JP2007012838A - 基板保持方法、位置計測方法、基板保持装置、露光装置、デバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板と基板ホルダとの間の相対位置関係を崩すことなく基板に生じた非線形歪みを除去して、高精度の位置合わせが行える、基板保持方法等を提供すること。
【解決手段】ウエハWの所定部位(周辺部分)をウエハホルダ20上に吸着保持し、ウエハWの温度がウエハホルダ20の温度と略同一となるように所定時間この吸着保持状態を維持する。所定時間経過後、ウエハWの中央部分をセンターテーブル23上に吸着保持してウエハWとウエハホルダ20との相対的な位置関係を維持したままで、センターテーブル23を上昇させて、ウエハWの所定部位をウエハホルダ20から離し、ウエハWの所定部位のウエハホルダ20への吸着保持を解除し、自由な熱伸縮を許容し、ウエハWの内部に蓄積された非線形歪みを除去する。この後、直ちにセンターテーブル23を下降させて、ウエハWをウエハホルダ20上に載置し、ウエハWの所定部位を再度ウエハホルダ20上に吸着保持する。
【選択図】 図1
【解決手段】ウエハWの所定部位(周辺部分)をウエハホルダ20上に吸着保持し、ウエハWの温度がウエハホルダ20の温度と略同一となるように所定時間この吸着保持状態を維持する。所定時間経過後、ウエハWの中央部分をセンターテーブル23上に吸着保持してウエハWとウエハホルダ20との相対的な位置関係を維持したままで、センターテーブル23を上昇させて、ウエハWの所定部位をウエハホルダ20から離し、ウエハWの所定部位のウエハホルダ20への吸着保持を解除し、自由な熱伸縮を許容し、ウエハWの内部に蓄積された非線形歪みを除去する。この後、直ちにセンターテーブル23を下降させて、ウエハWをウエハホルダ20上に載置し、ウエハWの所定部位を再度ウエハホルダ20上に吸着保持する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ウエハに生じた非線形な歪みを除去し、高精度の位置合わせが行えるように基板を保持する、基板保持方法、この基板保持方法により保持した基板上のマークの位置計測を行う位置計測方法、基板保持方法を実施する基板保持装置、この基板保持装置を備えた露光装置、基板保持方法により保持された基板にデバイスパターンを露光してデバイスを製造するデバイス製造方法に関する。
半導体素子製造のための製造工程において、ウエハを搬送システムであるウエハローダから露光装置のウエハホルダ上に搭載する際に、ウエハがウエハホルダ上で位置ズレを生じないように、例えば真空吸引力等によりウエハをウエハホルダ上に吸着して保持する。この際、ウエハとウエハホルダとの間に存在する温度差によりウエハとウエハホルダとの間で熱交換が行われ、この熱交換によりウエハは熱膨張しようとするが、ウエハはウエハホルダにより位置ズレを起こさないように拘束(吸着保持)されているので、ウエハはウエハホルダ上に搭載された時点で温度と圧力の双方が変化する。ウエハのあらゆる箇所で圧力、温度が均一に変化し、ウエハ自体が等方性結晶と仮定するならば、ウエハの表面形状は初期状態と比較して相似の変化(線形状の変形)をすると考えられる。しかし、実際には非線形の変形が生じる。
この非線形な変形(歪み)が生じる第一の原因として、例えば、ウエハをウエハホルダ上に保持する圧力が、均一ではなく不均一に作用する点や、同時ではなく、非同時に作用する点が考えられる。圧力が不均一であるということはウエハ面内における線膨張率の不均一性を意味し、線膨張率が不均一であれば、ウエハ全体の温度が全ての箇所で同一温度であると仮定するならば、線膨張量がウエハ面内で不均一となり、ウエハ全体として非線形な変形となる。また、圧力の非同時性は、例えばウエハホルダに装備されたセンターテーブル(CT)上によりウエハが支持されたとき、ウエハには撓みが生じ、この撓みのせいで、センターテーブルが下降してウエハをウエハホルダ上に降ろしたとき、ウエハのウエハホルダへの接触面全体がウエハホルダに同時に接触しないことにより生じる。撓みはウエハの垂直方向の変形の他に僅かではあるが水平方向の変形も引き起こし、これが非線形歪みとなり、ウエハがウエハホルダ上に吸着保持された段階が過ぎても残る。また、第二の原因として、温度変化による熱膨張と、この熱膨張を拘束する力の作用とが同時に行われることにより、これら熱膨張とこの熱膨張を拘束する力とが相互作用を引き起こし、これがウエハに非線形の変形を与えると考えられる。また、第三の原因として、ウエハ結晶の異方性も可能性として考えられる。
上述した、ウエハに生じる非線形の変形(歪み)は、アライメント(重ね合わせ)精度に大きな影響を与える。ウエハに生じる歪みが線形のものであれば、例えば特開昭61−44429号公報等で公知のEGA(エンハンスド・グローバル・アライメント)により対処可能であるが、非線形の歪みの場合、このEGAによって対処することはできない。
従来、ウエハに生じる歪みそのものを可及的に抑制することを目的とし、例えば、クールプレートをはじめとする温調機構によるウエハの温度制御の精緻化や、ウエハホルダ自体の改良(ピンチャック方式のウエハホルダの場合、ピンチャックの配置の工夫、チャッキング方法の工夫)、ウエハホルダへのウエハ投入方法・シーケンスなどによるウエハに作用する圧力の均一化によってウエハに歪みが出来るだけ生じないようにした基板保持方法が提案されている。
また、別の方法として、一旦生じた歪みを解放するように、例えば、ウエハをウエハホルダに搭載後、ウエハの温度がウエハホルダの温度と略同一温度になるまでウエハホルダ上に一定時間吸着する第1吸着段階と、この第1吸着段階後、ウエハの吸着を解除する吸着解除段階と、この後、露光のためにウエハをウエハホルダ上に再度吸着させる第2吸着段階とを有する方法が提案されている(特許文献1の第3図(a)乃至(c)参照)。
しかし、前者の方法では、ウエハの温度制御をいくら高精度で行ったとしても、必ずウエハとウエハホルダとの間には温度差が生じ、これを無くすことは実質上非常に困難であった。また、ウエハの温調機構とウエハのウエハホルダへの固定機構とが別個のシステムであることも、ウエハの歪み抑制を阻害する要因となっているが、仮にウエハの温調機構と固定機構とを物理的に合一にしたシステムを構築したとしても、ウエハを外部装置から露光装置内に搬入してウエハホルダ上に搭載しなければならないシステムをとる以上、ウエハホルダへの搭載動作時において、ウエハ自体の温度変化とウエハに作用する圧力の変化とが同時に起こるのが回避できず、上述した如くウエハに非線形歪みが生じていた。
