JP5744821B2 - 電子顕微鏡用ユーザ・インタフェース - Google Patents
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Description
サンプルをSEMの高倍率で撮像するとき、経験の少ないオペレータにとって、画像が取得されているサンプル上の場所を判断し、その画像とサンプルの残りとの関係を理解することは困難な場合がある。図4〜8に示すように、ユーザ・インタフェースのグラフィック部分の好適な主画像スクリーン13は、ユーザが拡大された画像を関連付けるのを支援するためにディスプレイ上に残っている3つの「画像ウィンドウ」を含む。アクティブ画像ウィンドウ14と呼ぶ1つのウィンドウは現在のイメージを示す。以下で説明するように、現在の画像は実行中の現在の操作に応じて、サンプルが光学ナビゲーション・カメラ602の下にあるときに撮られた画像、サンプルがSEMの電子カラム103の下にあるときにSEMによって形成された画像、または記憶媒体から呼び出された画像であり得る。
図9に示すように、アーカイブ・スクリーン17はリムーバブルな記憶媒体に格納された画像をユーザに閲覧および操作させる。アーカイブ・スクリーン17は主スクリーン13に類似するものであり、アクティブ画像ウィンドウ136と比較および操作のための保存された画像のサムネイル・ギャラリ131とを含む。主スクリーン13で用いられるのと同様に、データバー33がアーカイブ・スクリーン17上に含まれ得る。コントロールすなわち選択可能アイコン19はデジタル・カメラ・メモリのものと同様であり、ヘルプ・ファイル35にアクセスし、サンプル26を排出し、画像36を削除し、選択された画像を他の画像37と比較するために画像を保持し、ズーミング134、画像ギャラリの閲覧133のためのアイコンを含む。サムネイル・ギャラリ131をスクロールするためのスクロール・バー132も含まれる。ユーザはデジタル・カメラまたは写真編集ソフトウェアで使用可能な他の画像操作を実行することができる。
図10に示すように、設定スクリーン18はユーザが設定可能なある種の機能を提供する。例えば、ユーザはどの検出器構成を使用するかを選択して、電子ビーム画像を形成することができる。「高速(fast)」走査設定は画像更新時間を高速にするが、画像の分解能は低くなる。「品質(quality)」走査設定は画像の更新時間は遅くなるが、分解能は高品質になる。設定スクリーンを使用すれば、ユーザは生の画像を「高速」モードで観察する一方で「品質」モードでその画像を保存することを選択し、USBメモリ・スティックまたは他のリムーバブルな記憶媒体を削除およびフォーマットすることができる。データおよび時間を設定することができ、画像のためにラベルを生成することができる。ユーザはどの形式で画像ファイルを保存するか、つまりTIFFか、JPEGか、またはBMP形式かを選択することができる。ユーザは輝度およびコントラストを自動的に調節するかどうか、およびどれぐらいの頻度で調節するかも設定することができる。例えば、輝度およびコントラストは画像が移動されるときはいつでも調節されてもよいし、定期的に調節されてもよい。非点収差補正はユーザ設定において一旦調節されるとその後、典型的には安定し、追加の調節を必要としない。少なくとも1つのユーザ・プロファイルを選択して、処理時間および操作時間を速くするために特定のユーザの設定を格納することができる。
102 SEMアセンブリ
104 ビデオ・ディスプレイ・モニタ
106 タッチ・スクリーン
108 回転式入力デバイス
Claims (16)
- サンプルを保持するサンプルホルダ(112)と、
前記サンプルの第1の領域の第1の倍率の光学画像を記録する光学カメラであって、前記光学画像が記録されている間に、前記サンプルが真空領域の外部の前記サンプルホルダ内に位置決めされる、光学カメラ(602)と、
前記サンプルが前記サンプルホルダ内に位置決めされている間に、前記サンプルの第2の領域の第2の倍率で電子画像を形成する電子顕微鏡であって、前記第2の倍率が前記第1の倍率よりも大きく、前記第2の領域が前記第1の領域の一部である、電子顕微鏡(102)と、
タッチ・スクリーン(106)を備え、ユーザが前記サンプル上の前記第2の領域の位置を判断できるように、前記電子画像、前記光学画像、およびインジケータを表示し、前記インジケータは前記光学画像の上に重ねて表示されて前記サンプル上の前記第2の領域の位置を示すディスプレイ(104)とを備え、
