JP2003086355A - 有機el素子の封止構造並びに封止方法及び封止装置 - Google Patents

有機el素子の封止構造並びに封止方法及び封止装置

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JP2003086355A
JP2003086355A JP2001269601A JP2001269601A JP2003086355A JP 2003086355 A JP2003086355 A JP 2003086355A JP 2001269601 A JP2001269601 A JP 2001269601A JP 2001269601 A JP2001269601 A JP 2001269601A JP 2003086355 A JP2003086355 A JP 2003086355A
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sealing
organic
substrate
adhesive
sealing plate
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Kafu Chin
華夫 陳
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KIKO KENJI KAGI KOFUN YUGENKOS
KIKO KENJI KAGI KOFUN YUGENKOSHI
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KIKO KENJI KAGI KOFUN YUGENKOS
KIKO KENJI KAGI KOFUN YUGENKOSHI
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 封止部材として単純な構造を有する封止板を
用いることで、キャップと同等の機能を奏し、簡単な封
止作業で且つ安価に封止を行うことを可能にする有機E
L素子の封止方法及びそのための装置を提供する。 【解決手段】 透明ガラス製の封止板4には、基板2と
の組合わせ状態で有機EL素子3を取り囲む状態となる
閉ループ状の複数条の封止用凸条15a〜15dが予め
形成される。封止用凸条間に形成される溝16b内に
は、接着剤6が塗布により供給される。封止板4が接着
剤6によって基板2に接着されるとき、接着剤6の有機
EL素子3側への流れ込みを、内側溝16aに留め置く
ように制御することにより、接着剤6が有機EL素子3
を損なうことなく、有機EL素子3を密封することが可
能になる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、基板に形成され
た有機EL素子を空気中等に存在する酸素や水分から保
護するため、有機EL素子を封止板で封止した、有機E
L素子のための新規な封止構造、封止方法及び封止装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】有機EL(エレクトロルミネセンス)デ
ィスプレイのような有機EL素子は、薄型で全固体型の
面発光表示デバイスであり、バックライトが不要で消費
電力が少なく、信頼性が高く、高精細、高コントラスト
の高画質表示が可能であることから、近年、ディスプレ
イの分野で着目されている。有機EL素子は、プリント
配線基板等の基板上に完成時に陰極となる金属電極を予
め形成しておき、その上に発光層となる有機EL素子の
有機薄膜を形成し、更に、その有機薄膜の上に金属材料
を蒸着することにより完成時に陽極となる透明電極を形
成している。このような有機EL素子は、例えば、真空
蒸着法又はスパッタリング法で金属電極と透明電極とを
形成し、真空蒸着法で有機薄膜を形成することで製造さ
れている。
【0003】有機薄膜の真空蒸着は、具体的には、真空
槽内に配置し内部に蒸着材料である有機原料を収容した
蒸発源を加熱して有機原料を蒸発させ、蒸発したガス状
の有機原料を蒸発源の上方に配置した基板の下向きの被
蒸着面に付着させて成膜させることで行われている。成
膜の都度、基板の上に所定のマスクを配置した状態で蒸
着を行うことにより、有機薄膜や金属薄膜が所定のパタ
ーンで成形される。
【0004】有機材料が非常に高価であるため、有機E
L素子を安価に供給するには、有機EL素子の製造コス
トを低減することが肝要であり、特に、製造装置を連続
して運転し、製造装置の稼働中にできるだけ多くの有機
EL素子を製造することが必要である。即ち、有機原料
の蒸発は高度に真空状態とされた製造装置のチャンバ内
で行われるので、有機原料の補充や交換を行うために頻
繁に製造装置を停止すると、その度にチャンバ内の真空
の解除及び再真空化が必要となって装置の稼働効率が悪
化し、製品コストが上昇する。従って、有機原料が投入
される容器として、原料投入量が多く一定の蒸発量が期
待され且つ運転時間を長く取ることができるセル型蒸発
源を用いることで、一度真空にされた製造装置のチャン
バ内で連続して基板に対して蒸着を行うことが好まし
い。
【0005】有機EL素子は酸素や水分に接触すること
を回避すべき素子であり、酸素や水分に接触した有機E
L素子の寿命は極めて短くなる。従って、高度な真空状
態に保たれた製造装置で製造された有機EL素子は、大
気中に含まれる酸素等に接触しないように、そうした真
空環境下又は窒素ガス等の高純度の不活性ガス環境下で
直ちに封止する必要がある。従来、有機EL素子の封止
には、図10に示すように、ガラス製の基板2上に形成
された有機EL素子3をガラス、金属等から製造された
キャップ20で覆う手法が採用されている。図10
(a)は基板2上に形成された四つの有機EL素子をそ
れぞれ別々のキャップ20で覆った状態を示す斜視図、
同図(b)はその一部を切断して示す断面図である。図
10(b)に示すように、キャップ20は、真空中又は
