WO2014084095A1 - 荷電粒子線装置及びプログラム - Google Patents

荷電粒子線装置及びプログラム Download PDF

Info

Publication number
WO2014084095A1
WO2014084095A1 PCT/JP2013/081255 JP2013081255W WO2014084095A1 WO 2014084095 A1 WO2014084095 A1 WO 2014084095A1 JP 2013081255 W JP2013081255 W JP 2013081255W WO 2014084095 A1 WO2014084095 A1 WO 2014084095A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
set value
slider
adjustment axis
value adjustment
adjustment
Prior art date
Application number
PCT/JP2013/081255
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
山下　貢
安藤　徹
弥生 小西
玉山　尚太朗
奈緒子 牛尾
昌樹 高野
Original Assignee
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立ハイテクノロジーズ filed Critical 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Priority to US14/647,323 priority Critical patent/US9412557B2/en
Priority to CN201380061917.6A priority patent/CN104838466B/zh
Priority to DE112013005243.1T priority patent/DE112013005243B4/de
Publication of WO2014084095A1 publication Critical patent/WO2014084095A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/261—Details
    • H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/048—Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/202—Movement
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/248—Components associated with the control of the tube
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes
    • H01J2237/28—Scanning microscopes
    • H01J2237/2801—Details

Definitions

  • the present invention relates to a charged particle beam apparatus that performs image acquisition of a sample by irradiating the sample with a charged particle beam and a program thereof.
  • the charged particle beam device performs observation and analysis of the target sample by irradiating the target sample with the charged particle beam.
  • the target sample microscope is based on various information obtained by irradiating the target sample with a charged particle beam.
  • fine adjustment of various set values related to the operation of the charged particle beam apparatus is required.
  • the adjustment range of setting values related to operation is often very wide, and therefore the wide It is necessary to perform both an adjustment for greatly changing each set value within the setting range and an adjustment for finely changing the set value.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-242432
  • a slider on the graphic user interface having a marker provided so that the user can move the position, and the position of the marker
  • a charged particle beam apparatus including a pointing device for performing a moving operation is disclosed.
  • the obtained displacement amount from the reference position of the marker is converted into a change speed value by the conversion means, and based on this converted value.
  • Command is sent to the device at regular time intervals set by the timer. While the movement operation of the marker position is active, by continuing the process of transmitting the command updated based on the displacement amount of the re-acquired marker from the reference position to the device, the displacement amount from the reference position of the marker is set.
  • the device setting value change speed is changed accordingly. In other words, it is difficult to stop the change of the set value at the target value because it is a configuration that keeps changing the device set value while the marker position move operation is active, and it is necessary to repeat the change of the set value many times. there were.
  • the present invention has been made in view of the above, and a charged particle beam apparatus capable of easily and accurately performing rough adjustment and fine adjustment of set values relating to operation control, and a program capable of realizing the same.
  • the purpose is to provide.
  • the present invention provides a charged particle beam apparatus that generates an image of the sample by irradiating the sample with a charged particle beam, and includes at least an image display unit that displays the image of the sample.
  • a first set value adjustment axis display unit that is arranged side by side on the image display unit and displays a part of a set value adjustment axis for adjusting at least one set value used for controlling the charged particle beam device;
  • a first adjustment slider arranged on the value adjustment axis and provided to be movable along the set value adjustment axis by a cursor operated by the pointing device;
  • a second adjustment slider which is disposed on the set value adjustment axis and sets the set value according to a position on the set value adjustment axis, and is linked to the movement operation of the first adjustment slider by the cursor.
  • the two adjustment sliders When the two adjustment sliders are moved along the set value adjustment axis, and the first adjustment slider is in a position excluding both ends in the range displayed on the first set value adjustment axis display portion of the set value adjustment axis.
  • the movement distance of the second adjustment slider is reduced relative to the movement distance of the first adjustment slider, and the first adjustment slider is displayed on the first set value adjustment axis display section of the set value adjustment axis.
  • the second adjustment slider is in a position excluding the both end portions, and the first adjustment slider is moved by the cursor. If it is a constant operation, without moving the first adjustment slider, it is assumed to move only the second adjusting slider toward said one end.
  • FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a scanning electron microscope according to the present embodiment.
  • a scanning electron microscope (SEM: Scanning Electron Microscope) includes an electron gun 1, an anode 2, a condenser lens 3, a deflector 5, an objective lens 6, a sample stage 9, and a secondary electron detector 11, and main control.
  • the control unit 100 includes a unit 14, a computer unit 15, and the like.
  • the electron gun 1, the anode 2, the condenser lens 3, the deflector 5, the objective lens 6, the sample stage 9, and the secondary electron detector 11 are arranged in a sample chamber (not shown). It is controlled by the main control unit 14.
  • the electron gun 1 emits an electron beam (primary electron beam) 4 for irradiating a sample 17 to be observed.
  • the primary electron beam 4 emitted from the electron gun in the direction of the sample 17 is accelerated by the anode 2, is subjected to the converging action by the condenser lens 3, passes through the deflector 5, and is further narrowed by the converging action of the objective lens 6. Then, the sample 17 placed on the sample stage 8 of the sample stage 9 is irradiated.
  • the sample stage 9 has a stage controller 10 that controls the operation of the sample stage 9 based on a control signal from the main controller 14.
  • the sample stage 9 is provided so as to be movable in the front-rear, left-right, and up-down directions by a driving device (not shown) controlled by the stage control unit 10, and arbitrarily positions the sample 17 disposed on the sample stage 8. Is possible.
  • the deflector 5 has a deflection control unit 18 that controls a deflection current supplied to the deflector 5 based on a control signal from the main control unit 14.
  • the deflector 5 scans the surface of the sample two-dimensionally by deflecting the primary electron beam 4 by the action of the deflection current supplied from the deflection controller 18.
  • the secondary electron detector 11 has an amplifier 12 that amplifies the detection signal, and an image storage unit 13 that stores the amplified detection signal and sends it to the main control unit 14. Secondary electrons 7 generated by scanning the sample 17 with the primary electron beam 4 are detected by the secondary electron detector 11 and sent to the main controller 14.
  • the main control unit 14 generates an image of the sample 17 by synchronizing the control signal for controlling the deflector 5 and the detection signal from the secondary electron detector 11.
  • the control unit 100 includes a main control unit 14 that controls the overall operation of the scanning electron microscope, a computer unit 15 (for example, a computer such as a PC) for performing various settings and operations by an operator (user), and a dedicated operation panel 21.
  • a main control unit 14 that controls the overall operation of the scanning electron microscope
  • a computer unit 15 for example, a computer such as a PC
  • a dedicated operation panel 21 for example, a computer such as a PC
  • the computer unit 15 includes an operation / input device such as a mouse 19 and a keyboard 20, a storage unit 22 (for example, a hard disk) that stores various types of data such as various programs used for operation control of the scanning electron microscope and generated sample images, and the like.
  • a display unit 16 (for example, a liquid crystal monitor) that displays a setting screen, a generated sample image, and the like is provided.
  • the mouse 19 is a pointing device that operates a cursor 220 displayed on the screen for operations such as selection and movement of an object arranged on the screen of the display unit 16 (display device).
  • the program stored in the storage unit 22 includes a program for performing numerical value setting unit display processing (described later) for setting numerical values used for operation control using the GUI, scanning of the primary electron beam 4 with respect to the sample 17, and the like.
  • Programs suitable for the purpose such as a program for detecting the secondary electrons 7 or a program for generating an image of the sample 17 from the detection signal are prepared.
