Beobachtungsposition des Beobachtungsbildes anzeigt, versehen ist; und einen Controller, der eine Anzeigeverarbeitung des Bedienbildschirms steuert. Der Controller veranlasst, dass mehrere Beobachtungspositionsanzeigebilder bei unterschiedlichen Vergrößerungen basierend auf Vergrößerungen und Koordinaten, bei denen die Beobachtungsbilder erfasst werden, auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt überlagert und angezeigt werden.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Beobachtungstechnologie für eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung.
  • Stand der Technik
  • Eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung ist eine Vorrichtung, die eine Probe mit einem Ladungsträgerstrahl bestrahlt und eine Beobachtung durchführt, weshalb es notwendig ist, ein Beobachtungsobjekt in Unterdruck zu platzieren, um zu verhindern, dass Ladungsträger streuen. Daher ist eine Beobachtungsunterstützungsfunktion zum Anzeigen eines Bildes, das bei einer geringeren Vergrößerung als einer Beobachtungsvergrößerung aufgenommen wird, um eine Beobachtungsposition auf einer Probe zu identifizieren, falls es nicht möglich ist, die Beobachtungsprobe mit bloßem Auge zu erkennen, und zum Bereitstellen der Beobachtungsposition auf dem aufgenommenen Bild mit einer geringen Vergrößerung bekannt.
  • PTL1 und PTL 2 stellen für dieses technische Gebiet Stand der Technik dar. In PTL 1 wird eine Beschreibung von „Mitteln zum Anzeigen eines Beobachtungsrahmens, der einem optischen Bild einer Probe überlagert ist, und dergleichen“ geliefert. Zusätzlich offenbart PTL 2, dass „es möglich ist, ein arbeitendes Elektronenmikroskop bereitzustellen, das in der Lage ist, ein Bild mit sehr geringer Vergrößerung in einer kurzen Zeit und mit einer kleinen Speicherkapazität zu erhalten und eine Suche nach einem Sichtfeld durch Weitfeldbildbeobachtung durchzuführen, wobei während der Suche nach einem Sichtfeld ein Zustand herrscht, in dem es sogar bei der niedrigsten Vergrößerung nicht möglich ist, den gesamten Bereich einer Probe zu beobachten“.
  • Entgegenhaltungsliste
  • Patentdokument(e)
    • PTL 1: JP-A-10-3875
    • PTL 2: JP-A-7-130319
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Technisches Problem
  • Die Erfinder dieser Anmeldung haben als Ergebnis einer intensiven Untersuchung an einem Verfahren zum Identifizieren und Festlegen einer Beobachtungsposition einer Probe durch Intuition und mit hoher Genauigkeit in einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung die folgenden Ergebnisse erzielt.
  • Im Stand der Technik werden bei der Beobachtung unter Verwendung der Ladungsträgerstrahlvorrichtung die folgenden Verfahren als Mittel zum Identifizieren einer Beobachtungsposition einer Probe, die in einer Probenkammer in Unterdruck platziert ist, verwendet.
    1. (1) Bereitstellen eines Bildes mit einer geringen Vergrößerung und Darstellen einer Beobachtungsposition auf dem Bild mit geringer Vergrößerung.
    2. (2) Abbilden mehrerer Bilder mit geringer Vergrößerung und Darstellen von Beobachtungspositionen durch Umschalten der Bilder mit geringer Vergrößerung in Abhängigkeit von der Vergrößerung.
    3. (3) Erfassen von Bildern in einem bestimmten zusammenhängenden Bereich, Erzeugen eines Bildes mit geringer Vergrößerung durch Verbinden der Bilder und Darstellen einer Beobachtungsposition einer Probe.
  • Zum Beispiel liefert die Vorrichtung in PTL 1 eine Beobachtungsposition auf einer Probe durch Anzeigen eines Rahmens, der eine aktuelle Beobachtungsposition auf einem optischen Bild mit geringer Vergrößerung angibt. Die Vorrichtung in PTL 2 erfasst mehrere Bildern, während ein Aufnehmen und ein Bewegen der Bühne abwechselnd durchgeführt werden, und richtet schließlich die Bilder basierend auf der Koordinate aus, wodurch ein Bild mit geringer Vergrößerung für eine Suche nach einem Sichtfeld erzeugt wird.
  • Bei einem Verfahren zum Liefern des Bildes mit geringer Vergrößerung oder der Beobachtungsposition auf dem verbundenen Bild mit geringer Vergrößerung ist es jedoch schwierig, die Beobachtungsposition in einem Fall zu identifizieren, in dem sich eine Vergrößerung eines Sichtfeldes des optischen Bildes oder des verbundenen Bildes, das auf einem Bildschirm angezeigt wird, wesentlich von einer Vergrößerung eines Beobachtungsfeldes, in dem aktuell eine Beobachtung durchgeführt wird, unterscheidet. Zusätzlich ist auch bei einem Verfahren zum Liefern einer Beobachtungsposition durch Umschalten mehrerer Bilder mit geringer Vergrößerung ein Bild, auf dem die Beobachtungsposition angezeigt werden soll, in manchen Fällen nicht für die Vergrößerung, bei der das Bild aktuell beobachtet wird, geeignet.
  • Daher stellt die vorliegende Erfindung eine Technologie bereit, bei der es möglich ist, eine Beobachtungsposition auch dann zu liefern, wenn eine Vergrößerung, bei der eine aktuelle Beobachtung durchgeführt wird, (eine Vergrößerung eines Beobachtungsbildes) sich deutlich von einer Vergrößerung eines Bildes, auf dem die Beobachtungsposition angezeigt wird, unterscheidet.
  • Lösung für das Problem
  • Um ein solches Problem, wie es oben beschrieben ist, zu lösen, werden beispielsweise die in den Ansprüchen beschriebenen Konfigurationen herangezogen. Diese Anmeldung enthält eine Vielzahl von Mitteln, die das oben beschriebene Problem lösen, und als ein Beispiel davon ist eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung bereitgestellt, die Folgendes umfasst: ein optisches System, das eine auf einer Probenbühne montierte Probe mit einem Ladungsträgerstrahl bestrahlt; mindestens einen Detektor, der ein Signal detektiert, das von der Probe erzeugt wird; eine Bildgebungsvorrichtung, die ein Beobachtungsbild aus dem detektierten Signal erfasst; einen Mechanismus zum Ändern von Beobachtungspositionen in der Probe, der eine Bühne, die die Probenbühne verschiebt, und/oder einen Deflektor, der eine Bestrahlungsposition des Ladungsträgerstrahls ändert, aufweist; eine Anzeigeeinheit, die einen Bedienbildschirm anzeigt, der mit einem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt, der das Beobachtungsbild anzeigt, und einem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt, der eine Beobachtungsposition des Beobachtungsbildes anzeigt, versehen ist; und einen Controller, der eine Anzeigeverarbeitung des Bedienbildschirms steuert. Der Controller veranlasst, dass mehrere Beobachtungspositionsanzeigebilder bei unterschiedlichen Vergrößerungen basierend auf Vergrößerungen und Koordinaten, bei denen die Beobachtungsbilder erfasst werden, überlagert auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt und angezeigt werden.
  • Gemäß einem weiteren Beispiel wird ein Beobachtungsverfahren bereitgestellt, das unter Verwendung einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung durchgeführt wird, wobei das Verfahren Folgendes umfasst: einen Schritt des Bestrahlens einer auf einer Probenbühne montierten Probe mit einem Ladungsträgerstrahl durch ein optisches System; einen Schritt des Detektierens eines Signals, das von der Probe erzeugt wird, durch mindestens einen Detektor; einen Schritt des Erfassens eines Beobachtungsbildes aus dem detektierten Signal durch eine Bildgebungsvorrichtung; einen Schritt des Anzeigens eines Bedienbildschirms durch einen Controller auf einer Anzeigeeinheit, der mit einem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt, der das Beobachtungsbild anzeigt, und einem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt, der eine Beobachtungsposition des Beobachtungsbildes anzeigt, versehen ist; und einen Schritt des Überlagerns und Anzeigens mehrerer Beobachtungspositionsanzeigebilder bei unterschiedlichen Vergrößerungen auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt durch den Controller basierend auf Vergrößerungen und Koordinaten, bei denen die Beobachtungsbilder erfasst werden.
  • Gemäß einem nochmals weiteren Beispiel wird zusätzlich ein Programm bereitgestellt, das eine Informationsverarbeitungsvorrichtung, die eine Berechnungseinheit, eine Speichereinheit und eine Anzeigeeinheit enthält, dazu veranlasst, einen Prozess zum Anzeigen eines durch eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung erhaltenen Beobachtungsbildes auszuführen, wobei das Programm die Berechnungseinheit dazu veranlasst, Folgendes auszuführen: einen Anzeigeprozess des Anzeigens eines Bedienbildschirms auf der Anzeigeeinheit, der mit einem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt, der das Beobachtungsbild anzeigt, und einem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt, der eine Beobachtungsposition des Beobachtungsbildes anzeigt, versehen ist, und einen Anzeigeprozess des Überlagerns und Anzeigens mehrerer Beobachtungspositionsanzeigebilder bei unterschiedlichen Vergrößerungen auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt basierend auf Vergrößerungen und Koordinaten, bei denen die Beobachtungsbilder erfasst werden.
  • Vorteilhafte Effekte der Erfindung
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine Beobachtungsposition auch dann zu liefern, wenn eine Vergrößerung, bei der die aktuelle Beobachtung durchgeführt wird, (eine Vergrößerung eines Beobachtungsbilds) sich signifikant von einer Vergrößerung eines Bildes, auf dem die Beobachtungsposition angezeigt wird, unterscheidet. Zusätzliche Merkmale, die mit der vorliegenden Erfindung verbunden sind, werden in der Beschreibung der vorliegenden Patentschrift und begleitenden Merkmalen verdeutlicht. Zusätzlich werden weitere Probleme, Konfigurationen und Effekte neben denen in der obigen Beschreibung in der folgenden Beschreibung der Beispiele verdeutlicht.
  • Figurenliste
    • [1] 1 zeigt ein Beispiel einer schematischen Darstellung einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [2] 2 zeigt ein Beispiel einer Konfiguration zum Anzeigen einer Beobachtungsposition auf einem Bedienbildschirm der Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [3] 3 zeigt ein Beispiel der Konfiguration zum Anzeigen der Beobachtungsposition auf dem Bedienbildschirm der Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [4] 4 zeigt ein Beispiel der Konfiguration zum Anzeigen der Beobachtungsposition auf dem Bedienbildschirm der Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [5] 5 zeigt ein Beispiel der Konfiguration zum Anzeigen der Beobachtungsposition unter Verwendung mehrerer Bilder auf dem Bedienbildschirm der Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [6] 6 zeigt ein Beispiel der Konfiguration zum Anzeigen der Beobachtungsposition unter Verwendung der mehreren Bilder auf dem Bedienbildschirm der Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [7] 7 zeigt den Bedienbildschirm vor einer Drehoperation durch eine Bühne oder ein optisches System in dem Bedienbildschirm der Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [8] 8 zeigt den Bedienbildschirm, nachdem die Bühne die Orientierung der Probe gedreht hat, in dem Bedienbildschirm der Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [9] 9 zeigt den Bedienbildschirm nach der Drehoperation durch das optische System in dem Bedienbildschirm der Ladungsträgerstrahlvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [10] 10 zeigt ein Beispiel einer Basiskonfiguration eines Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [11] 11 ist eine Darstellung, die einen Betrieb eines Ablenkungsgradanzeigeindikators des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
    • [12] 12 zeigt ein Beispiel einer Konfiguration zum Anzeigen mehrerer Bilder, die durch verschiedene Bildgebungssysteme erhalten werden, in dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [13] 13 zeigt ein erstes Beispiel des Steuerns einer Vergrößerung eines Beobachtungsbildes und einer Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts in Verbindung miteinander.
    • [14] 14 zeigt das erste Beispiel des Steuerns der Vergrößerung des Beobachtungsbildes und der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts in Verbindung miteinander.
    • [5] 15 zeigt das erste Beispiel des Steuerns der Vergrößerung des Beobachtungsbildes und der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts in Verbindung miteinander.
    • [16] 16 zeigt ein zweites Beispiel des Steuerns der Vergrößerung des Beobachtungsbildes und der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts in Verbindung miteinander.
    • [17] 17 zeigt das zweite Beispiel des Steuerns der Vergrößerung des Beobachtungsbildes und der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts in Verbindung miteinander.
    • [18] 18 ist eine Ansicht, die eine weitere Konfiguration des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts in dem Bedienbildschirm gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
    • [19] 19 zeigt ein weiteres Beispiel eines Indikators der Beobachtungsposition auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt gemäß der vorliegenden Erfindung.
    • [20] 20 zeigt ein Beispiel des Anzeigens einer Positionsbeziehung zwischen Detektoren in einer Probekammer auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • Beschreibung von Ausführungsformen
  • Im Folgenden werden Beispiele der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die begleitenden Figuren beschrieben. Die begleitenden Figuren zeigen bestimmte Beispiele gemäß einem Prinzip der vorliegenden Erfindung; die Beispiele sind allerdings zum einfachen Verständnis der vorliegenden Erfindung beschrieben und werden nie dazu verwendet, die vorliegende Erfindung auf die Beschreibung zu einzuschränken.
  • Eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung beschleunigt Teilchen, die geladen sind (Ladungsträger), wie beispielsweise ein Elektron oder ein Kation mit einem elektrischen Feld und bestrahlt eine Probe. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung führt eine Beobachtung, Analyse, Verarbeitung oder dergleichen einer Probe unter Verwendung einer Wechselwirkung zwischen einer Probe und Ladungsträgern durch. Unten zu beschreibende Beispiele können auf ein Elektronenmikroskop, eine Elektronstrahlzeichenvorrichtung, eine lonenverarbeitungsvorrichtung, ein lonenmikroskop oder verschiedene Ladungsträgerstrahlvorrichtungen wie beispielsweise eine Beobachtungsinspektionsvorrichtung, die durch Anwenden der oben beschriebenen Vorrichtungen erhalten wird, angewendet werden.
  • [Erstes Beispiel]
  • 1 ist ein Beispiel einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung umfasst beispielsweise eine Probekammer 101, die einen Unterdruckzustand so aufrechterhält, dass ein Ladungsträgerstrahl nicht gestreut wird, ein optisches System 102, das letztlich Ladungsträgerstrahlen auf eine Probe 103 bündelt, einen Detektor 106, der ein Signal detektiert, das aus der Probe 103 erhalten wird, und eine Bildgebungsvorrichtung 110, die das durch den Detektor 106 detektierte Signal in ein Bild umwandelt.
  • Das optische System 102 umfasst eine Ladungsträgerquelle 141, einen Deflektor 108, eine Objektivlinse 142 und dergleichen. Das optische System 102 kann eine weitere Linse und eine Elektrode zusätzlich zu den oben beschriebenen Bestandteilen umfassen, wobei manche der Elemente anders sein können und eine Konfiguration des optischen Systems 102 nicht darauf beschränkt ist.
  • Die Bildgebungsvorrichtung 110 umfasst einen Speicher 151, der ein Signal speichert, das in dem Detektor 106 detektiert wird. Die Bildgebungsvorrichtung 110 wandelt das in dem Detektor 106 detektierte Signal in ein Bild um. Das durch die Bildgebungsvorrichtung 110 erfasste Bild wird an eine Steuer- und Recheneinheit 111 übermittelt und auf einer Anzeigeeinheit 112 angezeigt.
  • Die Steuer- und Recheneinheit 111 ist ein Controller, der verschiedene Bestandteile der Ladungsträgerstrahlvorrichtung in einem Beobachtungszustand, der von einem Anwender eingegeben wird, steuert und eine Anzeige der Beobachtungsergebnisse steuert. Die Steuer- und Recheneinheit 111 ist aus einer Informationsverarbeitungsvorrichtung wie etwa einem Computer ausgebildet. Zum Beispiel umfasst die Steuer- und Recheneinheit 111 eine CPU (auch als Prozessor bezeichnet) 113, eine Hauptspeichervorrichtung 114 als Speicher, eine Sekundärspeichervorrichtung 115 wie etwa ein HDD, eine Eingabeeinheit 116 wie etwa eine Tastatur und eine Maus, die Anzeigeeinheit 112 als eine Anzeige und eine Kommunikationseinheit (nicht gezeigt), die mit den Bestandteilen der Ladungsträgerstrahlvorrichtung kommuniziert.
  • Die Steuer- und Recheneinheit 111 ist in der Lage, ein Bild aus der Bildgebungsvorrichtung 110 und Informationen einer Beobachtungsposition aus einer Bühnensteuervorrichtung in einem Typ, der von einem Anwender betrachtet wird, auf der Anzeigeeinheit 112 anzuzeigen und das Bild und die Informationen in den Speichervorrichtungen 114 und 115 zu speichern. Um einen solchen Prozess durchzuführen, umfasst die Steuer- und Recheneinheit 111 eine Anzeigeverarbeitungseinheit 117, die einen Prozess des Anzeigens eines Bedienbildschirms auf der Anzeigeeinheit 112 durchführt, und eine Einstellungsverarbeitungseinheit 118, die verschiedene Beobachtungsbedingungen einstellt.
  • Der Prozess, der durch die Steuer- und Recheneinheit 111 ausgeführt wird kann durch Software ausgeführt werden. Zum Beispiel werden verschiedene Programme, die in der Sekundärspeichervorrichtung 115 gespeichert sind, in der Hauptspeichervorrichtung 114 entwickelt. Hier werden Programme, die der Anzeigeverarbeitungseinheit 117 und der Einstellungsverarbeitungseinheit 118 entsprechen, entwickelt. Zusätzlich wird ein Bild, das aus der Bildgebungsvorrichtung 110 eingegeben wird, temporär in der Hauptspeichervorrichtung 114 gespeichert. Die CPU 113 führt ein in die Hauptspeichervorrichtung 114 geladenes Programm aus.
  • Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung umfasst eine Probenbühne 104, auf der die Probe 103 montiert ist, eine Bühne 105, auf der die Probenbühne 104 angeordnet ist, und einen Deflektor 108, der eine Bestrahlungsposition der Ladungsträgerstrahlposition ändert, um die Beobachtungsposition zu ändern. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung kann die Bühne 105 und/oder den Deflektor 108 als Mechanismus zum Ändern der Beobachtungsposition umfassen.
  • Die Bühne 105 ist ein Mechanismus, der die Probenbühne 104 verschiebt, um die Beobachtungsposition zu ändern. Die Bühne 105 wird von der Bühnensteuervorrichtung 120 gesteuert. Die Bühnensteuervorrichtung 120 umfasst einen Controller 121, eine Ansteuereinheit 122 und eine Koordinatenspeichereinheit 123. Der Controller 121 steuert einen Betrieb der gesamten Bühnensteuervorrichtung 120. Die Ansteuereinheit 122 erzeugt ein Ansteuersignal und steuert die Bühne 105 an. Die Koordinatenspeichereinheit 123 speichert Bühnenkoordinaten. Der Controller 121 erhält Bühnenkoordinateninformationen aus der Koordinatenspeichereinheit 123 und übermittelt das Bühnenkoordinatenbild an die Steuer- und Recheneinheit 111. Auf diese Weise ist die Steuer- und Recheneinheit 111 in der Lage, die Koordinatenposition des aufgenommenen Bildes zu finden. Die Bühnenkoordinaten können in der Bühnensteuervorrichtung 120 gespeichert werden oder in der Steuer- und Recheneinheit 111 gespeichert werden.
