JP3834316B2 - めっき装置およびめっき方法 - Google Patents
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Description
11 天板
12 開口
2 めっき液
3 めっき液供給ライン
4 リターンライン
5 オーバーフローライン
6 アノードボックス
61 支持管
62 筐体
63 アノード電極
64 フィルタ
65 ホルダ
651 開口
652 筐体シール面
653 溝
654 側壁
655 空間
66 フロート
661 フロートシール面
662 流路
67、68、69 開口
70 フロート支持部
701 支持部開口
71 天板
72 側板
74 内部空間
8 カソード電極装置
9 電源装置
91 ケーブル
10 枠体
21 被めっき物
22 被めっき面
23 ウエハホルダ
Claims (9)
- めっき液を充填可能なめっき槽と、
該めっき槽の内部に設けられためっき時の陽極であるアノード電極と、該アノード電極の上方および側方を覆う筐体と、該アノード電極の下方を覆うフィルタと、該筐体と該フィルタとで画定される内部空間と、該内部空間を外部と連絡する開口部とを有するアノードボックスと、
該内部空間が前記めっき液で充満されているときは、該開口部を閉じて該内部空間を外部と遮断し、該内部空間が前記めっき液で充満されていないときは、該開口部を開けて該内部空間を外部と連絡する、フロートを備えためっき液流入規制手段とを有し、
前記めっき液流入規制手段は、前記筐体の、前記フィルタの設置位置よりも上方の位置に設けられているめっき装置。 - 前記フロートは、該開口部の下方に設けられ、前記めっき液より小さい比重を有し、該内部空間が前記めっき液で充満されているときは、上昇して該開口部を閉じて該内部空間を外部と遮断し、該内部空間が前記めっき液で充満されていないときは、下降して該開口部を開けて該内部空間を外部と連絡する、請求項1に記載のめっき装置。
- 前記フロートは、該フロートの上面の周囲を延びるフロートシール面と、該フロートの底面と側面とを結ぶ流路とを有し、
前記筐体は、該フロートシール面と対向する位置に該フロートシール面と接触して前記開口部を閉じる筐体シール面を、該フロートの底面と対向する位置に該フロートの底部の外周を支持し内側に前記内部空間と連絡する支持部開口を備えたフロート支持部とを有し、
前記めっき液が前記内部空間に充満されたときは、前記フロートシール面は前記筐体シール面と面接触または線接触して、前記開口部を閉鎖して、前記内部空間を外部と遮断し、
前記めっき液が前記内部空間に充満されていないときは、前記フロートシール面は前記筐体シール面と離れ、前記フロートの前記底部外周が前記フロート支持部に支持され、前記流路が前記フロートの前記側方と前記支持部開口とを連絡して、前記内部空間を外部と連絡する、請求項2に記載のめっき装置。 - 前記流路は、前記フロートの前記底面に形成され、少なくとも1つの端部が前記側面まで延び、少なくとも一部が前記支持部開口に面している溝である、請求項3に記載のめっき装置。
- 前記筐体は円錐台状の前記筐体シール面を有し、
前記フロートは円錐台状の前記フロートシール面を有している、請求項3または4に記載のめっき装置。 - 前記開口部と前記筐体シール面とを有し、前記筐体からとりはずし可能なホルダをさらに有する、請求項3から5のいずれか1項に記載のめっき装置。
- めっき液を充填可能なめっき槽を設置する工程と、
該めっき槽の内部に、少なくとも一方に開口部を備えた天板および側板を有し、底面に開口を備え、内部にめっき時の陽極であるアノード電極が取り付けられ、フィルタが前記開口部の下方かつ該アノード電極の下方に、該底面の開口を覆って取り付けられたアノードボックスを取り付ける工程と、
該めっき槽の前記アノード電極に対向する位置に、被メッキ物を、めっき時の陰極として設ける工程と、
前記めっき液を前記めっき槽内のアノードボックスに前記フィルタおよび前記開口部を通して充填する、めっき液充填工程と、
前記アノードボックスが前記めっき液で充填された後に前記開口部を閉鎖する開口部閉鎖工程と、
前記開口部を閉鎖後、前記アノード電極と前記被めっき物との間に電圧を印加して、被めっき物にめっき膜を形成する工程とを有するめっき方法。 - 前記めっき液充填工程は、前記開口部の下方に設けられ、前記めっき液より小さい比重を有するフロートを重力によって下方の位置に維持して該開口部を開けて、前記めっき液を充填する工程を有し、
前記開口部閉鎖工程は、該フロートを浮力によって上昇させて該開口部を閉じる工程を有する、請求項7に記載のめっき方法。 - 前記フロートは、該フロートの上面の周囲を延びるフロートシール面と、該フロートの底面と側面とを結ぶ流路とを有し、
前記筐体は、該フロートシール面と対向する位置に該フロートシール面と接触して前記開口部を閉じる筐体シール面を、該フロートの底面と対向する位置に該フロートの底部の外周を支持し内側に前記内部空間と連絡する支持部開口を備えたフロート支持部とを有し、
前記めっき液が前記内部空間に充満されたときは、前記フロートシール面は前記筐体シール面と面接触または線接触して、前記開口部を閉鎖して、前記内部空間を外部と遮断し、
前記めっき液が前記内部空間に充満されていないときは、前記フロートシール面は前記筐体シール面と離れ、前記フロートの前記底部外周が前記フロート支持部に支持され、前記流路が前記フロートの前記側方と前記支持部開口とを連絡して、前記内部空間を外部と連絡する、請求項8に記載のめっき方法。
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