不活性ガス中で、有機EL素子3が形成された基板2の
上に被せられ、キャップ20の周囲に形成されている縁
部21を基板2に対して接着剤22で接着することで、
有機EL素子3が封止される。
【0006】図10(a)に示すように、通常、基板2
上には複数の有機EL素子3が同時に同じパターンにて
形成されるので、製造される有機EL素子3の大きさに
応じて、予め多種類のキャップ20を多数個用意してお
く必要がある。キャップ20は有機EL素子3に接触し
ないような特有の形状を有しているので、金型もそれに
応じた形状・構造が必要であり、結果的に有機EL素子
3の製造コストを上昇させている。また、有機EL素子
3の封止は、有機EL素子3を酸素等に晒すことなく高
度の真空中又は不活性ガスの環境下で、しかも複数のキ
ャップ20を次々と有機EL素子3上に正確に被せて接
着して行う必要があるので、キャップ20のハンドリン
グ、キャップ20又は基板2への接着剤22の塗布等、
気密の条件下で、複雑で高精度な作動要求を満たす機構
とそうした機構を操る制御が求められる。従って、キャ
ップ20による封止は、その実施に時間を要し、大量生
産に対する制約となると共に製造コストを上昇させてい
るという問題がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明の課
題は、有機EL素子の封止方法及びその装置について、
キャップの特有の形状が封止作業を複雑にすると共に製
造コストを上昇させていることに注目して、封止部材と
してキャップに代えて平板状という単純な構造を有する
封止板を用いることで、キャップが奏していた機能を損
なうことなく引き継いで、簡単な封止作業で且つ安価に
封止を行うことを可能にする有機EL素子の封止のため
の構造、方法及び装置を工夫することにある。
【0008】この発明の目的は、特有な形状を有するキ
ャップの代わりにガラス板のような簡単な構造を有する
封止板を用いることで、キャップが奏していた機能は確
保するがキャップを用いることに伴って生じる上記のよ
うな各種の不都合を回避し、簡単で安価に封止すること
ができる有機EL素子の封止構造、封止方法及び封止装
置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明による有機EL
素子の封止構造は、基板に形成された有機EL素子を封
止するため前記基板に前記有機EL素子を覆う状態に封
着される封止部材を備え、前記封止部材は前記有機EL
素子を取り囲む閉ループ状に形成された単一又は複数条
の封止用凸条を有する封止板であり、前記封止板は前記
封止用凸条を前記基板に対して接着剤によって接着する
ことで前記基板に封着されていることから成っている。
【0010】この有機EL素子の封止構造によれば、基
板に有機EL素子を覆う状態に封着される封止部材は封
止板から成り、有機EL素子を取り囲む閉ループ状に形
成された単一又は複数条の封止用凸条を基板に対して接
着剤によって接着することで基板に封着される。基板上
に形成された有機EL素子は、封止用凸条が形成された
簡単な構造を有する板状の封止板と接着剤で封止され、
極めて簡単で確実な封止構造が得られる。
【0011】この発明による有機EL素子の封止方法
は、有機EL素子が形成された基板に対して前記有機E
L素子を覆う状態に封止板を封着させることによる有機
EL素子の封止方法において、前記封止板に前記基板と
の封着状態で前記有機EL素子を取り囲むことが可能な
単一又は複数条の閉ループ状の封止用凸条を形成し、前
記封止用凸条に関連して接着剤を施し、前記封止用凸条
を前記接着剤によって前記基板に接着することで前記封
止板を前記基板に封着することから成っている。
【0012】この有機EL素子の封止方法によれば、封
止板には、基板への封着状態で有機EL素子を取り囲む
ことが可能な単一又は複数条の閉ループ状の封止用凸条
が予め形成され、封止用凸条に関して接着剤が施され
て、封止板を基板に押し当てるだけで封止板は接着剤に
よって基板に接着される。基板に形成されている有機E
L素子は、封止用凸条が形成された封止板、及び接着剤
によって簡単な工程を経て短時間に封止が完了する。
【0013】この有機EL素子の封止構造及び封止方法
において、前記封止用凸条は単一又は互いに僅かの間隔
を置いて隣接する二条乃至四条の凸条であり、いずれか
一つの凸条又は少なくとも互いに隣接する二つの前記凸
条は、前記一つの凸条の頂部に施された前記接着剤又は
隣接する二つの前記凸条の間に形成される単一乃至三条
のループ状の溝に施され且つ前記封止板の前記基板への
押圧時に前記隣接する二つの凸条上に押し出された前記
接着剤によって、前記基板に接着される。
【0014】即ち、前記封止用凸条が単一凸条であると
きには、前記接着剤を前記単一凸条の頂部に付着させる
ことができる。単一凸条の頂部に塗布された接着剤は、
封止板を基板に押し当てたときに基板と封止板とを接着
する。また、前記封止用凸条が互いに隣接する二条の凸
条であるときには、前記接着剤は前記両凸条の間に形成
される単一溝内に盛り付けるように施される。接着剤の
量は、両側の凸条の頂部を結ぶ溝のすりきり線よりも多
めであり、溝から盛り上がる程度に設定される。単一溝
内に盛り付けられた接着剤は、封止板を基板に押し当て
たときに、基板と封止板とを接着する。また、前記封止
用凸条が互いに隣接する三条の凸条であるときには、前
記接着剤は隣り合う前記凸条の間に形成される内側溝又
は外側溝内に盛り付けられる。接着剤の量は、内側溝又
は外側溝のすりきり線よりも多めであり、溝から盛り上
がる程度に設定される。溝に盛りつけられた接着剤は、
封止板を基板に押し当てたときに、基板と封止板とを接
着する。更に、前記封止用凸条が互いに隣接する四条の
凸条であるときには、前記接着剤を隣り合う前記凸条の
間に形成される三条の溝のうち内外の溝間に形成される
中央溝に内に盛り付けることができる。この場合も、接
