DE4102102C2 - Magnetanordnung mit wenigstens zwei Permanentmagneten sowie ihre Verwendung - Google Patents
Magnetanordnung mit wenigstens zwei Permanentmagneten sowie ihre VerwendungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Magnetanordnung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs
1 sowie die Verwendung dieser Magnetanordnung.
In der Sputtertechnik werden oft Magnete eingesetzt, die ein magnetisches Feld erzeugen,
welches die Bahn elektrisch geladener Teilchen beeinflußt. Hierbei werden die elektrisch
geladenen Teilchen in der Regel durch ein elektrisches Feld beschleunigt, so daß das
magnetische Feld einen den Einfluß des elektrischen Feldes überlagernden Effekt hat. Der
artige Anordnungen werden Magnetrons genannt. Wirkt das elektrische Feld zwischen
einem Heizfaden als Kathode und einer hierzu koaxialen, zylindrischen Anode, so wird ein
solches Magnetron auch Laufzeitröhre genannt und als Schwingungserzeuger bzw. Ver
stärker in der Mikrowellentechnik eingesetzt. In der Sputter- oder Zerstäubungstechnik
liegen Anode und Kathode dagegen in Form einer Diode gegenüber, so daß durch das
überlagerte Magnetfeld eine Elektronen-Zyklotronen-Resonanz erzeugt wird. In die Kathode
eingebaut oder mit dieser vereinigt sind Dauermagnete, die über ein Joch miteinander
verbunden sind. Unter einem Joch versteht man ein Verbindungsstück aus Eisen oder ähn
lichem Material, das den magnetischen Widerstand zwischen zwei Dauermagneten herabsetzt.
Bei den bekannten Sputterkathoden werden im allgemeinen invariable Magnetrons ver
wendet, in denen die Dauermagnete allenfalls vor dem Einbau justiert werden können.
Es sind indessen auch schon Anordnungen vorgeschlagen worden, bei denen das Feld
eines Dauermagneten mit dem Feld einer stromdurchflossenen Spule überlagert und somit
verändert wird. Wegen der Probleme, die sich mit der Plazierung und Stromzuführung bei
Spulen in Magnetrons ergeben, sind derartige Anordnungen nicht sehr verbreitet.
Eine weitere Methode, das Magnetfeld eines Dauermagneten noch nachträglich zu ändern,
besteht darin, den Dauermagneten mechanisch auf einen bestimmten Bereich hin oder von
diesem wegzubewegen. Es handelt sich hierbei jedoch nicht um eine echte Änderung des
Magnetfelds, sondern um eine Feldstärkenänderung durch Abstandsvergrößerung oder
-verkleinerung in einem bestimmten Einflußbereich.
Es ist auch bereits bekannt, eine ferromagnetische Leiste zwischen einem Magnetsatz und
einem Target zu bewegen, um ein Magnetfeld zu beeinflussen (Patents Abstracts of Japan:
1-165771 (A), C-640, September 26, 1989, Vol. 13/Nr. 431; 1-279754 (A), C-682, January 29,
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keine wirksame Abschwächung der Feldstärke erzielbar, sondern allenfalls eine
Verformung des Magnetfelds. Außerdem können die Magnete nicht in unmittelbarer Nähe
des Targets angeordnet werden, sondern es muß ein Spalt zwischen Magnet und Target
verbleiben, um die Steuerleisten bewegen zu können.
Weiterhin ist eine Permanentmagnetanordnung bekannt, bei der zwei Permanentmagnete
in Richtung einer gemeinsamen Längsachse angeordnet sind, wobei zwischen den beiden
Permanentmagneten ein magnetisch leitendes Übergangsstück angeordnet ist (DE-29 01 554 C2).
Diese Anordnung ist indessen relativ aufwendig, weil der dem Arbeitsluftspalt benachbarte
erste Teilpermanentmagnet eine höhere Flußdichte und eine geringere Koerzitivkraft
als der zweite Teilpermanentmagnet aufweisen muß.
