JP2009022916A - 減圧装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本減圧装置は真空チャンバ内を減圧する排気機構を備えた減圧装置において、排気機構は一端が真空チャンバに連通し、他端が真空ポンプに連通する主排気路と、この主排気路に設けた第1の開閉弁と、一端が主排気路を介してあるいは直接真空チャンバに連通し、他端が主排気路を介してあるいは直接真空ポンプに連通するスロー排気路と、このスロー排気路にこのスロー排気路壁と間隔を設けて配され、円筒形状のシリカ多孔体からなるフィルタと、スロー排気路に設けた第2の開閉弁を備える。
【選択図】 図1
Description
チャンバ容積65Lの真空チャンバ内に排気口から40mm離間して設けた円板状トレー上に0.0009g/個の発泡スチロールを800個置き、最大排気能力7000L/minの真空ポンプで真空引きを行い、真空引き開始から、スロー排気し、真空速度と発泡スチロール粉の動きを調べた。
本発明の減圧装置の排気時間を短縮する目的で、主排気路の第1のバルブを開放しての排気とスロー排気路の第2のバルブ9のみを開放しての排気とを組み合わせ、落下する発泡スチロール粒の数を抑制した状態での大気圧から1kPaまでの到達時間を調べ、フィルタを用いない減圧装置と比較した。
2 真空チャンバ
2a 排気口
3 排気機構
4 真空ポンプ
5 主排気路
6 第1のバルブ
7 スロー排気路
7a スロー排気路壁
7A 下部スロー排気路
7A2 下フランジ
7B 上部スロー排気路
7B2 上フランジ
8 フィルタ
8a フランジ部
9 第2のバルブ
10 Oリング
11 金網
Claims (5)
- 真空チャンバと、この真空チャンバ内を減圧する排気機構を備えた減圧装置において、
前記排気機構は一端が前記真空チャンバに連通し、他端が真空ポンプに連通する主排気路と、
この主排気路に設けた第1の開閉弁と、
一端が主排気路を介してあるいは直接前記真空チャンバに連通し、他端が主排気路を介してあるいは直接前記真空ポンプに連通するスロー排気路と、
このスロー排気路にこのスロー排気路壁と間隔を設けて配され、円筒形状のシリカ多孔体からなるフィルタと、
前記スロー排気路に設けた第2の開閉弁を備えることを特徴とする減圧装置。 - 前記フィルタは有底円筒形状をなし、底部を上流側に向けて設け、第2の開閉弁を前記フィルタの下流側に設けることを特徴とする請求項1に記載の減圧装置。
- 前記フィルタは開口部にシリカガラス製リング状のフランジ部が設けられることを特徴とする請求項2に記載の減圧装置。
- 前記フィルタは無底円筒形状をなし、周囲に通気口を設けた中空状の金属通気パイプの外周側に空隙が形成されるように外嵌され、
金属通気パイプの一端はこの一端に螺着される閉塞部材により閉塞され、
前記フィルタの一端は前記閉塞部材により閉塞されかつ軟質ガスケットを介して押圧され、
前記金属通気パイプの他端はこの他端に固着される金属製取付リングを気密的に貫通し、
前記フィルタの他端は前記金属製取付リングに押圧される軟質ガスケットを介して押圧されることを特徴とする請求項1に記載の減圧装置。 - 前記フィルタはこのフィルタの一端に取付けられる閉塞部材を上流側に向けて設け、第2の開閉弁は前記フィルタの下流側に設けることを特徴とする請求項4に記載の減圧装置。
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2007
- 2007-07-23 JP JP2007190462A patent/JP2009022916A/ja not_active Withdrawn
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