JP2009156441A - クイッククローズバルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空容器側に設けられた弁座と、この弁座に設けられたO‐リングと、このO‐リングを介して弁座に当接し押圧する弁体と、この弁体を弁座方向に付勢する複数の梃子手段と、弁体を上下方向に案内するガイド部材とから構成され、真空装置の通常稼動時は前記弁体は前記複数の梃子手段の付勢に抗して弁座から離脱して真空装置による真空容器内の排気を可能とし、また真空装置の異常時には、真空容器内の圧と真空装置内の圧との差圧と複数の梃子手段による付勢によって弁体がO‐リングを介して迅速に弁座に当接して押圧し、真空装置と真空容器との接続を遮断する。
【選択図】 図2
Description
2 バルブ本体
3、4 フランジ
5 ネジ
6 蓋部
7 挿通孔
8 ネジ孔
9 O−リング
10 弁座
11 ガイド部材
12 弁体
13 開口部
14、19 縁部
15 ガイド板
16 支柱
17 台座
18 開口孔部
20 梃子部材
21、25 切り欠き部
22 作用部材
23 支点部材
24 錘部
26 真空装置
27 フレキシブルチューブ
28 インナーリング
29 クランプ
Claims (2)
- 真空容器と、この真空容器内のガスを排気する真空装置と、この真空装置と真空容器とを接続する配管内に設けられるバルブであって、真空容器側に設けられた弁座と、この弁座に設けられたO‐リングと、このO‐リングを介して弁座に当接し押圧する弁体と、この弁体を前記弁座方向に付勢する複数の梃子手段と、該弁体を上下方向に案内するガイド部材とから構成され、真空装置の通常稼動によって真空容器内のガスを排気する際には前記弁体は前記複数の梃子手段の付勢に抗して弁座から離脱して真空装置による真空容器内のガスの排気を可能とし、また真空装置の異常による稼動停止の際には、真空容器内の圧と真空装置内の圧との差圧と前記複数の梃子手段による付勢によって前記弁体がO‐リングを介して迅速に弁座に当接して押圧し、真空装置と真空容器との接続を遮断することを特徴とするクイッククローズバルブ。
- 前記ガイド部材は、前記弁体と対向する開口部を形成した円筒体からなり、この開口部の周縁には弁体を載置し、上下方向に案内する複数のガイド板を立設した縁部を有し、バルブ本体内に着脱自在に取付けられることを特徴とする請求項1記載のクイッククローズバルブ。
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2007
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