Bei einer magnetostatischen Linsenanordnung ist es bekannt, zwei koaxial zum Strahlengang
eines Elektronenmikroskops liegende zylindrische Permanentsysteme vorzusehen, mit
denen eine Feldstärkebeeinflussung vorgenommen wird (DE-PS 8 69 995, DE-PS 8 85 451).
Die steuernde Wirkung wird hierbei durch einen direkt am Magneten hervorgerufenen
magnetischen Kurzschluß erzielt. Nachteilig ist indessen, daß zur Steuerung eine lineare
Bewegung eines Steuerrings in axialer Richtung mit großem Kraftaufwand erforderlich ist.
Ferner ist eine Zerstäubungskathode nach dem Magnetronprinzip bekannt, die drei ineinanderliegende
permanentmagnetische Magneteinheiten sowie eine mechanische Verstelleinrichtung
aufweist, wodurch der magnetische Fluß zwischen einem Magnetjoch und
mindestens einer Magneteinheit gegenüber dem magnetischen Fluß zwischen dem
Magnetjoch und den übrigen Magneteinheiten veränderbar ist (EP 0 253 344 A2). Die Veränderbarkeit
des magnetischen Flusses beruht hierbei in erster Linie auf dem Heben und
Senken eines Zentralmagneten. Die Veränderung des magnetischen Widerstands im Joch
ist lediglich ein sekundärer Effekt. Wird der Zentralmagnet nicht mitbewegt, so werden erhebliche
Kräfte notwendig, um den zentralen Jochausschnitt zu bewegen.
Aus der FR 775 082 ist eine Induktivität bekannt, bei der im Bereich des Jochs
wie beim Gegenstand des Patentes ein drehbarer Körper aus zwei Materialien vorgesehen ist.
Schließlich wurde auch eine Magnetanordnung vorgeschlagen, die zwei Dauermagnete
aufweist, welche einen Abstand voneinander aufweisen, wobei gegensätzliche Pole der
beiden Dauermagnete über Jochs miteinander verbunden sind (US 3 452 310).
Außerdem besitzt diese Anordnung einen Drehkörper, der im Bereich der Joche angeordnet
ist. Für den Einsatz in einer Magnetron-Sputter-Anlage ist diese bekannte Magnetanordnung
nicht geeignet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Magnetfeld nachträglich und auf einfache
Weise um 10% bis 20% ändern zu können.
Diese Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.
Der mit der Erfindung erzielte Vorteil besteht insbesondere darin, daß das Magnetfeld
eines Magnetrons auch noch während des Betriebs z. B. einer Sputterkathode auf einfache
Weise verändert werden kann. Außerdem ist es mit der Erfindung möglich, die Grundein
stellung des Magnetfeldes zu verbessern.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen im
folgenden näher beschrieben. Es zeigt:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines U-förmigen Magneten mit einem Joch, zwei
Dauermagneten und einem Regelstab;
Fig. 2 einen Querschnitt durch einen erfindungsgemäßen Magneten mit Joch und zwei
Regelstäben mit unterschiedlichen Durchmessern;
Fig. 3 eine halbseitige Darstellung eines Magneten mit einer Magnetflußrückführung
und drei Stellen für die Einfügung von Regelstäben;
Fig. 4a einen Magneten gemäß Fig. 3, bei dem ein Regelstab an der Übergangsstelle
zwischen Joch-Schenkel und Magnetflußrückführung angeordnet ist und eine
erste Stellung einnimmt;
Fig. 4b den Magneten gemäß Fig. 4a, wobei der Regelstab eine zweite Stellung einnimmt;
Fig. 4c den Magneten gemäß Fig. 4a, wobei der Regelstab eine dritte Stellung ein