  • Der Deflektor 108 wird von der Ablenkungssteuervorrichtung 130 gesteuert. Die Ablenkungssteuervorrichtung 130 umfasst einen Controller 131, eine Ansteuereinheit 132 und eine Koordinatenspeichereinheit 133. Der Controller 131 steuert einen Betrieb der gesamten Ablenkungssteuervorrichtung 130. Die Ansteuereinheit 132 erzeugt ein Ansteuersignal und steuert den Deflektor 108 an. Die Koordinatenspeichereinheit 133 speichert einen Ablenkungsgrad. Der Controller 131 erhält die Ablenkungsgradinformationen aus der Koordinatenspeichereinheit 133 und übermittelt die Informationen an die Steuer- und Recheneinheit 111. Auf diese Weise ist die Steuer- und Recheneinheit 111 in der Lage, herauszufinden, ob irgendwelche Koordinaten auf der Probe 103 mit dem Ladungsträgerstrahl bestrahlt werden. Der Ablenkungsgrad kann in der Ablenkungssteuervorrichtung 130 gespeichert werden oder in der Steuer- und Recheneinheit 111 gespeichert werden. Gemäß der Anordnung ist es möglich, die Position des erfassten Bildes und die Beobachtungsposition zu identifizieren.
  • 2 und 3 zeigen ein Beispiel des Bedienbildschirms, der auf der Anzeigeeinheit 112 angezeigt wird. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 der Steuer- und Recheneinheit 111 zeigt den Bedienbildschirm auf der Anzeigeeinheit 112 an. Im Folgenden wird ein Bild, das durch Bestrahlen der Probe 103 mit dem Ladungsträgerstrahl erhalten wird, als „Beobachtungsbild“ bezeichnet und ein Bild zum Identifizieren der Beobachtungsposition in der Probe 103 als „Beobachtungspositionsanzeigebild“ bezeichnet. In diesem Beispiel umfasst der Bedienbildschirm einen Bobachtungsbildanzeigeabschnitt 201, einen Beobachtungsbildimportierabschnitt 202, einen Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203, einen Beobachtungsvergrößerungs-Einstellungsabschnitt 205 und einen Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellabschnitt 206.
  • Der Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 ist ein Bereich zum Anzeigen des Beobachtungsbildes. Das Beobachtungsbild, das durch Bestrahlen der Probe 103 mit dem Ladungsträgerstrahl erhalten wird, wird über die Bildgebungsvorrichtung 110 in die Steuer- und Recheneinheit 111 eingespeist. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 zeigt das Beobachtungsbild auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 an. In einem Beispiel in 2 ist ein auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 angezeigtes Bild ein durch Aufnehmen der gesamten Probe 103 erhaltenes Bild mit niedriger Vergrößerung.
  • Der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 ist ein Bereich zum Anzeigen des Beobachtungspositionsanzeigebildes. Der Beobachtungsbildimportierabschnitt 202 ist eine Schnittstelle zum Importieren des Beobachtungspositionsanzeigebildes auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203. Hier klickt ein Anwender den Beobachtungsbildimportierabschnitt 202 unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 an, um das Beobachtungspositionsanzeigebild zu erhalten. Wenn sie die Eingabe empfängt, erhält die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 ein Bild, das auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 angezeigt wird, und das Bild wird auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt. Hierbei ist wie in 3 gezeigt das Beobachtungspositionsanzeigebild, das auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt wird, ein erstes Bild 204 mit einer niedrigen Vergrößerung.
  • Der Beobachtungsvergrößerungseinstellungsabschnitt 205 ist ein Schieberegler, durch den eine Vergrößerung des Beobachtungsbildes einstellbar ist. Der Beobachtungsvergrößerungseinstellungsabschnitt 205 kann die Vergrößerung des Beobachtungsbildes erhöhen oder verringern. 3 zeigt ein Beispiel, in dem der Anwender den Beobachtungsvergrößerungseinstellabschnitt 205 unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 nach Anzeigen des ersten Bildes 204 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 bedient und die Vergrößerung des Beobachtungsbildes erhöht wird.
  • Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 zeigt einen Beobachtungspositionsindikator 207 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 an, um die Identifikation der Beobachtungsposition zu unterstützen. In dem Beispiel in 3 wird eine Position des Bildes, das aktuell auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 angezeigt wird, auf dem ersten Bild 204 durch den Beobachtungspositionsindikator 207 angezeigt. In diesem Beispiel ist der Beobachtungspositionsindikator 207 ein Rahmen, der den Bereich eines Beobachtungsfeldes angibt.
  • Der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellungsabschnitt 206 ist eine Schnittstelle zum Einstellen der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 und kann verwendet werden, um in das Beobachtungspositionsanzeigebild hineinzuzoomen und daraus herauszuzoomen. Der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellungsabschnitt 206 kann in das erste Bild 204 hinein oder aus diesem herauszoomen. In dem Stand der Technik wird in einem Fall, in dem die Vergrößerung des Beobachtungsbildes erhöht wird, der Indikator der Beobachtungsposition auf dem Bild mit der geringen Vergrößerung verringert und daher ist es schwierig, einen Beobachtungsfeldbereich und die Beobachtungsposition zu finden. Zum Vergleich kann der Beobachtungsvergrößerungseinstellungsabschnitt 205 in diesem Beispiel die Vergrößerung des Beobachtungsbildes erhöhen, indem ein Knopf (Plus-Knopf) des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellabschnitts 206 so gedrückt wird, dass es möglich ist, in das Beobachtungspositionsanzeigebild zu zoomen. In Verbindung mit der Operation wird das Bild, das auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt wird, herangezoomt und der Beobachtungspositionsindikator 207 in einem Bereich des Beobachtungsfeldes wird vergrößert. Auf diese Weise kann der Anwender den Beobachtungsfeldbereich und die Beobachtungsposition mit Genauigkeit finden.
  • In diesem Beispiel kann der Beobachtungspositionsindikator 207 ein Rahmen sein, der denselben Bereich wie das Beobachtungsfeld angibt, oder kann ein Kreuzcursor sein. Der Beobachtungspositionsindikator 207 kann in der Lage sein, eine Beobachtungsposition zu identifizieren, oder kann eine andere Form haben. Zusätzlich wird hier als Beispiel der Beobachtungspositionsindikator 207 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt; der Beobachtungspositionsindikator wird jedoch möglicherweise nicht angezeigt.
  • In dem Beispiel zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das erste Bild 204 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 derart an, dass die mittlere Position des Beobachtungsbildanzeigeabschnitts 201 mit der mittleren Position des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 zusammenfällt. Wenn die Bühne 105 oder der Deflektor 108 zum Ändern der Beobachtungsposition gesteuert wird und die Beobachtungsposition geändert wird, verschiebt also die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das erste Bild 204 in dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 in Verbindung mit einer Änderung der Beobachtungsposition. In diesem Beispiel zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 immer die aktuelle Beobachtungsposition (Beobachtungspositionsindikator 207) an der mittleren Position des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 an. Als weiteres Beispiel wird das erste Bild 204 nicht verschoben und der Beobachtungspositionsindikator 207 kann in dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 in Verbindung mit der Steuerung der Bühne 105 oder des Deflektors 108 verschoben werden.
  • Zudem wird in dem Beispiel eine vorbestimmte Position auf dem ersten Bild 204 des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 angeklickt und dadurch kann sich das erste Bild zu der Beobachtungsposition, die der angeklickten Position entspricht, bewegen. Wenn Informationen über einen Klick an den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 empfangen werden, übermittelt die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 ein Steuersignal an die Bühnensteuervorrichtung 120 oder die Ablenkungssteuervorrichtung 130. Auf diese Weise bewegt sich das erste Bild zu der Beobachtungsposition, die der angeklickten Position entspricht. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 zeigt das Beobachtungsbild der Beobachtungsposition an, das nach der Verschiebung auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 erhalten wird, und das erste Bild 204 wird so verschoben, dass die angeklickte Position mit der Mitte des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 zusammenfällt. 4 zeigt einen Bedienbildschirm, der erhalten wird, nachdem die Beobachtungsposition festgelegt worden ist. Der Anwender klickt auf die Position 208 auf dem Bedienbildschirm in 3. Die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 überträgt das Steuersignal an die Bühnensteuervorrichtung 120 oder eine Ablenkungssteuervorrichtung 130, so dass die Position 208 mit der Beobachtungsposition zusammenfällt. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 zeigt das Beobachtungsbild der Beobachtungsposition auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 an und verschiebt das erste Bild 204 so, dass die angeklickte Position 208 mit der Mitte des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 zusammenfällt.
  • Es ist möglich, verschiedene Festlegungsverfahren als das oben beschriebene Festlegungsverfahren zu verwenden, solange es möglich ist, die Beobachtungsposition festzulegen. Das Festlegungsverfahren für die Beobachtungsposition kann ein Verfahren durch Klicken sein oder kann ein Verfahren zum Verschieben des ersten Bildes 204 durch Ziehen und Ablegen in Bezug auf den Beobachtungspositionsindikator 207 sein. Zusätzlich kann in einem Fall der Verwendung eines Berührungsfeldes das oben beschriebene Festlegungsverfahren eine Berührbedienung, eine Ziehbedienung oder dergleichen sein.
  • Zudem kann die Festlegung der Beobachtungsposition auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 durchgeführt werden. Zum Beispiel wird irgendeine Position auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 angeklickt. Die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 übermittelt das Steuersignal an die Bühnensteuervorrichtung 120 oder die Ablenkungssteuervorrichtung 130, so dass die angeklickte Position mit der Beobachtungsposition zusammenfällt (d. h., die angeklickte Position fällt mit der mittleren Position des Beobachtungsbildanzeigeabschnitts 201 zusammen). Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 zeigt das Beobachtungsbild der Beobachtungsposition auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 an und verschiebt das erste Bild 204 derart, dass die angeklickte Position mit der Mitte des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 zusammenfällt.
  • 5 und 6 stellen ein Beispiel dar, in dem mehrere Bilder in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 importiert werden. In dem Beispiel ist es möglich, die mehreren Bilder, die unterschiedliche Vergrößerungen aufweisen, in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 zu importieren. In dem Zustand in 3 klickt ein Anwender beispielsweise den Beobachtungsbildimportierabschnitt 202 unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 an. Zu diesem Zeitpunkt zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 ein zweites Bild 301 mit einer Beobachtungsvergrößerung, die höher ist als die des ersten Bildes 204, auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 an. Das zweite Bild 301 weist ein Sichtfeld auf, das schmaler ist als das des ersten Bilds 204; wenn jedoch die Bilder in dem gleichen Feldbereich verglichen werden, hat das zweite Bild 301 eine höhere Auflösung als das erste Bild 204 und wird zu einem Bild mit vielen Informationen. Wie oben beschrieben wird in einem Bereich, an dem der Anwender interessiert ist, ein Bild mit hoher Vergrößerung erhalten, und es ist möglich, das Bild als das Beobachtungspositionsanzeigebild zu importieren. Daher ist es möglich, eine Beobachtungspositionsanzeigekarte mit einer größeren Informationsmenge in dem Bereich, an dem der Anwender interessiert ist, zu erzeugen.
  • Das erste Bild 204 und das zweite Bild 301, die durch den Beobachtungsbildimportierabschnitt 202 importiert werden, werden in der Hauptspeichervorrichtung 114 oder einer Sekundärspeichervorrichtung 115 in einer den Koordinatenpositionen der Bilder zugeordneten Form gesammelt. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 überlagert mehrere Beobachtungspositionsanzeigebilder (das erste Bild 204 und das zweite Bild 301) mit unterschiedlichen Vergrößerungen und zeigt diese basierend auf der Verstärkung und den Koordinaten, an denen die Beobachtungsbilder (hier das erste Bild 204 und das zweite Bild 301) erfasst wurden, auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 an.
  • 5 veranschaulicht ein Beispiel, in dem der Anwender den Beobachtungsvergrößerungseinstellungsabschnitt 205 unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 bedient, nachdem das zweite Bild 301 in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 importiert wurde, und die Vergrößerung des Beobachtungsbildes erhöht wird. In dem Beispiel in 5 wird eine Position des Beobachtungsbildes, das aktuell auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 angezeigt wird, auf dem zweiten Bild 301 durch den Beobachtungspositionsindikator 207 angegeben.
  • 6 veranschaulicht ein Beispiel, in dem ein Knopf (Minus-Knopf) des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellungsabschnitts 206 gedrückt wird und aus dem Beobachtungspositionsanzeigebild (dem ersten Bild 204 und dem zweiten Bild 301) herausgezoomt wird. Das erste Bild 204 und das zweite Bild 301 werden auf einer Position, die der Koordinatenposition entspricht, basierend auf der Koordinatenposition während der Abbildung angezeigt. In dem Beispiel in 6 sind das erste Bild 204 und das zweite Bild 301 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 überlagert und angezeigt. Da das zweite Bild 301 das Bild mit hoher Vergrößerung ist, ist eine Anzeigegröße des zweiten Bildes 301 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt. 203 kleiner als eine Anzeigegröße des ersten Bilds 204. Hier überlagert die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das zweite Bild 301 mit der angepassten Größe und zeigt dieses an einer Position (Koordinatenposition) an, die dem ersten Bild 204 entspricht. In 5 und 6 ist ein Beispiel gezeigt, bei dem zwei Bilder mit unterschiedlichen Vergrößerungen während der Beobachtung in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 importiert werden; es ist jedoch unnötig zu erwähnen, dass drei oder mehr Bilder in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 importiert werden können.
  • Gemäß der oben beschriebenen Konfiguration ist es möglich, während der Anwender die Vergrößerung und die Beobachtungsposition des Beobachtungsbildes geeignet ändert, mehrere Bilder mit unterschiedlichen Vergrößerungen als das Beobachtungspositionsanzeigebild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 zu importieren. Es ist möglich, die Beobachtungsposition auf dem Bild (ersten Bild 204) mit der niedrigen Vergrößerung in einem Fall, in dem die Vergrößerung des Beobachtungsbildes niedrig ist, zu identifizieren, wohingegen es möglich ist, die Beobachtungsposition auf dem Bild (zweiten Bild 301) mit der hohen Vergrößerung in einem Fall, in dem die Vergrößerung des Beobachtungsbildes hoch ist, zu identifizieren.
  • Gemäß der oben beschriebenen Konfiguration kann der Anwender außerdem viele Bilder mit der hohen Auflösung in einem Bereich in der Nähe einer Struktur als Beobachtungsobjekt importieren, und somit werden viele Informationen erhalten. Andererseits kann in einem Bereich, in dem nur ein äußeres Erscheinungsbild der Probe 103 zu sehen ist, das Bild mit niedriger Auflösung importiert werden. Während der Anwender die Vergrößerung und die Beobachtungsposition des Beobachtungsbildes gemäß einem Beobachtungsobjekt des Anwenders in geeigneter Weise ändert, ist es daher möglich, eine Karte zum Identifizieren der Beobachtungsposition zu erzeugen. Da der Anwender ein Bild mit der hohen Auflösung möglicherweise nur in einem notwendigen Bereich importiert, ist es zudem möglich, den Nutzungsumfang des Bildspeichers zu reduzieren. Da die Menge der Bestrahlung der Probe 103 mit dem Ladungsträgerstrahl reduziert wird, ist es zudem möglich, die Beschädigung der Probe 103 zu verringern.
  • 7 bis 9 veranschaulichen ein Beispiel für den Fall der Verwendung einer Drehoperation durch die Bühne und das optische System. Die Bühne 105 hat zwei Achsen (eine X-Achse und eine Y-Achse), durch die eine Bewegung in einer Ebene durchgeführt wird, die orthogonal zu dem Ladungsträgerstrahl ist, und eine Achse (eine Z-Achse), die sich in einer Richtung (Vertikalrichtung) bewegt, in der die Probe 103 parallel zu dem Ladungsträgerstrahl liegt. Darüber hinaus weist die Bühne 105 eine Achse (T-Achse) der Neigung der Probe 103 mit einer zu dem Ladungsträgerstrahl senkrechten Achse als Mitte und eine Achse (R-Achse) der Drehung der Probe 103 um eine zu dem Ladungsträgerstrahl parallele Achse auf. Hier ist die Drehung auf der R-Achsen-Bühne in der Bühne 105 beschrieben.
  • Wenn die R-Achsen-Bühne so gedreht wird, dass eine Orientierung der Probe 103 gedreht wird, wird das Beobachtungsbild, das auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 angezeigt wird, gedreht. In Verbindung mit der Drehung dreht die Anzeigebearbeitungseinheit 117 das erste Bild 204 und das zweite Bild 301 um eine Koordinate (Bezugszeichen 401) einer Rotationsachse der R-Achsen-Bühne auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203. 7 zeigt einen Bedienbildschirm, der vor der Drehoperation durch die Bühne oder das optische System erhalten wird. 8 zeigt einen Bedienbildschirm, der erhalten wird, wenn der Drehvorgang von der R-Achsen-Bühne durchgeführt wird.
  • Zusätzlich enthält das optische System 102 einen Mechanismus, der eine Abtastrichtung des Ladungsträgerstrahls ändert. Daher ist es möglich, die Abtastrichtung des Ladungsträgerstrahls zu ändern und zu drehen und die Beobachtungsinformationen durch das optische System 102 anzuzeigen. 9 zeigt den Bedienbildschirm, der erhalten wird, wenn die Drehoperation von dem Deflektor 108 des optischen Systems 102 durchgeführt wird. In einem Fall, in dem das optische System 102 das Beobachtungsbild dreht, dreht die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das erste Bild 204 und das zweite Bild 301 in Verbindung mit der Drehung des Beobachtungsbildes um die Mitte (Bezugszeichen 402) des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203.
