JP4822858B2 - めっき装置 - Google Patents
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Description
101 トップリング
102 環状カソード電極
103 シールパッキン
104 環状支持台
20 液供給管
21 外管
211 アノード室液供給口
212 係合部
213 槽固定部
22 内管
221 内管部
222 鍔部
223 係合部
225 キャップ部
226 隔膜貫通孔固定部
30 アノード電極
40 液流出路
50 隔膜外周固定部
501 隔膜取り付け部
502 アノード室液排出口
503 フィルター
60 液分流手段
63 メッシュ状固定板
B めっき槽
W 被めっき物
F 隔膜
Claims (6)
- 被めっき物を配置する開口部と、被めっき物に向けてめっき液を供給する液供給管と、被めっき物と対向するように配置されたアノードと、被めっき物とアノードとを隔離するための隔膜と、を有するめっき槽を備えためっき装置において、
めっき槽内壁には、隔膜外周端を固定するための隔膜外周固定部が設けられており、
液供給管は、内管及び外管からなる二重管で構成され、
内管は、隔膜中央に設けられた貫通孔に貫入される内管部及び該貫通孔を係止する隔膜貫通孔固定部を有し、
外管は、前記内管部を受け入れた状態で内管を固定させる係合部を有するとともにめっき槽内に固定される槽固定部を備え、
隔膜は、隔膜外周端をめっき槽内壁の隔膜外周固定部に固定するとともに、隔膜中央の貫通孔に内管の内管部を貫入し、内管を外管に挿入して外管の係合部に内管を係合させて固定することにより、隔膜の貫通孔を内管の隔膜貫通孔固定部に固定してめっき槽に配置されることを特徴とするめっき装置。 - 前記内管が前記外管に固定された際、外管内壁と内管外壁との間に、隔膜により被めっき物と隔離して形成されるアノード室へめっき液を供給するための分岐液流路が形成される請求項1に記載のめっき装置。
- 前記隔膜は、めっき槽内ですり鉢状に配置された請求項1または請求項2に記載のめっき装置。
- 前記隔膜外周固定部の下方に、アノード室に供給されためっき液を排出するためのアノード室液排出口が設けられ、該アノード室液排出口にはめっき液中の不純物を除去するフィルターが備えられた請求項3に記載のめっき装置。
- 前記内管は、前記外管の外周側を覆うようにされたキャップ部を有し、前記キャップ部の先端側に前記隔膜貫通孔固定部が設けられ、
前記外管の上端には、分岐液流路を流通するめっき液をアノード室へ供給するためのアノード室液供給口が設けられており、
前記アノード室液供給口は、前記アノード室液排出口の水平位置よりも高い位置に設けられるとともに、前記隔膜貫通孔固定部は前記アノード室液排出口の水平位置よりも低い位置に配置された請求項3または請求項4に記載のめっき装置。 - 前記内管は、被めっき物に向けて供給するめっき液を分流するための液分流手段が設けられている請求項1〜請求項5いずれかに記載のめっき装置。
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