JP5464533B1 - 荷電粒子線装置及びプログラム - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明は上記に鑑みてなされたものであり、動作の制御に係る設定値の粗調整と微調整を容易にかつ正確に行うことができる荷電粒子線装置及びそれを実現することができるプログラムを提供する。
【解決手段】、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、第１調整スライダ２０５の移動距離に対して第２調整スライダ２０４の移動距離を小さくするとともに、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、第２調整スライダ２０４が両端部を除く位置に有る場合であって、カーソル２２０によって第１調整スライダ２０５が選択操作されている場合には、第１調整スライダ２０４を移動させず、第２調整スライダ２０５のみを一方の端部の方向に移動するように構成した。
【選択図】図３

Description

本発明は、試料に荷電粒子線を照射することによりその試料の画像取得等を行う荷電粒子線装置及びそのプログラムに関する。
荷電粒子線装置は、対象試料に荷電粒子線を照射することにより、対象試料の観察や分析等を行うものである。例えば、走査電子顕微鏡（SEM : Scanning Electron Microscope）や透過型電子顕微鏡(TEM : Transmission Electron Microscope)においては、対象試料に荷電粒子線を照射することで得られる様々な情報に基づいて対象試料の顕微鏡像を生成しており、その試料の観察に適した画像を取得するためには、荷電粒子線装置の動作に係る種々の設定値の細かな調整が求められる。
また、走査電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡においては、荷電粒子線を用いる他の多くの装置にも見られるように、動作に係る設定値の調整範囲が非常に広い場合が多く、したがって、その広い設定範囲の中で各設定値を大きく変更する調整と細かく変更する調整との両方を行う必要がある。
このような荷電粒子線装置の設定値の調整に関して、例えば、特許文献１（特開２００７−２４２４３２号公報）には、荷電粒子線装置の制御を行うために荷電粒子線装置に備えられている少なくとも一つの制御対象となるデバイスの設定値を変更してデバイスを制御するために、ユーザーがその位置を移動操作可能なように設けられたマーカーを有するグラフィックユーザーインターフェース上のスライダと、マーカーの位置移動操作を行うためのポインティングデバイスとを備えた荷電粒子線装置が開示されている。
特開２００７−２４２４３２号公報
しかしながら、上記従来技術においては、ユーザーがスライダ上のマーカー位置の移動操作をアクティブにすると、取得したマーカーの基準位置からの変位量を変換手段により変更スピードの値に換算し、この換算値に基づいたコマンドをタイマーで設定した一定時間間隔でデバイスに送信している。そして、マーカー位置の移動操作がアクティブな間、再取得されたマーカーの基準位置からの変位量に基づいて更新したコマンドをデバイス送信する処理を継続することにより、マーカーの基準位置からの変位量に応じてデバイス設定値の変更スピードが変化するようにしている。つまり、マーカー位置の移動操作がアクティブな間はデバイス設定値の変更を継続してしまう構成のため、設定値の変更を目標値で止めることが難しく、設定値の変更を何度も繰り返す必要があった。
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、動作の制御に係る設定値の粗調整と微調整を容易にかつ正確に行うことができる荷電粒子線装置及びそれを実現することができるプログラムを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、試料に荷電粒子線を照射することにより前記試料の画像を生成する荷電粒子線装置であって、少なくとも、前記試料の画像を表示する画像表示部を表示する表示装置と、前記表示装置の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために前記画面上に表示されたカーソルの操作を行うポインティングデバイスと、前記表示装置の画面上において前記画像表示部に並べて配置され、前記荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部と、前記設定値調整軸上に配置され、前記ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより前記設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと、前記設定値調整軸上に配置され、前記設定値調整軸上の位置により前記設定値を設定する第２調整スライダとを備え、前記カーソルによる前記第１調整スライダの移動操作に連動させて前記第２調整スライダを前記設定値調整軸に沿って移動し、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、前記第１調整スライダの移動距離に対して前記第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、前記第２調整スライダが前記両端部を除く位置に有る場合であって、前記カーソルによって前記第１調整スライダが所定の操作をされている場合には、前記第１調整スライダを移動させず、前記第２調整スライダのみを前記一方の端部の方向に移動するものとする。