  • Wie oben beschrieben verschiebt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 in einem Fall, in dem die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Beobachtungsposition durch die Bühne 105 oder den Deflektor 108 verschiebt, das erste Bild 204 und das zweite Bild 301 in Verbindung mit der Bewegung der Beobachtungsposition.
  • Gemäß der oben beschriebenen Konfiguration stimmt eine Orientierung der Bilder (des ersten Bildes 204 und des zweiten Bildes 301) des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 immer mit derjenigen des Beobachtungsbildanzeigeabschnitts 201 überein. Daher kann der Anwender die Orientierung der Probe 103 mit Intuition finden und die Bedienbarkeit verbessert sich.
  • 10 zeigt ein Beispiel des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203. In 10 sind die gleichen Bezugszeichen den gleichen Bestandteilen wie jenen in 2 und 3 zugeordnet und deren Beschreibung wird weggelassen.
  • In der Konfiguration ist eine Positionsbeziehung zwischen der Probe 103 und. der Probenbühne 104 unklar. Wenn das Beobachtungspositionsanzeigebild in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 importiert wird, ist zudem die Position der Probe 103 in der Probenkammer 101 unklar. Folglich werden eine Probenbühnensimulationsfigur 501 und eine Probenkammerquerschnittsimulationsfigur 502 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt. Auf diese Weise ist es, bevor das Beobachtungpositionsanzeigebild in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 importiert wird, möglich, die Position der Probe 103 in der Probenkammer 101 und eine Positionsbeziehung zwischen der Probenbühne 104 und der Beobachtungsprobe im Wesentlichen herauszufinden.
  • Zudem ändert die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 eine Größe der Probenbühnensimulationsfigur 501 durch Verknüpfen mit einer Größe der Probenbühne 104 und zeigt die Figur auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 an. Daher ist es möglich, eine Positionsbeziehung zwischen der Probenbühne und der Probe 103 in der Probenkammer 101 herauszufinden.
  • Wenn in dem Beispiel die Bühnensteuervorrichtung 120 die Bühne 105 verschiebt, verschiebt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Probenbühnensimulationsfigur 501 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 in Verbindung mit der Verschiebung der Bühne 105. Auf diese Weise kann der Anwender die während der Beobachtung erhaltene Positionsbeziehung in Echtzeit finden.
  • Zusätzlich wird eine beliebige Position des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 angeklickt und dadurch kann die Bühne 105 in die angeklickte Position bewegt werden. Wenn Informationen über einen Klick an dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 empfangen werden, übermittelt die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 ein Steuersignal an die Bühnensteuervorrichtung 120. Die Probenbühnensimulationsfigur 501 des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 kann durch Ziehen und Ablegen verschoben werden und dadurch kann die Bühne 105 bewegt werden. Die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 übermittelt das Steuersignal an die Bühnensteuervorrichtung 120, so dass die Position der Probenbühnensimulationsfigur 501 nach dem Ziehen und Ablegen mit der Position der Bühne 105 zusammenfällt. Gemäß der oben beschriebenen Konfiguration ist es möglich, das Beobachtungsfeld durch Klicken oder Ziehen und Ablegen auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 zu ändern. Insbesondere in einem Fall, in dem viele Bilder und verschiedene Einstellungsabschnitte auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt werden, ist es vorteilhaft, in der Lage zu sein, die Beobachtungsposition durch Ziehen und Ablegen festzulegen.
  • Zudem zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 einen Mittenindikator 503 an, der eine Position angibt, die aktuell beobachtet wird. Der Anwender kann die genaue Beobachtungsposition mit dem Mittenindikator 503 identifizieren.
  • Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 steuert so, dass eine Größe des Beobachtungspositionsindikators 207 verringert wird, wenn die Vergrößerung des Beobachtungsbildes zunimmt. Außerdem steuert die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Größe des Beobachtungspositionsindikators 207, wenn die Vergrößerung des Beobachtungsbildes abnimmt.
  • Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 steuert durch den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellungsabschnitt 206 so, dass die Größe des Beobachtungspositionsindikators 207 erhöht wird, wenn die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 zunimmt. Zudem steuert die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 durch den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellungsabschnitt 206 so, dass die Größe des Beobachtungspositionsindikators 207 verringert wird, wenn die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 abnimmt. Gemäß der oben beschriebenen Steuerung ist es möglich, einen Sichtfeldbereich der aktuellen Beobachtungsposition mit Genauigkeit zu finden.
  • Wenn das Beobachtungspositionsanzeigebild in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 durch den Beobachtungsbildimportierabschnitt 202 importiert wird, passt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 so an, dass das importierte Beobachtungspositionsanzeigebild auf dem gesamten Bereich des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 angezeigt wird. Auf diese Weise ist es möglich, die aktuelle Beobachtungsvergrößerung und die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 unmittelbar nach dem Importieren des Bildes anzupassen. Diese Funktion macht es möglich, die genaue Beobachtungsposition zu finden, ohne die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 zu manipulieren. Zusätzlich ermöglicht es die Anpassung der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 dem Anwender, sofort festzustellen, welche Position auf der Probe 103 beobachtet wird.
  • In einem Fall, in dem die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 abnimmt und ein Bild in einem Zustand der hohen Beobachtungsvergrößerung erfasst wird, wird das Bild in dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 und 204 mit einer kleinen Größe dargestellt und dadurch verschlechtert sich die Sichtbarkeit. Wenn die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 abnimmt, kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 folglich das Bild in einem rechteckigen Rahmen anzeigen, der die gleiche Größe wie das Bild aufweist. In einem Fall, in dem nur die Position des importierten Bildes gefunden werden muss, ist eine Markierung nicht auf den Rahmen beschränkt, und eine Markierung wie etwa ein Punkt oder ein Kreis kann an der Position des Bildes angezeigt werden.
  • Wenn die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 abnimmt, kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 zudem das Bild so einstellen, dass es in einem Fall, in dem das Beobachtungspositionsanzeigebild kleiner als eine vorbestimmte Größe ist, nicht angezeigt wird. Zum Beispiel werden ein erstes Bild 511 und ein zweites Bild 512 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt. Hierbei ist das erste Bild 511 ein Bild mit hoher Vergrößerung, das erhalten wird, wenn die Beobachtung bei hoher Vergrößerung durchgeführt wird, und das zweite Bild 512 ein Bild mit geringer Vergrößerung, das erhalten wird, wenn die Beobachtung bei einer Vergrößerung durchgeführt wird, die niedriger als die des ersten Bildes 511 ist. Wenn die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 abnimmt, stellt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das erste Bild 511 in einem Fall, in dem das erste Bild 511 kleiner als die vorbestimmte Größe ist, so ein, dass es nicht angezeigt wird. Wenn andererseits die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 zunimmt, zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das erste Bild 511 erneut an.
  • Der Beobachtungsbildimportierabschnitt 202 kann wie in 10 dargestellt ein Knopf sein oder kann in einer anderen Form verwirklicht sein. Zum Beispiel kann der Beobachtungsbildimportierabschnitt 202 als eine Mausgeste oder eine andere Schnittstelle wie etwa eine Geste, die durch eine Funktion eines Berührungsmonitors ausgeführt wird, sein. Zudem kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 als weiteres Beispiel das Beobachtungsbild als das Beobachtungspositionsanzeigebild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 in Verbindung mit einer Operation des Aufnehmens des Beobachtungsbildes oder des Beendens der Anzeige des Beobachtungsbildes importieren. Als weiteres Beispiel kann das Beobachtungsbild in einem Beobachtungszustand, der vorab von einem Anwender festgelegt wurde, automatisch als das Beobachtungspositionsanzeigebild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 importiert werden.
  • Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann den Verlauf des Imports pflegen, der durch den Beobachtungsbildimportierabschnitt 202 durchgeführt wird. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 den Verlauf von Koordinaten, an denen das die Beobachtungspositionsanzeigebild importiert wird, pflegen und den Verlauf auf dem Bedienbildschirm anzeigen. Der Anwender kann Koordinaten, an denen das Beobachtungspositionsanzeigebild in der Vergangenheit importiert wurde, aus dem Verlauf festlegen. Wenn die Koordinaten festgelegt sind, steuert die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 so, dass die Beobachtungsposition auf die festgelegten Koordinaten verschoben wird. Auf diese Weise ist es möglich, zu bewirken, dass die Position, an der das Beobachtungspositionsanzeigebild importiert wird, wieder erscheint, und es ist möglich, ein Beobachtungspositionsanzeigebild leicht erneut abzubilden.
  • Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 führt eine Berechnung derart durch, dass das erste Bild 511 die gleiche Vergrößerung wie das zweite Bild 512 aufweist, und zeigt das erste Bild 511 und das zweite Bild 512, die nach der Berechnung erhalten werden, auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 an. Wie in 10 dargestellt ist, da das erste Bild 511 ein Bild ist, das bei der Vergrößerung erfasst wird, die höher als die des zweiten Bildes 512 ist, eine Anzeigegröße des ersten Bildes 511 kleiner als eine Anzeigegröße des zweiten Bildes 512 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203.
  • Wie oben beschrieben hat der Beobachtungsbildimportierabschnitt 202 die Funktion des Speicherns eines Beobachtungsbildes an einer beliebigen Position als das Beobachtungspositionsanzeigebild; jedoch ist der Beobachtungsbildimportierabschnitt nicht darauf beschränkt. Die Steuer- und Recheneinheit 111 kann die Bühnensteuerung oder den Bildspeicher wiederholen, so dass Beobachtungsbilder des gesamten Bereichs der Probenbühne 104 erfasst werden, und kann dann das Beobachtungspositionsanzeigebild erfassen. In dem Beispiel in 10 enthält der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 einen Importierabschnitt für zusammenhängende Bilder 504. Der Anwender klickt unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 auf den Importierabschnitt für zusammenhängende Bilder 504. Wenn die Steuer- und Recheneinheit 111 die Eingabe empfängt, steuert die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 die Bühne 105 oder den Deflektor 108 so, dass der gesamte Bereich der Probenbühne 104 abgebildet wird. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 ordnet mehrere aufgenommene Bilder auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 in Abhängigkeit von den Koordinaten der Positionen der Bilder an. Auf diese Weise ist es möglich, ein Weitbereichsbild mit der geringen Vergrößerung automatisch zu erfassen. Der Anwender kann einen Bereich festlegen, an dem der Anwender interessiert ist, während er das Weitbereichsbild beobachtet, ein Bild hoher Vergrößerung des Bereichs in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 importieren und eine Karte erzeugen, auf der das Bild hoher Vergrößerung dem Weitbereichsbild mit niedriger Vergrößerung überlagert ist. Der Import zusammenhängender Bilder kann kontinuierlich mit einer voreingestellten Vergrößerung durchgeführt werden, um die Bilder zu importieren, und die Bilder des gesamten Bereichs der Probe, die bei der Vergrößerung aufgenommen wurden, bei der die Beobachtung aktuell durchgeführt wird, können importiert werden.
  • In einem Fall, in dem das Beobachtungsbild nur basierend auf den Bühnenkoordinaten positioniert wird und der Ladungsträgerstrahl so abgelenkt wird, dass das Sichtfeld bewegt wird, werden eine Bühnenkoordinatenposition und. die Beobachtungsposition auf der Probe 103 wahrscheinlich zueinander verschoben. Um ein derartiges Problem zu lösen, enthält der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 in dem Beispiel in 10 einen Ablenkungsgradanzeigeindikator 505 und eine Ablenkungsaufhebungsfunktion 506.
  • In einem Fall, in dem eine Sichtfeldbewegung durch Ablenken des Ladungsträgerstrahls durchgeführt durch den Deflektor 108 durchgeführt wird, verschiebt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die vertikale Achse und die horizontale Achse des kreuzförmigen Ablenkungsgradanzeigeindikators 505, so dass dies der durch die Ablenkung bewirkten Sichtfeldbewegung entspricht. 11 ist eine Darstellung, die einen Betrieb des Ablenkungsgradanzeigeindikators 505 darstellt. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 verschiebt die vertikale Achse und die horizontale Achse des Ablenkungsgradanzeigeindikators 505 in Abhängigkeit von einem Ablenkungsgrad. Auf diese Weise ist es möglich, dem Anwender zu zeigen, wie stark die Bühnenposition und die Beobachtungsposition während der Beobachtung voneinander verschoben sind. Der Ablenkungsgradanzeigeindikator 505 muss nicht die Kreuzform aufweisen und kann eine andere Form wie etwa einen Kreis oder einen Punkt aufweisen. Der Ablenkungsgradanzeigeindikator 505 kann irgendeine Form haben, solange eine Richtung und eine Größe von einer Bezugsposition aus erkannt werden können.
  • In dem Beispiel in 10 fungiert die Ablenkungsaufhebungsfunktion 506 sowohl als ein Rahmen, der den Ablenkungsgradanzeigeindikator 505 angibt, als auch als ein Knopf zum Aufheben der Ablenkung des Ladungsträgerstrahls. In einem Fall, in dem der Anwender die Verschiebung zwischen der Bühnenposition und der Beobachtungsposition aufgrund der Ablenkung nicht wünscht, klickt der Anwender unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 auf die Ablenkungsaufhebungsfunktion 506. Wenn die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 die Eingabe empfängt, übermittelt die Einstellungsverarbeitungseinheit ein Steuersignal an die Ablenkungssteuervorrichtung 130, so dass die Ablenkung aufgehoben wird. Auf diese Weise wird der Ablenkungsgrad beseitigt, die Bühnenkoordinatenposition fällt mit der Beobachtungsposition zusammen und dadurch ist es möglich, eine Positionsverschiebung des importierten Bildes zu reduzieren.
  • In dem Beispiel ist das Beobachtungspositionsanzeigebild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 nur basierend auf den Bühnenkoordinaten angeordnet; dies ist jedoch keine Einschränkung. Die Steuer- und Recheneinheit 111 kann das Beobachtungspositionsanzeigebild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 in einem Koordinatensystem importieren, das unter Berücksichtigung des Ablenkungsgrads erhalten wird. In einem Fall einer solchen Konfiguration kann eine oben beschriebene Funktion, die sich auf die Ablenkung bezieht, ebenfalls entfallen.
  • Zusätzlich enthält der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 einen Bewegungsbereichsrahmen 507. Der Bewegungsbereichsrahmen 507 repräsentiert eine Bewegungsgrenze der Bühne 105 in dem Beispiel. In einem Fall, in dem eine Außenseite eines Bewegungsbereichs der Bühne als ein Bewegungsziel festgelegt wird, ist ein Verfahren, eine Nachricht anzuzeigen, die angibt, dass sich die Bühne außerhalb des Bewegungsbereichs befindet, allgemein bekannt. Wenn in dem Beispiel in 10 das Ziehen und Ablegen der Probenbühnensimulationsfigur 501 zum Bewegen der Bühne durchgeführt wird, wird eine Beschränkung auferlegt, so dass die Probenbühnensimulationsfigur 501 nicht in der Lage ist, sich zu der äußeren Seite des Bühnenbewegungsbereichsrahmens 507 zu bewegen. Mit anderen Worten führt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 eine Steuerung derart durch, dass die Probenbühnensimulationsfigur 501 innerhalb des Bewegungsbereichsrahmens 507 bewegbar ist. Auf diese Weise entfällt eine unnötige Operation oder die Anzeige einer Fehlermeldung und somit ist es möglich, Zeit und Aufwand für den Anwender zu reduzieren. Es ist unnötig zu erwähnen, dass die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 eine Warnnachricht auf dem Bedienbildschirm zu einem Zeitpunkt des Ablegens ohne die Einschränkungsbeschreibung anzeigen kann.
  • Wie oben beschrieben ist es möglich, die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 unter Verwendung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellungsabschnitts 206 zu ändern. Beispielsweise zoomt in einem Fall, in dem die Beobachtungsposition durch weiteres Erhöhen der Vergrößerung identifiziert wird, der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellabschnitt 206 in das Beobachtungspositionsanzeigebild hinein. Zu dieser Zeit nimmt auch eine Anzeigegröße des Beobachtungspositionsindikators 207 zu. Die Änderung der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 muss nicht auf den Betrieb einer Konfiguration des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellungsabschnitts 206 beschränkt sein. Die Änderung der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 kann über ein Mausrad, eine Mausgeste oder eine andere Schnittstelle wie etwa eine Geste, die durch eine Funktion eines Berührungsmonitors durchgeführt wird, durchgeführt werden.