nimmt;
Fig. 5 eine perspektivische Darstellung einer rotationssymmetrischen Magnet
anordnung mit Regelringen am Boden;
Fig. 6 eine Draufsicht auf den Boden der rotationssymmetrischen Magnetanordnung
gemäß Fig. 5;
Fig. 7 eine perspektivische Darstellung einer zweiten rotationssymmetrischen
Magnetanordnung mit Regelringen an der Gehäusewand;
Fig. 8 eine Schnittdarstellung durch eine dritte rotationssymmetrische Magnet
anordnung mit Regelringen am Boden und an der Gehäusewand;
Fig. 9a das Vektorpotential eines unbeeinflußten Magneten;
Fig. 9b das Vektorpotential eines Magneten, dessen Joch weitgehend mit einer Aus
nehmung versehen ist;
Fig. 9c das Vektorpotential eines Magneten, dessen Joch an einer Stelle vollständig
durch eine Ausnehmung unterbrochen ist;
Fig. 10a die x-Komponente der Magnetfeldstärke eines Magneten bei teilweise, voll
ständig oder gar nicht unterbrochenem Joch;
Fig. 10b die y-Komponente der Magnetfeldstärke eines Magneten bei teilweise, voll
ständig oder gar nicht unterbrochenem Joch;
Fig. 10c die y-Komponente der Magnetfeldstärke eines Magneten bei teilweise, voll
ständig oder gar nicht unterbrochenem Joch;
Fig. 11 eine erfindungsgemäße regelbare Magnetanordnung als Teil eines
Magnetrons.
In der Fig. 1 ist ein U-förmiges Joch 1 aus Eisen oder dergleichen mit einer Grundfläche 2
und zwei seitlichen Schenkeln 3, 4 dargestellt. Auf der Oberkante der beiden Schenkel 3, 4
befindet sich jeweils ein stabförmiger Dauermagnet 5, 6 mit rechteckigem Querschnitt. Die
Polarität der beiden Dauermagnete 5, 6 ist gegensätzlich, so daß die magnetischen Feldli
nien 7 zwischen den Dauermagneten eine Bogenform besitzen. Gemäß der Erfindung ist in
den Schenkel 4 des Jochs 1 ein kreisrunder Stab 8 eingelassen, der in seiner Längsrichtung
aus zwei verschiedenen Materialien 9, 10 besteht. Der Stab ist in dem Schenkel 4 des
Jochs 1 in Richtung des Pfeils 11 drehbar, da er lediglich durch magnetische Kräfte in ei
ner Aussparung des Schenkels 4 gehalten wird, deren Querschnittsfläche etwa der Hälfte
der Querschnittsfläche des Stabs 8 entspricht. Durch Drehen des Stabs kann die Amplitude
und Form der magnetischen Feldlinien verändert werden, wobei die Änderung von der Art
des Materials des Stabs 8 abhängt, der gerade in die Aussparung des Schenkels eingreift.
In der Fig. 2 ist das Joch 1 mit den Dauermagneten 5, 6 noch einmal im Querschnitt darge
stellt, wobei allerdings auch der Schenkel 3 des Jochs 1 mit einem Stab 12 versehen ist.
Die Drehachse des Stabes 12, der einen größeren Umfang als der Stab 8 hat, liegt außer
halb des Jochs 3. Der Stab 12 ist in diesem Fall asymmetrisch zur Längsachse geteilt. Er
besteht ebenfalls aus zwei Hälften 13, 14, wobei die eine Hälfte 14 z. B. ferromagnetisch
ist, während die andere Hälfte 13 nichtmagnetisch ist. Durch die asymmetrische Teilung
kann der ferromagnetische Teil vollständig aus dem Joch bewegt werden, ohne dieses an
den Kanten zu berühren wie bei Stab 8. Werden die Stäbe 8, 12 einzeln oder zusammen in
Richtung der Pfeile 11, 15 gedreht, so kann das Magnetfeld 7 bezüglich Amplitude und
Form in weitem Umfang geändert werden.
