JP5470596B1 - 機能解除モードと機能拡張モードを有する荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】例えば試料ステージの高さの一定維持、及び試料ステージ傾斜角の水平維持、並びに試料画像の視野の上下左右及び回転方向への移動操作する操作領域を画像表示部に表示する拡張解除モードと、試料ステージの高さ及び傾斜角の操作、並びに試料画像の視野の上下左右及び回転方向へ移動操作する操作領域を画像表示部に表示する機能拡張モードを有する荷電粒子線装置に関する。例えば荷電粒子光学系の端部と試料ステージとの間隔及び試料ステージの傾斜を操作できない拡張解除モードと、試料ステージの三次元移動、傾斜及び回転を任意に操作できる機能拡張モードを有し拡張解除モードと機能拡張モードの切替えを操作できる。
【選択図】図2
Description
変わり、試料の見え方が変わる場合があるので、必要に応じて、R軸移動(回転)可能な構成としてもよい。
乱電子が用いられ、ワーキングディスタンスは試料から発生したX線を効率よく取り込むため10mmに変更している。ただし、後方散乱電子検出器が装着されていない場合などは、検出信号として二次電子を用いてもよい。
Claims (18)
- 荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子光学系と、
前記試料から発生した信号電子を検出する検出器と、
前記試料を保持し、X軸、Y軸、Z軸、T軸およびR軸で駆動する試料ステージと、
前記信号電子から形成された試料画像を表示する画像表示部と、
前記荷電粒子源、前記荷電粒子光学系、前記検出器、前記試料ステージ、及び前記画像表示部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部が、前記試料ステージの高さを所定に維持し、および前記試料ステージの傾斜角を水平に維持し、ならびに前記試料画像の視野を上下左右および回転方向に移動操作できる操作領域を前記画像表示部に表示する拡張解除モードと、前記試料ステージの高さおよび傾斜角を操作でき、ならびに前記試料画像の視野を上下左右および回転方向に移動操作できる操作領域を前記画像表示部に表示する機能拡張モードを有し、
前記拡張解除モードと前記機能拡張モードとを切り替える操作領域を前記画像表示部に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記拡張解除モードにおいて前記試料ステージのR軸を一定に維持し、前記操作領域から前記試料画像の視野を回転方向に移動操作する指示が入力されたとき、ラスターローテーションによって前記試料画像の視野を回転させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1または2のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記拡張解除モードにおいて所定の観察条件を選択できる観察条件選択領域を前記画面表示部に表示し、選択された観察条件に応じて前記試料ステージの高さを制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記拡張解除モードから前記機能拡張モードに切り替える場合に、観察条件を引き継ぐことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記機能拡張モードから前記拡張解除モードに切り替える場合に、所定の観察条件を選択できる観察条件選択領域を前記画面表示部に表示し、選択された観察条件に再設定し、前記拡張解除モードに切り替えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記機能拡張モードから前記拡張解除モードに切り替える場合に、前記試料ステージに保持される試料ホルダを設定する試料ホルダ選択領域を前記画像表示部に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜6のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記操作領域から前記試料画像の視野を上下左右に移動操作する指示が入力された場合に、前記試料ステージのX軸およびY軸の制御とイメージシフトによって前記試料画像の視野を上下左右に移動させ、当該試料の倍率が所定よりも低倍率のときにイメージシフトをリセットすることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記操作領域から前記試料画像の視野を上下左右に移動操作する指示が入力された場合に、前記試料ステージのX軸およびY軸の制御とイメージシフトによって前記試料画像の視野を上下左右に移動させ、当該試料ステージの移動に合わせてイメージシフトを複数回リセットすることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜8のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、入力されたユーザ名又はパスワードに応じて前記拡張解除モードと前記機能拡張モードを切り替えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子光学系と、
前記試料から発生した信号電子を検出する検出器と、
前記試料を保持し、三次元移動、傾斜および回転できる試料ステージと、
前記信号電子から形成された試料画像を表示する画像表示部と、
前記荷電粒子源、前記荷電粒子光学系、前記検出器、前記試料ステージ、及び前記画像表示部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部が、前記荷電粒子光学系の端部と前記試料ステージとの間隔および前記試料ステージの傾斜を任意に操作できない拡張解除モードと、前記試料ステージの三次元移動、傾斜および回転を任意に操作できる機能拡張モードを有し、
前記拡張解除モードと前記機能拡張モードとの切り替えを操作できることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記拡張解除モードにおいて前記試料ステージの回転させず、前記試料画像の視野を回転方向に移動操作する指示が入力されたとき、ラスターローテーションによって前記試料画像の視野を回転させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10または11のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記拡張解除モードにおいて所定の観察条件を選択できる観察条件選択領域を前記画面表示部に表示し、選択された観察条件に応じて前記試料ステージの高さを制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10〜12のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記拡張解除モードから前記機能拡張モードに切り替える場合に、観察条件を引き継ぐことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