JPS5933744A - 試料走査像表示装置 - Google Patents
試料走査像表示装置Info
- Publication number
- JPS5933744A JPS5933744A JP14363282A JP14363282A JPS5933744A JP S5933744 A JPS5933744 A JP S5933744A JP 14363282 A JP14363282 A JP 14363282A JP 14363282 A JP14363282 A JP 14363282A JP S5933744 A JPS5933744 A JP S5933744A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- signal
- scanning
- circuit
- supplied
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査電子顕微鏡等の試料走査像表示装置の改良
に関する。
に関する。
最近走査電子顕微鏡の試料走査像表示装置として異った
倍率の複数の走査像を単−又は複数の陰極線管画面に表
示するタイプのものが使用されているが、その装置構成
の概略を示したものが第１図である。第１図において、
１は走査電子顕微鏡の光軸にそって試料２の表面を照射
する電子線を示しており、電子線照射によって試料２か
ら放出される２次電子等の信号を検出する検出器３の出
力は増幅器４と切換回路５を経て陰極線管６又は７の輝
度変調用信号として印加される。電子ｍ１１１によって
試料表面を２次元的に走査するに１よ光軸に沿って設置
された偏向コイル８Ｘ、８Ｙへ走査偏向信号を供給する
ことによって行われるが、その信号源が図中９で示す走
査信号回路である。馳走査信号回路９の水平（Ｘ）、垂
直（Ｙ）走査信号は陰極線管の偏向コイル６Ｘ、６Ｙ、
７Ｘ、７Ｙにも供給されており、前述した試料面の走査
と同期して陰極線管６，７の画面には試料走査像が表示
される。走査信号回路９の信号出力の一部は二つの異っ
た信号処理経路を経て切換回路１０に供給され、二つの
異った信号処理をされた走査信号が交互に偏向コイル８
Ｘ、８Ｙへ供給される。
倍率の複数の走査像を単−又は複数の陰極線管画面に表
示するタイプのものが使用されているが、その装置構成
の概略を示したものが第１図である。第１図において、
１は走査電子顕微鏡の光軸にそって試料２の表面を照射
する電子線を示しており、電子線照射によって試料２か
ら放出される２次電子等の信号を検出する検出器３の出
力は増幅器４と切換回路５を経て陰極線管６又は７の輝
度変調用信号として印加される。電子ｍ１１１によって
試料表面を２次元的に走査するに１よ光軸に沿って設置
された偏向コイル８Ｘ、８Ｙへ走査偏向信号を供給する
ことによって行われるが、その信号源が図中９で示す走
査信号回路である。馳走査信号回路９の水平（Ｘ）、垂
直（Ｙ）走査信号は陰極線管の偏向コイル６Ｘ、６Ｙ、
７Ｘ、７Ｙにも供給されており、前述した試料面の走査
と同期して陰極線管６，７の画面には試料走査像が表示
される。走査信号回路９の信号出力の一部は二つの異っ
た信号処理経路を経て切換回路１０に供給され、二つの
異った信号処理をされた走査信号が交互に偏向コイル８
Ｘ、８Ｙへ供給される。
前記信号処理経路の一つは低倍率像表示用のもので可変
増幅器１１から成り、該可変増幅器１１を操作すること
にＪ、って鋸歯状走査信号の波高値を変化させ、試料表
面に４３ Ｇｌる走査領域と陰極線管画面の長さ化を調
整して像ｉＨ率を可変することが（゛きる、１父、他の
（ｒｉ月処理経路は高倍率像表示用のムので、ｉす変則
幅器１２．加算回路１３及び可変直流信号回路１４から
なり、鋸歯状走査信号の波＾値だＬＪ Ｃ＜ｔ ＜、そ
のレベルも調整ぐぎるように構成されＣいる。又、高倍
率像用として使用されるための可変増幅器１２の増幅率
は可変増幅器１１の増幅率よりも小ざく設定されている
。走査例月回路９からは走査例月以外にも帰線走査時の
ブランキング信号が発生しており、該ブランキング悟ｇ
１の印加されるスイッチング信号回路１５はブランキン
グ信号に基づいて、各切換回路５，１０へ切換信号を供
給Ｊる。その結果、試１！１２の表面におりる電子線走
査は第２図に示す如く、低倍率像のための広領域１）の
走査と高倍率像のための狭領ｌ１１１！Ｑの走査が各水
平走査ｆσに交互に行われることになり、陰極線包・６
に１よ広領域Ｐの走査が行われている時ＩＩ（１のみ検
出器３の出力が入力されて、その画面には第３図に示す
ような低倍率像が表示され、陰極線管７には狭領１ｔｉ
Ｑの走査が行われている時間のみ検出器３の出力が入力
されで、その画面には第４図に示ずような高倍率像が表
示される。尚、陰極線管６．７に表示される低高倍率像
の対応関係を明らかにするため、第３図に示す如く低倍