Die Stärke des Querschnitts D des Jochs 2 und der Schenkel 3, 4 sollte so bemessen wer
den, daß der magnetische Fluß, der von den Dauermagneten 5, 6 kommt, geführt werden
kann, ohne daß das Material des Jochs 1 in die Sättigung gelangt. Unterschreitet die Stärke
D einen bestimmten Wert, so daß das Joch 1 in der Sättigung betrieben wird, kann nur
noch ein wesentlich geringerer Teil des Flusses geführt werden, was zur Folge hat, daß der
Kurzschlußfluß der Dauermagnete 5, 6 zunimmt und die Feldstärke zwischen den beiden
Dauermagneten abnimmt. Durch die verschiedenen Materialien der Stäbe 8, 12 läßt sich
die magnetisch wirksame Dicke des Jochs 1 leicht variieren. Das Drehen der Stäbe 8, 12
kann manuell oder maschinell erfolgen. Beim maschinellen Drehen werden die Stäbe 8, 12
beispielsweise mit der Drehwelle eines Elektromotors gekoppelt, der vom Magneten ent
fernt angeordnet ist.
Ein besonderer Vorteil der in den Fig. 1 und 2 gezeigten Vorrichtung besteht darin, daß die
Lage der Magnete 5, 6 und der Joche 2, 3, 4 bei einer Feldänderung nicht verändert wird.
In der Fig. 3 ist die linke Hälfte einer Magnetanordnung mit einem Joch 1 und einem Dau
ermagneten 5 dargestellt. Von den beiden Schenkeln 3, 4 ist nur der Schenkel 3 links von
der Symmetrielinie 16 zu erkennen. Zwischen dem Dauermagneten 5 und dem Schenkel 3
ist ein magnetischer Rückführungszweig 17 angeordnet, der einen Teil des vom Dauer
magneten 5 ausgehenden Flusses zum Schenkel 3 rückführt. Der vom Dauermagneten 5
erzeugte Gesamtfluß ΦC verzweigt sich an der Rückführungsstelle 18 in die Teilflüsse ΦD
und ΦA, wobei der Teilfluß ΦA den Fluß der Feldlinien darstellt, die in den gegenüberlie
genden und in Fig. 3 nicht dargestellten Dauermagneten eintreten. Dieser Fluß ΦA wird
durch den rechten Schenkel (Fig. 2) zurückgelenkt. Aufgrund von Verlusten des freien
Magnetfeldes 7 (Fig. 2) ist ΦA geschwächt und erscheint im Joch 2 als Fluß ΦB.
An der zweiten Rückführungsstelle 19 wird der abgezweigte Fluß ΦD mit dem Fluß ΦB zu
sammengeführt, so daß ΦD+ΦB = ΦC gilt. Durch Einfügung von Regelstäben 20, 21, 22
an verschiedenen Stellen des Jochs können ΦB, ΦD und ΦC beeinflußt werden. So ist es
beispielsweise möglich, mit dem Regelstab 22 die Wirksamkeit der aufgesetzten Flußfüh
rungen und damit z. B. die geometrische Höhe des Magnetfelds zu beeinflussen.
In den Fig. 4a bis Fig. 4c ist ein Magnet dargestellt, der nach dem in der Fig. 3 dargestell
ten Prinzip arbeitet und bei dem ein Regelstab 23 an der Rückführungsstelle 19 angeordnet
ist. Der Regelstab 23 besteht im Querschnitt aus einem kleineren nicht-magnetischen Teil
24 und einem großen magnetischen Teil 25. Nimmt der Regelstab 23 die in der Fig. 4a ge
zeigte Position ein, so wird der Rückführungsfluß ΦD reduziert, d. h. die Rückführung ist
geschwächt.
In der Position gemäß Fig. 4b erreicht die Rückführung ihr Maximum. Weder im Schenkel
3 noch im Zweig 17 befindet sich eine magnetische Schwächung oder Abriegelung.
Die Fig. 4c zeigt eine Stellung des Regelstabs 23, bei welcher zwar die Rückführung unge
schwächt erfolgt, der Hauptzweig des Schenkels 3 dagegen geschwächt wird, weil das
magnetisch nicht-leitende Material 24 in diesen Zweig eingeschoben ist und somit ΦA wei
ter reduziert wird. Mit Hilfe des Regelstabs 23 ist es somit möglich, die Rückführung des
Flusses ΦD mehr oder weniger zu beeinflussen und somit ΦA und damit das Magnetfeld zu
variieren.