また、後者の方法では、一旦、ウエハの吸着を解除することにより、ウエハの自由な熱膨張を許容するが、ウエハはウエハホルダに搭載されるとき、プリアライメントされた状態であり、ウエハの自由な熱膨張に伴ってこのプリアライメント状態を崩すおそれがあった。ここでプリアライメント状態とは、ウエハホルダに対するウエハの回転(向き)と偏心が所定の状態(所定の位置関係)に調整された状態である。なお、特許文献1には、吸着力について弱い吸着力と強い吸着力に分け、弱い吸着力でウエハをウエハホルダ上に吸着させることにより、ウエハの熱伸縮を許容し、ウエハの温度がウエハホルダの温度と略同一になり、ウエハの熱伸縮が安定した後、強い吸着力でウエハをウエハホルダに吸着することも開示されているが、この場合、ウエハホルダとの間の摩擦力によりウエハの自由な熱伸縮が十分行えない課題があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、基板と基板ホルダとの間の相対位置関係を崩すことなく(位置ズレを起こすことなく)基板に生じた非線形歪みを十分除去して、高精度の位置合わせが行える、基板保持方法、位置計測方法、基板保持装置、露光装置、デバイス製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成する本発明の基板保持方法は、基板(例えばウエハW)を基板ホルダ(例えばウエハホルダ(WH)20等)上に吸着保持する基板保持方法であって、前記基板ホルダ上に載置された前記基板の所定部位を、該基板ホルダに吸着保持し(例えば図1のステップS102,図2のステップS201を参照)、前記所定部位を吸着保持してから所定時間経過後に、前記基板と前記基板ホルダとの相対的な位置関係を維持したままで、該基板の前記所定部位を、該基板ホルダへの該吸着保持から解放し(例えば図1のステップS104乃至S106のうち、少なくとも1つの動作、図2のステップS203を参照)、前記吸着保持の解放後、前記相対的な位置関係を維持したままで、前記所定部位を前記基板ホルダに再度吸着保持(例えば図1のステップS108,図2のステップS204を参照)することを特徴とする。
また、本発明の位置計測方法は、基板を基板ホルダに保持したままで、該基板上に形成されたマークの位置情報を計測する位置計測方法であって、請求項7に記載の基板保持方法により前記基板ホルダ上に吸着保持された前記基板上の前記マークの位置計測を行うことを特徴とする。
また、本発明の基板保持装置は、基板(例えばウエハW)を基板ホルダ上に吸着保持する基板保持装置であって、前記基板ホルダ(例えば図4のウエハホルダ20、図7のウエハホルダ20A、図8のウエハホルダ20Bを参照)上に載置された前記基板の所定部位を、該基板ホルダに吸着保持する吸着手段(例えば図4の第1の給排気機構40、第2吸排気機構45を参照)と、前記所定部位を吸着保持してから所定時間経過後に、前記基板と前記基板ホルダとの相対的な位置関係を維持したままで該基板の所定部位を、該基板ホルダへの吸着保持から解放せしめ、その後、その吸着保持の解放後に、相対的な位置関係を維持したままで、該所定部位を該基板ホルダに再度吸着保持せしめるように、前記吸着手段を制御する制御手段(例えば図3の主制御系50を参照)と、を有することを特徴とする。
また、本発明の露光装置は、パターンを基板上に露光して形成する露光装置であって、請求項9乃至13の何れか一項に記載の基板保持装置を装備してなることを特徴とする。
また、本発明のデバイス製造方法は、デバイスパターンが露光形成される基板を用意する準備工程と、請求項7に記載の基板保持方法により前記基板を保持する工程(例えば図9のステップS303、図10のステップS403を参照)と、前記保持された基板上に前記デバイスパターンを露光する工程と、を含むことを特徴とする。
本発明の基板保持方法によれば、基板と基板ホルダとの相対的な位置関係を維持したままで、基板の所定部位を、基板ホルダへの吸着保持から解放するようにしているので、位置ズレを生じることなく、基板に生じた非線形歪みを除去することが可能で、高精度の位置合わせが可能となる。
また、本発明の位置計測方法によれば、請求項7に記載の基板保持方法により基板ホルダ上に吸着保持された基板上のマークの位置計測を行うようにしているので、高精度の位置計測が可能となる。
また、本発明の基板保持装置によれば、請求項9乃至13の何れか一項に記載の基板保持装置を装備してなるで、高精度の位置合わせが可能となる。
また、本発明のデバイス製造方法によれば、請求項7に記載の基板保持方法により基板を保持する工程を含むので、高い重ね合わせ精度でデバイスパターンを基板上に転写することができ、デバイスの製造歩留まりを向上させることが可能である。
以下本発明の基板保持方法、この基板保持方法により保持されたウエハ上のアライメントマークの位置計測を行う位置計測方法、基板保持装置、この基板保持装置を備えた露光装置、基板を基板保持方法により保持してデバイスを製造するデバイス製造方法の実施態様について図1乃至図10を参照して説明する。
図3は本発明の基板保持装置の一実施態様である基板保持装置10を備えた露光装置100の概略を示す全体構成図である。先ず、図3を参照して露光装置100の全体の概略について説明する。露光装置100は、例えば、マスクとしてのレチクルR上に形成された回路パターン等を、ステップ・アンド・スキャン方式により、投影光学系PLを介して基板としてのウエハWの各ショット領域上に露光転写する、走査型の露光装置である。
露光装置100には、照明光学系11と、レチクルRをXY軸平面(水平面)内で移動可能に保持するレチクルステージRSTと、投影光学系PLと、ウエハWをXY軸平面(水平面)内及びZ軸方向(XY軸平面である水平面と直交する垂直方向)に移動可能に搭載するウエハステージWSTと、ウエハアライメント系ASと、装置全体を統括制御する主制御系50とが装備される。
基板保持装置10を構成する、ウエハステージWSTは、投影光学系PLの下方で不図示のベース上に配置される。ウエハステージWST上には、温度制御された、ピンチャックタイプのウエハホルダ(WH)20が載置され、このウエハホルダ20上にウエハWの裏面が真空吸着により吸着保持される。