本発明によれば、動作の制御に係る設定値の粗調整と微調整を容易にかつ正確に行うことができる。
本実施の形態に係る走査電子顕微鏡の全体構成を示す図である。 制御部の処理機能の基本構成を概略的に示す図である。 コンピュータ部による走査電子顕微鏡の動作制御に用いる各種数値の設定を行う数値設定画面を示す図である。 設定値調整軸の全体を示す図である。 第２設定値調整軸表示部が表示された様子を示す図である。 カーソルにより第１調整スライダを選択した場合のコンピュータ部による数値設定部表示処理の詳細を示すフローチャートである。 カーソルにより第２調整スライダを選択した場合のコンピュータ部による数値設定部表示処理の詳細を示すフローチャートである。
以下、本発明の実施の形態に係る荷電粒子線装置の一例として走査電子顕微鏡を挙げ、図面を参照しつつ詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係る走査電子顕微鏡の全体構成を示す図である。
図１において、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ : Scanning Electron Microscope）は、電子銃１、アノード２、コンデンサレンズ３、偏向器５、対物レンズ６、試料ステージ９、及び二次電子検出器１１と、主制御部１４、コンピュータ部１５等を含む制御部１００とから概略構成されている。電子銃１、アノード２、コンデンサレンズ３、偏向器５、対物レンズ６、試料ステージ９、及び二次電子検出器１１は図示しない試料室内に配置されており、それぞれの動作は、制御部１００の主制御部１４により制御されている。
電子銃１は、観察対象である試料１７に照射するための電子線（一次電子線）４を放出するものである。電子銃から試料１７の方向に放出された一次電子線４はアノード２により加速され、コンデンサレンズ３により収束作用を受けて、偏向器５を経た後、さらに、対物レンズ６の収束作用により絞られて試料ステージ９の試料台８上に配置された試料１７に照射される。
試料ステージ９は、主制御部１４からの制御信号に基づいて試料ステージ９の動作を制御するステージ制御部１０を有している。試料ステージ９は、ステージ制御部１０により制御される駆動装置（図示せず）により前後・左右・上下方向に移動可能に設けられており、試料台８上に配置された試料１７の任意の位置決めが可能となっている。
偏向器５は、主制御部１４からの制御信号に基づいて偏向器５に供給される偏向電流を制御する偏向制御部１８を有している。偏向器５は、偏向制御部１８から供給される偏向電流の作用によって一次電子線４を偏向することにより、試料の表面を二次元的に走査する。
二次電子検出器１１は、検出信号を増幅する増幅器１２と、増幅された検出信号を記憶すると共に主制御部１４に送る画像記憶部１３とを有している。一次電子線４による試料１７の走査により生じた二次電子７は、二次電子検出器１１により検出され主制御部１４に送られる。主制御部１４では、偏向器５を制御する制御信号と二次電子検出器１１による検出信号の同期をとることにより、試料１７の画像を生成する。
制御部１００は、走査電子顕微鏡の全体の動作を制御する主制御部１４、オペレータ（ユーザ）による各種設定や操作を行うためのコンピュータ部１５（例えばＰＣ等のコンピュータ）、及び専用操作パネル２１を有している。
コンピュータ部１５は、マウス１９やキーボード２０などの操作・入力装置と、走査電子顕微鏡の動作制御に用いる各種プログラムや生成された試料画像等の各種データを記憶する記憶部２２（例えばハードディスク）と、設定画面や生成された試料画像等を表示する表示部１６（例えば液晶モニタ）とを備えている。
マウス１９やキーボード２０、表示部１６の数値設定画面２００（後の図３等参照）等は、走査電子顕微鏡を操作するためのＧＵＩ（Graphical User Interface）を形成している。マウス１９は、表示部１６（表示装置）の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために画面上に表示されたカーソル２２０の操作を行うポインティングデバイスである。
記憶部２２に記憶されたプログラムには、ＧＵＩを用いて動作制御に用いる数値の設定を行う数値設定部表示処理（後述）を行うためのプログラムや、試料１７に対する一次電子線４の走査や二次電子７の検出を行うためのプログラム、或いは、検出信号から試料１７の画像を生成するためのプログラムなど目的に応じたものが用意されている。
なお、本実施の形態におけるプログラムとは、ＰＣ等のコンピュータによって直接実行可能なものだけでなく、ハードディスクなどにインストールすることによって実行可能となるものも含む概念である。また、圧縮されたり、暗号化されたりしたものも含む概念である。
図２は、制御部の処理機能の基本構成を概略的に示す図である。
図２に示すように、制御部１００は処理機能部として、ユーザ（オペレータ）がコンピュータ部１５（例えばＰＣ）のマウス１９やキーボード２０、或いは、表示部１６の各種画面を含むＧＵＩ（Graphical User Interface）を介して行う走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）の操作処理や表示処理に関する装置操作処理３１や画像観察処理３２を行うインタフェース機能部３０と、ＳＥＭの動作制御全般に関する処理を行うＳＥＭ制御ユニット機能部３３と、ＳＥＭ制御ユニット制御部３３による処理に関連して試料ステージ９の動作に関するステージ制御処理３６を行うステージ制御ユニット機能部３５、試料室（図示せず）の真空排気に関する排気系制御処理３８を行う排気系制御ユニット機能部３７、一次電子線４の照射や走査に関する高電圧制御処理４０を行う高電圧制御ユニット機能部３９の各機能部とから概略構成されている。