In der Fig. 5 ist ein rotationssymmetrischer Magnet 30 dargestellt, der ein Joch 31 in Form
eines kreiszylindrischen Rohrs mit einem Boden 32 aufweist und einen ringförmigen Dau
ermagneten 33 an seinem oberen Rand trägt. Von der Mitte des Bodens 32 erstreckt sich
ein säulenförmiges Jochteil 34, das in der Höhe des ringförmigen Dauermagneten 33 eine
Dauermagnetscheibe 35 trägt. Die beiden Dauermagnete 33, 35 sind polaritätsmäßig so an
geordnet, daß sich kreisbogenförmige Magnetfeldlinien 36 ergeben. Im Boden 32 sind
zwei Ringe 37, 38 angeordnet, die relativ zueinander verschoben werden können und ab
wechselnd magnetisch nichtleitende und magnetisch leitende Segmente besitzen. Durch
Verschieben dieser Ringe 37, 38 kann der über das Gesamtjoch 31, 32, 34 fließende Fluß
gesteuert werden.
In der Fig. 6 ist die Bodenplatte 32 noch einmal in einer Ansicht von unten dargestellt, wo
bei die einzelnen Segmente 39 bis 44 deutlich zu erkennen sind. Bei der in der Fig. 6 dar
gestellten Konstellation wird der Magnetfluß zwischen den beiden Dauermagneten 35, 33
minimal, weil einer magnetisch leitenden Zone 39, 43 eines Rings 37, 38 jeweils eine
magnetisch nichtleitende Zone 42, 40 des anderen Rings gegenüberliegt. Durch relatives
Verdrehen der Ringe 37, 38 ist eine nahezu stufenlose Veränderung des magnetischen Wi
derstandes zwischen den Dauermagneten 33, 35 möglich, so daß das Feld 36 innerhalb ge
wisser Grenzen nahezu beliebig veränderbar ist.
In der Fig. 7 ist ein Magnet 45 dargestellt, der auf seinem zylindrischen Umfang verdreh
bare Ringe 46, 47 mit magnetisch unterschiedlich leitenden Bezirken 48, 49; 50, 51; 52, 53
etc. aufweist. Der Magnetfluß wird hierbei also nicht am Boden 32 beeinflußt, sondern am
Zylindermantel 31.
In der Fig. 8 ist eine Vorrichtung im Querschnitt gezeigt, die einer Kombination der Vor
richtungen gemäß Fig. 5 und 7 entspricht. Es sind also sowohl drehbare Ringe 46, 47 am
zylindrischen Umfang vorgesehen als auch Ringe 37, 38 am Boden. Für eine Regelung ist
es ausreichend, daß jeweils nur einer der Ringe 46, 47 bzw. 38, 37 drehbar ist, während der
jeweils andere unbeweglich angeordnet ist. Durch die äußeren Steuerringe 46, 47 wird das
Magnetfeld 36 am Rand zum Dauermagneten 33 hin stärker geändert, während die inneren
Steuerringe 37, 38 in der Nähe des Zentrums der Bodenplatte 32 das Magnetfeld 36 um
den Mittelmagneten 35 stärker beeinflussen.
Ferner ist es möglich, das Verhältnis der einzelnen Bezirke 39, 40 oder 39, 42 etc. beliebig
zu variieren.
Die Fig. 9a bis 9c zeigen die mit einem zweidimensionalen Finite-Element-Programm er
rechneten Auswirkungen der Feldbeeinflussung durch eine Steuerung des Magnetflusses
im Joch. Für die Rechnung wurde eine Magnetronanordnung mit 10 mm·10 mm-Perma
nentmagneten mit einer Remanenz-Induktion von Br = 0,88 T und einer Koerzitiv-Feld
stärke BHc = 67 KA/cm gewählt, wie sie in vergleichbarer Form in Langkathoden von
Sputteranlagen verwendet werden. Es wurden drei Fälle berechnet: Joch unbeeinflußt, Joch
stark beeinflußt, Joch vollständig unterbrochen. Zur Vereinfachung der Rechnung wurde
ein 10 mm×9 mm bzw. 10 mm×10 mm großer Ausschnitt im Joch verschoben. Die Ab
szissen und Ordinaten der Fig. 9a bis 9c geben die Abmessungen in mm an. Diese Anga
ben bewegen sich zwischen 60 mm und 150 mm.