  • In dem Beispiel in 10 ist es möglich, die Koordinaten der Beobachtungsposition aufzuzeichnen. Daher weist der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 einen Koordinatenregistrierungsabschnitt 508 auf. Der Anwender klickt unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 auf den Koordinatenregistrierungsabschnitt 508. Wenn die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Eingabe empfängt, speichert die Anzeigeverarbeitungseinheit Informationen im Zusammenhang mit dem Beobachtungsbild mit den Koordinaten der Beobachtungsposition in die Hauptspeichervorrichtung 114 oder die Sekundärspeichervorrichtung 115. Hier sind registrierte Koordinaten Koordinaten der Mitte des Beobachtungsfeldes. Zusätzlich kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 eine Markierung einer Registrierungsposition auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 anzeigen. Wenn in diesem Fall die Beobachtungsposition bewegt wird, bewegt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungspositionsanzeigebild und die Markierung in einem Zustand, in dem die Positionsbeziehung zwischen ihnen aufrechterhalten wird. Die Einstellung des Beobachtungsbildes und die Koordinaten der Beobachtungsposition können in Verbindung mit einer festgelegten Kennung in der Hauptspeichervorrichtung 114 oder die Sekundärspeichervorrichtung 115 aufgezeichnet werden. Ein Fenster zum Festlegen der Koordinaten der Beobachtungsposition kann auf dem Bedienbildschirm angezeigt werden. In diesem Fall wird, wenn der Anwender eine Kennung der Koordinaten festlegt, das Beobachtungsfeld in eine Beobachtungsposition bewegt, die der Kennung entspricht. Als weiteres Beispiel kann dann, wenn die Markierung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 angeklickt wird, das Beobachtungsfeld in eine Koordinatenposition bewegt werden, die der Markierung entspricht.
  • Wenn die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 auf die hohe Vergrößerung eingestellt ist, ist die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 in einigen Fällen auf die niedrige Vergrößerung eingestellt, um herauszufinden, welcher Abschnitt auf der gesamten Probe 103 betrachtet wird. Um in diesem Fall die Vergrößerung in dem Ausmaß zu verringern, dass die gesamte Probe 103 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt wird, ist es notwendig, den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellungsabschnitt 206 mehrere Male anzuklicken. Der Anwender muss Zeit und Mühe für diesen Vorgang aufwenden. Daher enthält in dem Beispiel in 10 der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 einen Vergrößerungsänderungsabschnitt 509 zum Ändern der Vergrößerung auf eine vorgeschriebene Vergrößerung. Der Anwender klickt unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 auf den Vergrößerungsänderungsabschnitt 509. Wenn die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Eingabe empfängt, schaltet die Anzeigeverarbeitungseinheit die Vergrößerung auf die vorgeschriebene Vergrößerung, die durch den Anwender festgelegt ist, um. Zum Beispiel ist die Vergrößerung. bei der der gesamte Bereich der Probe angezeigt wird, im Voraus als vorgeschriebene Vergrößerung eingestellt. Auf diese Weise ist es durch einmaliges Klicken auf den Vergrößerungsänderungsabschnitt 509 möglich, sofort zu überprüfen, welcher Abschnitt auf der Probe 103 während der Beobachtung beobachtet wird. Daher verbessert sich die Anwenderfreundlichkeit.
  • Der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 kann die Funktion des Einstellens der vorgeschriebenen Vergrößerung des Vergrößerungsänderungsabschnitts 509 haben, während der Anwender den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 überprüft. Zum Beispiel kann eine Konfiguration verwendet werden, bei der der Anwender unter Verwendung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellungsabschnitts 206 in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 hineinzoomen oder aus diesem herauszoomen kann und die Vergrößerung unter Verwendung irgendeines Festlegungsverfahrens (z. B. Einstellen durch Rechtsklicken) als die vorgeschriebene Vergrößerung des Vergrößerungsänderungsabschnitts 509 festlegen kann, wenn die gewünschte Vergrößerung erreicht ist.
  • Zusätzlich enthält der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 einen Bühnendrehwinkelindikator 510. Der Bühnendrehwinkelindikator 510 gibt einen Drehwinkel an, der erhalten wird, wenn eine R-Achse so gedreht wird, dass eine Orientierung der Probe 103 gedreht wird. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 dreht den Bühnendrehwinkelindikator 510 um die Mitte des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 in Abhängigkeit von der Drehung der R-Achsen-Bühne. Auf diese Weise kann der Anwender den Drehwinkel der R-Achsen-Bühne leicht finden.
  • Wie in 10 dargestellt sind das erste Bild 511 und das zweite Bild 512 in einigen Fällen einander überlagert. In einem solchen Fall kann eine Vorne/Hinten-Beziehung des ersten Bildes 511 und des zweiten Bildes 512 in Abhängigkeit von den notwendigen Informationen umgeschaltet werden. Zum Beispiel wird in 10 das erste Bild 511 mit der hohen Vergrößerung vor dem zweiten Bild 512 mit der niedrigen Vergrößerung angezeigt. Auf diese Weise nimmt, da das Bild (erstes Bild 511 mit der hohen Vergrößerung) mit mehr Informationen vorne angezeigt wird, in dem Betrachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 selbst dann, wenn die Bilder das gleiche Sichtfeld haben, eine Informationsmenge zum Identifizieren der Beobachtungsposition immer zu, wenn ein Bild importiert und dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 überlagert wird. Die Vorne/Hinten-Beziehung der Bilder kann durch eine Bedingung geändert werden. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 in einem Fall der Probe 103, die mit der Zeit geändert wird, das zuletzt aufgenommene Bild vorne anzeigen. Auf diese Weise ist es möglich, die Beobachtungsposition aus einem Bild zu identifizieren, das einen Zustand nahe dem aktuellen Zustand der Probe 103 während der Beobachtung zeigt.
  • Außerdem kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 in Abhängigkeit von einem Beobachtungszustand der Ladungsträgerstrahlvorrichtung wie z. B. einem Grad des Unterdrucks, einer Beschleunigungsspannung und einem Strahldurchmesser auf der Probe die Vorne/Hinten-Beziehung mehrerer Bilder steuern. In einem Fall, in dem der Grad des Unterdruckes niedrig ist, wird ein Elektronenstrahl im Allgemeinen gestreut und ein Bild mit schlechter Sichtbarkeit erfasst. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 erfasst Informationen über den Grad des Unterdruckes als einen Beobachtungszustand. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann ein Bild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203, das importiert wird, wenn der Grad des Unterdruckes hoch ist, vor einem Bild, das importiert wird, wenn der Grad des Unterdruckes niedrig ist, anzeigen.
  • Als weiteres Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 vorzugsweise ein Bild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 vorne anzeigen, das importiert wird, wenn die Beschleunigungsspannung hoch ist. In diesem Fall kann der Anwender vorzugsweise das Bild mit hoher Auflösung sehen. Andererseits kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 vorzugsweise ein Bild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 vorne anzeigen, das importiert wird, wenn die Beschleunigungsspannung niedrig ist. In diesem Fall kann der Anwender vorzugsweise die Informationen auf einer vorderen Oberfläche der Probe sehen.
  • Es ist auch möglich, dieselben Effekte für den Strahldurchmesser auf der Probe zu erwarten. In einem Fall, in dem der Anwender vorzugsweise das Bild mit der hohen Auflösung anzeigen möchte, selbst wenn das Bild viel Rauschen aufweist, kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 vorzugsweise ein Bild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 vorne anzeigen, das importiert wird, wenn der Strahldurchmesser auf der Probe klein ist. Andererseits kann in einem Fall, in dem der Anwender vorzugsweise ein Bild anzeigen möchte, das weniger Rauschen aufweist und leichter gesehen werden kann, die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 vorzugsweise ein Bild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 vorne anzeigen, das importiert wird, wenn der Strahldurchmesser auf der Probe groß ist.
  • Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung kann mehrere Detektoren umfassen, die in 1 nicht dargestellt sind. In diesem Fall werden Beobachtungsbilder erfasst, während die mehreren Detektoren gewechselt werden. Da das Beobachtungspositionsanzeigebild nicht auf ein Signal eines spezifischen Detektors beschränkt ist, werden in einigen Fällen gleichzeitig Bilder, die durch mehrere Detektortypen erfasst werden, auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angeordnet. Wenn die Detektortypen unterschiedlich sind, unterscheiden sich die Erscheinungsbilder in einigen Fällen selbst dann deutlich voneinander, wenn dieselbe Probe detektiert wird. In diesem Fall entspricht das Beobachtungspositionsanzeigebild in einigen Fällen nicht dem Beobachtungsbild. Um ein derartiges Problem zu lösen, kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 vorzugsweise ein Bild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 vorne anzeigen, das von einem aktuell ausgewählten Detektor erfasst wird. Auf diese Weise sehen das Beobachtungsbild und das Bild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 ähnlich aus und können die genaue Beobachtungsposition zeigen.
  • Die Steuerung der oben beschriebenen Vorne/Hinten-Beziehung des Bildes kann automatisch durch die Steuer- und Recheneinheit 111 in Abhängigkeit von einem Beobachtungsobjekt und einem Zweck der Vorrichtung umgeschaltet werden oder durch den Anwender ausgewählt werden
  • Zudem ist ein Anzeigeverfahren für die Bilder auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 nicht auf die einfache Überlagerung der Bilder beschränkt. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 veranlassen, dass ein Bild vom Transmissionstyp vor den mehreren Bildern angezeigt wird. Gemäß diesem Verfahren kann der Anwender Informationen der Bilder auf der Rückseite sehen und es ist möglich, dem Anwender mehr Informationen zu zeigen.
  • Zudem kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 Pseudofarben zu den mehreren Bildern hinzufügen. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 in einem Fall von Bildern von Signalen, aus denen Zusammensetzungsinformationen erhalten werden, abhängig von der Zusammensetzung Pseudofarben zu den Bildern hinzufügen und die Bilder dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 überlagern. Auf diese Weise kann der Anwender nicht nur Informationen zu einer Form, sondern auch einen Unterschied in der Zusammensetzung auf einen Blick herausfinden und es ist somit möglich, dem Anwender mehr Informationen zu zeigen.
  • In einem Fall, in dem die Ladungsträgerstrahlvorrichtung die mehreren Detektoren umfasst, kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 zudem verschiedene Pseudofarben zu den Bildern hinzufügen, die als Reaktion auf Signale von verschiedenen Detektoren erhalten werden. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann die Bilder überlagern und anzeigen.
  • In einem Fall von Bildern von Signalen, die viel Kanteninformationen enthalten, kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 zudem Bilder erzeugen, die nur durch Auslesen von Randabschnitten erhalten werden und kann die mehreren Bilder, in denen die Kante hervorgehoben, dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 überlagern. Auf diese Weise verbessert sich die Sichtbarkeit in dem Bild.
  • In den oben beschriebenen Konfigurationen sind die Bilder beschrieben, die durch die Ladungsträgerstrahlvorrichtung erfasst werden, jedoch ist ein Bild, das für eine Beobachtungspositionsanzeige verwendet wird, nicht darauf beschränkt, ein Bild zu sein, das durch die Ladungsträgerstrahlvorrichtung erhalten wird, und kann ein Bild einer Beobachtungsprobe sein, beispielsweise ein Bild, das von einer Kamera, einem optischen Mikroskop, einem Fluoreszenzmikroskop, einem Lasermikroskop oder Röntgenstrahlen erhalten wird. Zudem kann nicht nur das erfasste Bild, sondern auch eine Konstruktionszeichnung wie beispielsweise eine CAD-Zeichnung kann als Beobachtungspositionsanzeige verwendet werden
  • 12 zeigt ein Beispiel, in dem ein Bild, das von einer optischen Kamera aufgenommen wurde, auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt wird. Zum Beispiel ist eine optische Kamera an einer oberen Seite der Probenkammer 101 angebracht (siehe 1). Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 erfasst ein optisches Bild 601, das von der optischen Kamera 143 aufgenommen wurde, und zeigt das optische Bild 601 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 an. Das Bild, das auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt wird, ist nicht auf ein von der Kamera aufgenommenes Bild beschränkt und kann irgendein Bild sein, das auf die Probe 103 bezogen ist. Beispielsweise kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 eine Zeichnung, die eine Form der Probe zeigt, oder ein Bild eines Signaltyps, der sich von einem für die Beobachtung verwendeten Signal unterscheidet, und/oder ein anderes Bild gemeinsam oder durch Umschalten anzeigen.
  • In dem Beispiel in 12 schneidet die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das optische Bild 601 auf der Grundlage der Form der Probenbühne 104 zu und zeigt das optische Bild 601 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 an. Gemäß der Konfiguration ist es möglich, unnötige Informationen auf einer äußeren Seite des Umrisses der Probenbühne 104 zu entfernen und dem Anwender eine Beobachtungsposition in einem Zustand zu zeigen, in dem sich die Probe der wirklichen Probe nahe kommt. Das optische Bild 601 kann der Probenbühnensimulationsfigur 501 in 10 überlagert sein. Zudem kann als weiteres Beispiel die Probenbühnensimulationsfigur 501 durch das optische Bild 601 ersetzt sein.
  • Auf diese Weise kann der Anwender, bevor die Beobachtung durch die Ladungsträgerstrahlvorrichtung durchgeführt wird, wesentliche Informationen über die gesamte Probe herausfinden. Der Anwender kann einen Bereich festlegen, an dem der Anwender interessiert ist, während er das optische Bild 601 der gesamten Probe betrachtet, und Beobachtungsbilder des Bereichs auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 importieren. Auf diese Weise ist es möglich, eine Karte zu erzeugen, auf der das Beobachtungsbild dem optischen Bild 601 überlagert ist.
  • Wenn ein Farbbild wie etwa ein optisches Bild in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 importiert wird und digital hineingezoomt wird, tritt das Problem auf, dass nicht nur das Bild verschwommen ist, sondern auch Farben. Wenn die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 einen Schwellenwert überschreitet, kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 daher ein Farbbild durch ein Graustufenbild ersetzen. Auf diese Weise ist es möglich, das Heranzoomen der Anzeige ohne Verschlechterung der Sichtbarkeit durchzuführen.
  • 13 bis 15 veranschaulichen ein erstes Beispiel des Steuerns der Vergrößerung des Beobachtungsbildes und der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 in Verknüpfung miteinander. Der Bedienbildschirm umfasst einen Vergrößerungsverknüpfungsfunktions-Ausführungsabschnitt 701. Der Vergrößerungsverknüpfungsfunktions-Ausführungsabschnitt 701 wird verwendet, um die Vergrößerung des Beobachtungsbildes auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 und die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 anzugleichen. In dem Zustand in 13 klickt der Anwender den Vergrößerungsverknüpfungsfunktions-Ausführungsabschnitt 701 unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 an. Wenn die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 die Eingabe empfängt, steuert die Einstellungsverarbeitungseinheit die Bestandteile der Ladungsträgerstrahlvorrichtung derart, dass die Vergrößerung des Beobachtungsbildes der Vergrößerung des Anzeigepositionsanzeigeabschnitts 203 entspricht. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 zeigt das Beobachtungsbild, das nach der Vergrößerungskorrektur erhalten wird, auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 an (14). Gemäß der Funktion ist es möglich, die Beschädigung der Probe während der Suche nach der Beobachtungsposition zu verringern. Nachdem die Beobachtungsposition in dem Zustand in 14 im Wesentlichen bestimmt ist, kann der Anwender zudem eine detaillierte Beobachtungsposition bestimmen, wie es in 15 dargestellt ist.
  • 16 und 17 zeigen ein zweites Beispiel des Steuerns der Vergrößerung des Beobachtungsbildes und der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 in Verknüpfung miteinander. 17 zeigt einen Zustand, in dem die Vergrößerung des Beobachtungsbildes gegenüber dem Zustand in 16 erhöht ist. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 führt eine Steuerung derart durch, dass die Vergrößerung des Beobachtungsbildes und die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 relativ zueinander konstant sind. In dem Beispiel wird unabhängig von der Vergrößerung des Beobachtungsbildanzeigeabschnitts 201 der Beobachtungspositionsindikator 207 so angezeigt, dass er eine konstante Anzeigegröße aufweist. In einem Zustand, in dem die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 geringfügig niedriger ist als die Vergrößerung des Beobachtungsbilds auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201, zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungspositionsanzeigebild an. Gemäß der Konfiguration besteht keine Notwendigkeit, die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 anzupassen, und somit ist es möglich, die von dem Anwender durchgeführte Bedienung zu vereinfachen. Der Bedienbildschirm enthält einen Vergrößerungsverknüpfungsfunktions-Ausführungsabschnitt 801, mit dem es möglich ist, die oben beschriebene Steuerung auf Aktivierung/Deaktivierung umzuschalten. Auf dem Vergrößerungsverknüpfungsfunktions-Ausführungsabschnitt 801 ist es möglich, die Steuerung auf Aktivierung/Deaktivierung umzuschalten; die oben beschriebene Steuerung kann jedoch immer aktiviert sein.
  • 18 stellt den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 mit einer Konfiguration dar, die gegenüber der Konfiguration in 10 weiter erweitert ist. Der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 enthält eine Beobachtungsbild-Nichtanzeigefunktion 901 und eine Z-Richtungs-Bildwechselfunktion 902. Die Beobachtungsbild-Nichtanzeigefunktion 901 ist eine Funktion zum Umschalten der Bestrahlung mit dem Ladungsträgerstrahl auf die Probe 103 auf Aktivierung/Deaktivierung. Der Anwender klickt unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 auf den Vergrößerungsverknüpfungsfunktions-Ausführungsabschnitt 701. Wenn die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 die Eingabe empfängt, steuert die Einstellungsverarbeitungseinheit die Bestrahlung mit dem Ladungsträgerstrahl. Zum Beispiel kann das Anlegen einer Spannung an die Ladungsträgerquelle (z. B. eine Elektronenkanone) beendet werden oder der Deflektor 108 derart gesteuert werden, dass die Probe 103 nicht mit dem Ladungsträgerstrahl bestrahlt wird. Wenn beispielsweise ein Bestrahlungszustand mit dem Ladungsträgerstrahl aufrechterhalten wird, wenn die Beobachtungsposition positioniert ist, erhöht sich der Schaden an der Probe. Daher kann der Anwender veranlassen, dass die Beobachtungsbild-Nichtanzeigefunktion 901 aktiviert wird. In diesem Fall wird das Beobachtungsbild auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 nicht angezeigt, sondern nur der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203. Auf diese Weise ist es möglich, ohne unnötige Beschädigung der Probe in die Beobachtungsposition zu gelangen. Insbesondere ist die Konfiguration besonders für eine Vorrichtung wirksam, die einen Strahl, der einen großen Einfluss auf die Probe hat, wie etwa einen fokussierten lonenstrahl verwendet.
