JP2011023427A - 減圧装置、加圧装置、露光装置、デバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】減圧装置100は、第1装置110と第1減圧源112とを接続するように構成され、正常状態において第1減圧源112により第1絶対圧力に制御される第1ライン130と、第2装置114と第2減圧源116とを接続するように構成され、正常状態において第2減圧源116により第1絶対圧力よりも低い第2絶対圧力に制御される第2ライン140と、第1ライン130の第1点136と第2ライン140の第2点146との間に配置された第1逆止弁118と、第2点146と第2減圧源との間に配置された第2逆止弁120とを備える。
【選択図】図1
Description
図1を参照しながら本発明の好適な実施形態の減圧装置100について説明する。本発明の好適な実施形態の減圧装置100は、第1ライン130と、第2ライン140と、第1逆止弁118と、第2逆止弁120とを備えている。
図4を参照しながら本発明の好適な実施形態の加圧装置300について説明する。本発明の好適な実施形態の加圧装置300は、第1ライン230と、第2ライン240と、第1逆止弁218と、第2逆止弁220とを備えている。
本発明の好適な実施形態のデバイス製造方法は、例えば、半導体デバイス、液晶デバイスの製造に好適であり、感光剤が塗布された基板の該感光剤に上記の露光装置を用いて原版のパターンを転写する工程と、該感光剤を現像する工程とを含みうる。さらに、他の周知の工程(エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を経ることによりデバイスが製造される。
Claims (7)
- 第1装置と第1減圧源とを接続するように構成され、正常状態において前記第1減圧源により第1絶対圧力に制御される第1ラインと、
第2装置と第2減圧源とを接続するように構成され、正常状態において前記第2減圧源により前記第1絶対圧力よりも低い第2絶対圧力に制御される第2ラインと、
前記第2ラインから前記第1ラインに向かう方向には気体が流れるが前記第1ラインから前記第2ラインに向かう方向には気体が流れないように前記第1ラインの第1点と前記第2ラインの第2点との間に配置された第1逆止弁と、
前記第2点から前記第2減圧源に向かう方向には気体が流れるが前記第2減圧源から前記第2点に向かう方向には気体が流れないように前記第2点と前記第2減圧源との間に配置された第2逆止弁と、
を備えることを特徴とする減圧装置。 - 第3装置と第3減圧源とを接続するように構成され、正常状態において前記第3減圧源により前記第1絶対圧力よりも高い第3絶対圧力に制御される第3ラインと、
前記第1ラインから前記第3ラインに向かう方向には気体が流れるが前記第3ラインから前記第1ラインに向かう方向には気体が流れないように前記第1ラインの第1点と前記第3ラインの第3点との間に配置された第3逆止弁と、
前記第1点から前記第1減圧源に向かう方向には気体が流れるが前記第1減圧源から前記第1点に向かう方向には気体が流れないように前記第1点と前記第1減圧源との間に配置された第4逆止弁と、
を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の減圧装置。 - 原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置であって、
請求項1又は2に記載の減圧装置と、
前記第1ラインに接続された前記第1装置としての第1要素と、
前記第2ラインに接続された前記第2装置としての第2要素と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - デバイスを製造する製造方法であって、
請求項3に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
該露光された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。 - 第1装置と第1加圧源とを接続するように構成され、正常状態において前記第1加圧源により第1絶対圧力に制御される第1ラインと、
第2装置と第2加圧源とを接続するように構成され、正常状態において前記第2加圧源により前記第1絶対圧力よりも高い第2絶対圧力に制御される第2ラインと、
前記第1ラインから前記第2ラインに向かう方向には気体が流れるが前記第2ラインから前記第1ラインに向かう方向には気体が流れないように前記第1ラインの第1点と前記第2ラインの第2点との間に配置された第1逆止弁と、
前記第2加圧源から前記第2点に向かう方向には気体が流れるが前記第2点から前記第2加圧源に向かう方向には気体が流れないように前記第2点と前記第2加圧源との間に配置された第2逆止弁と、
を備えることを特徴とする加圧装置。 - 原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置であって、
請求項5に記載の加圧装置と、
前記第1ラインに接続された前記第1装置としての第1要素と、
前記第2ラインに接続された前記第2装置としての第2要素と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - デバイスを製造する製造方法であって、
請求項6に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
該露光された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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JP2009165052A JP2011023427A (ja) | 2009-07-13 | 2009-07-13 | 減圧装置、加圧装置、露光装置、デバイス製造方法 |
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2009
- 2009-07-13 JP JP2009165052A patent/JP2011023427A/ja active Pending
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