  • the program in the present embodiment is a concept including not only a program that can be directly executed by a computer such as a PC but also a program that can be executed by being installed on a hard disk or the like. It is also a concept that includes a compressed or encrypted one.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing the basic configuration of the processing function of the control unit.
  • the control unit 100 has a GUI (Graphical User Interface) including various screens of the mouse 19 and keyboard 20 of the computer unit 15 (for example, PC) or the display unit 16 as a processing function unit.
  • GUI Graphic User Interface
  • the interface function unit 30 that performs apparatus operation processing 31 and image observation processing 32 related to display processing
  • the SEM control unit function unit 33 that performs processing related to overall operation control of the SEM.
  • a stage control unit function unit 35 for performing stage control processing 36 relating to the operation of the sample stage 9 in relation to the processing by the SEM control unit control unit 33, and an exhaust system control processing 38 relating to vacuum evacuation of the sample chamber (not shown).
  • Exhaust system control unit function unit 37 to perform, high voltage control related to irradiation and scanning of the primary electron beam 4 It is schematically composed of a respective functional unit of the high voltage control unit function unit 39 that performs management 40.
  • FIG. 3 is a diagram showing a numerical value setting screen for setting various numerical values used for operation control of the scanning electron microscope by the computer unit
  • FIG. 4 is a diagram showing the entire set value adjustment axis.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating a state in which the second set value adjustment axis display unit is displayed.
  • a numerical value setting screen 200 displayed on the display unit 16 is arranged side by side on the image display unit 201 on the screen of the display unit 16 and an image display unit 201 that displays the generated sample image.
  • a first set value adjustment axis display unit 202 that displays a part of a set value adjustment axis 203 (see range 209 described later) for adjusting at least one set value used for controlling the microscope, and a set value adjustment axis 203
  • the first adjustment slider 205 is disposed on the setting value adjustment axis 203 and is movable on the setting value adjustment axis 203 by the cursor 220 operated by the mouse 19.
  • a second adjustment slider 204 for setting a set value according to the position.
  • a specified value setting unit 206 indicating the position of a predetermined set value (eg, a standard numerical value) is provided on the set value adjustment axis 203.
  • a predetermined set value e.g, a standard numerical value
  • the second adjustment slider 204 is provided so as to be movable along the set value adjustment axis 203 by the cursor 220.
  • the cursor 220 changes to a shape (see cursor 220a in FIG. 4) indicating that it can move in the vertical direction.
  • the types of numerical values set by the position of the second adjustment slider 204 on the setting value adjustment axis 207 include focus (focus), magnification, brightness (brightness), contrast (brightness difference), stigma X (astigmatism in the X-axis direction). Aberration), stigma Y (astigmatism in the Y-axis direction), etc., and the cursor 220 can be used to switch to adjustment of a desired setting numerical value by selecting a selection button or the like (not shown) of the setting numerical value switching unit. it can.
  • the generated image of the sample 17 is displayed on the image display unit 201, and a desired image can be acquired by adjusting the set value while checking the state of the image.
  • the set value adjustment axis 203 has a predetermined maximum value and minimum value of the target type of set value at each end, and a second value on the set value adjustment axis 203.
  • a target set value is set by the relative position of the adjustment slider 204 in the axial direction.
  • the set value adjustment axis 203 has a numerical value on the upper side (maximum value side) above the displayed range 209.
  • a non-display range 208 and a non-display range 210 having a numerical value lower (minimum value side) than the display range 209 are provided.
  • the non-display ranges 208 and 210 may not exist.
  • the computer unit 15 performs the following numerical value setting unit display processing using a program for setting numerical values used for operation control using the GUI.
  • the second adjustment slider 204 is interlocked with the movement of the first adjustment slider and the same direction as the movement of the first adjustment slider 205.
  • the first adjustment slider 205 is set to the first adjustment slider 205 with respect to the moving distance.
  • the moving distance of the adjustment slider 205 is reduced. That is, the moving distance (in other words, the amount of change in the setting value) of the second adjustment slider 204 on the setting value adjustment shaft 203 is controlled to be smaller than the moving distance of the first adjustment slider 205.
  • the moving distance of the second adjusting slider 204 may be 1 pixel or less in calculation, but the actual set value is It changes by an amount corresponding to the movement distance of the second adjustment slider 204 calculated from the movement distance of the first adjustment slider 205.
  • the first adjustment slider 205 is at the position of at least one end in the range displayed on the first set value adjustment axis display unit 202 of the set value adjustment axis 203, and the second adjustment slider 204 has both ends thereof.
  • the first adjustment slider 205 is moved to one end side of the set value adjustment shaft 203 by the cursor 220, that is, the first adjustment slider 205 is set to the set value adjustment shaft 203.
  • the cursor 220 is used to perform an operation of moving further outward than the end of the first position, the first adjustment slider 205 is not moved from the position of the end, and only the second adjustment slider 204 is the same as the operation direction. Move in the direction of the edge. The movement distance of the second adjustment slider 204 at this time does not depend on the movement distance of the first adjustment slider 205.
  • the first adjustment slider 205 is at the position of at least one end in the range displayed on the first set value adjustment axis display unit 202 of the set value adjustment axis 203, and the second adjustment slider 204 moves to the first value. If the set value adjustment axis display unit 202 reaches a predetermined position (for example, the same position as the first adjustment slider 205 or a predetermined distance range when viewed from the first adjustment slider 205), the first setting is performed.
  • the display range (the range 209 in FIG. 4) of the set value adjustment axis 203 in the value adjustment axis display unit 202 is relatively moved in the direction of one end in accordance with the movement of the second adjustment slider.
  • the first adjustment slider 205 and the second adjustment slider 204 are at the upper end of the first set value adjustment axis display unit 202, the first set value adjustment axis is displayed on the range 208 side shown in FIG. The range of the set value adjustment axis 203 displayed on the unit 202 is moved.
  • the first adjustment slider 205 is at the position of at least one end in the range displayed on the first set value adjustment axis display unit 202 of the set value adjustment axis 203, and the second adjustment slider 204 is moved.
  • the predetermined position is reached on the first set value adjustment axis display unit 202
  • the entire set value adjustment axis 203 and the position on the set value adjustment axis 203 of the second adjustment slider 204 are displayed.
  • the set value adjustment axis display unit 211 (see FIG. 5) is displayed side by side on the first set value adjustment axis display unit 202.
  • the first adjustment slider 205 is at the position of at least one end in the range displayed on the first set value adjustment axis display unit 202 of the set value adjustment axis 203, and the second adjustment slider 204 moves to the first value.
  • the first set value when the set value adjustment axis display unit 202 reaches a predetermined position for example, the same position as the first adjustment slider 205 or a predetermined distance range when viewed from the first adjustment slider 205.
  • the display range (the range 209 in FIG. 4) of the set value adjustment axis 203 in the adjustment axis display unit 202 may be switched to a range on one end side including the position of the second adjustment slider 204.
  • the first adjustment slider 205 and the second adjustment slider 204 are at the upper end of the first set value adjustment axis display unit 202, the upper end of the range 209 shown in FIG.
  • the range of the set value adjustment axis 203 displayed on the first set value adjustment axis display unit 202 may be switched so as to include a part.
  • the second set value adjustment axis display unit 211 (see FIG. 5) is displayed side by side on the first set value adjustment axis display unit 202 when the range of the set value adjustment axis 203 is switched.
  • the first adjustment slider 205 is at the position of at least one end in the range displayed on the first set value adjustment axis display unit 202 of the set value adjustment axis 203, and the second adjustment slider 204 moves to move to the first set value.
  • the adjustment axis display unit 202 reaches a predetermined position, a message to that effect is displayed on the display unit 16.
  • the second adjustment slider 204 is interlocked with the movement of the first adjustment slider and the same direction as the movement of the first adjustment slider 205.