  • Zudem ist die Z-Richtungs-Bildumschaltfunktion 902 eine Funktion zum Hierarchisieren des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 und zum Umschalten der Anzeige für jede Hierarchie. Zum Beispiel kann das Beobachtungspositionsanzeigebild für jede Beschleunigungsspannung importiert werden und mehrere Beobachtungspositionsanzeigebilder können hierarchisiert werden, um in der Hauptspeichervorrichtung 114 oder der Sekundärspeichervorrichtung 115 gesammelt zu werden. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 zeigt die mehreren hierarchisierten Beobachtungspositionsanzeigebilder in Abhängigkeit von einer Bedienung eines Knopfes der Z-Richtungs-Bildumschaltfunktion 902 an. Wenn z. B. ein Aufwärtsknopf der Z-Richtungs-Bildumschaltfunktion 902 angeklickt wird, zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungspositionsanzeigebild an, das in einer Hierarchie darüber ist. Gemäß der Konfiguration ist es möglich, Informationen auf Information en zu der Oberfläche der Probe und Informationen zu dem Inneren der Probe umzuschalten. In einem Fall, in dem die Beobachtung durchgeführt wird, während die Oberfläche durch Schneiden der Probe mit dem fokussierten lonenstrahl oder einem Diamantmesser aufgeschürft wird, werden die Beobachtungspositionsanzeigebilder erfasst, bevor die Probe 103 bearbeitet wird, und die Bilder werden hierarchisch angeordnet und gespeichert. Gemäß der Konfiguration ist es, während die Probe 103 bearbeitet wird, möglich, die Struktur, die bereits beseitigt worden ist, wieder auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 zu überprüfen.
  • Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann die Anzeige und die Nicht-anzeige des Beobachtungspositionsanzeigebildes in Abhängigkeit von dem Beobachtungszustand (einem Wert der Beschleunigungsspannung, dem Grad des Unterdrucks, einem Detektor oder dergleichen) umschalten. In diesem Fall kann das Beobachtungspositionsanzeigebild in der Hauptspeichervorrichtung 114 oder der Sekundärspeichervorrichtung 115 im Zusammenhang mit dem Beobachtungszustand gesammelt werden. Zudem kann der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 ein Eingabeformular zum Festlegen des Beobachtungszustandes enthalten.
  • Das Beobachtungspositionsanzeigebild und die Koordinateninformationen des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203, die in 2 bis 18 beschrieben sind, können reproduziert werden, ohne die Ladungsträgerstrahlvorrichtung zu verwenden, nachdem die Beobachtung durch die Vorrichtung durchgeführt wurde. Zum Beispiel kann auf das Beobachtungspositionsanzeigebild und die Koordinateninformationen, die in der Sekundärspeichervorrichtung 115 gesammelt sind, durch eine andere Vorrichtung als die Ladungsträgerstrahlvorrichtung Bezug genommen werden. Auf diese Weise ist es in einem Fall, in dem ein Anwender später die Beobachtung durchführen möchte, nicht notwendig, die Ladungsträgerstrahlvorrichtung zu verwenden, und es ist möglich, die Beobachtung durch die Ladungsträgerstrahlvorrichtung pseudomäßig durchzuführen.
  • Der Beobachtungspositionsindikator 207, der in 1 und 2 beschrieben ist, ist an einer Position angeordnet, die auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 fixiert ist; der Indikator ist jedoch nicht auf die Konfiguration beschränkt. 19 zeigt eine weitere Konfiguration des Beobachtungspositionsindikators 207. Wie in 19 dargestellt kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 den Beobachtungspositionsindikator 207 in Verbindung mit der Bewegung der Beobachtungsposition auf eine entsprechende Beobachtungsposition bewegen. Eine Beziehung zwischen den Vergrößerungen und den Koordinaten des Beobachtungsbildanzeigeabschnitts 201 und des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 wird aufrechterhalten; der Beobachtungspositionsindikator 207 kann in einer anderen Form angezeigt werden.
  • [Zweites Beispiel]
  • 20 zeigt ein Beispiel, in dem eine Positionsbeziehung zwischen mehreren Detektoren auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt wird. In dem Beispiel enthält die Ladungsträgerstrahlvorrichtung einen energiedispersiven Röntgenspektrometrie-Detektor (EDX-Detektor), einen Detektor für reflektierte Elektronen, einen Sekundärelektronendetektor, und eine Kamera. Eine erste Detektorpositionsanzeige 1101, eine zweite Detektorpositionsanzeige 1102, eine dritte Detektorpositionsanzeige 1103 und eine Kamerapositionsanzeige 1104 werden auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt. Die erste Detektorpositionsanzeige 1101 stellt eine Position des in der Probenkammer 10f angeordneten EDX-Detektors dar. Die zweite Detektorpositionsanzeige 1102 stellt eine Position des in der Probenkammer 101 angeordneten Detektors für reflektierte Elektronen dar und hat zudem eine Funktion zum Umschalten der Signale der Beobachtungsbilder. Die dritte Detektorpositionsanzeige 1103 stellt eine Position des in der Probenkammer 101 angeordneten Sekundärelektronendetektors dar und hat auch eine Funktion zum Umschalten der Signale der Beobachtungsbilder. Die Kamerapositionsanzeige 1104 stellt eine Position der Kamera zum Beobachten des Inneren der Probenkammer dar und hat auch eine Funktion zum Umschalten eines Signals auf ein Kameravideo.
  • Wenn der Anwender beispielsweise unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 auf die zweite Detektorpositionsanzeige 1102 klickt, schaltet die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungsbild auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 als Antwort auf ein Signal von dem Detektor für reflektierte Elektronen auf ein Beobachtungsbild um. Wenn andererseits der Anwender unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 auf die Kamerapositionsanzeige 1104 klickt, schaltet die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungsbild auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 auf ein Bild von der Kamera um. Wie oben beschrieben ist es möglich, das Beobachtungsbild unter Verwendung von Markierungen der mehreren Detektoren und der Kamera in dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 umzuschalten.
  • Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann einen aktuell ausgewählten Detektor und einen nicht ausgewählten Detektor in verschiedenen Anzeigeformen anzeigen. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 den aktuell ausgewählten Detektor und den nicht ausgewählten Detektor in verschiedenen Farben anzeigen. Auf diese Weise kann der Anwender herausfinden, welcher Detektor ein Detektionssignal ausgibt, als Antwort auf das das aktuelle Beobachtungsbild erhalten wird.
  • Das Bild von der Kamera zum Beobachten des Inneren der Probenkammer kann auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 angezeigt werden oder kann als eine Hilfsfunktion auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angezeigt werden.
  • Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann abhängig von dem Beobachtungszustand eine Nachricht anzeigen, wenn Markierungen der mehreren Detektoren und der Kamera in dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 angeklickt werden. Zum Beispiel können die Detektoren einen Detektor umfassen, der in einem Zustand nicht verwendet werden kann. Zum Beispiel kann der Sekundärelektronendetektor in dem Elektronenmikroskop nicht in einem Niedervakuum verwendet werden. In einem Fall, in dem sich das Innere der Probenkammer 101 in einem Niedervakuum befindet und der Anwender unter Verwendung der Eingabeeinheit 116 auf die dritte Detektorpositionsanzeige 1103 klickt, zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 einen Zustandsanzeigeabschnitt 1105 an. Eine Nachricht wie „nicht verwendbar in Niedervakuum“ wird auf dem Zustandsanzeigeabschnitt 1105 angezeigt. Auf diese Weise ist es dann, wenn der Anwender versucht, einen Detektor auszuwählen, möglich, Gründe zu zeigen, warum der Detektor nicht verwendet werden kann. Ein Anwender, der mit der Vorrichtung nicht vertraut ist, kann den Zustand der Vorrichtung oder dergleichen leicht verstehen.
  • Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann einen aktuell auswählbaren Detektor und einen Detektor, der aktuell in dem Beobachtungszustand nicht auswählbar ist, in verschiedenen Anzeigeformen anzeigen. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 den aktuell auswählbaren Detektor und den Detektor, der aktuell in dem Beobachtungszustand nicht auswählbar ist, in verschiedenen Farben anzeigen.
  • Die erste Detektorpositionsanzeige 1101, die zweite Detektorpositionsanzeige 1102, die dritte Detektorpositionsanzeige 1103 und die Kamerapositionsanzeige 1104 können so gesteuert werden, dass sie immer eine Beziehung zu dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 aufrechterhalten. Zum Beispiel dreht die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 in einem Fall, in dem die R-Achsen-Bühne gedreht wird, das erste Bild 511 und das zweite Bild 512 und der den Bühnendrehwinkelindikator 510; die Positionsanzeigen 1101 bis 1104 werden jedoch nicht gedreht.
  • Auf der anderen Seite wird in einem Fall einer Abtastungstyp-Ladungsträgerstrahlvorrichtung eine Abtastrichtung gesteuert und dadurch ist es möglich, das Beobachtungsbild zu drehen. In diesem Fall dreht die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das erste Bild 511, das zweite Bild 512, den Bühnendrehwinkelindikator 510 und die Positionsanzeigen 1101 bis 1104 allesamt in Abhängigkeit von der Steuerung in der Abtastrichtung.
  • Im Folgenden werden Effekte der oben beschriebenen Beispiele beschrieben. Im Stand der Technik wird ein Verfahren zum Liefern des einen Bildes mit geringer Vergrößerung oder der Beobachtungsposition auf dem verbundenen Bild mit geringer Vergrößerung verwendet; es ist in einem solchen Verfahren jedoch schwierig, die Beobachtungsposition in einem Fall zu identifizieren, in dem sich die Vergrößerung des Sichtfeldes auf dem Bildschirm des Bildes mit geringer Vergrößerung oder des verbundenen Bildes deutlich von der Vergrößerung des Beobachtungsfeldes, in dem aktuell eine Beobachtung durchgeführt wird, unterscheidet. Zudem ist selbst bei einem Verfahren zum Liefern einer Beobachtungsposition durch Umschalten mehrerer Bilder mit geringer Vergrößerung ein Bild zum Anzeigen einer Beobachtungsposition in einigen Fällen nicht für die Vergrößerung geeignet, bei der das Bild aktuell beobachtet wird.
  • In dieser Hinsicht umfasst die Ladungsträgerstrahlvorrichtung mit der Beobachtungsunterstützungsfunktion des oben beschriebenen Beispiels das optische System 102, das die Beobachtungsprobe mit dem Ladungsträgerstrahl bestrahlt, der von der Ladungsträgerquelle erzeugt wird, die Probenbühne 104, auf der die Probe 103 montiert ist, die Bühne 105, die die Probenbühne bewegt, und den Deflektor 108, der die Ladungsträgerstrahl-Bestrahlungsposition ändert, den Detektor 106, der ein Signal detektiert, das von der Probe 103 durch Bestrahlung mit dem Ladungsträgerstrahl erzeugt wird, und die Bildgebungsvorrichtung 110, die das von dem Detektor 106 erfasste Signal in ein Bild umwandelt. Die mehreren Beobachtungspositionsanzeigebilder mit unterschiedlichen Vergrößerungen werden auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203, der hinein- und herauszoomen kann, basierend auf einem Vorrichtungskoordinatensystem während des Aufnehmens angezeigt. Auf diese Weise ist es möglich, das Bild mit geringer Vergrößerung und das Bild mit hoher Vergrößerung auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 anzuzeigen. Zusätzlich ist es möglich, die Beobachtungsposition durch Heranzoomen und Herauszoomen aus dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 zu überprüfen. Auf diese Weise ist es möglich, die Beobachtungsposition selbst dann bereitzustellen, wenn die Vergrößerung, bei der die aktuelle Beobachtung erfolgt, (Vergrößerung des Beobachtungsbildes) sich wesentlich von der Vergrößerung des Bildes, das die Beobachtungsposition anzeigt, unterscheidet, und es ist möglich, dem Anwender die Position, an der die aktuelle Beobachtung durchgeführt wird, unabhängig von der Vergrößerung der Beobachtung zu zeigen.
  • Außerdem tritt bei einem Verfahren, bei dem eine Beobachtungsposition auf einem verbundenen Bild der zusammenhängenden Bilder eines Bereichs bereitgestellt wird, die Probe mit dem Ladungsträgerstrahl in Bezug auf Bereiche bestrahlt wird, ein Problem dahingehend auf, dass der Schaden an der Probe zunimmt, und ferner ein Problem dahingehend auf, dass ein Durchsatz verschlechtert wird, um die mehreren unnötigen Bilder aufzunehmen. In dieser Hinsicht ist es gemäß dem Beispiel deshalb, da die minimal notwendige Anzahl von Bildern, die benötigt werden, um die Beobachtungsposition bereitzustellen, erfasst werden kann, möglich, den Schaden an der Probe zu reduzieren. Da die minimal notwendige Anzahl von Bildern erfasst werden kann, verbessert sich außerdem der Durchsatz bei der Beobachtung.
  • Das oben beschriebene Beispiel weist die folgenden zusätzlichen Merkmale auf. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann eine Anzeigeposition des Beobachtungspositionsanzeigebilds auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 in Verknüpfung mit der Bewegung durch die Bühne 105 oder der Bewegung der Bestrahlungsposition des Ladungsträgerstrahls durch den Deflektor 108 bewegen. Auf diese Weise kann der Anwender die Änderung der Bestrahlungsposition auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 in Echtzeit überprüfen.
  • Zudem kann der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 eine Sichtfeldbewegungsfestlegung durch den Anwender empfangen. Wenn die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 die Sichtfeldbewegungsfestlegung empfängt, steuert die Einstellungsverarbeitungseinheit die Bühne 105 oder den Deflektor 108 derart, dass das Sichtfeld zu dem festgelegten Sichtfeld verschoben wird. Auf diese Weise ist es möglich, das Beobachtungsfeld auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 zu ändern, und somit verbessert sich die Bedienbarkeit.
  • Zudem umfasst die Bühne 105 die R-Achsen-Bühne. Wenn sich die Probenbühne 104 um die R-Achsen-Bühne dreht, dreht die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungspositionsanzeigebild unter Bezugnahme auf eine Drehmittenposition der R-Achsen-Bühne auf dem Beobachtungspositionsanzeigeäbschnitt 203. Auf diese Weise dreht sich das Beobachtungspositionsanzeigebild ähnlich wie das reale Beobachtungsbild und dadurch ist es für den Anwender leicht, die Beobachtungsposition auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 zu identifizieren.
  • Das optische System 102 hat in der Ladungsträgerstrahlvorrichtung zudem eine Funktion zum Ändern einer Abtastrichtung des Ladungsträgerstrahls und zum Drehen des Bildes. Wenn die Abtastrichtung des Ladungsträgerstrahls geändert wird, dreht die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungspositionsanzeigebild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 um die Beobachtungsposition herum. Auf diese Weise dreht sich das Beobachtungspositionsanzeigebild ähnlich wie das reale Beobachtungsbild und dadurch ist es für den Anwender leicht, die Beobachtungsposition auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 zu identifizieren.
  • Zudem zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Probenbühnensimulationsfigur 501 an, die die Probenbühne 104 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 simuliert. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 überlagert die Beobachtungspositionsanzeigebilder der Probenbühnensimulationsfigur 501 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 zeigt diese dort an. Auf diese Weise kann der Anwender einen Zustand des Inneren der Probenkammer 101 mit Intuition herausfinden.
  • Zusätzlich zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Probenkammerquerschnittsimulationsfigur 502 an, die den Querschnitt der Probenkammer auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 simuliert. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 überlagert die Probenbühnensimulationsfigur 501, die Probenkammerquerschnittssimulationsfigur 502 und die Beobachtungspositionsanzeigebilder auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 zeigt diese dort an. Auf diese Weise ist es möglich, dem Anwender auf intuitive Weise die Position und die Richtung der Probe in der Probenkammer zu zeigen
  • Zudem zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 den Beobachtungspositionsindikator 207 an, der die Beobachtungsposition darstellt. Der Beobachtungspositionsindikator 207 vergrößert/verkleinert sich in Abhängigkeit von der Vergrößerung der Beobachtung der Vorrichtung und der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203. Auf diese Weise kann der Anwender das Beobachtungsfeld mit einer gewünschten Größe überprüfen.
  • Darüber hinaus umfasst der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 den Beobachtungsbildimportierabschnitt 202, auf dem der Anwender nach Belieben ein Beobachtungsbild behält. Daher kann der Anwender die erforderliche Mindestanzahl von Beobachtungspositionsanzeigebildern behalten. Insbesondere wird in dem Stand der Technik als das Beobachtungspositionsanzeigebild ein Bild mit geringer Vergrößerung im Voraus erfasst oder es werden mehrere Bilder mit geringer Vergrößerung automatisch in einem Prozess erfasst, und somit ist es nicht möglich, das geeignete Beobachtungspositionsanzeigebild zu erfassen. In dieser Hinsicht kann der Anwender in dem Beispiel das Beobachtungspositionsanzeigebild bei der gewünschten Vergrößerung und Position erhalten und kann die Beobachtungspositionsanzeigekarte erzeugen, die eine größere Informationsmenge in dem Bereich, an dem der Anwender interessiert ist, aufweist.