ウエハステージWSTは、例えばリニアモータ等を含むウエハステージ駆動系21によりXY2次元方向に駆動される。ウエハステージWSTのXY平面内での位置は、その上面に設けられた移動鏡系を介してウエハレーザ干渉計系22によって、例えば0.5nm〜1nm程度の分解能で常時検出される。ウエハステージWSTの移動位置を定めるための静止座標系(直交座標系又はステージ座標系)は、ウエハ干渉計22のY干渉計及びX干渉計の測長軸によって決まる。ウエハステージWSTのステージ座標系上における位置情報(又は速度情報)は、主制御系50に供給され、この主制御系50でウエハ干渉計22からの位置情報に基づいて演算処理を行い、ウエハステージ駆動系21を介してウエハステージWSTを駆動制御する。この制御により、ウエハステージWSTは、図3の実線で示す投影光学系PL真下の露光位置(投影光学系PLを介してパターンが転写される位置)と、同図の2点鎖線で示すウエハWの受け渡し位置(ローディング位置)との間で往復移動する。
ウエハホルダ20は、不図示の駆動部により、投影光学系PLの光軸AXに直交する面に対して任意の方向に傾斜可能で、且つ投影光学系PLの光軸AX方向(Z軸方向)にも微動可能な構成になっている。また、ウエハホルダ20は、光軸AX回りの微小回転動作も可能になっている。ウエハホルダ20の中央部には、ウエハWを真空吸着するセンターテーブル(CT)23が配置される。このセンターテーブル23は、ウエハステージWSTに対してウエハWをロードする際、或いはウエハステージWSTからウエハWをアンロードする際に、主制御系50の指示の下、ウエハステージ駆動系21により駆動されて、ウエハWの中央部を下方から吸着保持した状態で昇降動作する。
ウエハホルダ20は、低熱膨張率の材料、例えばセラミックス(一例としてはショット社のゼロデュア(商品名)、Al2O3又はTiC)等によって構成される。ウエハホルダ20は、図4に示すように、その外観が所定肉厚の円形板状をしており、その上面の外周部近傍の所定幅の環状領域を除く部分の所定面積の領域に所定の間隔で設けられた複数のピン状突起24と、これらピン状突起24が配置された領域を取り囲む状態で外周縁近傍及び内周縁近傍に設けられた環状突起25A,25B等を備える。ピン状突起24は、その直径が例えば0.02mm乃至0.1mm、高さが例えば0.01mm乃至0.3mmに設定された円柱又は角柱である。環状突起25A,25Bは、その幅が例えば0.02mm乃至0.15mm、高さがピン状突起23と略等しく、例えば0.01mm乃至0.3mmに設定される。外周縁近傍の環状突起25Aは、その外径がウエハWの外径よりも僅かに小さく、例えば1mm乃至2mm程度小さく設定される。なお、センターテーブルCTの上面にもピン状突起23が複数配置される。
ウエハホルダ20の内部には、図5(B)に示すように、ウエハホルダ20の温度を一定に保つために、温調水循環装置26より供給される温度調整された液体(例えばHFEや水)が循環する液路26Aが配置される。なお、ウエハホルダ20の温度は不図示の温度センサにより常時モニターされており、この温度センサの検知信号が主制御系50に供給されるようにしてある。主制御系50は、温度センサからの検知信号に基づいて、ウエハホルダ20が予め設定した設定温度からずれたとき、ウエハホルダ20の温度を設定温度に戻すように温調水循環装置26を制御する。
ウエハホルダ20の上面には、複数の給排気口27が配置される。これら給排気口27は、ウエハホルダ20の上面に、その中央部から放射方向に延びる複数本の線(図4では略120°の中心角を有する半径方向に延びる3本の線)と、ウエハホルダ20の上面中央部を中心とした複数の同心円との交点位置に位置するように、該線に沿って略等間隔に配置される。なお、給排気口27の配置位置は、ピン状突起24と互いに干渉しないように設定される。
ウエハホルダ20の内部には、図4に示すように、給排気口27の配列に沿って延びるように(放射状に)給排気通路28A、28B、28Cが形成される。これら各給排気通路28A、28B、28Cは、図5(B)に示すように、給排気口27の略真下位置にあり、各給排気通路28A、28B、28Cから垂直方向(Z方向)に延びる複数の分岐路28eの上端開口部が給排気口27になっている。給排気通路28A、28B、28Cはウエハホルダ20の中央位置の内部に形成した環状の給排気通路28Dに接続される。この環状の給排気通路28Dは、ウエハホルダ20内部において、ウエハホルダ20の外周面から中央部にかけて半径方向に延びるように形成された、給排気管路28Eに接続される。
ウエハホルダ20は、複数のピン状突起24、環状突起25A,25Bにより支持されたウエハWを、これら複数のピン状突起24の各上端面及び環状突起25A,25Bの各上端面に対して吸着保持する吸着機構としての真空吸着機構を含む第1の給排気機構40に接続される。
センターテーブル23は、ウエハホルダ20の一部を構成するもので、ウエハホルダ20と同様に低熱膨張率の材料によって構成される。センターテーブル23の上面には、複数個(図4では略120°の開き角度で3個)の給排気口30が配置される。各給排気口30は、パイプ状のピンをセンターテーブル23の貫通孔に挿入することにより形成されて、センターテーブル23の内部に形成された環状の給排気通路31に接続される。この環状の給排気通路31は、ウエハホルダ20の内部において、ウエハホルダ20の外周面から中央部にかけて半径方向に延びるように形成された、給排気管路32に接続される。センターテーブル23は、ウエハステージ駆動系21によりウエハホルダ20に対して昇降動作するが、この昇降動作中においてもセンターテーブル23内部の給排気通路31とウエハホルダ20内部の給排気管路32は相互に連通状態が維持されるようにしてある。
センターテーブル23は、複数のピン状突起24により支持されたウエハWを、これら複数のピン状突起24の各上端面に対して吸着保持する吸着機構としての真空吸着機構を含む第2の給排気機構45に接続される。
上述した第1の給排気機構40と第2の給排気機構45は、別系統のバキュームシステムで、互いに独立して動作するように主制御系50により制御される。
第1の給排気機構40は、第1真空ポンプ(排気ポンプ)42A、真空室42Ba、第2真空ポンプ(排気ポンプ)42Bb及び給気装置42Cを備え、複数の枝管41a乃至41dを有する給排気本管41を介して給排気管路28Eのウエハホルダ20の外周面側の開口端に接続される。給排気本管41のうち、その枝管41bには電磁弁V1が、枝管41cには電磁弁V2が、枝管41dには電磁弁V3がそれぞれ配置される。給排気本管41の一部には、その内部の気圧を計測するための気圧計(不図示)が接続されており、この気圧計の計測値は主制御系50に供給され、主制御系50は、この計測値とウエハWのロード、アンロードの制御情報に基づいて各電磁弁V1乃至V3の開閉と真空ポンプ42A、42Bb及び給気装置42Cの動作とをそれぞれ制御する。