着剤の量は、中央溝のすりきり線よりも多めであり、溝
から盛り上がる程度に設定される。中央溝に盛り付けら
れた接着剤は、封止板を基板に押し当てたときに基板と
封止板とを接着する。
【0015】この有機EL素子の封止構造及び封止方法
において、前記封止用凸条は、セラミックス、アクリル
樹脂等の硬質材料から形成されている。封止用凸条の高
さは、基板上に形成される有機EL素子と封止板との間
に隙間を保つことで、有機EL素子が封止板と接触しな
いような高さに設定される。封止用凸条をセラミック
ス、アクリル樹脂等の簡単には潰れない硬質材料で形成
することにより、故障の原因となる機械的な衝撃等から
有機EL素子の保護を図ることが可能になる。封止板上
の封止用凸条については、セラミックス、アクリル樹脂
等の硬質材料をインキ化して塗布するという印刷手法を
用いて形成することができる。印刷手法を用いることに
より、封止用凸条を、その幅や高さを高精度で且つ迅速
に安価に形成することが可能になる。また、印刷手法、
特に、スクリーン印刷手法を利用することで、封止板上
に単一又は複数条の封止用凸条を形成するときにも、高
さや互いの間隔を正確に保つ等の精密なパターンで形成
することが可能になる。
【0016】この有機EL素子の封止構造及び封止方法
において、前記接着剤は紫外線硬化型接着剤であり且つ
前記封止板は透明板であり、前記封止板に施した前記接
着剤に前記封止板を透過する紫外線を照射することによ
り、前記接着剤が硬化して前記封止板が前記基板に封着
される。即ち、接着剤として紫外線硬化性接着剤を用い
ることで、有機EL素子に影響のある空気乾燥等を必要
とせず、真空中又は不活性ガス中で紫外線を照射するこ
とにより接着剤の硬化を行って、有機EL素子の封止が
迅速に且つ簡単に行われる。
【0017】この有機EL素子の封止構造及び封止方法
において、前記基板には複数個の前記有機EL素子が互
いに隔置して形成されており、前記封止板には、前記各
有機EL素子に対応してそれぞれ前記封止用凸条が形成
されている。有機EL素子の製造コストの低減を図るた
め、同じ基板に複数個の有機EL素子を形成することが
行われているが、これに対応するため、封止板にも、基
板上の有機EL素子の形成パターンに応じて、各有機E
L素子に応じた封止用凸条が形成される。
【0018】この有機EL素子の封止方法において、前
記接着剤は、前記封止板を前記基板に押圧させるとき
に、前記単一凸条又は最も内側に形成されている前記封
止用凸条を越えて前記有機EL素子側に流れ込む接着剤
の量に基づいて、若しくは前記接着剤が施された前記溝
から前記封止用凸条を越えて前記内側溝内に流れ込む前
記接着剤を前記内側溝内に収容することにより、前記有
機EL素子側への流れ込みが制御されている。即ち、封
止用凸条を越えて有機EL素子側に流れ込む接着剤の量
を予め計算しておくことにより、有機EL素子への接着
剤の影響を無くすことが可能である。また、内側に接着
剤が施されない溝を残して、接着剤を中央又は外側の溝
に施すことにより、封止用凸条を超えて内側に流れ出る
接着剤は、内側の溝内に収容されるので、更に内側に位
置する有機EL素子へ影響を及ぼすことがない。封止用
凸条を四条に形成し各封止用凸条間に三重の溝が形成さ
れる場合も、中央溝に施した背着剤は基板と封止板との
押し当て時に両側の封止用凸条を越えるときに内外の両
溝内に収容され、内側の有機EL素子への影響について
は勿論のこと、同じ基板に形成されている他の有機EL
素子への接着剤の影響も完全に押さえることが可能であ
る。
【0019】この有機EL素子の封止方法において、前
記封止板の前記基板への封着は、前記有機EL素子の製
造を行う真空チャンバの一部を形成する封止用真空チャ
ンバ部内で行われる。封止板の基板への封着を封止用真
空チャンバ部内で行うことにより、有機EL素子の封止
を有機EL素子の製造と連続して行うことができ、基板
に対する蒸着から封止までの有機EL素子の一貫生産が
可能になる。
【0020】この発明による有機EL素子の封止装置
は、有機EL素子が形成された基板を封止位置に供給す
る基板供給機構、前記基板に対向する面側に前記基板と
の封着状態で前記有機EL素子を取り囲むパターンで封
止用凸条が形成され且つ前記封止用凸条に関連して接着
剤が施された封止板を前記封止位置に供給する封止板供
給機構、及び前記封止位置に供給された前記封止板を保
持すると共に前記基板に押圧させる保持押圧機構から構
成されている。
【0021】この有機EL素子の封止装置によれば、封
止板供給機構は、有機EL素子を取り囲むパターンで封
止用凸条が形成され且つ封止用凸条に関連して接着剤が
施された封止板を封止位置に供給する。基板供給機構は
有機EL素子が形成された基板を封止位置に供給し、保
持押圧機構は封止位置に供給された前記封止板を前記基
板に押圧させる。こうした各機構の一連の作動によっ
て、封止板が基板に封着される。
【0022】また、この有機EL素子の封止装置におい
て、前記封止板は透明な板材から成り、前記接着剤は紫
外線硬化型接着剤であり、前記封止位置には、前記封止
板が前記保持押圧機構によって前記基板に押圧されたと
きに前記封止板を透過して前記基板に付着した前記紫外
線硬化型接着剤を硬化させる紫外線を照射するランプが
配設されている。保持押圧機構によって封止位置に供給
された封止板が基板に押圧された状態でランプを点灯す
ると、照射された紫外線が封止板を透過し基板に付着さ
れた紫外線硬化型接着剤を硬化させて、封止板が基板に
封着される。
【0023】また、この有機EL素子の封止装置におい
て、前記基板供給機構は前記基板を前記有機EL素子が
形成された面を下に向けて露出させた状態で搬送する搬
送枠を備え、前記保持押圧機構は前記封止板を前記紫外
線硬化型接着剤が施された面を上に向けて露出させた状
態で支持する支持枠を備えており、前記封止板供給機構
は前記封止板を前記支持枠に移載可能に供給し、前記ラ
ンプは前記保持押圧機構の下方に配置されている。即