10〜13のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記機能拡張モードから前記拡張解除モードに切り替える場合に、所定の観察条件を選択できる観察条件選択領域を前記画面表示部に表示し、選択された観察条件に再設定し、前記拡張解除モードに切り替えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10〜13のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記機能拡張モードから前記拡張解除モードに切り替える場合に、前記試料ステージに保持される試料ホルダを設定する試料ホルダ選択領域を前記画像表示部に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10〜15のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記操作領域から前記試料画像の視野を上下左右に移動操作する指示が入力された場合に、前記試料ステージのX軸およびY軸の制御とイメージシフトによって前記試料画像の視野を上下左右に移動させ、当該試料の倍率が所定よりも低倍率のときにイメージシフトをリセットすることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10〜16のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、前記操作領域から前記試料画像の視野を上下左右に移動操作する指示が入力された場合に、前記試料ステージのX軸およびY軸の制御とイメージシフトによって前記試料画像の視野を上下左右に移動させ、当該試料ステージの移動に合わせてイメージシフトを複数回リセットすることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10〜17のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、入力されたユーザ名又はパスワードに応じて前記拡張解除モードと前記機能拡張モードを切り替えることを特徴とする荷電粒子線装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013167795A JP5470596B1 (ja) | 2013-08-12 | 2013-08-12 | 機能解除モードと機能拡張モードを有する荷電粒子線装置 |
PCT/JP2014/062983 WO2015022793A1 (ja) | 2013-08-12 | 2014-05-15 | 機能解除モードと機能拡張モードを有する荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013167795A JP5470596B1 (ja) | 2013-08-12 | 2013-08-12 | 機能解除モードと機能拡張モードを有する荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5470596B1 true JP5470596B1 (ja) | 2014-04-16 |
JP2015037028A JP2015037028A (ja) | 2015-02-23 |
Family
ID=50749773
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013167795A Active JP5470596B1 (ja) | 2013-08-12 | 2013-08-12 | 機能解除モードと機能拡張モードを有する荷電粒子線装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5470596B1 (ja) |
WO (1) | WO2015022793A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6533668B2 (ja) * | 2015-03-04 | 2019-06-19 | 日本電子株式会社 | 画像表示装置、画像表示方法、およびプログラム |
JP6823563B2 (ja) * | 2017-07-31 | 2021-02-03 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡および画像処理装置 |
JP7008650B2 (ja) | 2019-02-01 | 2022-01-25 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線システム及び走査電子顕微鏡を用いた試料測定方法 |
JP7308582B2 (ja) * | 2019-10-18 | 2023-07-14 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 集束イオンビーム装置、及び集束イオンビーム装置の制御方法 |
WO2022064628A1 (ja) * | 2020-09-25 | 2022-03-31 | 株式会社日立ハイテク | 電子顕微鏡 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05283033A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-10-29 | Topcon Corp | 電子顕微鏡 |
JP2003303566A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP2011054286A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及びその操作画面 |
-
2013
- 2013-08-12 JP JP2013167795A patent/JP5470596B1/ja active Active
-
2014
- 2014-05-15 WO PCT/JP2014/062983 patent/WO2015022793A1/ja active Application Filing
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05283033A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-10-29 | Topcon Corp | 電子顕微鏡 |
JP2003303566A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP2011054286A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及びその操作画面 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015037028A (ja) | 2015-02-23 |
WO2015022793A1 (ja) | 2015-02-19 |
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