図３は、コンピュータ部による走査電子顕微鏡の動作制御に用いる各種数値の設定を行う数値設定画面を示す図であり、図４は設定値調整軸の全体を示す図である。また、図５は、第２設定値調整軸表示部が表示された様子を示す図である。
図３において、表示部１６に表示される数値設定画面２００は、生成された試料の画像を表示する画像表示部２０１と、表示部１６の画面上において画像表示部２０１に並べて配置され、走査電子顕微鏡の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸２０３の一部（後述の範囲２０９参照）を表示する第１設定値調整軸表示部２０２と、設定値調整軸２０３上に配置され、マウス１９により操作されるカーソル２２０により設定値調整軸２０３に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダ２０５と、設定値調整軸２０３上に配置され、設定値調整軸２０３上の位置により設定値を設定する第２調整スライダ２０４とを備えている。また、設定値調整軸２０３上には、予め定めた設定値（例えば、標準的な数値など）の位置を示す規定値設定部２０６が備えられている。なお、なお、第２調整スライダ２０４は、カーソル２２０により設定値調整軸２０３に沿って移動可能に設けられている。カーソル２２０は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を選択した状態においては、上下方向へ移動可能であることを示す形状（図４のカーソル２２０ａ参照）に変化する。
設定値調整軸２０７上における第２調整スライダ２０４の位置で設定される数値の種類としては、フォーカス（焦点）、倍率、ブライトネス（輝度）、コントラスト（明度差）、スティグマＸ（Ｘ軸方向非点収差）、スティグマＹ（Ｙ軸方向非点収差）などがあり、カーソル２２０を用いて設定数値切換部の選択ボタン等（図示せず）を選択することにより所望の設定数値の調整に切り換えることができる。
画像表示部２０１には、生成された試料１７の画像が表示されており、この画像の様子を確認しながら、設定値を調整することにより、所望の画像を取得することができる。
図４に示すように、設定値調整軸２０３は、対象となる種類の設定値の予め定めた最大値と最小値をそれぞれの端部に有しており、設定値調整軸２０３上における第２調整スライダ２０４の軸方向の相対位置により、対象となる設定値を設定する。設定値調整軸２０３には、数値設定画面２００の第１設定値調整軸表示部２０２に表示される範囲２０９の他に、表示される範囲２０９よりも数値が上側（最大値側）であって非表示の範囲２０８と、表示される範囲２０９よりも数値が下側（最小値側）であって非表示の範囲２１０とを有している。但し、第１設定調整軸表示部２０２に表示される範囲に設定値調整軸２０３の最大値又は最小値が含まれる場合には、非表示の範囲２０８、２１０が無い場合もある。
コンピュータ部１５は、ＧＵＩを用いて動作制御に用いる数値の設定を行うプログラムを用いて以下のような数値設定部表示処理を行う。
カーソル２２０により第１調整スライダ２０５を選択し、設定値調整軸２０３に沿って移動させると、第２調整スライダ２０４は第１調整スライダの移動に連動し、第１調整スライダ２０５の移動と同じ方向に設定値調整軸２０３に沿って移動する。第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、第１調整スライダ２０５の移動距離に対して第２調整スライダ２０５の移動距離を小さくする。つまり、第２調整スライダ２０４の設定値調整軸２０３上における移動距離（言い換えると、設定値の変化量）は、第１調整スライダ２０５の移動距離よりも小さくなるように制御されている。
例えば、表示部１６の数値設定画面２００に長さ６００ピクセルで表現されている設定値調整軸２０３上において、数値が０（最小値）〜６００００（最大値）である設定値を調整する場合、第２調整スライダの１ピクセルの移動で数値が１００変わることになる。そこで、第１調整スライダ２０５を上側（最大値側）にＸピクセル移動させたとすると、第２調整スライダ２０４は上側にＹピクセル（Ｙ＜Ｘ）移動する。なお、第１調整スライダ２０５の移動距離に対する第２調整スライダ２０４の移動距離によっては、第２調整スライダ２０４の移動距離が計算上で１ピクセル以下になる場合もあるが、実際の設定値は第１調整スライダ２０５の移動距離から計算される第２調整スライダ２０４の移動距離に相当する量だけ変化する。
また、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、第２調整スライダ２０４が両端部を除く位置に有る場合であって、カーソル２２０によって第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の一方の端部側に移動操作されている場合、すなわち、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の端部よりもさらに外側に移動させるような操作をカーソル２２０によって行う場合には、第１調整スライダ２０５を端部の位置から移動させず、第２調整スライダ２０４のみを、その操作方向と同じ端部の方向に移動する。このときの第２調整スライダの２０４の移動距離は、第１調整スライダ２０５の移動距離には依存しない。