ち、封止板供給機構は封止位置において封止板を支持枠
に移載することで供給し、封止位置に供給された封止板
は、紫外線硬化型接着剤が施された面を上に向けて露出
させた状態で支持枠によって支持される。基板は、搬送
枠によって有機EL素子が形成された面を下に向けて露
出させた状態で封止位置に搬送されてくる。封止位置に
おいて、封止板が保持押圧機構によって基板に押圧され
ている状態で、保持押圧機構の下方に配置されているラ
ンプによって紫外線が照射され、紫外線硬化型接着剤が
硬化することで、封止板が基板に封着される。
【0024】また、この有機EL素子の封止装置におい
て、前記封止板供給機構に関連して前記接着剤を前記パ
ターンで塗布する接着剤塗布機構が設けられれている。
封止板に接着剤を塗布する接着剤塗布機構を封止板供給
機構に関連して設けることにより、封止板は封止装置に
積み重ね状態で供給すればよく、封止装置内で封止され
る直前に各封止板に接着剤が塗布される。
【0025】更に、この有機EL素子の封止装置におい
て、前記基板供給機構、前記封止板供給機構及び前記保
持押圧機構は、前記有機EL素子の製造を行う真空チャ
ンバの一部を形成する封止用真空チャンバ部内に配置さ
れている。封止板の基板への封着を行うための各機構を
封止用真空チャンバ部内に配置することにより、有機E
L素子の封止を有機EL素子の製造と連続して行うこと
ができ、基板に対する蒸着から封止までの有機EL素子
の一貫生産を、大気に触れる機会を極力排除した状態で
行うことが可能になる。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、本発明による有機EL素子
の封止構造、封止方法及び封止装置の各実施例を図面に
基づいて説明する。図1は、この発明による有機EL素
子の封止方法を説明する工程図であり、封止装置との関
係からすると天地が逆の状態に示してある。図1におい
て、有機EL層や金属蒸着層のような蒸着層は、有機E
L素子3の製造過程上、有機EL素子の製造を行う真空
チャンバ(図示せず)内でガラス製の基板2の下面に形
成される。基板2は、有機EL素子3を下方に向けたま
ま、真空チャンバの一部を形成する封止用真空チャンバ
部1内にで行われる封止工程に移行する。有機EL素子
3を封止するための封止板4は透明ガラス製であるが、
後述するように、紫外線を透過可能にする性質のもので
あれば、他の材料、例えば、透明アクリル板であっても
よい。
【0027】封止板4には、予め、基板2上における有
機EL素子3の製作パターンに対応させて、基板2と組
み合わせたときに各有機EL素子3を取り囲む閉ループ
状となる一条又は複数条の封止用凸条(以下、単に「凸
条」と略す)5が形成されている。封止板4には、予
め、凸条5に関連して紫外線硬化型の接着剤6が施され
る。また、後述する封止装置内に設けられた接着剤塗布
機構により、接着剤を所定のパターンで塗布してもよ
い。有機EL素子3が形成された基板2は、封止板4に
圧着され、その状態で紫外線を照射するランプ(UVラ
ンプ)7が点灯される。ランプ7から照射された紫外線
によって接着剤6が硬化することで、封止板4が基板2
に接着され、封着される。各有機EL素子3は、基板
2、封止板4及び凸条5で囲まれる状態となり、外気中
に含まれる酸素や水分、或いは雨水等の液体から絶縁さ
れた封止状態となる。
【0028】凸条5は、セラミックス又はアクリル樹脂
等の、硬化した状態では相当の硬度を示す硬質材料が用
いられる。凸条5の形成は、マスクが掛けられない部分
だけが封止板4上に塗布されるスクリーン印刷等の印刷
手法を利用して行われる。印刷手法を用いることによ
り、凸条5を封止板4上に非常に高精度のパターンと高
さで、高速且つ安価に形成することができ、少量生産か
ら大量生産まで対応することができる。封止工程が完了
した有機EL素子3は、封止用真空チャンバ部1から取
り出された後、切断等の後工程に移行される。
【0029】図2は、封止板4に形成される封止用凸条
の一例とそれを用いた基板の封止構造及び封止方法を示
す断面図である。図2に示す例では、凸条5は、閉ルー
プ状に形成される1本から成る単一凸条10である。単
一凸条10の頂面には、紫外線硬化性樹脂から成る接着
剤(UV硬化接着剤)6が塗布される。接着剤6が塗布
された封止板4に対して、下面に有機EL素子3が形成
された基板2を押し当てることにより、単一凸条10の
頂面上の接着剤6が基板2に付着する。その後、紫外線
を照射することで、接着剤6が硬化し、各有機EL素子
3の周りで封止板4と基板2とが接着封止される。接着
剤6は、封止板4に対して基板2を押し当てるときに、
単一凸条10の両側に流れる可能性があるが、内側に流
れる接着剤6については、単一凸条10と有機EL素子
3との間の距離と接着剤6の塗布量とを予め計算の上確
保することにより、接着剤6が有機EL素子3に付着す
る等の影響を無くすことができる。
【0030】図3は、封止板に形成される凸条の別の例
とそれを用いた基板の封止構造及び封止方法を示す断面
図である。図3に示す例では、封止用凸条は、二重の閉
ループ状に形成される隣接する二条の凸条11a,11
bであり、両凸条11a,11bの間には、一定の幅の
1本の溝12が形成されている。溝12には、図2の場
合と同様の紫外線硬化性樹脂から成る接着剤6が、凸条
11a,11bの頂面を結ぶ溝12のすりきり線から盛
り上がる状態にまで盛り付けられる。封止板4に対して
基板2を押し当てることで、溝12に盛り付けられた接
着剤6が凸条11a,11bを越えて流れるが、凸条1
1a,11b上に残る接着剤6が基板2に付着する。そ
の後、紫外線を照射することで接着剤6が硬化し、各有
機EL素子3の周りで封止板4と基板2とが接着封止さ
れる。凸条11a,11bの頂面を越えて両側に流れる
接着剤6のうち、内側に流れる接着剤6については、凸
条11a,11bと有機EL素子3との間の距離を予め
