JP2008202644A - 逆止弁及び真空ポンプ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】逆止弁1は、弁体10と、流入口11と流出口12とをもちそれらの間に弁体10を収納する弁室とを備える。この弁室は、弁体10を収納する収納部と、正方向に流れ込む流体のみを流出させる迂回流路14とを有する。弁体10は、底部10b及び湾曲部10aのように、少なくとも中央部分で湾曲した板状の形状をもつ。上述の収納部は、弁体10を正方向(ここでは下方向)に流れ込む流体の流入側を凸側にした状態で、流れの正逆方向に、上側移動制限部15と下側移動制限部13の双方の内壁によって所定範囲(所定の上下可動距離)だけ移動可能に、弁体10を収納する。
【選択図】図1
Description
ために逆止弁が配設されている。例えば、半導体製造装置はウエハの処理室と真空ポンプとが配管で接続されてなるが、真空ポンプが故障や異常、或いは停電などにより意図せず停止してしまった場合に、処理中のウエハが欠陥品となってしまう。このような真空ポンプ停止が生じた場合でも、処理室内の真空を保ちウエハを保護するために逆止弁が配管に組み込まれている。
図1で示した逆止弁1は、弁体10と、流入口11と流出口12とをもちそれらの間に弁体10を収納する弁室とを備える。この弁室は、弁体10を収納する収納部と、正方向に流れ込む流体のみを弁室の外に流出させる迂回流路14とを有する。
Claims (2)
- 弁体と、該弁体を収納する弁室とを有する逆止弁であって、
前記弁体は、少なくとも中央部分で湾曲した板状の形状をもち、
前記弁室は、前記弁体を、正方向に流れ込む流体の流入側を凸側にし、且つ流れの正逆方向に所定範囲だけ移動可能に収納する収納部と、正方向に流れ込む流体のみを流出させる迂回流路とを有することを特徴とする逆止弁。 - 請求項1に記載の逆止弁と、該逆止弁に接続された真空ポンプと備えたことを特徴とする真空ポンプ装置。
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