  • the first adjustment slider 205 is set to the first adjustment slider 205 with respect to the moving distance.
  • the moving distance of the adjustment slider 205 is reduced. That is, the moving distance (in other words, the amount of change in the setting value) of the second adjustment slider 204 on the setting value adjustment shaft 203 is controlled to be smaller than the moving distance of the first adjustment slider 205.
  • the first adjustment slider 205 is controlled to move to the center of the first set value adjustment axis display unit 202.
  • a specified value setting unit 206 is arranged on the set value adjustment axis 203.
  • the specified value setting unit 206 is selected and operated by the cursor 220, the first and second adjustment sliders 205 and 204 are adjusted. Control is performed so as to move to a predetermined set value on the shaft 203 (for example, a position of a predetermined specified value setting unit 206).
  • the control unit 15 moves the first and second adjustment sliders 205 and 204 to predetermined setting values (here, setting values) on the setting value adjustment axis 207.
  • predetermined setting values here, setting values
  • FIG. 6 is a flowchart showing details of the numerical value setting section display processing by the computer section when the first adjustment slider is selected with the cursor.
  • the computer unit 15 determines whether or not the first adjustment slider 205 is selected with the cursor 220 operated by the mouse 19 (step S100). If the determination result is NO, the process ends, and If the result is YES, it is determined whether or not the first adjustment slider 205 is moved upward (maximum value side) by the cursor 220 (step S110).
  • step S110 it is determined whether or not the first adjustment slider 205 is positioned at the upper limit of the first set value adjustment axis display unit 202 (step S120). If the determination result in step S120 is NO, the first adjustment slider 205 is moved upward (maximum value side) by the amount of operation by the cursor 220 (step S121), and according to the movement amount of the first adjustment slider 205 The second adjustment slider 204 is moved (step S122), and the process returns to A1 and proceeds to step S100.
  • step S120 it is determined whether the second adjustment slider 204 is positioned at the upper limit of the first set value adjustment axis display unit 202 (step S130), and the determination result is NO. In this case, only the second adjustment slider 204 is moved upward (maximum value side) (step S131), and the process returns to A1 and proceeds to step S100. If the determination result in step S130 is YES, the display range of the first adjustment axis display unit 202 is moved upward (maximum value side) together with the first adjustment slider 205 and the second adjustment slider 204 (step S130). S140), the second adjustment axis display unit 211 is displayed (step S150), the process returns to A1 and proceeds to step S100.
  • step S110 determines whether or not the first adjustment slider 205 is moved downward (minimum value side) by the cursor 220 (step S160).
  • step S160 If the determination result in step S160 is NO, the process returns to A1 and proceeds to step S100. If the determination result in step S160 is YES, it is determined whether or not the first adjustment slider 205 is positioned at the lower limit of the first set value adjustment axis display unit 202 (step S170). If the determination result in step S170 is NO, the first adjustment slider 205 is moved downward (minimum value side) by the operation amount by the cursor 220 (step S171), and the first adjustment slider 205 is moved according to the movement amount of the first adjustment slider 205. The second adjustment slider 204 is moved (step S172), and the process returns to A1 and proceeds to step S100.
  • step S170 it is determined whether the second adjustment slider 204 is located at the lower limit of the first set value adjustment axis display unit 202 (step S180), and the determination result is NO. In this case, only the second adjustment slider 204 is moved downward (minimum value side) (step S181), and the process returns to A1 and proceeds to step S100. If the determination result in step S180 is YES, the display range of the first adjustment axis display unit 202 is moved downward (minimum value side) together with the first adjustment slider 205 and the second adjustment slider 204 ( In step S190), the second adjustment axis display unit 211 is displayed (step S200), and the process returns to A1 and proceeds to step S100.
  • FIG. 7 is a flowchart showing details of the numerical value setting section display processing by the computer section when the second adjustment slider is selected with the cursor.
  • the computer unit 15 first determines whether or not the second adjustment slider 204 is selected with the cursor 220 operated by the mouse 19 (step S300), and ends the process if the determination result is NO.
  • the determination result in step S300 is YES
  • the first adjustment slider 205 is moved to the position of the second adjustment slider 204 (step S310).
  • step S320 it is determined whether or not the second adjustment slider 204 is moved upward (maximum value side) (step S320). If the determination result is YES, the second adjustment slider 204 is displayed on the first adjustment axis display unit. It is determined whether it is located at the upper limit of 202 (step S330). If the determination result in step S330 is YES, the first adjustment axis display unit 202 is moved upward together with the first and second adjustment sliders 205 and 204 (step S340), and then the process proceeds to step S380. When the determination result in step S330 is NO, the first and second adjustment sliders 205 and 204 are moved upward by the operation amount (step S331), and then the process proceeds to step S380.
  • step S350 it is determined whether or not the second adjustment slider 204 is moved downward (minimum value side) (step S350). If the determination result is YES, It is determined whether or not the second adjustment slider 204 is positioned at the lower limit of the first adjustment axis display unit 202 (step S360). If the determination result in step S360 is YES, the first adjustment axis display unit 202 is moved downward together with the first and second adjustment sliders 205 and 204 (step S370), and then the process proceeds to step S380. If the determination result in step S360 is NO, the first and second adjustment sliders 205 and 204 are moved downward by the operation amount (step S361), and then the process proceeds to step S380. If the determination result of step S350 is NO, the process proceeds to step S380.
  • step S380 it is determined whether or not the first adjustment slider 205 is selected by the cursor 220 (step S380). If the determination result is YES, the process returns to B1 and proceeds to step S300. When the determination result in step S380 is NO, the first and second adjustment sliders 205 and 204 are moved to the center of the first adjustment axis display unit 202 (step S380), and the process returns to B1 and proceeds to step S300. .
  • a charged particle beam apparatus including a slider on a graphic user interface having a marker provided so as to be movable and a pointing device for performing a position movement operation of the marker.
  • the displacement amount from the reference position of the acquired marker is converted into the change speed value by the conversion means, and the command based on this converted value Is sent to the device at regular intervals set by the timer.
  • the movement operation of the marker position is active, by continuing the process of transmitting the command updated based on the displacement amount of the re-acquired marker from the reference position to the device, the displacement amount from the reference position of the marker is set.
  • the device setting value change speed is changed accordingly.
  • the device setting value is continuously changed while the marker position moving operation is active. Therefore, in this case, it is difficult to stop the change of the set value at the moment when the set value becomes a suitable value, the set value is changed excessively, and the set value needs to be changed again or again.
  • charged particle beam devices such as scanning electron microscopes and transmission electron microscopes, very fine adjustment of set values is required, and thus the above-described prior art is not necessarily suitable for adjustment of set values. It was.
  • the display device includes a first set value adjustment axis display unit that displays a part of the set value adjustment axis for adjusting at least one set value used for controlling the charged particle beam apparatus.
  • a first adjustment slider and a setting value adjustment axis that are arranged on the image display unit on the screen and are movable on the setting value adjustment axis along the setting value adjustment axis by a cursor operated by a pointing device.
  • a second adjustment slider for setting the set value according to the upper position is arranged, and the second adjustment slider is moved along the set value adjustment axis in conjunction with the movement operation of the first adjustment slider by the cursor.
  • the second adjustment is performed with respect to the moving distance of the first adjustment slider. While the moving distance of the slider is reduced, the first adjustment slider is at the position of at least one end in the range displayed on the first set value adjustment axis display portion of the set value adjustment axis, and the second adjustment slider is If the first adjustment slider is selected and operated by the cursor, the first adjustment slider is not moved and only the second adjustment slider is moved in the direction of one end. Configured to move.