計算して確保することにより、有機EL素子3に付着す
る等の影響を無くすことができる。
【0031】図4は、封止板に形成される封止用凸状の
他の例とそれを用いた基板の封止構造及び封止方法を示
す断面図である。図4に示す例では、封止用凸状は三条
の凸状13a,13b,13cであり、中央の凸条13
bとその両側の内側の凸条13a,外側の13cとの間
には、それぞれ一定の幅の溝、即ち、内側溝14aと外
側溝14bとが形成されている。中央の凸条13bと外
側の凸条13cとの間に形成される外側溝14bには、
図2の場合と同様の紫外線硬化性樹脂から成る接着剤6
が外側溝14bのすりきり線から盛り上がる状態にまで
盛り付けられる。封止板4と基板2との押し当てによる
接着剤6の基板2への付着、紫外線の照射、凸条13
b,13cの頂面における接着剤6の硬化、及び各有機
EL素子3の周りで封止板4と基板2との接着封止につ
いては、先の例と同様である。外側溝14bに盛り付け
られた接着剤6は、閉ループ状の各凸条13b,13c
の頂面を越えて内外両側に流れる可能性があるが、内側
に流れる接着剤6については、中央の凸条13bと内側
の凸条13aとの間に形成される内側溝14a内に入り
込んで止まり、内側の凸条13aを越えて有機EL素子
3側に侵入することはない。そのため、有機EL素子3
を接着剤6から確実に保護することができる。なお、接
着剤6の塗布は、有機EL素子3に付着することを回避
すれば内側溝14aに対して行うことも可能ではある
が、上記のとおり、接着剤6の流れが内側溝14aで止
められることを考慮すると、外側溝14bに施す方が好
ましい。
【0032】図5は、封止板に形成される封止用凸条の
更に他の例とそれを用いた基板の封止構造及び封止方法
を示す断面図である。図5に示す例では、封止板4に形
成される封止用凸条は四条の凸条15a,15b,15
c,15dであり、互いに隣接する凸条間にはそれぞれ
一定の幅を有する三つの溝16a,16b,16cが形
成されている。中央の溝16bには、図2の場合と同様
の紫外線硬化性樹脂から成る接着剤6が溝のすりきり線
から盛り上がる状態にまで盛り付けられる。封止板4と
基板2との押し当てによる背着剤6の基板2への付着、
紫外線の照射、凸条15b,15cの頂面における接着
剤6の硬化、及び各有機EL素子3の周りで封止板4と
基板2との接着封止については、先の例と同様である。
中央溝16bに盛り付けられた接着剤6は、中央溝16
bを形成する各凸条15b,15cの頂面を越えて両側
に流れる可能性があるが、何方に流れる接着剤6につい
ても、それぞれ内側溝16aと外側溝16c内に流れ込
んで止まり、内側の凸条15aを越えて有機EL素子3
側に侵入することもないばかりでなく、外側の凸条15
dを越えて別の有機EL素子3に向かって流れることも
ない。
【0033】次に、図6乃至図9に基づいて、この発明
による有機EL素子の封止装置について説明する。図6
はこの発明による有機EL素子の封止装置の一実施例を
示す側面図、図7は図6に示す有機EL素子の封止装置
の一部を拡大して示す正面図、図8は図7に示す有機E
L素子の封止装置の側面図、図9は図7に示す有機EL
素子の封止装置の上面図である。図6に示すように、有
機EL素子の封止装置30は、封止用真空チャンバ部1
に関連しており、その殆どの機構が封止用真空チャンバ
部1内に配置されている。即ち、有機EL素子の封止装
置30は、有機EL素子が形成された基板2を封止位置
Psに供給する基板供給機構31、封止板4を封止位置
Psに供給する封止板供給機構32、及び封止位置Ps
に供給された封止板4を基板2に押圧させる保持押圧機
構33から構成されており、接着剤が紫外線硬化型接着
剤である場合には、接着剤6に紫外線を照射するための
UVランプ7が更に設けられている。
【0034】これらの各機構31〜33,UVランプ7
は、有機EL素子3の製造を行う真空チャンバの一部を
形成する封止用真空チャンバ部1内に配置されている。
各機構31〜33及びUVランプ7を封止用真空チャン
バ部1内に配置することにより、有機EL素子3の封止
を有機EL素子3の製造と連続して行うことができ、基
板2に対する蒸着から封止までの有機EL素子3の一貫
生産を、大気に触れる機会を排除した状態で行うことが
できる。なお、封止板供給機構32が封止位置Psに供
給する封止板4には、図1〜図5に示したように、基板
2に対向する面側に封着状態で有機EL素子3を取り囲
むパターンで封止用凸条5が形成されていると共に、封
止用凸条5に関連して接着剤6が施されている。また、
封止板4は透明なガラス板材から成り、接着剤6は紫外
線硬化型接着剤である。
【0035】封止用真空チャンバ部1はボックス状の構
造を有しており、基板供給機構31は、図6に示す状態
において、紙面に垂直な方向にボックス内部び延びるロ
ーラコンベヤ35から構成されている。ローラコンベヤ
35は、それぞれ、搬送方向に延びる一対のサイドフレ
ーム36,36と、各サイドフレーム36に設けられた
一対の軸受37,37によって回転自在に支持された短
い回転軸38と、各回転軸38の内側端部に取り付けら
れた搬送ローラ39とを有し、軸方向に対向させた一対
の回転軸38,38が搬送方向に直交する方向に等間隔
に並べて構成されている。各回転軸38は、一対のサイ
ドフレーム36,36に延びる駆動軸40によって適宜
の伝動機構を介して回転方向を変換して駆動されるの
で、各搬送ローラ39は能動的に駆動される。
【0036】基板2は、有機EL素子3が形成された面
を下に向けて露出させた状態でその周辺部2a(図8参
照)がキャリヤとしての搬送枠41に載せられる。搬送
枠41はその両側部において常に複数の搬送ローラ39
に支持されているので、駆動軸40によって回転軸38
を駆動し搬送ローラ39を回転させることで、搬送枠4
1は係合するどの搬送ローラ39からも等しく駆動さ
れ、載置している基板2を封止位置Psまで供給するこ
とができる。搬送枠41を封止位置Psに正確に停止さ