第2の給排気機構45は、真空ポンプ47を備え、給排気本管46を介して給排気管路32のウエハホルダ20の外周面側の開口端に接続される。給排気本管46には電磁弁V4が配置される。この電磁弁V4の開閉と真空ポンプ47の動作は、ウエハWのロード、アンロードの制御情報等に基づいて主制御系50により、第1の給排気機構40の電磁弁V1乃至V3、真空ポンプ42A、42Bb等とは独立して制御される。
照明光学系11としては、例えば特開平10−112433号公報、特開平6−349701号公報等に開示された照明装置が使用される。照明光ILとして、KrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光、ArFエキシマレーザ(波長193nm)、F2レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光、あるいは超高圧水銀ランプからの紫外域の輝線(g線、i線等)等が使用される。
レチクルステージRST上には、レチクルRが例えば真空吸着により固定されている。このレチクルステージRSTは、レチクルステージ駆動部12によって、レチクルRの位置決めのため、照明系11の光軸(後述する投影光学系PLの光軸AXと一致)に垂直なXY平面内で微小駆動可能であると共に、所定のスキャン(走査)方向(例えばY軸方向)に設定された走査速度で駆動可能になっている。レチクルステージRSTのステージ移動面内の位置は、レチクルレーザ干渉計(レチクル干渉計という)により、例えば0.5nm〜1nm程度の分解能で常時検出される。レチクル干渉計からのレチクルステージRSTの位置情報は、主制御系50に供給される。
投影光学系PLは、レチクルステージRSTの下方に配置され、その光軸AXの方向がZ軸方向に沿っている。投影光学系PLとしては、例えば両側テレセントリックな縮小系が用いられる。照明系11からの照明光によってレチクルRの照明領域が照明されると、このレチクルRを通過した照明光により投影光学系PLを介して照明領域内のレチクルR上の回路パターンの縮小像が表面にフォトレジストを塗布したウエハW上に形成される。
ウエハアライメント系ASは、投影光学系PLの側面に設けられる。このウエハアライメント系ASとしては、FIA(Field Image Alignment)センサが使用され、所定の波長幅を有する広帯波長域な照明光(例えば白色光)をウエハWに照射し、ウエハW上のアライメントマークの像とウエハWに共役な面内に配置される指標板上の指標マークの像とを対物レンズ等によって撮像素子(CCDカメラ等)の受光面上に結像して検出するものである。ウエハアライメント系ASは、アライメントマーク及びウエハ・フィデシャル・マーク板(基準マーク板)上の基準マーク(不図示)の撮像結果である撮像信号を主制御系50に出力する。
次に、上記基板保持装置10を利用して実施される、本発明の基板保持方法の第1実施態様について、図1、図4及び図6(A)乃至(D)等を参照して説明する。
ウエハローダWL(図3、図6(A)参照)によりウエハWがローディング位置LPにあるウエハホルダ20の上方に搬送されると、ステップS100において、主制御系50から指令を受けたウエハステージ駆動系21がセンターテーブル23を上昇させ、また主制御系50からの指令により電磁弁V4が開き、真空ポンプ47の動作が開始し、これにより給排気口30から気体(空気)が吸引される。センターテーブル23が所定高さ位置まで上昇すると、ウエハローダWLからウエハWがセンターテーブル23上に搭載される(受け渡される)。ウエハWはセンターテーブル23上に吸着保持される(図6(A)参照)。
ステップS101において、主制御系50により電磁弁V2が開き、また第2真空ポンプ42Bbが動作を開始する。
ステップS102において、主制御系50から指令を受けたウエハステージ駆動系21によりセンターテーブル23が下降する。ウエハWをウエハホルダ20上に載置すると、ウエハホルダ20、環状突起25A、25B及びウエハWにより囲まれた空間内の気体(空気)が給排気口27を介して吸引(排気)される。この際、スループット性の向上を図るため、本実施態様では、真空室42Baを使用して、吸引圧力を−800hPa程度高く設定して、ウエハWを瞬時に吸着保持している。ウエハWがウエハホルダ20上に載置された後は、電磁弁V2を閉じる一方、電磁弁V1を開き、第1真空ポンプ42Aを動作させる。これにより、ウエハWは、センターテーブル23上に吸着保持されると共に、所定部位である、例えばウエハWの周辺部分が、第1真空ポンプ42Aの真空吸引力によりウエハホルダ20上に吸着保持される。ウエハWの所定部位(周辺部分)を、給排気口27を介して作用する真空吸引力によりウエハホルダ20上に吸着保持することによって、ウエハWとウエハホルダ20との相対的な位置関係を維持したままとしておきながら、電磁弁V4を閉じて、真空ポンプ47の動作を停止する(図6(B)参照)。この後、センターテーブル23をウエハホルダ20内に更に下降させて、センターテーブル23をウエハWから離す(ウエハWをセンターテーブル23から離間して解放する)。
なお、本ステップS102では、センターテーブル23とウエハWとを離間させる際には、センターテーブル23のバキュームをオフする(電磁弁V4を閉じる)ようにしているが、このバキュームのオン→オフへの切換時間によるスループット性の低下を解消するために、センターテーブル23のバキュームをオン状態にしたままでセンターテーブル23を下降させて、センターテーブル23とウエハWとを離すように動作させてもよい。
ウエハWの温度を、ウエハホルダ20の温度と略同一になるように制御しても、前述した如く、ウエハWとウエハホルダ20との間には僅かながらでも温度差が存在する。このため、ウエハWは、ウエハホルダ20に載置された時点で、その温度が変化する。この温度変化により、ウエハWが熱伸縮しようとしても、ウエハWの周辺部分は給排気口27から作用する真空吸引力によりウエハホルダ20上に拘束され、ウエハWの自由な熱伸縮が行えない。ウエハWの周辺部分は、ウエハWの中央部分の熱伸縮量が加算されて熱伸縮する箇所なので、この周辺部分がウエハホルダ20上に拘束されることにより、ウエハW内部には非線形歪みが生じる。