Abstract

　第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、第１調整スライダ２０５の移動距離に対して第２調整スライダ２０４の移動距離を小さくするとともに、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、第２調整スライダ２０４が両端部を除く位置に有る場合であって、カーソル２２０によって第１調整スライダ２０５が選択操作されている場合には、第１調整スライダ２０４を移動させず、第２調整スライダ２０５のみを一方の端部の方向に移動するように構成した。これにより、動作の制御に係る設定値の粗調整と微調整を容易にかつ正確に行うことができる。

Description

荷電粒子線装置及びプログラム
　本発明は、試料に荷電粒子線を照射することによりその試料の画像取得等を行う荷電粒子線装置及びそのプログラムに関する。
　荷電粒子線装置は、対象試料に荷電粒子線を照射することにより、対象試料の観察や分析等を行うものである。例えば、走査電子顕微鏡（SEM : Scanning Electron Microscope）や透過型電子顕微鏡(TEM : Transmission Electron Microscope)においては、対象試料に荷電粒子線を照射することで得られる様々な情報に基づいて対象試料の顕微鏡像を生成しており、その試料の観察に適した画像を取得するためには、荷電粒子線装置の動作に係る種々の設定値の細かな調整が求められる。
　また、走査電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡においては、荷電粒子線を用いる他の多くの装置にも見られるように、動作に係る設定値の調整範囲が非常に広い場合が多く、したがって、その広い設定範囲の中で各設定値を大きく変更する調整と細かく変更する調整との両方を行う必要がある。
　このような荷電粒子線装置の設定値の調整に関して、例えば、特許文献１（特開２００７－２４２４３２号公報）には、荷電粒子線装置の制御を行うために荷電粒子線装置に備えられている少なくとも一つの制御対象となるデバイスの設定値を変更してデバイスを制御するために、ユーザーがその位置を移動操作可能なように設けられたマーカーを有するグラフィックユーザーインターフェース上のスライダと、マーカーの位置移動操作を行うためのポインティングデバイスとを備えた荷電粒子線装置が開示されている。
特開２００７－２４２４３２号公報
　しかしながら、上記従来技術においては、ユーザーがスライダ上のマーカー位置の移動操作をアクティブにすると、取得したマーカーの基準位置からの変位量を変換手段により変更スピードの値に換算し、この換算値に基づいたコマンドをタイマーで設定した一定時間間隔でデバイスに送信している。そして、マーカー位置の移動操作がアクティブな間、再取得されたマーカーの基準位置からの変位量に基づいて更新したコマンドをデバイス送信する処理を継続することにより、マーカーの基準位置からの変位量に応じてデバイス設定値の変更スピードが変化するようにしている。つまり、マーカー位置の移動操作がアクティブな間はデバイス設定値の変更を継続してしまう構成のため、設定値の変更を目標値で止めることが難しく、設定値の変更を何度も繰り返す必要があった。
　本発明は上記に鑑みてなされたものであり、動作の制御に係る設定値の粗調整と微調整を容易にかつ正確に行うことができる荷電粒子線装置及びそれを実現することができるプログラムを提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために、本発明は、試料に荷電粒子線を照射することにより前記試料の画像を生成する荷電粒子線装置であって、少なくとも、前記試料の画像を表示する画像表示部を表示する表示装置と、前記表示装置の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために前記画面上に表示されたカーソルの操作を行うポインティングデバイスと、前記表示装置の画面上において前記画像表示部に並べて配置され、前記荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部と、前記設定値調整軸上に配置され、前記ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより前記設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと、前記設定値調整軸上に配置され、前記設定値調整軸上の位置により前記設定値を設定する第２調整スライダとを備え、前記カーソルによる前記第１調整スライダの移動操作に連動させて前記第２調整スライダを前記設定値調整軸に沿って移動し、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、前記第１調整スライダの移動距離に対して前記第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、前記第２調整スライダが前記両端部を除く位置に有る場合であって、前記カーソルによって前記第１調整スライダが所定の操作をされている場合には、前記第１調整スライダを移動させず、前記第２調整スライダのみを前記一方の端部の方向に移動するものとする。
　本発明によれば、動作の制御に係る設定値の粗調整と微調整を容易にかつ正確に行うことができる。
本実施の形態に係る走査電子顕微鏡の全体構成を示す図である。 制御部の処理機能の基本構成を概略的に示す図である。 コンピュータ部による走査電子顕微鏡の動作制御に用いる各種数値の設定を行う数値設定画面を示す図である。 設定値調整軸の全体を示す図である。 第２設定値調整軸表示部が表示された様子を示す図である。 カーソルにより第１調整スライダを選択した場合のコンピュータ部による数値設定部表示処理の詳細を示すフローチャートである。 カーソルにより第２調整スライダを選択した場合のコンピュータ部による数値設定部表示処理の詳細を示すフローチャートである。
　以下、本発明の実施の形態に係る荷電粒子線装置の一例として走査電子顕微鏡を挙げ、図面を参照しつつ詳細に説明する。
　図１は、本実施の形態に係る走査電子顕微鏡の全体構成を示す図である。
　図１において、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ : Scanning Electron Microscope）は、電子銃１、アノード２、コンデンサレンズ３、偏向器５、対物レンズ６、試料ステージ９、及び二次電子検出器１１と、主制御部１４、コンピュータ部１５等を含む制御部１００とから概略構成されている。電子銃１、アノード２、コンデンサレンズ３、偏向器５、対物レンズ６、試料ステージ９、及び二次電子検出器１１は図示しない試料室内に配置されており、それぞれの動作は、制御部１００の主制御部１４により制御されている。
　電子銃１は、観察対象である試料１７に照射するための電子線（一次電子線）４を放出するものである。電子銃から試料１７の方向に放出された一次電子線４はアノード２により加速され、コンデンサレンズ３により収束作用を受けて、偏向器５を経た後、さらに、対物レンズ６の収束作用により絞られて試料ステージ９の試料台８上に配置された試料１７に照射される。
　試料ステージ９は、主制御部１４からの制御信号に基づいて試料ステージ９の動作を制御するステージ制御部１０を有している。試料ステージ９は、ステージ制御部１０により制御される駆動装置（図示せず）により前後・左右・上下方向に移動可能に設けられており、試料台８上に配置された試料１７の任意の位置決めが可能となっている。
　偏向器５は、主制御部１４からの制御信号に基づいて偏向器５に供給される偏向電流を制御する偏向制御部１８を有している。偏向器５は、偏向制御部１８から供給される偏向電流の作用によって一次電子線４を偏向することにより、試料の表面を二次元的に走査する。
　二次電子検出器１１は、検出信号を増幅する増幅器１２と、増幅された検出信号を記憶すると共に主制御部１４に送る画像記憶部１３とを有している。一次電子線４による試料１７の走査により生じた二次電子７は、二次電子検出器１１により検出され主制御部１４に送られる。主制御部１４では、偏向器５を制御する制御信号と二次電子検出器１１による検出信号の同期をとることにより、試料１７の画像を生成する。
　制御部１００は、走査電子顕微鏡の全体の動作を制御する主制御部１４、オペレータ（ユーザ）による各種設定や操作を行うためのコンピュータ部１５（例えばＰＣ等のコンピュータ）、及び専用操作パネル２１を有している。
　コンピュータ部１５は、マウス１９やキーボード２０などの操作・入力装置と、走査電子顕微鏡の動作制御に用いる各種プログラムや生成された試料画像等の各種データを記憶する記憶部２２（例えばハードディスク）と、設定画面や生成された試料画像等を表示する表示部１６（例えば液晶モニタ）とを備えている。
　マウス１９やキーボード２０、表示部１６の数値設定画面２００（後の図３等参照）等は、走査電子顕微鏡を操作するためのＧＵＩ（Graphical User Interface）を形成している。マウス１９は、表示部１６（表示装置）の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために画面上に表示されたカーソル２２０の操作を行うポインティングデバイスである。
　記憶部２２に記憶されたプログラムには、ＧＵＩを用いて動作制御に用いる数値の設定を行う数値設定部表示処理（後述）を行うためのプログラムや、試料１７に対する一次電子線４の走査や二次電子７の検出を行うためのプログラム、或いは、検出信号から試料１７の画像を生成するためのプログラムなど目的に応じたものが用意されている。
　なお、本実施の形態におけるプログラムとは、ＰＣ等のコンピュータによって直接実行可能なものだけでなく、ハードディスクなどにインストールすることによって実行可能となるものも含む概念である。また、圧縮されたり、暗号化されたりしたものも含む概念である。
　図２は、制御部の処理機能の基本構成を概略的に示す図である。