In der Fig. 9a ist schematisch ein Magnet 60 mit dem Joch 61 und den Dauermagneten 62,
63 dargestellt, wobei das Vektorpotential bei einem nicht durch Regelstäbe oder Regel
ringe beeinflußten Feld dargestellt ist. Vektorpotential und Feldstärke hängen über die
Gleichung = rot zusammen. ist somit eine vektorielle Feldgröße, mit der sich die
vektorielle Feldgröße eines quellenfreien Wirbelfeldes darstellen läßt. Zu kann der
Gradient einer beliebigen skalaren Feldfunktion hinzugefügt werden, ohne daß dadurch
verändert wird. Im engeren Sinne ist das Vektorpotential hier eine durch die Rotation einer
Magnetisierung bestimmte vektorielle Feldfunktion, deren Rotation die magnetische In
duktion liefert.
Nimmt man, wie es die Fig. 9b zeigt, einen Ausschnitt 64 mit einem 1 mm dicken Restjoch
65, so verschiebt sich das Vektorpotential insgesamt und im Bereich des rechten Dauer
magneten sehr deutlich.
Bei einem Ausschnitt 64, der die ganze Jochstärke betrifft, wie es die Fig. 9c zeigt, wird
die Feldverschiebung noch deutlicher.
In der Fig. 10a ist die Abhängigkeit der x-Komponenten der Magnetfeldstärke in Abhän
gigkeit von der x-Geometrie des Magneten 60 gemäß den Fig. 9a bis 9c dargestellt. Die
Kurve 70 illustriert den Fall, daß das Joch nicht beeinflußt ist (vgl. Fig. 9a), während die
Kurve 71 den Fall zeigt, daß das Joch teilweise beeinflußt ist. Die Kurve 72 stellt schließ
lich die Bx-Komponente für den Fall dar, daß das Joch vollständig unterbrochen ist. Ent
sprechende Kurven für die y-Komponente des Magnetfelds sind in der Fig. 10b dargestellt
und dort mit 70′, 71′ und 72′ bezeichnet, um den Bezug zu Fig. 10a herzustellen.
Die Kurven 70′′, 71′′, 72′′ in Fig. 10c zeigen ebenfalls die By-Komponente in einem ver
größerten Querschnitt. Eine Verschiebung des Nulldurchgangs der By-Komponente ist
deutlich erkennbar.
In der Fig. 11 sind zwei regelbare Magnetvorrichtungen 100, 101 als Teil eines Magne
trons dargestellt. Diese Dauermagneten 100, 101 weisen jeweils zwei Regelstäbe 102, 103
bzw. 104, 105, zwei Dauermagnete 107, 108 bzw. 109, 110 und ein Joch 111 bzw. 112
auf. Beide Magnetvorrichtungen 100, 101 befinden sich in einer topfförmigen Kathode
106, die an einer Spannungs-Stromversorgung 117 liegt. Mit 113 ist ein Target symbolisch
angedeutet, das gesputtert wird. Oberhalb dieses Targets 113 befindet sich ein nicht darge
stelltes Plasma. In unmittelbarer Nähe dieses Substrats 114 ist eine Anode 115 angeordnet,
die beispielsweise an Masse 116 liegt.
Durch Drehen der Regelstäbe 102 bis 105 kann der Sputtervorgang innerhalb bestimmter
Grenzen beeinflußt werden. Je nachdem, wie sich die magnetische Feldstärke im Bereich
des Targets ändert, wird der Sputterprozeß beeinflußt, so z. B. die Targeterosion, das
Zündverhalten, die Plasmaverteilung und das Schichtdickenwachstum.