ステップS103において、ウエハWの温度がウエハホルダ20の温度と略同一となるように(ウエハWとウエハホルダ20とが熱平衡に達するように)、ウエハWをウエハホルダ20上に所定時間吸着保持する。この吸着保持の間、ウエハWの内部には非線形歪みが蓄積される。所定時間経過したらステップS104に移行する。
ステップS104乃至ステップS106ではウエハW内部に蓄積された非線形歪みを除去する処理を行う。
先ず、ステップS104において、センターテーブル23を上昇させてウエハWに接触させつつ、電磁弁V4を開き、真空ポンプ47の動作を開始して、給排気口30からウエハWの、所定部位とは異なる部位である、例えばウエハWの中央部分に真空吸引力を作用し、ウエハWをセンターテーブル23上に吸着保持する。これにより、ウエハWとウエハホルダ20との相対的な位置関係を維持したままで、第1真空ポンプ42Aの動作を停止し、電磁弁V1を閉じる。
ステップS105において、ウエハWの中央部分をセンターテーブル23上に吸着保持したままで、電磁弁V3を開き、給気装置42Cの動作を開始し、給排気口27からウエハWの周辺部分の裏面に向けて気体(空気)を吹き付けてこの周辺部分に作用していた真空吸引状態を直ちに解除する。
ステップS106において、ウエハWの中央部分をセンターテーブル23上に吸着保持し、且つ給排気口27からウエハWの周辺部分の裏面に向けて気体(空気)を吹き付けつつ、センターテーブル23を上昇させて、ウエハWの所定部位(周辺部分)をウエハホルダ20から離し(図6(C)参照)、ウエハWの所定部位(周辺部分)のウエハホルダ20への吸着保持を完全に解除する。吸着保持の解除後は電磁弁V3を閉じ、給気装置42Cの動作を停止して、給排気口27からウエハWの裏面に向けての気体(空気)の吹き付けを停止する。これにより、ウエハWは、ウエハホルダ20との相対的な位置関係を崩すことなく、その周辺部分は自由に熱伸縮が行えるようになり、この結果、ウエハWの内部に蓄積された非線形歪みは殆ど除去される。ウエハWをウエハホルダ20から引き離す(離間する)ことにより、ウエハWとウエハホルダ20との間に再度温度差が生じるおそれがあるので、この引き離し(離間)は僅かな時間だけにする必要があるが、僅かな時間でもウエハWの非線形歪みを除去することができるので、何ら支障はない。
ステップS107において、直ちにセンターテーブル23を下降させて、ウエハWをウエハホルダ20上に載置する。
ステップS108において、ウエハWの中央部分をセンターテーブル23上に吸着保持したままで、電磁弁V1を開き、第1真空ポンプ42Aを動作させて、ウエハWの所定部位(周辺部分)を再度ウエハホルダ20上に吸着保持する。この後、電磁弁V4を閉じ、真空ポンプ47の動作を停止する(図6(D)参照)。
このようにステップS107及びステップS108においては、前述のステップS101、S102のように、ウエハWがウエハホルダ23に載置される前から予め第1のVAC(第1真空ポンプ42A)をオンにしておく(空吸い状態にしておく)ものではなく、ウエハWがウエハホルダ20に載置された後に第1のVACをオンするものである。このようにする理由は、ウエハWの撓みによってウエハWの周辺部の方がウエハWの中心部よりも先にウエハホルダ20に接触したとしても、その状態でウエハホルダ20がウエハWの吸着を行うことをせず、ウエハWの全面がウエハホルダ20に載置された後にウエハホルダ20が吸着動作をするので、このウエハWの撓みによる影響を最小にすることが出来るためのである。
ステップS109において、センターテーブル23をウエハホルダ20内に更に下降させて、センターテーブル23をウエハWから離す(ウエハWをセンターテーブル23から解放する)。
このようにしてウエハWをローディング位置LPでウエハホルダ20上に搭載することによって生じたウエハWの非線形歪みを除去してから、ウエハステージWSTによりウエハホルダ20を図3の実線に示す露光位置EPに移動させる。露光位置EPでは、ウエハアライメント系ASによりウエハW上のアライメントマークの像とウエハWに共役な面内に配置される指標板上の指標マークの像とを検出して、アライメントマークの位置情報を計測する。
上述した第1実施態様の基板保持方法によれば、ウエハWとウエハホルダ20との相対的な位置関係を維持したままで、ウエハWのウエハホルダ20への吸着保持を解放しているので、すなわち、センターテーブル23によりウエハWの所定部位とは異なる部位(中央部分)を吸着保持したまま、ウエハWの所定部位(周辺部分)を、ウエハホルダ20から引き離してウエハホルダ20への吸着保持を解放しているので、ウエハWをウエハホルダ20に搭載する前に設定されていたプリアライメント状態が崩れるおそれがなく、ウエハWのウエハホルダ20への搭載により生じた非線形歪みを効果的に除去することが出来る。このため、アライメントマークの位置情報を計測する際、高精度の位置計測が可能となる。
また、非線形歪を除去する際、一旦、センターテーブル23によりウエハWの所定部位(周辺部分)をウエハホルダ20から引き離すので、ウエハWとウエハホルダ20との摩擦により、ウエハWの自由な熱伸縮が妨げられるおそれがない。この際、ステップS105で説明したように、給排気口27からウエハWの周辺部分の裏面に向けて気体(空気)を吹き付けて真空吸引状態を直ちに解除するので、この引き離し作業をスムーズに行うことが出来る。
さらに、ウエハホルダ20から引き離されたウエハWは直ぐにウエハホルダ20上に戻されることから、一旦ウエハホルダ20と熱平衡に達したウエハWの温度が変化するおそれは殆どない。
さらにまた、ステップS107、108で説明したように、センターテーブル23を下降させて、ウエハWをウエハホルダ20上に再度載置した後にウエハWをウエハホルダ20に吸着保持することから、一旦非線形歪みが除去されたウエハWに給排気口27の空吸引による歪みの発生は生じない。
図7は上述したウエハホルダ20の変形例を示している。
この変形例では、まず前述のようなセンターテーブル23がウエハホルダ20上に設けられていないため、ウエハWの受け渡しは上下動するウエハ搬送アーム(不図示)によって行われるものである。また、この変形例では、ウエハホルダ20Aの内部に同心円状に複数(図7では例えば6本)の環状の給排気通路33A乃至33Fが形成され、ウエハホルダ20Aの表面にこれら各給排気通路33A乃至33Fに沿ってそれぞれ複数の給排気口34A乃至34F(図7では例えば各給排気通路33A乃至33Fにそれぞれ給排気口34A乃至34Fが4個)が略等間隔で配置される。