　図２に示すように、制御部１００は処理機能部として、ユーザ（オペレータ）がコンピュータ部１５（例えばＰＣ）のマウス１９やキーボード２０、或いは、表示部１６の各種画面を含むＧＵＩ（Graphical User Interface）を介して行う走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）の操作処理や表示処理に関する装置操作処理３１や画像観察処理３２を行うインタフェース機能部３０と、ＳＥＭの動作制御全般に関する処理を行うＳＥＭ制御ユニット機能部３３と、ＳＥＭ制御ユニット制御部３３による処理に関連して試料ステージ９の動作に関するステージ制御処理３６を行うステージ制御ユニット機能部３５、試料室（図示せず）の真空排気に関する排気系制御処理３８を行う排気系制御ユニット機能部３７、一次電子線４の照射や走査に関する高電圧制御処理４０を行う高電圧制御ユニット機能部３９の各機能部とから概略構成されている。
　図３は、コンピュータ部による走査電子顕微鏡の動作制御に用いる各種数値の設定を行う数値設定画面を示す図であり、図４は設定値調整軸の全体を示す図である。また、図５は、第２設定値調整軸表示部が表示された様子を示す図である。
　図３において、表示部１６に表示される数値設定画面２００は、生成された試料の画像を表示する画像表示部２０１と、表示部１６の画面上において画像表示部２０１に並べて配置され、走査電子顕微鏡の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸２０３の一部（後述の範囲２０９参照）を表示する第１設定値調整軸表示部２０２と、設定値調整軸２０３上に配置され、マウス１９により操作されるカーソル２２０により設定値調整軸２０３に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダ２０５と、設定値調整軸２０３上に配置され、設定値調整軸２０３上の位置により設定値を設定する第２調整スライダ２０４とを備えている。また、設定値調整軸２０３上には、予め定めた設定値（例えば、標準的な数値など）の位置を示す規定値設定部２０６が備えられている。なお、なお、第２調整スライダ２０４は、カーソル２２０により設定値調整軸２０３に沿って移動可能に設けられている。カーソル２２０は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を選択した状態においては、上下方向へ移動可能であることを示す形状（図４のカーソル２２０ａ参照）に変化する。
　設定値調整軸２０７上における第２調整スライダ２０４の位置で設定される数値の種類としては、フォーカス（焦点）、倍率、ブライトネス（輝度）、コントラスト（明度差）、スティグマＸ（Ｘ軸方向非点収差）、スティグマＹ（Ｙ軸方向非点収差）などがあり、カーソル２２０を用いて設定数値切換部の選択ボタン等（図示せず）を選択することにより所望の設定数値の調整に切り換えることができる。
　画像表示部２０１には、生成された試料１７の画像が表示されており、この画像の様子を確認しながら、設定値を調整することにより、所望の画像を取得することができる。
　図４に示すように、設定値調整軸２０３は、対象となる種類の設定値の予め定めた最大値と最小値をそれぞれの端部に有しており、設定値調整軸２０３上における第２調整スライダ２０４の軸方向の相対位置により、対象となる設定値を設定する。設定値調整軸２０３には、数値設定画面２００の第１設定値調整軸表示部２０２に表示される範囲２０９の他に、表示される範囲２０９よりも数値が上側（最大値側）であって非表示の範囲２０８と、表示される範囲２０９よりも数値が下側（最小値側）であって非表示の範囲２１０とを有している。但し、第１設定調整軸表示部２０２に表示される範囲に設定値調整軸２０３の最大値又は最小値が含まれる場合には、非表示の範囲２０８、２１０が無い場合もある。
　コンピュータ部１５は、ＧＵＩを用いて動作制御に用いる数値の設定を行うプログラムを用いて以下のような数値設定部表示処理を行う。
　カーソル２２０により第１調整スライダ２０５を選択し、設定値調整軸２０３に沿って移動させると、第２調整スライダ２０４は第１調整スライダの移動に連動し、第１調整スライダ２０５の移動と同じ方向に設定値調整軸２０３に沿って移動する。第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、第１調整スライダ２０５の移動距離に対して第２調整スライダ２０５の移動距離を小さくする。つまり、第２調整スライダ２０４の設定値調整軸２０３上における移動距離（言い換えると、設定値の変化量）は、第１調整スライダ２０５の移動距離よりも小さくなるように制御されている。
　例えば、表示部１６の数値設定画面２００に長さ６００ピクセルで表現されている設定値調整軸２０３上において、数値が０（最小値）～６００００（最大値）である設定値を調整する場合、第２調整スライダの１ピクセルの移動で数値が１００変わることになる。そこで、第１調整スライダ２０５を上側（最大値側）にＸピクセル移動させたとすると、第２調整スライダ２０４は上側にＹピクセル（Ｙ＜Ｘ）移動する。なお、第１調整スライダ２０５の移動距離に対する第２調整スライダ２０４の移動距離によっては、第２調整スライダ２０４の移動距離が計算上で１ピクセル以下になる場合もあるが、実際の設定値は第１調整スライダ２０５の移動距離から計算される第２調整スライダ２０４の移動距離に相当する量だけ変化する。
　また、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、第２調整スライダ２０４が両端部を除く位置に有る場合であって、カーソル２２０によって第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の一方の端部側に移動操作されている場合、すなわち、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の端部よりもさらに外側に移動させるような操作をカーソル２２０によって行う場合には、第１調整スライダ２０５を端部の位置から移動させず、第２調整スライダ２０４のみを、その操作方向と同じ端部の方向に移動する。このときの第２調整スライダの２０４の移動距離は、第１調整スライダ２０５の移動距離には依存しない。
　また、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、第２調整スライダ２０４が移動して第１設定値調整軸表示部２０２に予め定めた位置（例えば、第１調整スライダ２０５と同じ位置、或いは、第１調整スライダ２０５から見て予め定めた距離範囲）に達した場合には、第１設定値調整軸表示部２０２における設定値調整軸２０３の表示範囲（図４の範囲２０９）を第２調整スライダの移動に合わせて一方の端部の方向に相対的に移動する。例えば、第１調整スライダ２０５及び第２調整スライダ２０４が第１設定値調整軸表示部２０２の上側の端部にある場合には、図４に示した範囲２０８側に第１設定値調整軸表示部２０２に表示する設定値調整軸２０３の範囲を移動する。
　このように、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、第２調整スライダ２０４が移動して第１設定値調整軸表示部２０２に予め定めた位置に達した場合には、設定値調整軸２０３の全体と、第２調整スライダ２０４の設定値調整軸上２０３の位置とを表示する第２設定値調整軸表示部２１１（図５参照）を第１設定値調整軸表示部２０２に並べて表示する。
　なお、第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、第２調整スライダ２０４が移動して第１設定値調整軸表示部２０２に予め定めた位置（例えば、第１調整スライダ２０５と同じ位置、或いは、第１調整スライダ２０５から見て予め定めた距離範囲）に達した場合に、第１設定値調整軸表示部２０２における設定値調整軸２０３の表示範囲（図４の範囲２０９）を第２調整スライダ２０４の位置を含む一方の端部側の範囲に切り換えても良い。例えば、第１調整スライダ２０５及び第２調整スライダ２０４が第１設定値調整軸表示部２０２の上側の端部にある場合には、図４に示した範囲２０９の上端部と範囲２０８の全部又は一部を含むように第１設定値調整軸表示部２０２に表示する設定値調整軸２０３の範囲を切り換えても良い。この場合には、設定値調整軸２０３の範囲の切り換え時に、第２設定値調整軸表示部２１１（図５参照）を第１設定値調整軸表示部２０２に並べて表示する。
　第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、第２調整スライダ２０４が移動して第１設定値調整軸表示部２０２に予め定めた位置に達した場合には、その旨を表示部１６に表示する。
　カーソル２２０により第１調整スライダ２０５を選択し、設定値調整軸２０３に沿って移動させると、第２調整スライダ２０４は第１調整スライダの移動に連動し、第１調整スライダ２０５の移動と同じ方向に設定値調整軸２０３に沿って移動する。第１調整スライダ２０５が設定値調整軸２０３の第１設定値調整軸表示部２０２に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、第１調整スライダ２０５の移動距離に対して第２調整スライダ２０５の移動距離を小さくする。つまり、第２調整スライダ２０４の設定値調整軸２０３上における移動距離（言い換えると、設定値の変化量）は、第１調整スライダ２０５の移動距離よりも小さくなるように制御されている。
　第２調整スライダ２０４をカーソル２２０により操作した場合には、少なくとも第１調整スライダ２０５が第１設定値調整軸表示部２０２の中央に移動するように制御されている。
　設定値調整軸２０３上には規定値設定部２０６が配置されており、規定値設定部２０６がカーソル２２０により選択操作された場合には、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を設定値調整軸２０３上の予め定めた設定値（例えば、予め定めた規定値設定部２０６の位置）に移動するよう制御される。
　制御部１５は、規定値設定部２０６がカーソル２２０により選択操作された場合には、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を設定値調整軸２０７上の予め定めた設定値（ここでは、設定値調整軸２０７上における規定値設定部２０６の位置）に移動する。
　ここで、図６及び図７を用いて、数値設定部表示処理のプログラムを用いたコンピュータ部の処理手順の詳細を説明する。