前記電子画像のある位置に触れると、この触れた位置の前記電子画像が中心にくることによって前記電子画像の視野を変え、
前記第1の領域の光学画像および前記第1の領域の光学画像上に表示される前記第2の領域の前記電子画像の位置が同時に表示され、
前記視野の変更を反映させるため、前記インジケータが自動的に調節され、これにより、前記視野が変更された後の前記サンプル上の前記電子画像の位置をユーザに表示する、電子顕微鏡システム。 - 前記第1の領域に対応する前記光学画像は、並べられた複数の光学画像を組み合わせて生成される、請求項1に記載の電子顕微鏡システム。
- 画像を格納する取外し可能な記憶媒体をさらに備える、請求項1に記載の電子顕微鏡システム。
- 前記画像を格納する前記取外し可能な記憶媒体が、USBフラッシュ・ドライブまたはCD、またはDVDを備える、請求項3に記載の電子顕微鏡システム。
- 前記画像は、全て前記取り外し可能な記憶媒体に格納される、請求項3に記載の電子顕微鏡システム。
- ユーザ入力のために、回転式入力デバイス(108)をさらに含む、請求項5に記載の電
子顕微鏡システム。 - 対物レンズと、撮像のために前記サンプルが前記対物レンズの下に位置決めされる前に、前記サンプル周囲から空気を除去するための少なくとも1つの真空バッファ領域をさらに含む、請求項1〜6のいずれかに記載の電子顕微鏡システム。
- 前記電子ビーム・エネルギがユーザによって調節不可能である、請求項1〜7のいずれかに記載の電子顕微鏡システム。
- 前記サンプルに焦点を合わせるために、前記電子顕微鏡が、前記光学カメラの焦点調節によって決定された焦点面に自動的に合焦される、請求項1〜8のいずれかに記載の電子顕微鏡システム。
- 電子顕微鏡(102)を操作する方法であって、
サンプルホルダ(112)内のサンプルを光学カメラ(602)の視野内に移動するステップと、
真空外部の前記サンプルの一部の光学画像を取得し、格納するステップと、
前記サンプルを電子顕微鏡(102)内に移動するステップと、
前記光学画像の倍率よりも大きい倍率を有する、前記サンプルの電子画像を取得するステップと、
前記サンプルの前記電子画像および前記格納された光学画像をディスプレイ・スクリーン(104)上に表示するステップであって、前記格納された光学画像の表示が前記サンプルの前記格納された光学画像における前記電子画像の位置を示すインジケータ(43、44)を含んでいる、ステップと、
タッチ・スクリーンを介してユーザが指示を入力することにより前記電子画像の視野を変えて前記サンプルの異なる画像を取得するステップと、
前記電子画像の新しい視野を反映させるように前記光学画像上のインジケータを自動的に調節するステップであって、これにより前記視野が変更された後の前記サンプル上の電子画像の位置をユーザに表示する、ステップとを含む方法。 - 前記電子顕微鏡によって形成され、前記光学画像の倍率よりも大きくかつ前記電子画像の倍率よりも小さい倍率を有する、前記サンプルの電子オーバービュー画像を表示するステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記電子顕微鏡の視野を変えるステップが、前記倍率を変えるステップを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記サンプルの一部の光学画像を取得および格納するステップが、前記サンプルの隣接する領域の多数の画像を取得し、並べられたこれら多数の画像を組み合わせて、前記光学カメラの視野よりも大きい前記サンプルのある領域の画像を提供するステップを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記サンプルの電子画像を取得するステップが、前記サンプルが撮像のために対物レンズの下に位置決めされる前に前記サンプルの周囲から空気を除去するために、前記サンプルを真空領域と接触させるステップを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記サンプルの電子画像を取得するステップが、前記サンプルを大気環境から前記電子顕微鏡内へと移動して30秒以内に行われる、請求項10に記載の方法。
- 前記サンプルに焦点を合わせるために、前記電子顕微鏡を前記光学カメラの焦点調節によって決定された焦点面に自動的に合焦するステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
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