また、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、第２調整スライダ２０４が移動して第１設定値調整軸表示部２０２に予め定めた位置（例えば、第１調整スライダ２０５と同じ位置、或いは、第１調整スライダ２０５から見て予め定めた距離範囲）に達した場合には、第１設定値調整軸表示部２０２における設定値調整軸２０３の表示範囲（図４の範囲２０９）を第２調整スライダの移動に合わせて一方の端部の方向に相対的に移動する。例えば、第１調整スライダ２０５及び第２調整スライダ２０４が第１設定値調整軸表示部２０２の上側の端部にある場合には、図４に示した範囲２０８側に第１設定値調整軸表示部２０２に表示する設定値調整軸２０３の範囲を移動する。
このように、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、第２調整スライダ２０４が移動して第１設定値調整軸表示部２０２に予め定めた位置に達した場合には、設定値調整軸２０３の全体と、第２調整スライダ２０４の設定値調整軸上２０３の位置とを表示する第２設定値調整軸表示部２１１（図５参照）を第１設定値調整軸表示部２０２に並べて表示する。
なお、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、第２調整スライダ２０４が移動して第１設定値調整軸表示部２０２に予め定めた位置（例えば、第１調整スライダ２０５と同じ位置、或いは、第１調整スライダ２０５から見て予め定めた距離範囲）に達した場合に、第１設定値調整軸表示部２０２における設定値調整軸２０３の表示範囲（図４の範囲２０９）を第２調整スライダ２０４の位置を含む一方の端部側の範囲に切り換えても良い。例えば、第１調整スライダ２０５及び第２調整スライダ２０４が第１設定値調整軸表示部２０２の上側の端部にある場合には、図４に示した範囲２０９の上端部と範囲２０８の全部又は一部を含むように第１設定値調整軸表示部２０２に表示する設定値調整軸２０３の範囲を切り換えても良い。この場合には、設定値調整軸２０３の範囲の切り換え時に、第２設定値調整軸表示部２１１（図５参照）を第１設定値調整軸表示部２０２に並べて表示する。
第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、第２調整スライダ２０４が移動して第１設定値調整軸表示部２０２に予め定めた位置に達した場合には、その旨を表示部１６に表示する。
カーソル２２０により第１調整スライダ２０５を選択し、設定値調整軸２０３に沿って移動させると、第２調整スライダ２０４は第１調整スライダの移動に連動し、第１調整スライダ２０５の移動と同じ方向に設定値調整軸２０３に沿って移動する。第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、第１調整スライダ２０５の移動距離に対して第２調整スライダ２０５の移動距離を小さくする。つまり、第２調整スライダ２０４の設定値調整軸２０３上における移動距離（言い換えると、設定値の変化量）は、第１調整スライダ２０５の移動距離よりも小さくなるように制御されている。
第２調整スライダ２０４をカーソル２２０により操作した場合には、少なくとも第１調整スライダ２０５が第１設定値調整軸表示部２０２の中央に移動するように制御されている。
設定値調整軸２０３上には規定値設定部２０６が配置されており、規定値設定部２０６がカーソル２２０により選択操作された場合には、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を設定値調整軸２０３上の予め定めた設定値（例えば、予め定めた規定値設定部２０６の位置）に移動するよう制御される。
制御部１５は、規定値設定部２０６がカーソル２２０により選択操作された場合には、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を設定値調整軸２０７上の予め定めた設定値（ここでは、設定値調整軸２０７上における規定値設定部２０６の位置）に移動する。
ここで、図６及び図７を用いて、数値設定部表示処理のプログラムを用いたコンピュータ部の処理手順の詳細を説明する。
図６は、カーソルにより第１調整スライダを選択した場合のコンピュータ部による数値設定部表示処理の詳細を示すフローチャートである。
コンピュータ部１５は、まず、マウス１９で操作されるカーソル２２０により、第１調整スライダ２０５が選択されているかどうかを判定し（ステップＳ１００）、判定結果がＮＯの場合には処理を終了し、判定結果がＹＥＳの場合には、カーソル２２０により第１調整スライダ２０５が上側（最大値側）に移動操作されているかどうかを判定する（ステップＳ１１０）。
ステップＳ１１０での判定結果がＹＥＳの場合には、第１調整スライダ２０５が第１設定値調整軸表示部２０２の上限に位置しているかどうかを判定する（ステップＳ１２０）。ステップＳ１２０での判定結果がＮＯの場合には、第１調整スライダ２０５をカーソル２２０による操作量分上側（最大値側）に移動し（ステップＳ１２１）、第１調整スライダ２０５の移動量に応じて第２調整スライダ２０４を移動し（ステップＳ１２２）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。