　図６は、カーソルにより第１調整スライダを選択した場合のコンピュータ部による数値設定部表示処理の詳細を示すフローチャートである。
　コンピュータ部１５は、まず、マウス１９で操作されるカーソル２２０により、第１調整スライダ２０５が選択されているかどうかを判定し（ステップＳ１００）、判定結果がＮＯの場合には処理を終了し、判定結果がＹＥＳの場合には、カーソル２２０により第１調整スライダ２０５が上側（最大値側）に移動操作されているかどうかを判定する（ステップＳ１１０）。
　ステップＳ１１０での判定結果がＹＥＳの場合には、第１調整スライダ２０５が第１設定値調整軸表示部２０２の上限に位置しているかどうかを判定する（ステップＳ１２０）。ステップＳ１２０での判定結果がＮＯの場合には、第１調整スライダ２０５をカーソル２２０による操作量分上側（最大値側）に移動し（ステップＳ１２１）、第１調整スライダ２０５の移動量に応じて第２調整スライダ２０４を移動し（ステップＳ１２２）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。
　また、ステップＳ１２０での判定結果がＹＥＳの場合には、第２調整スライダ２０４が第１設定値調整軸表示部２０２の上限に位置しているかどうかを判定し（ステップＳ１３０）、判定結果がＮＯの場合には、第２調整スライダ２０４のみを上側（最大値側）に移動し（ステップＳ１３１）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。また、ステップＳ１３０での判定結果がＹＥＳの場合には、第１調整スライダ２０５及び第２調整スライダ２０４とともに、第１調整軸表示部２０２の表示範囲を上側（最大値側）に移動し（ステップＳ１４０）、第２調整軸表示部２１１を表示し（ステップＳ１５０）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。
　また、ステップＳ１１０での判定結果がＮＯの場合には、カーソル２２０により第１調整スライダ２０５が下側（最小値側）に移動操作されているかどうかを判定する（ステップＳ１６０）。
　ステップＳ１６０での判定結果がＮＯの場合には、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。また、ステップＳ１６０での判定結果がＹＥＳの場合には、第１調整スライダ２０５が第１設定値調整軸表示部２０２の下限に位置しているかどうかを判定する（ステップＳ１７０）。ステップＳ１７０での判定結果がＮＯの場合には、第１調整スライダ２０５をカーソル２２０による操作量分下側（最小値側）に移動し（ステップＳ１７１）、第１調整スライダ２０５の移動量に応じて第２調整スライダ２０４を移動し（ステップＳ１７２）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。
　また、ステップＳ１７０での判定結果がＹＥＳの場合には、第２調整スライダ２０４が第１設定値調整軸表示部２０２の下限に位置しているかどうかを判定し（ステップＳ１８０）、判定結果がＮＯの場合には、第２調整スライダ２０４のみを下側（最小値側）に移動し（ステップＳ１８１）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。また、ステップＳ１８０での判定結果がＹＥＳの場合には、第１調整スライダ２０５及び第２調整スライダ２０４とともに、第１調整軸表示部２０２の表示範囲を下側（最小値側）に移動し（ステップＳ１９０）、第２調整軸表示部２１１を表示し（ステップＳ２００）、Ａ１に戻ってステップＳ１００に進む。
　図７は、カーソルにより第２調整スライダを選択した場合のコンピュータ部による数値設定部表示処理の詳細を示すフローチャートである。
　コンピュータ部１５は、まず、マウス１９で操作されるカーソル２２０により、第２調整スライダ２０４が選択されているかどうかを判定し（ステップＳ３００）、判定結果がＮＯの場合には処理を終了する。また、ステップＳ３００での判定結果がＹＥＳの場合には、第１調整スライダ２０５を第２調整スライダ２０４の位置に移動する（ステップＳ３１０）。
　続いて、第２調整スライダ２０４が上側（最大値側）に移動操作されているかどうかを判定し（ステップＳ３２０）、判定結果がＹＥＳの場合は、第２調整スライダ２０４が第１調整軸表示部２０２の上限に位置しているかどうかを判定する（ステップＳ３３０）。ステップＳ３３０での判定結果がＹＥＳの場合は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４とともに第１調整軸表示部２０２を上側に移動し（ステップＳ３４０）、続いてステップＳ３８０の処理に進む。また、ステップＳ３３０での判定結果がＮＯの場合は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を操作量分上側に移動し（ステップＳ３３１）、続いて、ステップＳ３８０の処理に進む。
　また、ステップＳ３２０の判定結果がＮＯの場合には、第２調整スライダ２０４が下側（最小値側）に移動操作されているかどうかを判定し（ステップＳ３５０）、判定結果がＹＥＳの場合は、第２調整スライダ２０４が第１調整軸表示部２０２の下限に位置しているかどうかを判定する（ステップＳ３６０）。ステップＳ３６０での判定結果がＹＥＳの場合は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４とともに第１調整軸表示部２０２を下側に移動し（ステップＳ３７０）、続いてステップＳ３８０の処理に進む。また、ステップＳ３６０での判定結果がＮＯの場合は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を操作量分下側に移動し（ステップＳ３６１）、続いて、ステップＳ３８０の処理に進む。また、また、ステップＳ３５０の判定結果がＮＯの場合には、続いて、ステップＳ３８０の処理に進む。
　ステップＳ３８０では、第１調整スライダ２０５がカーソル２２０により選択されているかどうかを判定し（ステップＳ３８０）、判定結果がＹＥＳの場合は、Ｂ１に戻ってステップＳ３００に進む。また、ステップＳ３８０での判定結果がＮＯの場合は、第１及び第２調整スライダ２０５，２０４を第１調整軸表示部２０２の中央に移動し（ステップＳ３８０）、Ｂ１に戻ってステップＳ３００に進む。
　以上のように構成した本実施の形態における効果を説明する。
　従来技術としては、荷電粒子線装置の制御を行うために荷電粒子線装置に備えられている少なくとも一つの制御対象となるデバイスの設定値を変更してデバイスを制御するために、ユーザーがその位置を移動操作可能なように設けられたマーカーを有するグラフィックユーザーインターフェース上のスライダと、マーカーの位置移動操作を行うためのポインティングデバイスとを備えた荷電粒子線装置が知られている。
　上記従来技術においては、ユーザーがスライダ上のマーカー位置の移動操作をアクティブにすると、取得したマーカーの基準位置からの変位量を変換手段により変更スピードの値に換算し、この換算値に基づいたコマンドをタイマーで設定した一定時間間隔でデバイスに送信している。そして、マーカー位置の移動操作がアクティブな間、再取得されたマーカーの基準位置からの変位量に基づいて更新したコマンドをデバイス送信する処理を継続することにより、マーカーの基準位置からの変位量に応じてデバイス設定値の変更スピードが変化するようにしている。
　しかしながら、上記従来技術においては次のような問題点がある。
　すなわち、従来技術においては、マーカー位置の移動操作がアクティブな間はデバイス設定値の変更を継続するように構成している。したがって、この場合には、設定値が適する値になった瞬間に設定値の変更を止めることが難しく、設定値を過剰に変更してしまい、設定値の再変更や再々変更が必要となってしまうことが懸念される。特に、走査電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡のような荷電粒子線装置においては、設定値の非常に細かい調整が要求されるため、上記従来技術が設定値の調整に必ずしも適しているとは言えなかった。
　これに対して本実施の形態においては、荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部を表示装置の画面上において画像表示部に並べて配置するとともに、設定値調整軸上に、ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと設定値調整軸上の位置により設定値を設定する第２調整スライダとを配置し、カーソルによる第１調整スライダの移動操作に連動させて第２調整スライダを設定値調整軸に沿って移動させるように構成した。そして、第１調整スライダが設定値調整軸の第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、第１調整スライダの移動距離に対して第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、第１調整スライダが設定値調整軸の第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、第２調整スライダが両端部を除く位置に有る場合であって、カーソルによって第１調整スライダが選択操作されている場合には、第１調整スライダを移動させず、第２調整スライダのみを一方の端部の方向に移動するように構成した。
　これにより、本実施の形態においては、動作の制御に係る設定値の粗調整と微調整を容易にかつ正確に行うことができる。
１　電子銃
２　アノード
３　コンデンサレンズ
４　一次電子線
５　偏向器
６　対物レンズ
７　二次電子
８　試料台
９　試料ステージ
１０　ステージ制御部
１１　二次電子検出器
１３　画像記憶部
１４　主制御部
１５　コンピュータ部
１６　表示部
１７　試料
１８　偏向制御部
１９　マウス（ポインティングデバイス）
２０　キーボード
２１　専用操作パネル
２２　記憶部
１００　制御部
２００　数値設定画面
２０１　画像表示部
２０２　第１設定値調整軸表示部
２０３　設定値調整軸
２０４　第２調整スライダ
２０５　第１調整スライダ
２０６　規定値設定部
２１１　第２設定値調整軸表示部