せるため、搬送枠41の到着毎に作動するストッパ42
(図7参照)が設けられている。
【0037】封止板4を封止位置Psに供給する封止板
供給機構32は、封止用真空チャンバ部1の下壁部1a
に取り付けられた封止板4のスタック50を装填する装
填室51と、スタック50を封止用真空チャンバ部1に
上昇搬入させる搬入駆動部52と、封止用真空チャンバ
部1に搬入されたスタック50の最も上部に位置する封
止板4を把持して封止位置Psまで移送する移送ロボッ
ト53とを有している。装填室51は、スタック50を
装填するためハンドル55で開閉可能な外側ドア56を
備えており、封止作業中の封止用真空チャンバ部1内の
真空を破壊しないように、封止用真空チャンバ部1との
間も外部から開閉操作可能な内側ドア57によって区切
られている。外側ドア56及び内側ドア57を閉じたと
きには、装填室51の内部は真空ポンプで真空化できる
ように密閉構造となる。
【0038】搬入駆動部52は電動モータ等のアクチュ
エータ58によって駆動される搬入ロッド59を備えて
おり、搬入ロッド59は装填室51の壁部を密封状態を
維持しつつ貫通して延びている。移送ロボット53は、
先端部61に吸着具62を備えた屈曲自在な移動体60
を持ち、リニアモータ等の適宜の手段で駆動される。先
端部61が搬入駆動部52によって上昇されたスタック
50の直上位置に移動してきたとき、吸着具61が下降
して最上部に位置する封止板4を吸着把持し、吸着把持
した封止板4を移動体60の屈曲移動によって封止位置
Psの直上位置にまで供給する。基板2が封止位置Ps
に搬送されてきておらず封止位置Psが空所状態である
ときに、吸着具61が下降して、把持した封止板4を後
述する保持押圧機構33に移載する。
【0039】封止位置Psに供給された封止板4を基板
2に押圧させる保持押圧機構33は、封止板4を載置可
能なステージ70と、ステージ70を上下方向に駆動す
る上下駆動部71とを備えている。ステージ70は、封
止板4を紫外線硬化型接着剤6が施された面を上に向け
た露出状態で支持する環状の支持枠72を有している。
上下駆動部71は、封止用真空チャンバ部1の外部から
内部へと密封状態に延びる駆動ロッド73を有してい
る。封止用真空チャンバ部1の外部に設けられた適宜機
構により駆動ロッド73を駆動することでステージ70
が上下動し、支持枠72に支持されている封止板4が基
板2に対して押圧される。押圧時に基板2が浮き上がる
のを防止するため、例えば、搬送枠41との間で基板2
の周辺部2aを挟み込むチャック等の、適宜の押さえ手
段が設けられる。
【0040】保持押圧機構33の下方、即ち、ステージ
70の支持枠72の下方には、封止板4が保持押圧機構
33によって基板2に押圧されたときに、封止板4を透
過して基板2に付着した紫外線硬化型接着剤6を硬化さ
せる紫外線を照射するランプ7が封止用真空チャンバ部
1に固定状態に配設されている。ランプ7が照射する紫
外線は、環状の支持枠72の空所を通って、透明な封止
板4を通過し、接着剤6を硬化させる。
【0041】また、有機EL素子の封止装置30におい
て、封止板供給機構31に関連して接着剤6を封止板4
に所定のパターンで塗布する接着剤塗布機構80を設け
ることができる。接着剤塗布機構80は、スタック50
の最上部に位置する封止板4に対して、上方から降下し
てノズルから接着剤を吐出する構造を採用することがで
きる。接着剤塗布機構80を設ける場合には、塗布が不
完全である場合にその封止板4を封止装置30から取り
除く機構を付加するのが好ましい。
【0042】封止装置30によれば、封止板供給機構3
2は、有機EL素子3を取り囲むパターンで封止用凸条
5が形成され且つ封止用凸条5に関連して紫外線硬化型
接着剤6が施された封止板4を封止位置Psに供給す
る。即ち、内側ドア57を閉じた状態で外側ドア56か
ら装填室51に封止板4のスタック50を供給し、外側
ドア56を閉じて装填室51を再真空化する。内側ドア
57を開いて、搬入駆動部52を駆動すると、スタック
50は封止用真空チャンバ部1の所定の位置まで上昇す
る。接着剤塗布機構80を設ける場合には、この封止さ
れる直前の段階で接着剤6が封止板4の封止用凸条5に
関連して塗布される。次に移送ロボット53が作動し
て、移動体60は、その先端部61に設けられている吸
着具62によってスタック50の最上部の封止板4の中
心部を吸着して封止位置Psの直上位置に至り、吸着具
62が降下することにより、封止板4を封止位置Psで
待機している保持押圧機構33のステージ70に設けら
れている支持枠72上に移載する。このとき、封止すべ
き基板2はまだ封止位置Psに到着していないので、降
下する封止板4と基板2とが干渉することはない。封止
位置Psに供給された封止板4は、紫外線硬化型接着剤
6が施された面を上に向けて露出させた状態で支持枠7
2によって支持される。
【0043】その後、基板供給機構31は、有機EL素
子3が形成された基板2を封止位置Psに供給し、保持
押圧機構33は封止位置Psに供給された封止板4を基
板2に押圧させる。即ち、基板2は、搬送枠41によっ
て周辺部2aが支持され且つ有機EL素子3が形成され
た面を下に向けた露出状態でローラコンベヤ35によっ
てストッパ42に当接する封止位置Psにまで搬送され
てくる。封止位置Psにおいて、ステージ70の支持枠
72上に保持されている封止板4は、保持押圧機構33
の作動によって上昇される。上昇された封止板4は、搬
送枠41に支持されている基板2に下方から押し当てら
れる。基板2と封止板4とが押し当てられている状態
で、UVランプ7を点灯することにより、照射された紫
外線が透明な封止板4を透過し基板2に付着された紫外
線硬化型接着剤6を硬化させて、封止板4が基板2に封
着される。
【0044】
【発明の効果】この発明は、上記のように構成されてい
るので、次のような効果を奏する。即ち、この発明によ