また、ステップＳ１２０での判定結果がＹＥＳの場合には、第２調整スライダ２０４が第１設定値調整軸表示部２０２の上限に位置しているかどうかを判定し（ステップＳ１３０）、判定結果がＮＯの場合には、第２調整スライダ２０４のみを上側（最大値側）に移動し（ステップＳ１３１）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。また、ステップＳ１３０での判定結果がＹＥＳの場合には、第１調整スライダ２０５及び第２調整スライダ２０４とともに、第１調整軸表示部２０２の表示範囲を上側（最大値側）に移動し（ステップＳ１４０）、第２調整軸表示部２１１を表示し（ステップＳ１５０）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。
また、ステップＳ１１０での判定結果がＮＯの場合には、カーソル２２０により第１調整スライダ２０５が下側（最小値側）に移動操作されているかどうかを判定する（ステップＳ１６０）。
ステップＳ１６０での判定結果がＮＯの場合には、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。また、ステップＳ１６０での判定結果がＹＥＳの場合には、第１調整スライダ２０５が第１設定値調整軸表示部２０２の下限に位置しているかどうかを判定する（ステップＳ１７０）。ステップＳ１７０での判定結果がＮＯの場合には、第１調整スライダ２０５をカーソル２２０による操作量分下側（最小値側）に移動し（ステップＳ１７１）、第１調整スライダ２０５の移動量に応じて第２調整スライダ２０４を移動し（ステップＳ１７２）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。
また、ステップＳ１７０での判定結果がＹＥＳの場合には、第２調整スライダ２０４が第１設定値調整軸表示部２０２の下限に位置しているかどうかを判定し（ステップＳ１８０）、判定結果がＮＯの場合には、第２調整スライダ２０４のみを下側（最小値側）に移動し（ステップＳ１８１）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。また、ステップＳ１８０での判定結果がＹＥＳの場合には、第１調整スライダ２０５及び第２調整スライダ２０４とともに、第１調整軸表示部２０２の表示範囲を下側（最小値側）に移動し（ステップＳ１９０）、第２調整軸表示部２１１を表示し（ステップＳ２００）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。
図７は、カーソルにより第２調整スライダを選択した場合のコンピュータ部による数値設定部表示処理の詳細を示すフローチャートである。
コンピュータ部１５は、まず、マウス１９で操作されるカーソル２２０により、第２調整スライダ２０４が選択されているかどうかを判定し（ステップＳ３００）、判定結果がＮＯの場合には処理を終了する。また、ステップＳ３００での判定結果がＹＥＳの場合には、第１調整スライダ２０５を第２調整スライダ２０４の位置に移動する（ステップＳ３１０）。
続いて、第２調整スライダ２０４が上側（最大値側）に移動操作されているかどうかを判定し（ステップＳ３２０）、判定結果がＹＥＳの場合は、第２調整スライダ２０４が第１調整軸表示部２０２の上限に位置しているかどうかを判定する（ステップＳ３３０）。ステップＳ３３０での判定結果がＹＥＳの場合は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４とともに第１調整軸表示部２０２を上側に移動し（ステップＳ３４０）、続いてステップＳ３８０の処理に進む。また、ステップＳ３３０での判定結果がＮＯの場合は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を操作量分上側に移動し（ステップＳ３３１）、続いて、ステップＳ３８０の処理に進む。
また、ステップＳ３２０の判定結果がＮＯの場合には、第２調整スライダ２０４が下側（最小値側）に移動操作されているかどうかを判定し（ステップＳ３５０）、判定結果がＹＥＳの場合は、第２調整スライダ２０４が第１調整軸表示部２０２の下限に位置しているかどうかを判定する（ステップＳ３６０）。ステップＳ３６０での判定結果がＹＥＳの場合は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４とともに第１調整軸表示部２０２を下側に移動し（ステップＳ３７０）、続いてステップＳ３８０の処理に進む。また、ステップＳ３６０での判定結果がＮＯの場合は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を操作量分下側に移動し（ステップＳ３６１）、続いて、ステップＳ３８０の処理に進む。また、また、ステップＳ３５０の判定結果がＮＯの場合には、続いて、ステップＳ３８０の処理に進む。
ステップＳ３８０では、第１調整スライダ２０５がカーソル２２０により選択されているかどうかを判定し（ステップＳ３８０）、判定結果がＹＥＳの場合は、Ｂ１に戻ってステップＳ３００に進む。また、ステップＳ３８０での判定結果がＮＯの場合は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を第１調整軸表示部２０２の中央に移動し（ステップＳ３８０）、Ｂ１に戻ってステップＳ３００に進む。
以上のように構成した本実施の形態における効果を説明する。
従来技術としては、荷電粒子線装置の制御を行うために荷電粒子線装置に備えられている少なくとも一つの制御対象となるデバイスの設定値を変更してデバイスを制御するために、ユーザーがその位置を移動操作可能なように設けられたマーカーを有するグラフィックユーザーインターフェース上のスライダと、マーカーの位置移動操作を行うためのポインティングデバイスとを備えた荷電粒子線装置が知られている。