率像の中に高倍率像に対応する領域を破線１６で示すこ
ともしばしば行われている。
増幅器１１から成り、該可変増幅器１１を操作すること
にＪ、って鋸歯状走査信号の波高値を変化させ、試料表
面に４３ Ｇｌる走査領域と陰極線管画面の長さ化を調
整して像ｉＨ率を可変することが（゛きる、１父、他の
（ｒｉ月処理経路は高倍率像表示用のムので、ｉす変則
幅器１２．加算回路１３及び可変直流信号回路１４から
なり、鋸歯状走査信号の波＾値だＬＪ Ｃ＜ｔ ＜、そ
のレベルも調整ぐぎるように構成されＣいる。又、高倍
率像用として使用されるための可変増幅器１２の増幅率
は可変増幅器１１の増幅率よりも小ざく設定されている
。走査例月回路９からは走査例月以外にも帰線走査時の
ブランキング信号が発生しており、該ブランキング悟ｇ
１の印加されるスイッチング信号回路１５はブランキン
グ信号に基づいて、各切換回路５，１０へ切換信号を供
給Ｊる。その結果、試１！１２の表面におりる電子線走
査は第２図に示す如く、低倍率像のための広領域１）の
走査と高倍率像のための狭領ｌ１１１！Ｑの走査が各水
平走査ｆσに交互に行われることになり、陰極線包・６
に１よ広領域Ｐの走査が行われている時ＩＩ（１のみ検
出器３の出力が入力されて、その画面には第３図に示す
ような低倍率像が表示され、陰極線管７には狭領１ｔｉ
Ｑの走査が行われている時間のみ検出器３の出力が入力
されで、その画面には第４図に示ずような高倍率像が表
示される。尚、陰極線管６．７に表示される低高倍率像
の対応関係を明らかにするため、第３図に示す如く低倍
率像の中に高倍率像に対応する領域を破線１６で示すこ
ともしばしば行われている。
第１図の装置において、低倍率像の視野を変えるには、
試料２を載置する試料移動手段１７の水平移動機構を操
作して電子線１と試料２の相対的な位置を変化さゼる必
要がある。それは第２図に示す試料面と電子線との交差
位置Ｚと広領域走査の中心が常に一致するためである。
試料２を載置する試料移動手段１７の水平移動機構を操
作して電子線１と試料２の相対的な位置を変化さゼる必
要がある。それは第２図に示す試料面と電子線との交差
位置Ｚと広領域走査の中心が常に一致するためである。
これに対して、高倍率像の視野を移動させるには、試料
装置を操作することによっても行うことができるが、第
１図の装置における可変直流信号回路１４グ操作して狭
領域走査信号のレベルを変化させることによっても行う
ことができる。通常の使用方法では、先ず試料移動手段
１７を操作して低倍率像の視野が所望の視野と一致田る
Ｊ：うに調整し、その後は低倍率像の視野を固定した状
態で、可変直流信号回路１４を操作し低イハ率像中の任
意の領域が高倍率像として表示されるように調整される
。
装置を操作することによっても行うことができるが、第
１図の装置における可変直流信号回路１４グ操作して狭
領域走査信号のレベルを変化させることによっても行う
ことができる。通常の使用方法では、先ず試料移動手段
１７を操作して低倍率像の視野が所望の視野と一致田る
Ｊ：うに調整し、その後は低倍率像の視野を固定した状
態で、可変直流信号回路１４を操作し低イハ率像中の任
意の領域が高倍率像として表示されるように調整される
。
このような従来装置に（１３いては、狭領域走査の中心
が装置の光軸ど一致しないため、高倍率像の受【〕るレ
ンズ収差やｉにＡ ＋ｆｕ歪の影響が低倍率像の場合に
比較して太きく＜ｒる欠点があった。
が装置の光軸ど一致しないため、高倍率像の受【〕るレ
ンズ収差やｉにＡ ＋ｆｕ歪の影響が低倍率像の場合に
比較して太きく＜ｒる欠点があった。
本発明はこのＪ、う＜’に欠点を解決し、高低倍像同時
表示にお【ノる視野移動を高倍率像を基準として行うこ
とを目的と−りるもので、その装置は試料上で荷電粒子
線を走査Ｊるための手段と、該走査領域を狭領域と広領
域とに切換える手段と、該狭領域走査に基づく試料（鍮
ど該広領域走査に基づく試料像とを同時あるい番９Ｌ切
換えて表示するための表示手段と、該試料を移１ＩＩＪ
る手段とを備え、該試料の移動によって該狭領域の走査
位置を変えるように構成し、該試料の移動に応じて該広
領域走査信号のレベルを調整Ｊ“る手段を具備したこと
を特徴とりるものである。
表示にお【ノる視野移動を高倍率像を基準として行うこ
とを目的と−りるもので、その装置は試料上で荷電粒子
線を走査Ｊるための手段と、該走査領域を狭領域と広領
域とに切換える手段と、該狭領域走査に基づく試料（鍮
ど該広領域走査に基づく試料像とを同時あるい番９Ｌ切
換えて表示するための表示手段と、該試料を移１ＩＩＪ
る手段とを備え、該試料の移動によって該狭領域の走査
位置を変えるように構成し、該試料の移動に応じて該広
領域走査信号のレベルを調整Ｊ“る手段を具備したこと
を特徴とりるものである。
第５図は本発明の一実施例装置を示す略図であり、第１
図と同一符号を付したものは同一構成要素を表している