ウエハホルダ20の内部には、各給排気通路33とそれぞれ接続される給排気管路35A乃至35Fが形成される。これら給排気管路35A乃至35Fには、それぞれ給排気本管48A乃至48Fが接続され、これら給排気本管48A乃至48Fを介して、各給排気通路33A乃至33Fと、ウエハWをウエハホルダ20上に吸着保持する吸着機構としての真空吸着機構を含む給排気機構49とが接続される。各給排気本管48A乃至48Fには、それぞれ電磁弁V5乃至V10が配置され、これら電磁弁V5乃至V10は主制御系50により制御されてそれぞれ独立して開閉する。したがって、各給排気口34A乃至34Fは、同じバキューム系に属しながら、あたかも別系統のバキューム系に属しているように相互に独立してウエハWの裏面に対し真空吸引力を作用させることが出来る。
図2は本発明の基板吸着方法の第2の実施態様を示している。この第2実施態様では、基板保持装置10のウエハホルダとして図7に示すウエハホルダ20Aを使用する。
ウエハWを2本の保持部(保持爪)でかかえ込みながら保持、搬送するタイプの搬送アーム(不図示)によりウエハWがローディング位置にあるウエハホルダ20A上方に搬送され且つ搬送アームがウエハホルダ20Aに向かって下降動作を開始すると、ステップS200において、主制御系50からの指令により電磁弁V5が開き、給排気機構49の動作が開始し、これにより給排気口34Aから気体(空気)が吸引され、ウエハ搬送アームからウエハWがウエハホルダ20A上に搭載される(受け渡される)。ウエハWは、給排気口34Aから作用する真空吸引力を受けて、ウエハホルダ20Aに吸着保持される。なお、ウエハホルダ20Aには、ウエハ搬送アームの2本の保持部が下降した際に、機械的な干渉を避けるための切欠き201,202が設けられている。
ステップS201において、主制御系50により、電磁弁V6乃至V10が順次あるいは同時に開き、給排気口34B乃至34Fから気体(空気)が吸引され、ウエハWは、所定部位である例えばその周辺部分が、該給排気口34B乃至34Fから作用する真空吸引力を受けて、ウエハホルダ20Aに吸着保持される。この後、電磁弁V5が閉じ、ウエハWの中央部分をウエハホルダ20Aの吸着保持から解放する。ウエハWは、ウエハホルダ20Aに載置されて、吸着保持されることにより、図1のステップS102で説明したように、温度の変化を受けて、ウエハWが熱伸縮しようとするが、ウエハWの周辺部分は真空吸引力によりウエハホルダ20A上に拘束され、ウエハWの自由な熱伸縮が行えず、ウエハW内部には非線形歪みが生じる。
ステップS202は図1のステップS103と同じ内容なので、その説明を省略する。所定時間経過したらステップS203に移行してウエハW内部に蓄積された非線形歪みを除去する処理を行う。
すなわち、ステップS203において、電磁弁V5を開き、ウエハWの所定部位とは異なる部位である例えば中央部分をウエハホルダ20A上に吸着保持して、ウエハWとウエハホルダ20Aとの相対的な位置関係を維持したままで、電磁弁V10、V9、V8、V7、V6の順序で閉じる。これにより、ウエハWの最外周部から中央部分に向けてウエハホルダ20Aへの吸着保持から順次解放され、ウエハWは、ウエハホルダ20Aとの相対的な位置関係を崩すことなく、ウエハホルダ20A上で、その最外周部から中央部分に向けて自由に熱伸縮が行え、ウエハWの内部に蓄積された非線形歪みは殆ど除去される。ウエハWの中央部分は、ウエハホルダ20A上に拘束されているものの、ステップS106で説明したように、中央部分に非線形歪みが殆ど残ることはない。
なお、本ステップS203では、電磁弁V5を最初に開いてステップS203の間中、ウエハWの中央部分を吸着保持するようにしているが、これに限らず、電磁弁V5を、電磁弁V6が閉じる直前に開放するようにしてもよい。この場合であっても、ウエハWとウエハホルダ20Aとの相対的な位置関係は、V10、V9、V8、V7、V6の順で電磁弁が閉じられても、各電磁弁の以下の順序の開放によって維持されることになる。(V10〜V6)→(V9〜V6)→(V8〜V6)→(V7、V6)→(V6)→(V5)。
ステップ204において、ウエハWとウエハホルダ20Aとの相対的な位置関係を維持したままで、電磁弁V6乃至V10を順次あるいは同時に開いて、ウエハWの所定部位(周辺部分)をウエハホルダ20A上に再度吸着保持する。この後、この後、電磁弁V5を閉じる。
このようにして、ウエハWをウエハステージWST(ウエハホルダ20A)の移動座標系上におけるローディング位置でウエハホルダ20上に搭載することによって生じたウエハWの非線形歪みを除去することが出来る。この歪み除去処理は、ローディング位置LPで行ってもよいし、或いはローディング位置LPからウエハステージWSTにより図3の実線に示す露光位置EPに移動する間に行ってもよい。この移動中に歪み除去処理を行うことにより、スループット性を向上させることが可能である。
上述した第2実施態様の基板保持方法によっても、ウエハWとウエハホルダ20Aとの相対的な位置関係を維持したままで、ウエハWのウエハホルダ20Aへの吸着保持を解放しているので、第1実施態様の場合と同様に、ウエハWをウエハホルダ20に搭載する前に設定されていたプリアライメント状態が崩れるおそれがなく、ウエハWのウエハホルダ20Aへの搭載によって生じた非線形歪みを効果的に除去することが出来る。
また、電磁弁V10、V9、V8、V7、V6の順序で閉じることにより、ウエハWの最外周部から中央部に向けて(ウエハWの非線形歪み除去に最も有効な部分から順に)ウエハホルダ20Aへの吸着保持を解放することが出来る。
なお、上記第2の実施態様では、ウエハホルダ20Aにセンターテーブル(CT)が備えられていないタイプとして説明したが、給排気通路33A、給排気口34A、給排気管路35A、本管48Aの部分を、上記第1の実施態様のようなセンターテーブル(CT)として構成するようにしてもよい。このようにした場合には、ウエハローダWLとの間においてセンターテーブル(CT)の上下動でウエハWの受け渡しを行うので、切欠き201,202をウエハホルダ20Aに設けなくてもよい。
図8は上述したウエハホルダ20の別の変形例を示している。この図8に示したウエハホルダ20Bも図7で説明したのと同様な切欠き201,202が設けられている。