上記従来技術においては、ユーザーがスライダ上のマーカー位置の移動操作をアクティブにすると、取得したマーカーの基準位置からの変位量を変換手段により変更スピードの値に換算し、この換算値に基づいたコマンドをタイマーで設定した一定時間間隔でデバイスに送信している。そして、マーカー位置の移動操作がアクティブな間、再取得されたマーカーの基準位置からの変位量に基づいて更新したコマンドをデバイス送信する処理を継続することにより、マーカーの基準位置からの変位量に応じてデバイス設定値の変更スピードが変化するようにしている。
しかしながら、上記従来技術においては次のような問題点がある。
すなわち、従来技術においては、マーカー位置の移動操作がアクティブな間はデバイス設定値の変更を継続するように構成している。したがって、この場合には、設定値が適する値になった瞬間に設定値の変更を止めることが難しく、設定値を過剰に変更してしまい、設定値の再変更や再々変更が必要となってしまうことが懸念される。特に、走査電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡のような荷電粒子線装置においては、設定値の非常に細かい調整が要求されるため、上記従来技術が設定値の調整に必ずしも適しているとは言えなかった。
これに対して本実施の形態においては、荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部を表示装置の画面上において画像表示部に並べて配置するとともに、設定値調整軸上に、ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと設定値調整軸上の位置により設定値を設定する第２調整スライダとを配置し、カーソルによる第１調整スライダの移動操作に連動させて第２調整スライダを設定値調整軸に沿って移動させるように構成した。そして、第１調整スライダが設定値調整軸の第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、第１調整スライダの移動距離に対して第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、第１調整スライダが設定値調整軸の第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、第２調整スライダが両端部を除く位置に有る場合であって、カーソルによって第１調整スライダが選択操作されている場合には、第１調整スライダを移動させず、第２調整スライダのみを一方の端部の方向に移動するように構成した。
これにより、本実施の形態においては、動作の制御に係る設定値の粗調整と微調整を容易にかつ正確に行うことができる。
１ 電子銃
２ アノード
３ コンデンサレンズ
４ 一次電子線
５ 偏向器
６ 対物レンズ
７ 二次電子
８ 試料台
９ 試料ステージ
１０ ステージ制御部
１１ 二次電子検出器
１３ 画像記憶部
１４ 主制御部
１５ コンピュータ部
１６ 表示部
１７ 試料
１８ 偏向制御部
１９ マウス（ポインティングデバイス）
２０ キーボード
２１ 専用操作パネル
１００ 制御部
２００ 数値設定画面
２０１ 画像表示部
２０２ 第１設定値調整軸表示部
２０３ 設定値調整軸
２０４ 第２調整スライダ
２０５ 第１調整スライダ
２０６ 規定値設定部
２１１ 第２設定値調整軸表示部

Claims (16)

  1. 試料に荷電粒子線を照射することにより前記試料の画像を生成する荷電粒子線装置であって、
    少なくとも、前記試料の画像を表示する画像表示部を表示する表示装置と、
    前記表示装置の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために前記画面上に表示されたカーソルの操作を行うポインティングデバイスと、
    前記表示装置の画面上において前記画像表示部に並べて配置され、前記荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部と、
    前記設定値調整軸上に配置され、前記ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより前記設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと、
    前記設定値調整軸上に配置され、前記設定値調整軸上の位置により前記設定値を設定する第２調整スライダと、
    前記カーソルによる前記第１調整スライダの移動操作に連動させて前記第２調整スライダを前記設定値調整軸に沿って移動する制御装置であって、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、前記第１調整スライダの移動距離に対して前記第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、前記第２調整スライダが前記両端部を除く位置に有る場合であって、前記カーソルによって前記第１調整スライダが選択操作されている場合には、前記第１調整スライダを移動させず、前記第２調整スライダのみを前記一方の端部の方向に移動する制御装置と
    を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