る有機EL素子の封止構造は、基板に有機EL素子を覆
う状態に封着される封止部材は、有機EL素子を取り囲
む閉ループ状に形成された単一又は複数条の封止用凸条
を有する封止板であり、その封止板は封止用凸条を基板
に対して接着剤によって接着することで基板に封着され
ているので、基板上に形成された有機EL素子は、封止
用凸条が形成された簡単な構造を有する板状の封止板と
接着剤とを用いて封止され、封止構造としては非常に簡
単で確実であり且つ安価なものとなる。封止板として平
ガラス板を用いる場合には、複雑な形状・構造のキャッ
プを用いないので、封止板のハンドリングが極めて容易
となる。
【0045】また、この発明による有機EL素子の封止
方法は、封止板には、有機EL素子が形成された基板と
の組合わせ状態で有機EL素子を取り囲む状態となる単
一又は複数条の閉ループ状の封止用凸条を形成してお
き、封止用凸条に関連して塗布した接着剤によって封止
板を基板に接着させることで、有機EL素子を密封して
いる。接着剤の有機EL素子側への流れ込みは、その量
又は封止用凸条によって形成される溝への流れ込みで制
御されるので、接着剤は有機EL素子を損なうことがな
い。従って、従来、封止部材として用いていた特有な形
状を有するキャップの代わりにガラス板のような単純な
構造を有する封止板を用いることで、キャップが奏して
いた機能は確保するがキャップを用いることに伴って生
じる上記のような各種の不都合を回避し、簡単で安価に
製造することができる有機EL素子の封止方法が提供さ
れる。
【0046】更に、この発明による有機EL素子の封止
装置は、有機EL素子が形成された基板を封止位置に供
給する基板供給機構、基板に対向する面側に基板との封
着状態で有機EL素子を取り囲むパターンで単一又は複
数条の封止用凸条が形成され且つ封止用凸条に関連して
接着剤が施された封止板を封止位置に供給する封止板供
給機構、及び封止位置に供給された封止板を保持すると
共に基板に押圧させる保持押圧機構から構成されている
ので、封止板供給機構、基板供給機構及び保持押圧機構
から成る各機構の一連の作動によって、封止板が基板に
封着された封止構造を得る装置を自動化することがで
き、上記の封止構造を迅速に且つ低コストで得ることが
できる。また、封止用真空チャンバ部を、基板上への有
機EL素子の形成をする真空チャンバ内と連通した一体
に構成することにより、有機EL素子の形成から封止ま
でを連続して実施できるので、有機EL素子の製造を一
層の低コストで行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明による有機EL素子の封止方法を説
明する行程図である。
【図2】 封止板に形成される凸条の例として単一凸条
を形成した例とそれを用いた基板の封止方法を示す断面
図である。
【図3】 封止板に形成される凸条の例として隣接する
二条の凸条を形成した例とそれを用いた基板の封止方法
を示す断面図である。
【図4】 封止板に形成される凸条の例として隣接する
三条の凸条を形成した例とそれを用いた基板の封止方法
を示す断面図である。
【図5】 封止板に形成される凸条の例として隣接する
四条の凸条を形成した例とそれを用いた基板の封止方法
を示す断面図である。
【図6】 この発明による有機EL素子の封止装置の一
実施例を示す側面図である。
【図7】 図6に示す有機EL素子の封止装置の一部を
拡大して示す正面図である。
【図8】 図7に示す有機EL素子の封止装置の側面図
である。
【図9】 図7に示す有機EL素子の封止装置の上面図
である。
【図10】 従来の有機EL素子の封止を示す斜視図で
ある。
【符号の説明】
1 封止用真空チャンバ部 1a 下壁部 2 基板 2a 周辺部 3 有機EL素子 4 封止板 5 封止用凸条 6 接着剤 7 紫外線照射ランプ(UVランプ) 10 単一凸条 11a,11b 二条の凸条 12 単一溝 13a,13b,13c 三条の凸条 14a,14b 溝 15a,15b,15c,15d 四条の凸条 16a,16b,16c 溝 30 有機EL素子の封止装置 31 基板供給機構 32 封止板供給機構 33 保持押圧機構 35 ローラコンベヤ 36 サイドフレーム 37 軸受 38 回転軸 39 搬送ローラ 40 駆動軸 41 搬送枠 42 ストッパ 50 スタック 51 装填室 52 搬入駆動部 53 移送ロボット 55 ハンドル 56 外側ドア 57 内側ドア 58 アクチュエータ 59 搬入ロッド 60 移動体 61 先端部 62 吸着具 70 ステージ 71 上下駆動部 72 支持枠 73 駆動ロッド 80 接着剤塗布機構 Ps 封止位置

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板に形成された有機EL素子を封止す
    るため前記基板に前記有機EL素子を覆う状態に封着さ
    れる封止部材を備え、前記封止部材は前記有機EL素子
    を取り囲む閉ループ状に形成された単一又は複数条の封
    止用凸条を有する封止板であり、前記封止板は前記封止
    用凸条を前記基板に対して接着剤によって接着すること
    で前記基板に封着されていることから成る有機EL素子
    の封止構造。
  2. 【請求項2】 前記封止用凸条は単一又は互いに僅かの
    間隔を置いて隣接する二条乃至四条の凸条であり、いず
    れか一つの凸条又は少なくとも互いに隣接する二つの前
    記凸条は、前記一つの凸条の頂部に施された前記接着剤
    又は隣接する二つの前記凸条の間に形成される単一乃至
    三条のループ状の溝に施され前記隣接する二つの凸条上
    に押し出された前記接着剤によって、前記基板に接着さ
    れていることから成る請求項1に記載の有機EL素子の
    封止構造。
  3. 【請求項3】 前記封止用凸条は、セラミックス、アク
    リル樹脂等の硬質材料から形成されていることから成る