Claims (16)

  1. 　試料に荷電粒子線を照射することにより前記試料の画像を生成する荷電粒子線装置であって、
    　少なくとも、前記試料の画像を表示する画像表示部を表示する表示装置と、
    　前記表示装置の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために前記画面上に表示されたカーソルの操作を行うポインティングデバイスと、
    　前記表示装置の画面上において前記画像表示部に並べて配置され、前記荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部と、
    　前記設定値調整軸上に配置され、前記ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより前記設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと、
    　前記設定値調整軸上に配置され、前記設定値調整軸上の位置により前記設定値を設定する第２調整スライダと、
    　前記カーソルによる前記第１調整スライダの移動操作に連動させて前記第２調整スライダを前記設定値調整軸に沿って移動する制御装置であって、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、前記第１調整スライダの移動距離に対して前記第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、前記第２調整スライダが前記両端部を除く位置に有る場合であって、前記カーソルによって前記第１調整スライダが選択操作されている場合には、前記第１調整スライダを移動させず、前記第２調整スライダのみを前記一方の端部の方向に移動する制御装置と
    を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
  2. 　試料に荷電粒子線を照射することにより前記試料の画像を生成する荷電粒子線装置であって、
    　少なくとも、前記試料の画像を表示する画像表示部を表示する表示装置と、
    　前記表示装置の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために前記画面上に表示されたカーソルの操作を行うポインティングデバイスと、
    　前記表示装置の画面上において前記画像表示部に並べて配置され、前記荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部と、
    　前記設定値調整軸上に配置され、前記ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより前記設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと、
    　前記設定値調整軸上に配置され、前記設定値調整軸上の位置により前記設定値を設定する第２調整スライダと、
    　前記カーソルによる前記第１調整スライダの移動操作に連動させて前記第２調整スライダを前記設定値調整軸に沿って移動する制御装置であって、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、前記第１調整スライダの移動距離に対して前記第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、前記第２調整スライダが前記両端部を除く位置に有る場合であって、前記カーソルによって前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の一方の端部側に移動操作されている場合には、前記第１調整スライダを移動させず、前記第２調整スライダのみを前記一方の端部の方向に移動する制御装置と
    を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
  3. 　請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、
    　前記制御装置は、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記第１設定値調整軸表示部における前記設定値調整軸の表示範囲が前記第２調整スライダの移動に合わせて前記一方の端部の方向に相対的に移動することを特徴とする荷電粒子線装置。
  4. 　請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、
    　前記制御装置は、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記第１設定値調整軸表示部における前記設定値調整軸の表示範囲を前記第２調整スライダの位置を含む前記一方の端部側の範囲に切り換えることを特徴とする荷電粒子線装置。
  5. 　請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、
    　前記制御装置は、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、その旨を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
  6. 　請求項３記載の荷電粒子線装置において、
    　前記制御装置は、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記設定値調整軸の全体と、前記第２調整スライダの前記設定値調整軸上の位置とを表示する第２設定値調整軸表示部を前記第１設定値調整軸表示部に並べて表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
  7. 　請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、
    　前記制御装置は、前記第２調整スライダを前記カーソルにより操作した場合に、少なくとも前記第１調整スライダを前記第１設定値調整軸表示部の中央に移動することを特徴とする荷電粒子線装置。
  8. 　請求項１又は２記載の荷電粒子線装置において、
    　前記設定値調整軸上に配置された規定値設定部を備え、
    　前記制御装置は、前記規定値設定部が前記カーソルにより選択操作された場合には、前記第１及び第２調整スライダを前記設定値調整軸上の予め定めた設定値に移動することを特徴とする荷電粒子線装置。
  9. 　試料に荷電粒子線を照射することにより前記試料の画像を生成する荷電粒子線装置の動作を制御する制御装置と、少なくとも、前記試料の画像を表示する画像表示部を表示する表示装置と、前記表示装置の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために前記画面上に表示されたカーソルの操作を行うポインティングデバイスと、前記表示装置の画面上において前記画像表示部に並べて配置され、前記荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部と、前記設定値調整軸上に配置され、前記ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより前記設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと、前記設定値調整軸上に配置され、前記設定値調整軸上の位置により前記設定値を設定する第２調整スライダとを備えた荷電粒子線装置のプログラムであって、
    　前記カーソルによる前記第１調整スライダの移動操作に連動させて前記第２調整スライダを前記設定値調整軸に沿って移動し、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、前記第１調整スライダの移動距離に対して前記第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、前記第２調整スライダが前記両端部を除く位置に有る場合であって、前記カーソルによって前記第１調整スライダが選択操作されている場合には、前記第１調整スライダを移動させず、前記第２調整スライダのみを前記一方の端部の方向に移動する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  10. 　試料に荷電粒子線を照射することにより前記試料の画像を生成する荷電粒子線装置の動作を制御する制御装置と、少なくとも、前記試料の画像を表示する画像表示部を表示する表示装置と、前記表示装置の画面上に配置されたオブジェクトの選択や移動などの操作のために前記画面上に表示されたカーソルの操作を行うポインティングデバイスと、前記表示装置の画面上において前記画像表示部に並べて配置され、前記荷電粒子線装置の制御に用いる少なくとも１つの設定値を調整するための設定値調整軸の一部を表示する第１設定値調整軸表示部と、前記設定値調整軸上に配置され、前記ポインティングデバイスにより操作されるカーソルにより前記設定値調整軸に沿って移動可能に設けられた第１調整スライダと、前記設定値調整軸上に配置され、前記設定値調整軸上の位置により前記設定値を設定する第２調整スライダとを備えた荷電粒子線装置のプログラムであって、
    　前記カーソルによる前記第１調整スライダの移動操作に連動させて前記第２調整スライダを前記設定値調整軸に沿って移動する制御装置であって、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における両端部を除く位置に有る場合には、前記第１調整スライダの移動距離に対して前記第２調整スライダの移動距離を小さくするとともに、前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、かつ、前記第２調整スライダが前記両端部を除く位置に有る場合であって、前記カーソルによって前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の一方の端部側に移動操作されている場合には、前記第１調整スライダを移動させず、前記第２調整スライダのみを前記一方の端部の方向に移動する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  11. 　請求項９又は１０記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    　前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記第１設定値調整軸表示部における前記設定値調整軸の表示範囲が前記第２調整スライダの移動に合わせて前記一方の端部の方向に相対的に移動する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  12. 　請求項９又は１０記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    　前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記第１設定値調整軸表示部における前記設定値調整軸の表示範囲を前記第２調整スライダの位置を含む前記一方の端部側の範囲に切り換える処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  13. 　請求項９又は１０記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    　前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、その旨を表示する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  14. 　請求項１１記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    　前記第１調整スライダが前記設定値調整軸の前記第１設定値調整軸表示部に表示された範囲における少なくとも一方の端部の位置に有り、前記第２調整スライダが移動して前記第１設定値調整軸表示部に予め定めた位置に達した場合には、前記設定値調整軸の全体と、前記第２調整スライダの前記設定値調整軸上の位置とを表示する第２設定値調整軸表示部を前記第１設定値調整軸表示部に並べて表示する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  15. 　請求項９又は１０記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    　前記第２調整スライダを前記カーソルにより操作した場合に、少なくとも前記第１調整スライダを前記第１設定値調整軸表示部の中央に移動する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
  16. 　請求項９又は１０記載の荷電粒子線装置のプログラムにおいて、
    　前記設定値調整軸上に配置された規定値設定部が前記カーソルにより選択操作された場合には、前記第１及び第２調整スライダを前記設定値調整軸上の予め定めた設定値に移動する処理を前記制御装置に行わせることを特徴とする荷電粒子線装置のプログラム。
PCT/JP2013/081255 2012-11-27 2013-11-20 荷電粒子線装置及びプログラム WO2014084095A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/647,323 US9412557B2 (en) 2012-11-27 2013-11-20 Charged particle beam apparatus and program
CN201380061917.6A CN104838466B (zh) 2012-11-27 2013-11-20 带电粒子束装置及其方法
DE112013005243.1T DE112013005243B4 (de) 2012-11-27 2013-11-20 Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung und Programm