  2. 試料に荷電粒子線を照射することにより前記試料の画像を生成する荷電粒子線装置であって、
    少なくとも、前記試料の画像を表示する画像表示部を表示する表示装置と、
    前記表示装置の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために前記画面上に表示されたカーソルの操作を行うポインティングデバイスと、
    前記表示装置の画面上において前記画像表示部に並べて配置され、前記荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部と、
    前記設定値調整軸上に配置され、前記ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより前記設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと、
    前記設定値調整軸上に配置され、前記設定値調整軸上の位置により前記設定値を設定する第２調整スライダと、
    前記カーソルによる前記第１調整スライダの移動操作に連動させて前記第２調整スライダを前記設定値調整軸に沿って移動する制御装置であって、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、前記第１調整スライダの移動距離に対して前記第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、前記第２調整スライダが前記両端部を除く位置に有る場合であって、前記カーソルによって前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の一方の端部側に移動操作されている場合には、前記第１調整スライダを移動させず、前記第２調整スライダのみを前記一方の端部の方向に移動する制御装置と
    を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
  3. 請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、
    前記制御装置は、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記第１設定値調整軸表示部における前記設定値調整軸の表示範囲が前記第２調整スライダの移動に合わせて前記一方の端部の方向に相対的に移動することを特徴とする荷電粒子線装置。
  4. 請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、
    前記制御装置は、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記第１設定値調整軸表示部における前記設定値調整軸の表示範囲を前記第２調整スライダの位置を含む前記一方の端部側の範囲に切り換えることを特徴とする荷電粒子線装置。
  5. 請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、
    前記制御装置は、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、その旨を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
  6. 請求項３記載の荷電粒子線装置において、
    前記制御装置は、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記設定値調整軸の全体と、前記第２調整スライダの前記設定値調整軸上の位置とを表示する第２設定値調整軸表示部を前記第１設定値調整軸表示部に並べて表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
  7. 請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、
    前記制御装置は、前記第２調整スライダを前記カーソルにより操作した場合に、少なくとも前記第１調整スライダを前記第１設定値調整軸表示部の中央に移動することを特徴とする荷電粒子線装置。
  8. 請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、
    前記設定値調整軸上に配置された規定値設定部を備え、
    前記制御装置は、前記規定値設定部が前記カーソルにより選択操作された場合には、前記第１及び第２調整スライダを前記設定値調整軸上の予め定めた設定値に移動することを特徴とする荷電粒子線装置。
  9. 試料に荷電粒子線を照射することにより前記試料の画像を生成する荷電粒子線装置の動作を制御する制御装置と、少なくとも、前記試料の画像を表示する画像表示部を表示する表示装置と、前記表示装置の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために前記画面上に表示されたカーソルの操作を行うポインティングデバイスと、前記表示装置の画面上において前記画像表示部に並べて配置され、前記荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部と、前記設定値調整軸上に配置され、前記ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより前記設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと、前記設定値調整軸上に配置され、前記設定値調整軸上の位置により前記設定値を設定する第２調整スライダとを備えた荷電粒子線装置のプログラムであって、