    請求項1又は2に記載の有機EL素子の封止構造。
  4. 【請求項4】 前記接着剤は紫外線硬化型接着剤であり
    且つ前記封止板は透明板であり、前記封止板は、紫外線
    照射により硬化された前記接着剤によって前記基板に封
    着されていることから成る請求項1〜3のいずれか1項
    に記載の有機EL素子の封止構造。
  5. 【請求項5】 前記基板には複数個の前記有機EL素子
    が互いに隔置して形成されており、前記封止板には、前
    記各有機EL素子に対応してそれぞれ前記封止用凸条が
    形成されていることから成る請求項1〜4のいずれか1
    項に記載の有機EL素子の封止構造。
  6. 【請求項6】 有機EL素子が形成された基板に対して
    前記有機EL素子を覆う状態に封止板を封着させること
    による有機EL素子の封止方法において、前記封止板に
    前記基板との封着状態で前記有機EL素子を取り囲むこ
    とが可能な単一又は複数条の閉ループ状の封止用凸条を
    形成し、前記封止用凸条に関連して接着剤を施し、前記
    封止用凸条を前記接着剤によって前記基板に接着するこ
    とで前記封止板を前記基板に封着することから成る有機
    EL素子の封止方法。
  7. 【請求項7】 前記封止用凸条は単一又は互いに僅かの
    間隔を置いて隣接する二条乃至四条の凸条であり、いず
    れか一つの凸条又は少なくとも互いに隣接する二つの前
    記凸条は、前記一つの凸条の頂部に施された前記接着剤
    又は前記隣接する二つの凸条の間に形成される単一乃至
    三条のループ状の溝に施され且つ前記封止板の前記基板
    への押圧時に前記隣接する二つの凸条上に押し出される
    前記接着剤によって、前記基板に接着されることから成
    る請求項6に記載の有機EL素子の封止方法。
  8. 【請求項8】 前記接着剤は、前記封止板を前記基板に
    押圧させるときに、前記単一凸条又は最も内側に形成さ
    れている前記凸条を越えて前記有機EL素子側に流れ込
    む接着剤の量に基づいて、若しくは前記接着剤が施され
    た前記溝から前記凸条を越えて前記内側溝内に流れ込む
    前記接着剤を前記内側溝内に収容することにより、前記
    有機EL素子側への流れ込みが制御されていることから
    成る請求項6又は7に記載の有機EL素子の封止方法。
  9. 【請求項9】 前記封止板上の前記凸条は、セラミック
    ス、アクリル樹脂等の硬質材料を印刷手法によって形成
    されることから成る請求項6〜8のいずれか1項に記載
    の有機EL素子の封止方法。
  10. 【請求項10】 前記接着剤は紫外線硬化型接着剤であ
    り且つ前記封止板は透明板であり、前記封止板に塗布し
    た前記接着剤に前記封止板を透過する紫外線を照射する
    ことにより、前記接着剤が硬化して前記封止板が前記基
    板に封着されることから成る請求項6〜9のいずれか1
    項に記載の有機EL素子の封止方法。
  11. 【請求項11】 前記基板には複数個の前記有機EL素
    子が互いに隔置して形成されており、前記封止板には、
    前記各有機EL素子に対応してそれぞれ前記封止用凸条
    が形成されることから成る請求項6〜10のいずれか1
    項に記載の有機EL素子の封止方法。
  12. 【請求項12】 前記封止板の前記基板への封着は、前
    記有機EL素子の製造を行う真空チャンバの一部を形成
    する封止用真空チャンバ部内で行われることから成る請
    求項6〜11のいずれか1項に記載の有機EL素子の封
    止方法。
  13. 【請求項13】 有機EL素子が形成された基板を封止
    位置に供給する基板供給機構、前記基板に対向する面側
    に前記基板との封着状態で前記有機EL素子を取り囲む
    パターンで封止用凸条が形成され且つ前記封止用凸条に
    関連して接着剤が施された封止板を前記封止位置に供給
    する封止板供給機構、及び前記封止位置に供給された前
    記封止板を保持すると共に前記基板に押圧させる保持押
    圧機構から成る有機EL素子の封止装置。
  14. 【請求項14】 前記封止板は透明な板材から成り、前
    記接着剤は紫外線硬化型接着剤であり、前記封止位置に
    は、前記封止板が前記保持押圧機構によって前記基板に
    押圧されたときに前記封止板を透過して前記基板に付着
    した前記紫外線硬化型接着剤を硬化させる紫外線を照射
    するランプが配設されていることから成る請求項13に
    記載の有機EL素子の封止装置。
  15. 【請求項15】 前記基板供給機構は前記基板を前記有
    機EL素子が形成された面を下に向けて露出させた状態
    で搬送する搬送枠を備え、前記保持押圧機構は前記封止
    板を前記紫外線硬化型接着剤が施された面を上に向けて
    露出させた状態で支持する支持枠を備えており、前記封
    止板供給機構は前記封止板を前記支持枠に移載可能に供
    給し、前記ランプは前記保持押圧機構の下方に配置され
    ていることから成る請求項14に記載の有機EL素子の
    封止装置。
  16. 【請求項16】 前記封止板供給機構に関連して前記接
    着剤を前記パターンで塗布する接着剤塗布機構が設けら
    れれていることから成る請求項13〜15のいずれか1
    項に記載の有機EL素子の封止装置。
  17. 【請求項17】 前記基板供給機構、前記封止板供給機
    構及び前記保持押圧機構は、前記有機EL素子の製造を
    行う真空チャンバの一部を形成する封止用真空チャンバ
    部内に配置されていることから成る請求項13〜16の
    いずれか1項に記載の有機EL素子の封止装置。
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