ものとする。第５図の装置では第１図の装置と異り、切
換回路１０に供給する狭領域走査用の走査信号の信号レ
ベルが常に一定（零）に保たれていて信号レベルを変化
させる手段が設置ノられていないのに対して、切換回路
１０に供給される広領域走査用の走査信号の信号レベル
を変化させるための加算器１８と可変直流信号回路１９
が設【プらでいる。又、視野移動信号回路２０が設けら
れており、その出力信号は試料移動手段１７の水平移動
機構をパルスモータを用いて駆動する駆動手段２１に供
給されているので、視野移動信号回路２０を操作するこ
とによって試料を任意の方向へ水平移動させて高倍率像
の視野移動を行うことができる。このどき視野移動信号
回路２０を操作するとその出力信号が演算回路２２にも
供給され、該演算回路２２において試料移動に追従して
広領域走査の走査領域をシフ１〜さＵるｌこめの信号を
演算し、該信号を可変直流信号回路１９へ供給りる。こ
のような操作を行った場合の試料表面の状態を第２図と
対比さ口て第６図に示づ。第５図の装置Ｎの視野移動手
段２０を操作すると第６図にお（Ｊる試料２ど広領域走
査の領１４Ｐが共に移動する。これに対して試料面上の
狭領域走査の領域Ｑは光軸ど試料面どの交点Ｚを中心と
する位置から移動Ｕずに一定に、１犀たれる。その結果
、第５図の装置の陰極線管６．７に表示される低倍率像
と高倍率像の関係は第１図の装置と全く同じであり、低
ｆ８率像中の任意領域が視野移動手段２０の操作にＪ、
って高１８率像として表示されることになる。しかしな
がら高倍率像は常に装置の光軸を中心とした試料走査に
Ｕづいたものであるため、第１図の装置と比較して高倍
率像の像質は収差や歪のない優れた：ｂのど＜Ｔる。
図と同一符号を付したものは同一構成要素を表している
ものとする。第５図の装置では第１図の装置と異り、切
換回路１０に供給する狭領域走査用の走査信号の信号レ
ベルが常に一定（零）に保たれていて信号レベルを変化
させる手段が設置ノられていないのに対して、切換回路
１０に供給される広領域走査用の走査信号の信号レベル
を変化させるための加算器１８と可変直流信号回路１９
が設【プらでいる。又、視野移動信号回路２０が設けら
れており、その出力信号は試料移動手段１７の水平移動
機構をパルスモータを用いて駆動する駆動手段２１に供
給されているので、視野移動信号回路２０を操作するこ
とによって試料を任意の方向へ水平移動させて高倍率像
の視野移動を行うことができる。このどき視野移動信号
回路２０を操作するとその出力信号が演算回路２２にも
供給され、該演算回路２２において試料移動に追従して
広領域走査の走査領域をシフ１〜さＵるｌこめの信号を
演算し、該信号を可変直流信号回路１９へ供給りる。こ
のような操作を行った場合の試料表面の状態を第２図と
対比さ口て第６図に示づ。第５図の装置Ｎの視野移動手
段２０を操作すると第６図にお（Ｊる試料２ど広領域走
査の領１４Ｐが共に移動する。これに対して試料面上の
狭領域走査の領域Ｑは光軸ど試料面どの交点Ｚを中心と
する位置から移動Ｕずに一定に、１犀たれる。その結果
、第５図の装置の陰極線管６．７に表示される低倍率像
と高倍率像の関係は第１図の装置と全く同じであり、低
ｆ８率像中の任意領域が視野移動手段２０の操作にＪ、
って高１８率像として表示されることになる。しかしな
がら高倍率像は常に装置の光軸を中心とした試料走査に
Ｕづいたものであるため、第１図の装置と比較して高倍
率像の像質は収差や歪のない優れた：ｂのど＜Ｔる。
尚、本発明（よ第５図の実施例装置に限定されるしので
（まなく、例えば低倍率像と高倍率像を陰極線管６．７
のＪ：うにｎいに異った二つの画像表示手段に表示りる
代４つりに１１１−の陰極線管の画面を二つに分割し、
夫々の分割画面を低高倍率像表示用の画像表示手段とし
て用いることも容易である。
（まなく、例えば低倍率像と高倍率像を陰極線管６．７
のＪ：うにｎいに異った二つの画像表示手段に表示りる
代４つりに１１１−の陰極線管の画面を二つに分割し、
夫々の分割画面を低高倍率像表示用の画像表示手段とし
て用いることも容易である。
更に低倍率像と高倍率像の比較観察を容易にする装置と
して、従来より単一の陰極線管画面に低倍率像と任意の
高倍率像を瞬時に切り換える手段を設けた走査電子顕微
鏡も使用されているが、これらの装置に上述した本発明
を適用ずれば、その高倍率像の像質を改善するのに効果
が１ｎられることは云うまでもない。
して、従来より単一の陰極線管画面に低倍率像と任意の
高倍率像を瞬時に切り換える手段を設けた走査電子顕微
鏡も使用されているが、これらの装置に上述した本発明
を適用ずれば、その高倍率像の像質を改善するのに効果
が１ｎられることは云うまでもない。
以上のように、本発明によれば高低倍像を同時あるいは
切換えて表示する装置における高倍率像の像質を向上さ