Claims (13)
1. Magnetanordnung, mit
- a) wenigstens zwei Permanentmagneten, die einen Abstand voneinander haben;
- b) einem ortsfesten Joch, welches erste gegensätzliche Pole der wenigstens zwei Parmanentmagnete verbindet, wobei die zweiten Pole dieser Magnete mit unterschiedlicher Polarität mittels magnetischer Feldlinien überbrückt sind;
- c) wenigstens einem drehbaren Körper, der in einem Bereich des ortsfesten Jochs angeordnet und ohne Linearbewegung in wenigstens einem Bereich des Jochs drehbar ist,
dadurch gekennzeichnet, daß der drehbare Körper (8, 12, 37, 38) wenigstens
zwei räumlich voneinander getrennte feste Materialien (9, 10) mit unterschiedlichen
magnetischen Eigenschaften aufweist, wobei diese magnetischen Eigenschaften vom
Drehwinkel um die Längsachse des Körpers (8, 12; 37, 38) abhängen.
2. Magnetanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der drehbare
Körper ein Stab (8, 12) ist, der sich über die Tiefe des Jochs (2, 3, 4) erstreckt und der mit
einem Teil in dem Joch gelagert ist und sich mit einem anderen Teil außerhalb des Jochs
(2, 3, 4) befindet.
3. Magnetanordnung nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
ein magnetisch leitender Rückführungszweig (17) vorgesehen ist, der den einen Pol eines
Dauermagneten (5) mit dem anderen Pol dieses Dauermagneten (5) verbindet.
4. Magnetanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der drehbare Körper
(23) im Übergangsbereich (19) zwischen dem Joch (3) und dem magnetisch leitenden
Rückführungszweig (17) derart angeordnet ist, daß die magnetische Leitfähigkeit des
Rückführungszweigs (17) und/oder des Jochs (3) in Abhängigkeit vom Drehwinkel des
drehbaren Körpers (23) veränderbar ist.
5. Magnetanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der drehbare Körper
einen Ring (37, 38) auf dem Boden einer rotationssymmetrischen Magnetanordnung
(30) ist, der abwechselnd Bereiche aus mehr oder aus weniger leitendem magnetischen
Material aufweist.
6. Magnetanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der drehbare Körper
ein Ring (46, 47) auf dem Umfang einer rotationssymmetrischen Magnetanordnung
(45) ist, der abwechselnd Bereiche aus mehr und aus weniger leitendem magnetischem
Material aufweist.
7. Magnetanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie für Sputterquellen
nach dem Magnetron-Prinzip für Ätz- und Beschichtungsprozesse verwendet wird.
8. Magnetanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Pollage der
Dauermagnete (5, 6) relativ zum Joch (2, 3, 4) so gewählt ist, daß sich zwischen den Pol
flächen ein Tunnel aus magnetischen Feldlinien ausbildet.
9. Magnetanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich des
Jochs (2, 3, 4) zwei drehbare Körper (8, 12) vorgesehen sind, von denen der eine Körper
(12) einen größeren Durchmesser hat als der andere Körper (8).
10. Magnetanordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachse des
Körpers (12) mit dem größeren Durchmesser außerhalb des Jochs (3) liegt.
11. Magnetanordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß zwei regelbare
Magnetanordnungen (100, 101) in einer topfförmigen Kathode (106) vorgesehen sind, vor
der sich ein zu sputterndes Target (113) befindet, welches seinerseits gegenüber einem
Substrat (114) angeordnet ist.
12. Verwendung der Magnetanordnung nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche
für Sputteranlagen nach dem
Magnetron-Prinzip für Ätz- und Beschichtungsprozesse, wobei die Pollage
der Permanentmagnete (5, 6) relativ zum Magnetjoch (2, 3, 4) so gewählt ist, daß sich ein
magnetischer Tunnel aus magnetischen Feldlinien (7) ergibt.
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