  • Zusätzlich enthält der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 den Importierabschnitt für zusammenhängende Bilder 504. Wenn der Importierabschnitt für zusammenhängende Bilder 504 eine Eingabe empfängt, steuert die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 die Bühne 105 oder den Deflektor 108 derart, dass der gesamte Bereich der Probenbühne 104 abgebildet wird. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 ordnet die mehreren aufgenommenen Bilder auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 in Abhängigkeit von Koordinaten von Positionen der Bilder an. Auf diese Weise kann der Anwender in einem Fall, in dem die Bilder des gesamten Bereichs der Probenbühne 104 als die Beobachtungspositionsanzeigebilder erfasst werden, die Bilder automatisch erfassen und der Anwender kann die Zeit und den Aufwand reduzieren.
  • Zusätzlich enthält die Ladungsträgerstrahlvorrichtung ein anderes Bildgebungssystem als das Ladungsträgerstrahl-Bildgebungssystem, das während der Beobachtung verwendet wird. In den oben beschriebenen Beispielen wird die optische Kamera 143 als Bildgebungssystem verwendet; jedoch kann ein anderes Bildgebungssystem verwendet werden. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 die Zeichnung, die die Form der Probe zeigt, oder ein Bildes eines Signaltyps, der sich von dem während der Beobachtung verwendeten Signal unterscheidet, oder ein anderes Bild gemeinsam oder durch Umschalten anzeigen. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann eine Anzeige durchführen, indem unnötige Informationen auf der äußeren Seite des Umrisses der Probenbühne 104 entfernt werden, die sich auf das Bild bezieht, das durch das andere Bildgebungssystem als ein Ladungsträgerstrahl-Bildgebungssystem aufgenommen wurde. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 Teile der Probenbühne 104 ausschneiden und kann den Rest der Probenbühne 104 auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 im Verhältnis zu dem Bild, das durch das andere Bildgebungssystem als ein Ladungsträgerstrahl-Bildgebungssystem aufgenommen wurde, anzeigen. Zum Beispiel überlagert die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Bild, das durch das andere Bildgebungssystem als ein Ladungsträgerstrahl-Bildgebungssystem aufgenommen wurde, der Probenbühnensimulationsfigur 501 und zeigt es dort an; jedoch kann die Probenbühnensimulationsfigur 501 durch das Bild, das durch das andere Bildgebungssystem als ein Ladungsträgerstrahl-Bildgebungssystem aufgenommen wurde, ersetzt und mit diesem angezeigt werden.
  • Zudem kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Probenbühnensimulationsfigur 501 oder das Bild, das durch das andere Bildgebungssystem als ein Ladungsträgerstrahl-Bildgebungssystem aufgenommen wurde, in Abhängigkeit von der Größe der Probenbühne 104 während der Beobachtung ändern. Zudem kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Größe, die die Referenz des Bildes ist, auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 in Abhängigkeit von der Größe der Probenbühne 104 während der Beobachtung ändern.
  • Zudem zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 einen Indikator (den Ablenkungsgradanzeigeindikator 505) eines Ablenkungsgrades zum Bewegen des Sichtfeldes während der Beobachtung auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 an. Auf diese Weise kann der Anwender immer einen Unterschied in den Bühnenkoordinaten finden. Wenn die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 eine Eingabe an dem Ablenkungsgradanzeigeindikator 505 empfängt, hebt die Einstellungsverarbeitungseinheit zudem die Ablenkung durch den Deflektor 108 auf und die Bühnenkoordinaten fallen mit der Beobachtungsposition zusammen.
  • Zudem kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 in einem Fall, in dem das Farbbild als das Beobachtungspositionsanzeigebild angezeigt wird, die Farbbilder in Abhängigkeit von einem Vergrößerungsverhältnis des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 auf die Graustufenanzeigen umschalten und anzeigen,
  • Zudem weist der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 eine Funktion zum Festlegen der Beobachtungsposition durch Anklicken auf. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 zeigt einen Rahmen, der einen Bewegungsbereich der Bühne angibt, (den Bewegungsbereichsrahmen 507) auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 an. Wenn die Außenseite von dem Bewegungsbereich der Bühne angeklickt wird, kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 eine Warnnachricht anzeigen, die angibt, dass der Klick außerhalb des Bühnenbewegungsbereiches liegt. Auf diese Weise ist es dann, wenn die Beobachtungsposition auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 festgelegt wird, möglich, einen Bereich zu finden, in dem es möglich ist, die Beobachtungsposition festzulegen.
  • Darüber hinaus hat der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 eine Funktion zum Festlegen der Beobachtungsposition durch Ziehen und Ablegen. Wenn der Anwender den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 zieht und ablegt, schränkt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 ein, dass sich die Mittelposition des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 nicht zu der Außenseite des Bewegungsbereichsrahmens 507 bewegt.
  • Ferner ist umfasst der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 den Koordinatenregistrierungsabschnitt 508 als Koordinatenregistrierungsfunktion. Wenn der Koordinatenregistrierungsabschnitt 508 angeklickt wird, kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Koordinaten der durch den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 festgelegten Beobachtungsposition speichern und kann die Markierungen anzeigen, die die Registrierungsposition auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt angeben. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 verschiebt die Markierung zusammen mit dem Beobachtungspositionsanzeigebild im Zusammenhang mit der Bewegung der Beobachtungsposition.
  • Wenn das Beobachtungspositionsanzeigebild durch den Beobachtungsbildimportierabschnitt 202 in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 importiert wird, ändert die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 ferner die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 derart, dass das importierte Beobachtungspositionsanzeigebild auf dem gesamten Bereich des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 angezeigt wird.
  • Der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 enthält den Vergrößerungsänderungsabschnitt 509 zum sofortigen Einstellen der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 auf einen vorbestimmten Wert. Der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 kann eine Funktion zum Festlegen und Einstellen der im Voraus eingestellten Vergrößerung haben, während der Anwender den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 überprüft.
  • Zudem kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Vorne/Hinten-Beziehung zwischen den mehreren Beobachtungspositionsanzeigebildern ändern, die in Abhängigkeit von der Festlegung oder des Beobachtungszustands des Anwenders auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 überlagert und angeordnet werden. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungspositionsanzeigebild mit der hohen Vergrößerung während der Beobachtung vor den mehreren Beobachtungspositionsanzeigebildern anzeigen. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungspositionsanzeigebild, das später importiert wird, vor den mehreren Beobachtungspositionsanzeigebildern anzeigen. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungspositionsanzeigebild, das durch eine Maus, eine Tastatur oder eine Anwenderschnittstellenvorrichtung wie z. B. ein Berührungsfeld ausgewählt wird, vorne anzeigen. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann das Bild, das als Antwort auf ein spezifisches Detektionssignal erhalten wird, vor den mehreren Beobachtungspositionsanzeigebildern anzeigen. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann in Abhängigkeit von dem Grad des Unterdrucks während der Beobachtung eine Vorne/Hinten-Beziehung der mehreren Beobachtungspositionsanzeigebilder vorne umschalten. Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann die Vorne/Hinten-Beziehung der mehreren Beobachtungspositionsanzeigebilder in Abhängigkeit von der Beschleunigungsspannung während der Beobachtung umschalten.
  • Darüber hinaus kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 Pseudofarben zu den Signalen, die als Antwort auf die Bilder von den verschiedenen Detektoren erhalten werden, hinzufügen und die Bilder überlagern und anzeigen.
  • Außerdem hat der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 eine Funktion zum Hierarchisieren und Anzeigen der mehreren Beobachtungspositionsanzeigebilder. Wenn ein Knopf der Z-Richtungs-Bildumschaltfunktion 902 angeklickt wird, zeigt die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungspositionsanzeigebild für jede Hierarchie an.
  • Weiterhin kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Anzeige und die Nichtanzeige der Bilder in Abhängigkeit von dem Beobachtungszustand (einem Wert der Beschleunigungsspannung, dem Grad des Unterdrucks, einem Detektor oder dergleichen) in Verbindung mit dem Beobachtungspositionsanzeigebild umschalten.
  • Weiterhin kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 mindestens ein Transmissionstypbild der mehreren Beobachtungspositionsanzeigebildern veranlassen und kann die anderen Bilder dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 überlagern.
  • Ferner kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungspositionsanzeigebild, das bei der hohen Vergrößerung aufgenommen wurde, in einem Rahmen anzeigen, wenn die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 niedriger ist.
  • Zusätzlich kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 als Verlauf die Koordinaten pflegen, an denen das Beobachtungspositionsanzeigebild importiert wird. Der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 hat eine Funktion zum Festlegen der Koordinaten aus dem Verlauf. Auf diese Weise ist es möglich, zu veranlassen, dass die Position, an der das Beobachtungspositionsanzeigebild importiert wird, wieder erscheint, und es ist möglich, ein Beobachtungspositionsanzeigebild einfach erneut abzubilden.
  • Das Beobachtungspositionsanzeigebild 203 und die Koordinateninformationen des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 können so ausgelegt sein, dass auf sie durch eine andere Vorrichtung zugegriffen werden kann, nachdem die Beobachtung durch die Ladungsträgerstrahlvorrichtung beendet ist. Zum Beispiel können das Beobachtungspositionsanzeigebild und die Koordinateninformationen in einer weiteren Speichervorrichtung auf der Unterstützungsspeichervorrichtung oder einem Netz gespeichert werden. Auf diese Weise ist es möglich, den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 ohne Verwendung der Ladungsträgerstrahlvorrichtung zu reproduzieren.
  • Der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 umfasst den Vergrößerungsverknüpfungsfunktions-Ausführungsabschnitt 701 zum Angleichen der Vergrößerung des Beobachtungsbilds auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt 201 und die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203. Wenn der Vergrößerungsverknüpfungsfunktions-Ausführungsabschnitt 701 angeklickt wird, stellt die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 die Vergrößerung des Beobachtungsbildes auf die gleiche Vergrößerung wie diejenige des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 ein.
  • Der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 umfasst die Beobachtungsbildnichtanzeigefunktion 901 zum Umschalten der Ladungsträgerstrahlbestrahlung auf die Probe auf Aktivierung/Deaktivierung. Wenn die Beobachtungsbildnichtanzeigefunktion 901 angeklickt wird, führt die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 eine Steuerung derart durch, dass der Ladungsträgerstrahl die Probe 103 nicht erreicht. Die Einstellungsverarbeitungseinheit 118 kann die das Anlegen der Spannung an die Ladungsträgerquelle stoppen oder den Deflektor 108 derart steuern, dass die Probe 103 nicht mit dem Ladungsträgerstrahl bestrahlt wird. Auf diese Weise ist es möglich, den Schaden an der Probe zu verringern.
  • Zusätzlich kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 dazu ausgelegt sein. einen Betrag einer Bildverschiebung auf die Koordinaten des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts 203 zu reflektieren.
  • Zudem kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 in einem Fall, in dem die Beobachtungsposition durch die Bühne 105 oder den Deflektor 108 geändert wird, die Markierung, die die Beobachtungsposition auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 bewegen, ohne das Beobachtungspositionsanzeigebild zu bewegen.
  • Darüber hinaus kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Markierung in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt einbetten und Informationen (beispielsweise Koordinaten) eines Punkts anzeigen, wenn der Anwender eine Maus über die Markierung bewegt.
  • Der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 zeigt die Positionsbeziehung zwischen den mehreren Detektoren in der Probenkammer 101 an und enthält eine Schnittstelle (eine Figur oder eine Anzeige), die verwendet werden kann, um die mehreren Detektoren umzuschalten. Wenn auf die Schnittstelle geklickt wird, schaltet die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 das Beobachtungsbild des Beobachtungsbildanzeigeabschnitts 201 auf das Beobachtungsbild um, das als Antwort auf ein Signal von dem angeklickten Detektor erhalten wird.
  • Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann den aktuell ausgewählten Detektor und den nicht ausgewählten Detektor in verschiedenen Anzeigeformen anzeigen. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 den aktuell ausgewählten Detektor und den nicht ausgewählten Detektor in verschiedenen Farben anzeigen. Auf diese Weise kann der Anwender den ausgewählten Detektor intuitiv erkennen.
  • Die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 kann den aktuell auswählbaren Detektor und den Detektor, der aktuell in dem Beobachtungszustand nicht auswählbar ist, in verschiedenen Anzeigeformen anzeigen. Zum Beispiel kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 den aktuell auswählbaren Detektor und den Detektor, der aktuell in dem Beobachtungszustand nicht auswählbar ist, in verschiedenen Farben anzeigen. Auf diese Weise kann der Anwender den Detektor, der nicht ausgewählt werden kann, intuitiv erkennen.
  • Außerdem kann die Anzeigeverarbeitungseinheit 117 die Anzeige/Nichtanzeige der Figur oder Anzeige in Abhängigkeit von der Positionsbeziehung zwischen den mehreren Detektoren umschalten. Wenn sie nicht notwendig ist, kann auf diese Weise die Positionsbeziehung zwischen den mehreren Detektoren auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt 203 nicht angezeigt werden.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Beispiele beschränkt und umfasst verschiedene Abwandlungsbeispiele. Die Beispiele sind zum besseren Verständnis der vorliegenden Erfindung im Einzelnen beschrieben und die vorliegende Erfindung ist nicht notwendigerweise auf die Einbeziehung der gesamten oben beschriebenen Konfiguration beschränkt. Zusätzlich ist es möglich, einen Teil einer Konfiguration eines bestimmten Beispiels durch eine Konfiguration eines anderen Beispiels zu ersetzen. Darüber hinaus ist es möglich, eine Konfiguration eines bestimmten Beispiels zu einer Konfiguration eines anderen Beispiels hinzuzufügen. Zum Beispiel ist es möglich, die Bedienbarkeit durch Kombinieren der mehreren oben beschriebenen Beispiele zu verbessern. Darüber hinaus ist es möglich, ein Hinzufügen/Entfernen/Ersetzen einer Konfiguration zu/von/durch einen/m Teil einer Konfiguration von jedem der Beispiele durchzuführen.
  • Zudem kann ein Teil oder die Gesamtheit der Konfigurationen, der Funktionen, der Verarbeitungseinheiten, der Verarbeitungsmittel oder dergleichen durch Hardware verwirklicht werden, indem beispielsweise eine integrierte Schaltung entworfen wird. Zusätzlich können die oben beschriebenen Konfigurationen, Funktionen und dergleichen mit Software verwirklicht werden, indem Programme analysiert und ausgeführt werden, durch die Prozessoren jeweilige Funktionen realisieren. Informationen eines Programms, einer Tabelle oder einer Datei, die die Funktionen verwirklicht, können in verschiedenen Arten von nichttransitorischen computerlesbaren Medien gespeichert werden. Zum Beispiel wird eine flexible Platte, eine CD-ROM, DVD-ROM, eine Festplatte. eine optische Platte, eine magnetooptische Platte, eine CD-R, ein Magnetband, eine nichtflüchtige Speicherkarte, ein ROM oder dergleichen als nichttransitorisches computerlesbares Medium verwendet.
  • In den oben beschriebenen Beispielen sind Steuerdrähte oder Informationsdrähte dargestellt, wenn davon ausgegangen wird, dass die Drähte zur Beschreibung notwendig sind, und es sind nicht unbedingt alle Steuerdrähte oder Informationsdrähte für ein Produkt dargestellt. Alle Konfigurationen können miteinander verbunden werden.
  • Bezugszeichenliste
    • 101:
    Probenkammer
    102:
    Optisches System
    103:
    Probe
    104:
    Probenbühne
    105:
    Bühne
    106:
    Detektor
    108
    Deflektor
    110:
    Bildgebungsvorrichtung
    111:
    Steuer- und Recheneinheit
    112:
    Anzeigeeinheit
    113:
    CPU
    114:
    Hauptspeichervorrichtung
    115:
    Sekundärspeichervorrichtung
    116:
    Eingabeeinheit
    117:
    Anzeigeverarbeitungseinheit
    118:
    Einstellungsverarbeitungseinheit
    120:
    Bühnensteuervorrichtung
    130:
    Ablenkungssteuervorrichtung
    201:
    Beobachtungsbildanzeigeabschnitt
    202:
    Beobachtungsbildimportierabschnitt
    203:
    Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt
    205:
    Beobachtungsvergrößerungseinstellungsabschnitt
    206:
    Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt-Vergrößerungseinstellungsabschnitt
    207:
    Beobachtungspositionsindikator
    501:
    Probenbühnensimulationsfigur
    502:
    Probenkammerquerschnittssimulationsfigur
    503:
    Mittenindikator
    504:
    Importierabschnitt für zusammenhängende Bilder
    505:
    Ablenkungsgradanzeigeindikator
    506:
    Ablenkungsaufhebungsfunktion
    507:
    Bewegungsbereichsrahmen
    508:
    Koordinatenregistrierungsabschnitt
    509:
    Vergrößerungsänderungsabschnitt
    510:
    Bühnendrehwinkelindikator
    701:
    Vergrößerungsverknüpfungsfunktions-Ausführungsabschnitt
    801:
    Vergrößerungsverknüpfungsfunktions-Ausführungsabschnitt
    901:
    Beobachtungsbildnichtanzeigefunktion
    902:
    Z-Richtungs-Bildumschaltfunktion
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 10003875 A [0003]
    • JP 7130319 A [0003]

