JP2005243587A - 低真空走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明の課題は、一つの排気システムだけで、非常に簡単な構造で低真空ＳＥＭを実現することにある。
【解決手段】本発明は排気ポンプ５から試料室３への排気経路６の途中に一つの真空バルブ７を設けることで試料室３と電子銃室１の真空度を個別に調整するものである。すなわち排気の途中で当該真空バルブ７を閉じれば試料室部３の排気はほとんど停止するのでその気圧が長く保たれ電子銃室１はその後排気が進んで高真空状態になる。
【選択図】 図１
【解決手段】本発明は排気ポンプ５から試料室３への排気経路６の途中に一つの真空バルブ７を設けることで試料室３と電子銃室１の真空度を個別に調整するものである。すなわち排気の途中で当該真空バルブ７を閉じれば試料室部３の排気はほとんど停止するのでその気圧が長く保たれ電子銃室１はその後排気が進んで高真空状態になる。
【選択図】 図１
Description
本発明は、低真空ＳＥＭの排気システムに関するものである。
一般の低真空ＳＥＭでは電子銃室と試料室を別々の排気システムで真空引きしており、２式の排気システムを必要とした。また特許公開平８−１３８６０３に示されたように１式の排気システムで別々の真空度に設定する試みもあるが多くの真空バルブと複雑なバルブ操作を必要とし期待するほどのコスト減には繋がらなかった。
特開平８−１３８６０３
本発明が解決しようとする問題点は一つの排気システムで、非常に簡単な構造で低真空ＳＥＭを実現することにある。
本発明は真空ポンプから試料室への排気経路の途中に一つの真空バルブを設けることで試料室と電子銃室の真空度を個別に調整するものである。すなわち排気の途中で当該真空バルブを閉じれば試料室の排気はほとんど停止するのでその気圧状態が長く保たれ電子銃室はその後排気が進んで高真空状態になることを利用する。
本発明によれば非常に低コストでしかも小型の低真空ＳＥＭが実現できる。低価格の超小型ＳＥＭの構造として最適である。低真空SEM用途では、厳密な真空度の設定が必要でなくおおよその真空度が設定できれば良い場合が多く、そのような場合に有効である。
図１は、本発明装置の１実施例の構成図であって、電子銃室１、電子線鏡筒部２、試料室３でＳＥＭ鏡体部が構成され電子銃室１と試料室２が排気管６で真空ポンプ５に繋がれている。試料室３に電子線が入射する部分にはオリフィス４があって気圧差を維持できるようになっている。また試料室３に繋がる排気管６の途中に真空バルブ７が設けてあり真空計が電子銃部と試料室部にそれぞれ装着されている。
まず真空バルブ７が開いている状態で真空排気を開始する。徐々に気圧が下がり試料室３を例えば100Paに設定したい場合、試料室用真空計９が１００Paに達したら真空バルブ７を閉じる。すると試料室はそれ以上の排気が行なわれないのでその真空度を維持する。電子銃部はさらに排気がすすんで０．００１Pa程度まで真空度があがりSEM使用可能状態になる。試料からは多少のアウトガスが出るので真空度を下げようとするがオリフィス４を介して排気される部分もあるのでそれほど真空度は下がらない。真空バルブ７に適当な排気抵抗を持たせれば試料室の排気経路からも真空排気可能である。また真空計は電子銃室用真空計８を用いれば試料室用真空計９は無くても実用上差し支えないので廉価版の低真空ＳＥＭでは省いても良い。
真空ポンプ５はターボ分子ポンプが望ましい。その理由を以下に述べる。例えば試料室の真空度を１００Paに設定する場合通常の真空ポンプで引くと１００Pa近傍では非常に高速で真空度が下がっていくので真空バルブ７を閉める動作が間にあわない場合が多い。このような場合、ターボ分子ポンプの回転数を下げて低速のスタンバイモードで運転させれば比較的ゆっくり真空度が下がる。その間に真空バル７を閉じればよい。バルブを閉じる動作期間中はターボ分子ポンプの運転を停止しても良い。
１ 電子銃室
２ 電子線鏡筒部
３ 試料室
４ オリフィス
５ 真空ポンプ
６ 排気管
７ 真空バルブ
８ 電子銃室用真空計
９ 試料室用真空計
２ 電子線鏡筒部
３ 試料室
４ オリフィス
５ 真空ポンプ
６ 排気管
７ 真空バルブ
８ 電子銃室用真空計
９ 試料室用真空計
Claims (1)
- オリフィスによって試料室の真空度を低真空に電子銃室を高真空に保つことが可能な低真空走査電子顕微鏡（SEM）に於いて、１つの真空排気システムで電子銃部室と試料室を別々に排気する排気経路を有し、試料室側の排気経路の途中に真空バルブを設けたことを特徴とするＳＥＭ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004055601A JP2005243587A (ja) | 2004-03-01 | 2004-03-01 | 低真空走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004055601A JP2005243587A (ja) | 2004-03-01 | 2004-03-01 | 低真空走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005243587A true JP2005243587A (ja) | 2005-09-08 |
Family
ID=35025073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004055601A Pending JP2005243587A (ja) | 2004-03-01 | 2004-03-01 | 低真空走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2005243587A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009540512A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 小型の走査型電子顕微鏡 |
| KR20220095557A (ko) * | 2020-12-30 | 2022-07-07 | (주)코셈 | Eds를 구비하여 대면적 시료의 파티클 분석에 이용되는 주사전자 현미경, 및 이를 이용한 분석 방법 |
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2004
- 2004-03-01 JP JP2004055601A patent/JP2005243587A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009540512A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 小型の走査型電子顕微鏡 |
| US8309921B2 (en) | 2006-06-07 | 2012-11-13 | Fei Company | Compact scanning electron microscope |
| US9025018B2 (en) | 2006-06-07 | 2015-05-05 | Fei Company | User interface for an electron microscope |
| KR20220095557A (ko) * | 2020-12-30 | 2022-07-07 | (주)코셈 | Eds를 구비하여 대면적 시료의 파티클 분석에 이용되는 주사전자 현미경, 및 이를 이용한 분석 방법 |
| KR102484466B1 (ko) * | 2020-12-30 | 2023-01-04 | (주)코셈 | Eds를 구비하여 대면적 시료의 파티클 분석에 이용되는 주사전자 현미경, 및 이를 이용한 분석 방법 |
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