この変形例では、ウエハホルダ20Bが複数の部分に区画され(図8では例えば4個の部分に区画した場合を示している)、区画された各部分20B1乃至20B4の表面にそれぞれ複数(図8では例えば6個)の給排気口36が配置される。各部分20B1乃至20B4の内部には、給排気口36の配列に沿って半径方向に延びる給排気通路37がそれぞれ形成される。各給排気通路37は、ウエハホルダ20Bの外周面側の端部で開口し、図示しないが、この各開口端にそれぞれ給排気本管が接続されており、これら給排気本管を介して、各給排気通路37と、ウエハWをウエハホルダ20B上に吸着保持する吸着機構としての真空吸着機構を含む給排気機構とが接続される。各給排気本管には、図示しないが、図7に示す場合と同様に、それぞれ電磁弁が配置され、これら電磁弁は主制御系50により制御されてそれぞれ独立して開閉し、この結果、各区画部分20B1乃至20B4の給排気口36は、同じバキューム系に属しながら、あたかも別系統のバキューム系に属しているように独立してウエハWの裏面に対し真空吸引力を作用させることが出来る。
この図8に示すウエハホルダ20Bを使用する基板保持方法では、図示しないが、例えば、ウエハホルダ20Bの区画部分20B1の給排気口36に対応する電磁弁を開き、この給排気口36から気体(空気)を吸引し、ウエハローダWL(図3参照)からウエハホルダ20B上に搭載されたウエハWを吸着保持する。次いで、他の区画部分20B2乃至20B4の各給排気口36に対応する電磁弁を開き、これら給排気口36から気体(空気)を吸引し、ウエハWをウエハホルダ20B上に吸着保持する。次いで、ウエハWとウエハホルダ20Bとが熱平衡に達するまで所定時間この状態を維持する。次いで、この所定時間経過後、区画部分20B1乃至20B4のうち何れか1つ、2つ或いは3つの区画部分の給排気口36に対応する電磁弁を閉じ、この給排気口36からの気体(空気)の吸引を停止し、ウエハWの所定部位(この場合、給排気口36からの気体(空気)の吸引を停止した区画部分と対応するウエハWの箇所)を、ウエハホルダ20Bへの吸着保持から解放する。この結果、吸着保持から解放されたウエハWの所定部位は自由な熱伸縮が行え、ウエハWをウエハホルダ20B上に搭載することにより生じたウエハWの非線形歪みが除去される。なお、給排気口36からの気体(空気)の吸引を停止する区画部分を順次変更することにより(対応する電磁弁の開閉を順次切り替えることにより)、ウエハホルダ20Bへの吸着保持が解放される、ウエハWの所定部位を順次変更することが出来る。非線形歪みの除去後は再度ウエハWをウエハホルダ20Bに吸着保持する。
図8に示すウエハホルダ20Bを使用する基板保持方法の場合にあっても、上述した第1、第2実施形態の場合と同様に、ウエハWをウエハホルダ20Bに搭載する前に設定されていたプリアライメント状態が崩れるおそれがなく、ウエハWのウエハホルダ20Bへの搭載によって生じた非線形歪みを効果的に除去することが出来る。また、上述した第2実施態様の場合と同様に、ローディング位置LP、或いはローディング位置LPからウエハステージWSTにより図3の実線に示す露光位置EPに移動する間に、ウエハWの非線形歪みを除去するようにしてもよい。
図9、図10は本発明のデバイス製造方法の実施態様を示している。これら実施態様では、上述した基板保持方法によりウエハをウエハホルダ20、20A、20B上に吸着保持するので、ウエハWに生じた非線形歪みが除去された状態でEGA計測が実行でき、高精度のウエハアライメント、高精度の露光が行える。この結果、デバイスの製造歩留まりを向上させることが可能となる。
図9に示す実施態様では、ステップS300において、電子デバイスの回路設計等のデバイスの機能・性能設計を行い、その機能を実現するためのパターン設計を行う。ステップS301において、設計した回路パターンを形成したレチクルRを製作する。ステップS302において、シリコン等の材料を用いてウエハ(シリコン基板)Wを製造する。
ステップS303において、ステップS301で製作したレチクルRとステップS302で製造したウエハWを使用し、リソグラフィ技術等によりウエハW上に回路等を形成する、ウエハ処理を行う。このウエハ処理では、先ずローディング位置でウエハWをウエハホルダ20(図4参照)に搭載し、図1に示すステップS101からステップ109の内容を実行し、次いでローディング位置から露光位置にウエハWを搬送し、次いで露光位置でウエハアライメント系AS(図3参照)を使用してEGA計測を行い、このEGA計測結果に基づいてウエハアライメントを実行し、この後、レチクルRに形成されたデバイスパターンを位置決めされた各ショット領域に順次露光転写する。露光が終了したら、ウエハWをウエハステージWSTからアンロードし、現像、エッチング、洗浄工程などの処理を繰り返して、ウエハW上に回路などを形成する。
ステップS304ではデバイス組立を行う。このデバイス組立では、回路などが形成されたウエハWをダイシングして個々のチップに分割し、各チップをリードフレームやパッケージに装着して電極を接続するボンディングを行い、樹脂封止等のパッケージング処理を行う。
ステップS305では検査を行う。この検査では組み立てたデバイスの動作確認テストや耐久性テストなどを行い、合格品を出荷する。
図10に示す実施態様では、ステップS400乃至S402、ステップS404及びS405の内容はそれぞれ図9に示す上述したステップS300乃至S302、ステップS304及びS305の内容と同じで、またステップS403の内容が上述したステップS303の内容と一部相違するだけなので、相違する部分について説明する。
すなわち、ステップS403において、ローディング位置でウエハWをウエハホルダ20A(図7参照)に搭載し、ローディング位置から露光位置にウエハWを搬送する間に図2に示すステップS201からステップ204の内容を実行し、ステップS201からステップ204の処理が完了して、露光位置に到達したら、ステップS303の場合と同様の内容の処理を施す。
本発明は、上記実施態様で説明したものに限定されず、本発明の範囲内において種々変更することが出来る。
例えば、本発明のデバイス製造方法において、図8に示すウエハホルダ20Bを使用して基板保持するようにしてもよい。
また、図7に示すウエハホルダ20Aにおいて、各給排気口34A内にセンタアップパイプを挿入し、これらセンターアップパイプをセンターテーブル23のようにウエハステージ駆動系21により昇降動作させるようにしてもよい。また、図7では、給排気機構49を1つ配置し、電磁弁V5乃至V10の開閉動作を制御することにより、実質的に別系統のバキューム系統で各給排気通路33A乃至33F(給排気口34A乃至34F)に負圧を作用させるようにしているが、各給排気通路33A乃至33F(給排気口34A乃至34F)にそれぞれ給排気機構を接続して、バキューム系統を別系統にしてもよい。