    前記カーソルによる前記第１調整スライダの移動操作に連動させて前記第２調整スライダを前記設定値調整軸に沿って移動し、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、前記第１調整スライダの移動距離に対して前記第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、前記第２調整スライダが前記両端部を除く位置に有る場合であって、前記カーソルによって前記第１調整スライダが選択操作されている場合には、前記第１調整スライダを移動させず、前記第２調整スライダのみを前記一方の端部の方向に移動する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  10. 試料に荷電粒子線を照射することにより前記試料の画像を生成する荷電粒子線装置の動作を制御する制御装置と、少なくとも、前記試料の画像を表示する画像表示部を表示する表示装置と、前記表示装置の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために前記画面上に表示されたカーソルの操作を行うポインティングデバイスと、前記表示装置の画面上において前記画像表示部に並べて配置され、前記荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部と、前記設定値調整軸上に配置され、前記ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより前記設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと、前記設定値調整軸上に配置され、前記設定値調整軸上の位置により前記設定値を設定する第２調整スライダとを備えた荷電粒子線装置のプログラムであって、
    前記カーソルによる前記第１調整スライダの移動操作に連動させて前記第２調整スライダを前記設定値調整軸に沿って移動する制御装置であって、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、前記第１調整スライダの移動距離に対して前記第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、前記第２調整スライダが前記両端部を除く位置に有る場合であって、前記カーソルによって前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の一方の端部側に移動操作されている場合には、前記第１調整スライダを移動させず、前記第２調整スライダのみを前記一方の端部の方向に移動する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  11. 請求項９又は１０記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記第１設定値調整軸表示部における前記設定値調整軸の表示範囲が前記第２調整スライダの移動に合わせて前記一方の端部の方向に相対的に移動する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  12. 請求項９又は１０記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記第１設定値調整軸表示部における前記設定値調整軸の表示範囲を前記第２調整スライダの位置を含む前記一方の端部側の範囲に切り換える処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  13. 請求項９又は１０記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、その旨を表示する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  14. 請求項１１記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記設定値調整軸の全体と、前記第２調整スライダの前記設定値調整軸上の位置とを表示する第２設定値調整軸表示部を前記第１設定値調整軸表示部に並べて表示する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  15. 請求項９又は１０記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    前記第２調整スライダを前記カーソルにより操作した場合に、少なくとも前記第１調整スライダを前記第１設定値調整軸表示部の中央に移動する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  16. 請求項９又は１０記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    前記設定値調整軸上に配置された規定値設定部が前記カーソルにより選択操作された場合には、前記第１及び第２調整スライダを前記設定値調整軸上の予め定めた設定値に移動する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
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