Claims (20)

  1. Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die umfasst: ein optisches System, das eine auf einer Probenbühne montierte Probe mit einem Ladungsträgerstrahl bestrahlt; mindestens einen Detektor, der ein Signal detektiert, das von der Probe erzeugt wird; eine Bildgebungsvorrichtung, die ein Beobachtungsbild aus dem detektierten Signal erfasst; einen Mechanismus zum Ändern von Beobachtungspositionen in der Probe, der eine Bühne, die die Probenbühne verschiebt, und/oder einen Deflektor, der eine Bestrahlungsposition des Ladungsträgerstrahls ändert, aufweist; eine Anzeigeeinheit, die einen Bedienbildschirm anzeigt, der mit einem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt, der das Beobachtungsbild anzeigt, und einem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt, der eine Beobachtungsposition des Beobachtungsbildes anzeigt, versehen ist; und einen Controller, der eine Anzeigeverarbeitung des Bedienbildschirms steuert, wobei der Controller veranlasst, dass mehrere Beobachtungspositionsanzeigebilder bei unterschiedlichen Vergrößerungen basierend auf Vergrößerungen und Koordinaten, bei denen die Beobachtungsbilder erfasst werden, auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt überlagert und angezeigt werden.
  2. Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt einen Beobachtungsbildimportierabschnitt zum Importieren des Beobachtungsbildes als das Beobachtungspositionsanzeigebild in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt aufweist und wobei der Controller das Beobachtungsbild in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt importiert, wenn eine Angabe in den Beobachtungsbildimportierabschnitt empfangen wird.
  3. Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Controller das Beobachtungspositionsanzeigebild in dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt im Zusammenhang mit einer Änderung der Beobachtungsposition durch die Bühne oder den Deflektor verschiebt oder dreht.
  4. Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt eine Schnittstelle zum Anpassen einer Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts aufweist.
  5. Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Controller einen Beobachtungspositionsindikator anzeigt, der eine Beobachtungsposition auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt angibt, und in Abhängigkeit von einer Vergrößerung des Beobachtungsbildes und einer Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts in den Beobachtungspositionsindikator hinein oder aus ihm heraus zoomt.
  6. Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Controller das Beobachtungspositionsanzeigebild in Überlagerung mit einer durch Simulieren der Probenbühne erhaltenen Probenbühnensimulationsfigur anzeigt.
  7. Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, die ferner umfasst: ein anderes Bildgebungssystem als die Bildgebungsvorrichtung, wobei der Controller folgende Funktionen hat: Anzeigen eines von dem Bildgebungssystem aufgenommenen Bildes auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt und Anzeigen des Beobachtungspositionsanzeigebildes in Überlagerung mit dem von dem Bildgebungssystem aufgenommenen Bild.
  8. Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 7, wobei der Controller das Beobachtungspositionsanzeigebild durch Entfernen von Informationen des Bildes auf einer Außenseite von einem Umriss der Probenbühne anzeigt, wenn das Beobachtungspositionsanzeigebild auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt angezeigt wird.
  9. Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Controller die Vergrößerung des Beobachtungsbildes auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt und die Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts in Verknüpfung miteinander steuert.
  10. Ladungsträgerstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt eine Positionsbeziehung zwischen mehreren Detektoren anzeigt und eine Schnittstelle aufweist, die verwendet werden kann, um die mehreren Detektoren umzuschalten, und wobei der Controller das Beobachtungsbild auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt im Zusammenhang mit einer Eingabe über die Schnittstelle auf ein Beobachtungsbild, das durch einen ausgewählten Detektor erhalten wird, umschaltet.
  11. Beobachtungsverfahren, das unter Verwendung einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung durchgeführt wird, wobei das Verfahren umfasst: einen Schritt des Bestrahlens einer auf einer Probenbühne montierten Probe mit einem Ladungsträgerstrahl durch ein optisches System; einen Schritt des Detektierens eines Signals, das von der Probe erzeugt wird, durch mindestens einen Detektor; einen Schritt des Erfassens eines Beobachtungsbildes aus dem detektierten Signal durch eine Bildgebungsvorrichtung; einen Schritt des Anzeigens eines Bedienbildschirms durch einen Controller auf einer Anzeigeeinheit, der mit einem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt, der das Beobachtungsbild anzeigt, und einem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt, der eine Beobachtungsposition des Beobachtungsbildes anzeigt, versehen ist; und einen Schritt des Überlagerns und Anzeigens mehrerer Beobachtungspositionsanzeigebilder bei unterschiedlichen Vergrößerungen auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt durch den Controller basierend auf Vergrößerungen und Koordinaten, bei denen die Beobachtungsbilder erfasst werden.
  12. Beobachtungsverfahren nach Anspruch 11, wobei der Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt einen Beobachtungsbildimportierabschnitt zum Importieren des Beobachtungsbildes als das Beobachtungspositionsanzeigebild in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt aufweist und das Beobachtungsverfahren ferner umfasst: einen Schritt des Importierens des Beobachtungsbildes in den Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt durch den Controller, wenn eine Eingabe in den Beobachtungsbildimportierabschnitt empfangen wird.
  13. Beobachtungsverfahren nach Anspruch 11, das ferner umfasst: einen Schritt des Änderns von Beobachtungspositionen in der Probe durch eine Bühne, die die Probenbühne verschiebt, und/oder einen Deflektor, der eine Bestrahlungsposition des Ladungsträgerstrahls ändert; und einen Schritt des Verschiebens oder Drehens des Beobachtungspositionsanzeigebildes in dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt durch den Controller im Zusammenhang mit einer Änderung der Beobachtungsposition durch die Bühne oder den Deflektor.
  14. Beobachtungsverfahren nach Anspruch 11, das ferner umfasst: einen Schritt des Anpassens der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts durch den Controller.
  15. Beobachtungsverfahren nach Anspruch 11, das ferner umfasst: einen Schritt des Anzeigens eines Beobachtungspositionsindikators, der eine Beobachtungsposition angibt, auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt durch den Controller; und einen Schritt des Hineinzoomens in den oder Herauszoomens aus dem Beobachtungspositionsindikator im Zusammenhang mit einer Vergrößerung des Beobachtungsbildes und einer Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts durch den Controller.
  16. Beobachtungsverfahren nach Anspruch 11, das ferner umfasst: einen Schritt des Anzeigens des Beobachtungspositionsanzeigebildes durch den Controller in Überlagerung mit einer durch Simulieren der Probenbühne erhaltenen Probenbühnensimulationsfigur.
  17. Beobachtungsverfahren nach Anspruch 11, das ferner umfasst: einen Schritt des Aufnehmens eines Bildes durch ein anderes Bildgebungssystem als die Bildgebungsvorrichtung; einen Schritt des Anzeigens des durch das Bildgebungssystem aufgenommenen Bildes durch den Controller auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt und einen Schritt des Anzeigens des Beobachtungspositionsanzeigebildes durch den Controller in Überlagerung mit dem von dem Bildgebungssystem aufgenommenen Bild.
  18. Beobachtungsverfahren nach Anspruch 11, das ferner umfasst: einen Schritt des Steuerns der Vergrößerung des Beobachtungsbildes auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt und der Vergrößerung des Beobachtungspositionsanzeigeabschnitts in Verknüpfung miteinander durch den Controller.
  19. Beobachtungsverfahren nach Anspruch 11, das ferner umfasst: einen Schritt des Anzeigens einer Positionsbeziehung zwischen mehreren Detektoren und des Anzeigens einer Schnittstelle, die zum Umschalten der mehreren Detektoren auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt verwendet werden kann, durch den Controller; und einen Schritt des Umschaltens des Beobachtungsbildes auf dem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt durch den Controller auf ein Beobachtungsbild, das durch einen ausgewählten Detektor erhalten wird, im Zusammenhang mit einer Eingabe über die Schnittstelle.
  20. Programm, das eine Informationsverarbeitungsvorrichtung, die eine Berechnungseinheit, eine Speichereinheit und eine Anzeigeeinheit enthält, dazu veranlasst, einen Prozess zum Anzeigen eines durch eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung erhaltenen Beobachtungsbildes auszuführen, wobei das Programm die Berechnungseinheit dazu veranlasst, Folgendes auszuführen: einen Anzeigeprozess zum Anzeigen eines Bedienbildschirms auf der Anzeigeeinheit, der mit einem Beobachtungsbildanzeigeabschnitt, der das Beobachtungsbild anzeigt, und einem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt, der eine Beobachtungsposition des Beobachtungsbildes anzeigt, versehen ist, und einen Anzeigeprozess zum Überlagern und Anzeigen mehrerer Beobachtungspositionsanzeigebilder bei unterschiedlichen Vergrößerungen auf dem Beobachtungspositionsanzeigeabschnitt basierend auf Vergrößerungen und Koordinaten, bei denen die Beobachtungsbilder erfasst werden.
DE112015007007.9T 2015-11-25 2015-11-25 Ladungsträgerstrahlvorrichtung, beobachtungsverfahren unter verwendung der ladungsträgerstrahlvorrichtung und programm Pending DE112015007007T5 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2015/082989 WO2017090100A1 (ja) 2015-11-25 2015-11-25 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置を用いた観察方法、及び、プログラム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE112015007007T5 true DE112015007007T5 (de) 2018-07-12