また、走査型露光装置に限らず、静止型露光装置(ステップ・アンド・リピートタイプ)に、上述の基板保持装置、方法を適用してもよいし、あるいは静電吸着を行うウエハホルダ(ウエハステージ)に本発明を適用させてもよい。更に、露光装置に限らず、吸着保持を行う機構を備えた装置であれば何れにも(例えば計測装置や各種加工装置等にも)適用可能である。
10 基板保持装置 20,20A,20B ウエハホルダ
22 ウエハステージ駆動系 23 センターテーブル
27,30 給排気口 28A乃至28C 給排気通路
40 第1の給排気機構 45 第2の給排気機構
50 主制御系 R レチクル
RST レチクルステージ W ウエハ
WST ウエハステージ
22 ウエハステージ駆動系 23 センターテーブル
27,30 給排気口 28A乃至28C 給排気通路
40 第1の給排気機構 45 第2の給排気機構
50 主制御系 R レチクル
RST レチクルステージ W ウエハ
WST ウエハステージ
Claims (15)
- 基板を基板ホルダ上に吸着保持する基板保持方法であって、
前記基板ホルダ上に載置された前記基板の所定部位を、該基板ホルダに吸着保持し、
前記所定部位を吸着保持してから所定時間経過後に、前記基板と前記基板ホルダとの相対的な位置関係を維持したままで、該基板の前記所定部位を、該基板ホルダへの該吸着保持から解放し、
前記吸着保持の解放後、前記相対的な位置関係を維持したままで、前記所定部位を前記基板ホルダに再度吸着保持することを特徴とする基板保持方法。 - 前記所定部位を前記基板ホルダへの吸着保持から解放した後に、該所定部位を該基板ホルダから離間させることを特徴とする請求項1に記載の基板保持方法。
- 前記基板の前記所定部位とは異なる部位を吸着保持する吸着保持部を用いて、当該異なる部位を吸着保持することによって、前記相対的な位置関係を維持することを特徴とする請求項1又は2に記載の基板保持方法。
- 前記基板ホルダは、前記基板の所定部位を吸着保持する第1保持部と、前記異なる部位を吸着保持する第2保持部とを含み、
前記所定時間が経過するまでは前記第1保持部を介した吸着保持を行い、
前記所定時間経過後は、前記第1保持部による吸着保持から前記第2保持部による吸着保持に切り替えることを特徴とする請求項3に記載の基板保持方法。 - 前記基板ホルダは前記基板の所定部位を吸着保持する第1保持部を含み、
前記基板ホルダのほぼ中央部に設けられ且つ昇降動作可能なテーブルは、前記異なる部位を吸着保持する第2保持部を含み、
前記所定時間が経過するまでは前記第1保持部を介した吸着保持を行い、
前記所定時間経過後は、前記第1保持部による吸着保持から前記第2保持部による吸着保持に切り替えることを特徴とする請求項3に記載の基板保持方法。 - 前記所定時間経過後であって前記第2保持による前記吸着保持後に前記テーブルを上昇せしめて、前記基板を前記基板ホルダから離間せしめることを特徴とする請求項5に記載の基板保持方法。
- 前記基板ホルダは給気部を備えており、
前記第1保持部による前記吸着保持から前記第2保持部による前記吸着保持に切り替える際に、前記給気部により前記基板に対して気体を流すことを特徴とする請求項6に記載の基板保持方法。 - 基板を基板ホルダに保持したままで、該基板上に形成されたマークの位置情報を計測する位置計測方法であって、
請求項7に記載の基板保持方法により前記基板ホルダ上に吸着保持された前記基板上の前記マークの位置計測を行うことを特徴とする位置計測方法。 - 基板を基板ホルダ上に吸着保持する基板保持装置であって、
前記基板ホルダ上に載置された前記基板の所定部位を、該基板ホルダに吸着保持する吸着手段と、
前記所定部位を吸着保持してから所定時間経過後に、前記基板と前記基板ホルダとの相対的な位置関係を維持したままで該基板の所定部位を、該基板ホルダへの吸着保持から解放せしめ、その後、その吸着保持の解放後に、相対的な位置関係を維持したままで、該所定部位を該基板ホルダに再度吸着保持せしめるように、前記吸着手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする基板保持装置。 - 前記基板ホルダのほぼ中央部分に配置され、前記基板を吸着保持した状態で昇降動作が可能なテーブルを更に有し、
前記所定部位を前記基板ホルダへの前記吸着保持を解放する際には、前記テーブルに設けられた吸着手段を介して該テーブル上に該基板を吸着保持したままで、該テーブルを上昇動作せしめて該所定部位を該基板ホルダから離間させ、
前記基板ホルダから前記所定部位を離間した後に前記テーブルを下降動作せしめて該所定部位と該基板ホルダとを接触せしめて、当該所定部位を、前記吸着手段を介して再度該基板ホルダに吸着保持することを特徴とする請求項9に記載の基板保持装置。 - 前記基板ホルダの前記吸着手段は、給気機能と排気機能とを備えており、
前記テーブルが上昇動作する際には、前記基板ホルダの吸着手段は前記給気機能を動作させて、前記基板に対して気体を流すことを特徴とする請求項10に記載の基板保持装置。 - 前記基板ホルダは、前記基板の前記所定部位を吸着保持する第1保持手段と、前記基板の前記所定部位とは異なる部位を吸着保持する第2保持手段とを含み、
前記制御手段は、前記所定時間が経過するまでは前記第1保持部を介して吸着保持を行い、前記所定時間経過後は前記第1保持部による吸着保持から前記第2保持部による吸着保持に切り替えるよう、前記第1、前記第2保持手段を制御することを特徴とする請求項9に記載の基板保持装置。 - 前記第1、前記第2保持手段は、前記基板ホルダ上に同心円状に配置されており、且つ互いに独立して吸着動作を行うことを特徴とする請求項12に記載の基板保持装置。
- パターンを基板上に露光して形成する露光装置であって、
請求項9乃至13の何れか一項に記載の基板保持装置を装備してなることを特徴とする露光装置。 - デバイスパターンが露光形成される基板を用意する準備工程と、
請求項7に記載の基板保持方法により前記基板を保持する工程と、
前記保持された基板上に前記デバイスパターンを露光する工程と、を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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