せることができるので、走査電子顕微鏡等にお番］る試
料像表示装置として用いて大きな効果が１ｑられる。
切換えて表示する装置における高倍率像の像質を向上さ
せることができるので、走査電子顕微鏡等にお番］る試
料像表示装置として用いて大きな効果が１ｑられる。
第１図は従来の高低倍像同時表示装置を示す略図、第２
図乃至第４図は第１図の装置の動作を説明するための略
図、第５図は本発明の一実施例装置を示す略図、第６図
は第５図の装置の動作を説明するだめの略図である。 １：電子線、２：試料、３：検出器、５，１０：切換回
路、９：走査佑Ｂ回路、１１．１２＋可変増幅器、１３
．１８：加算器、１４．１９：可変直流信号回路、１Ｅ
）ニスイツチング回路、１７：試料移動手段、２０：視
野移動手段、２１：駆動手段、２２：演紳回路。 特ｎ出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 第２図 第６図 ？ Ｑ 第４図
図乃至第４図は第１図の装置の動作を説明するための略
図、第５図は本発明の一実施例装置を示す略図、第６図
は第５図の装置の動作を説明するだめの略図である。 １：電子線、２：試料、３：検出器、５，１０：切換回
路、９：走査佑Ｂ回路、１１．１２＋可変増幅器、１３
．１８：加算器、１４．１９：可変直流信号回路、１Ｅ
）ニスイツチング回路、１７：試料移動手段、２０：視
野移動手段、２１：駆動手段、２２：演紳回路。 特ｎ出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 第２図 第６図 ？ Ｑ 第４図
Claims (1)
- 試料上で荷電粒子線を走査するための手段ど、該走査領
域を狭領域と広領域とに切換える手段と、該狭領域走査
に基づく試料像と該広領域走査に門づく試料像とを同時
あるいは切換えて表示するための表示手段と、該試料を
移動覆る手段とを備え、該試料の移動によって該狭領域
の走査位置を変えるように構成し、該試料の移動に応じ
て該広領域走査信号のレベルを調整する手段を設けた試
料走査像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14363282A JPS5933744A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | 試料走査像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14363282A JPS5933744A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | 試料走査像表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5933744A true JPS5933744A (ja) | 1984-02-23 |
Family
ID=15343268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14363282A Pending JPS5933744A (ja) | 1982-08-18 | 1982-08-18 | 試料走査像表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5933744A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009540511A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 電子顕微鏡用ユーザ・インタフェース |
-
1982
- 1982-08-18 JP JP14363282A patent/JPS5933744A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009540511A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 電子顕微鏡用ユーザ・インタフェース |
| JP2013033760A (ja) * | 2006-06-07 | 2013-02-14 | Fei Co | 電子顕微鏡用ユーザ・インタフェース |
| US9025018B2 (en) | 2006-06-07 | 2015-05-05 | Fei Company | User interface for an electron microscope |
| US9865427B2 (en) | 2006-06-07 | 2018-01-09 | Fei Company | User interface for an electron microscope |
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