Family

ID=58763202

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112015007007.9T Pending DE112015007007T5 (de) 2015-11-25 2015-11-25 Ladungsträgerstrahlvorrichtung, beobachtungsverfahren unter verwendung der ladungsträgerstrahlvorrichtung und programm

Country Status (5)

Country Link
US (2) US10453650B2 (de)
JP (1) JP6462150B2 (de)
CN (1) CN108292578B (de)
DE (1) DE112015007007T5 (de)
WO (1) WO2017090100A1 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11747292B2 (en) 2019-03-20 2023-09-05 Hitachi High-Tech Corporation Charged particle beam apparatus

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0830319A (ja) 1994-07-13 1996-02-02 Fanuc Ltd レーザセンサの検出角度制御方法
JPH103875A (ja) 1996-06-13 1998-01-06 Hitachi Ltd 走査電子顕微鏡

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3230911B2 (ja) 1993-11-04 2001-11-19 株式会社日立製作所 走査電子顕微鏡及びその画像形成方法
JP2004158392A (ja) * 2002-11-08 2004-06-03 Keyence Corp 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体
JP4236123B1 (ja) * 2008-04-21 2009-03-11 株式会社林創研 三次元画像取得装置
JP5352262B2 (ja) * 2009-02-06 2013-11-27 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置
JP5506345B2 (ja) * 2009-11-26 2014-05-28 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線顕微鏡および当該荷電粒子顕微鏡の制御方法
EP2450936B1 (de) * 2010-11-03 2013-03-13 Carl Zeiss NTS Ltd. Mikroskopsystem, Verfahren zum Betreiben eines Ladungsträger-Mikroskops
CN104137219B (zh) * 2012-03-16 2016-06-22 株式会社日立高新技术 荷电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序
JP5464533B1 (ja) * 2012-11-27 2014-04-09 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置及びプログラム
JP5977200B2 (ja) * 2013-05-27 2016-08-24 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子顕微鏡および電子顕微鏡制御方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0830319A (ja) 1994-07-13 1996-02-02 Fanuc Ltd レーザセンサの検出角度制御方法
JPH103875A (ja) 1996-06-13 1998-01-06 Hitachi Ltd 走査電子顕微鏡

Also Published As

Publication number Publication date
US10763074B2 (en) 2020-09-01
CN108292578B (zh) 2020-12-25
CN108292578A (zh) 2018-07-17
US20200013583A1 (en) 2020-01-09
WO2017090100A1 (ja) 2017-06-01
US20180323035A1 (en) 2018-11-08
JP6462150B2 (ja) 2019-01-30
US10453650B2 (en) 2019-10-22
JPWO2017090100A1 (ja) 2018-09-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112013002826B4 (de) Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung
DE69530367T2 (de) Kontrolle eines Mikroskopprobenträgers
DE102014206309B4 (de) System und Verfahren zum Erhalten von Bildern mit Versatz zur Verwendung für verbesserte Kantenauflösung
DE112014002848B4 (de) Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, die eine erleichterte Analyse einer gewünschten Position mit einem EBSD-Detektor ermöglicht, und Steuerverfahren dafür
DE102013217354B4 (de) Kantenmessungs-videowerkzeug und schnittstelle mit automatischen parametersatzalternativen
DE112011104595B4 (de) Vorrichtung mit einem geladenen Teilchenstrahl sowie Verfahren zur Steuerung
DE102014226985B4 (de) Verfahren zum Analysieren eines Objekts, Computerprogrammprodukt sowie Teilchenstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens
DE112012005293B4 (de) Ladungsteilchenstrahlvorrichtung und Anzeigeverfahren für eine geneigte Abbildung
DE102009001910A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung dreidimensionaler Bilddaten
DE102012108823A1 (de) Zusammengesetzte Ladungsteilchenstrahlvorrichtung
DE112012002533T5 (de) Tischbaugruppe und Steuerungsverfahren für eine Tischbaugruppe
DE112016003308B4 (de) Gerät mit einem Strahl geladener Partikel und Ausrichtungseinstellungsverfahren einer Probenplattform
DE60015859T2 (de) Raster-Ladungsträgerstrahlgerät und Verfahren zur Beobachtung von Probenbildern mittels einem solchen Gerät
DE102020211900A1 (de) Ladungsträgerstrahlvorrichtung
DE102020211688A1 (de) Teilchenstrahl-bestrahlungsvorrichtung
DE112015006181B4 (de) Ladungsträgerstrahlvorrichtung, Ausrichtungsverfahren für die Ladungsträgerstrahlvorrichtung, Ausrichtungsprogramm und Speichermedium
DE112015007007T5 (de) Ladungsträgerstrahlvorrichtung, beobachtungsverfahren unter verwendung der ladungsträgerstrahlvorrichtung und programm
DE102013217347B4 (de) Verfahren und vorrichtung zur parametereinstellung für kantenmessungsvideowerkzeuge
DE112017007270B4 (de) Ladungsträgerstrahlvorrichtung und Verfahren zum Einstellen von Bedingungen in einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung
DE19911944B4 (de) Vorrichtung zum Abbilden eines Bereichs einer Probe
DE10315592B4 (de) Verfahren zum Ausführen von Interaktionen an sich räumlich und zeitlich verändernden mikroskopischen Objekten und System hierzu
DE102018107250A1 (de) Tragbares Informationsendgerät, Bestrahlungsvorrichtung und Programm
DE112018001614T5 (de) Querschnittsbeobachtungsvorrichtung und Steuerverfahren
DE102017223435B4 (de) Verfahren zum Betrieb eines Mikroskops
EP3874315A1 (de) Mikroskopsystem zur abbildung eines probenbereichs und entsprechendes verfahren

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION, JP

Free format text: FORMER OWNER: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION, TOKYO, JP

R082 Change of representative

Representative=s name: MERH-IP MATIAS ERNY REICHL HOFFMANN PATENTANWA, DE

R016 Response to examination communication