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012-258967 2012-11-27
JP2012258967A JP5464533B1 (ja) 2012-11-27 2012-11-27 荷電粒子線装置及びプログラム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2014084095A1 true WO2014084095A1 (ja) 2014-06-05

Family

ID=50619408

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2013/081255 WO2014084095A1 (ja) 2012-11-27 2013-11-20 荷電粒子線装置及びプログラム

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9412557B2 (ja)
JP (1) JP5464533B1 (ja)
CN (1) CN104838466B (ja)
DE (1) DE112013005243B4 (ja)
WO (1) WO2014084095A1 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9671944B2 (en) * 2013-07-12 2017-06-06 Microsoft Technology Licensing, Llc Inclusion/exclusion user interface controls for range filters
US10453650B2 (en) * 2015-11-25 2019-10-22 Hitachi High-Technologies Corporation Charged particle beam apparatus, observation method using charged particle beam apparatus, and program
JP6783071B2 (ja) * 2016-05-20 2020-11-11 株式会社日立ハイテク 荷電粒子線装置
US11764028B2 (en) * 2018-05-22 2023-09-19 Hitachi High-Tech Corporation Charged particle beam device and axis adjustment method thereof
US10658152B1 (en) * 2018-10-04 2020-05-19 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Method for controlling a particle beam device and particle beam device for carrying out the method
CN111447633A (zh) * 2020-04-08 2020-07-24 Tcl移动通信科技（宁波）有限公司 网络列表生成方法、装置、移动终端和存储介质

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09198224A (ja) * 1995-11-13 1997-07-31 Internatl Business Mach Corp <Ibm> グラフィカル・ユーザ・インターフェース内で値を指定する方法および装置
JPH1145168A (ja) * 1997-07-29 1999-02-16 Sony Corp 情報表示方法
JPH11296172A (ja) * 1998-04-16 1999-10-29 Yamaha Corp 楽音パラメータ設定装置、楽音パラメータ設定方法および記録媒体
JPH11345061A (ja) * 1998-06-01 1999-12-14 Nec Corp 拡張スクロールシステム
WO2010071187A1 (ja) * 2008-12-18 2010-06-24 日本電気株式会社 スライドバー表示制御装置及びスライドバー表示制御方法
CN101907983A (zh) * 2009-06-08 2010-12-08 联想（新加坡）私人有限公司 麦克风静音控制方法以及计算机
JP2012027815A (ja) * 2010-07-27 2012-02-09 Nec Corp 携帯端末装置、表示制御方法およびプログラム

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007242432A (ja) 2006-03-09 2007-09-20 Jeol Ltd 荷電粒子線装置

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09198224A (ja) * 1995-11-13 1997-07-31 Internatl Business Mach Corp <Ibm> グラフィカル・ユーザ・インターフェース内で値を指定する方法および装置
JPH1145168A (ja) * 1997-07-29 1999-02-16 Sony Corp 情報表示方法
JPH11296172A (ja) * 1998-04-16 1999-10-29 Yamaha Corp 楽音パラメータ設定装置、楽音パラメータ設定方法および記録媒体
JPH11345061A (ja) * 1998-06-01 1999-12-14 Nec Corp 拡張スクロールシステム
US20110246943A1 (en) * 2008-12-18 2011-10-06 Toshihiko Fujibayashi Slide bar display control device and slide bar display control method
KR20110089428A (ko) * 2008-12-18 2011-08-08 닛본 덴끼 가부시끼가이샤 슬라이드바 디스플레이 제어 장치 및 슬라이드바 디스플레이 제어 방법
WO2010071187A1 (ja) * 2008-12-18 2010-06-24 日本電気株式会社 スライドバー表示制御装置及びスライドバー表示制御方法
EP2378402A1 (en) * 2008-12-18 2011-10-19 NEC Corporation Slide bar display control apparatus and slide bar display control method
CN102257463A (zh) * 2008-12-18 2011-11-23 日本电气株式会社 滑动条显示控制装置以及滑动条显示控制方法
CN101907983A (zh) * 2009-06-08 2010-12-08 联想（新加坡）私人有限公司 麦克风静音控制方法以及计算机
US20100310095A1 (en) * 2009-06-08 2010-12-09 Takenobu Nakao Method for Providing a Mute Control Function for Multiple Microphones Connected to a Computer
JP2010283719A (ja) * 2009-06-08 2010-12-16 Lenovo Singapore Pte Ltd マイクロフォンのミュート・コントロール
JP2012027815A (ja) * 2010-07-27 2012-02-09 Nec Corp 携帯端末装置、表示制御方法およびプログラム

Also Published As

Publication number Publication date
DE112013005243T5 (de) 2015-10-08
JP5464533B1 (ja) 2014-04-09
CN104838466A (zh) 2015-08-12
US20150325408A1 (en) 2015-11-12
CN104838466B (zh) 2017-03-01
DE112013005243B4 (de) 2022-06-02
JP2014107110A (ja) 2014-06-09
US9412557B2 (en) 2016-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5464533B1 (ja) 荷電粒子線装置及びプログラム
JP5364112B2 (ja) 荷電粒子線装置
US9012842B2 (en) Charged particle beam device and inclined observation image display method
JP4621097B2 (ja) 電子線装置およびその制御方法
WO2017130363A1 (ja) 荷電粒子線装置およびその光軸調整方法
JP5470596B1 (ja) 機能解除モードと機能拡張モードを有する荷電粒子線装置
US9960006B2 (en) Charged-particle-beam device
US8642980B2 (en) Composite charged particle beam apparatus
US9792832B2 (en) Charged particle beam apparatus, specimen observation system and operation program
JP2016025048A (ja) コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置
JP2010157370A (ja) Ｓｅｍの操作装置
JP2014032835A (ja) 走査透過電子顕微鏡
JP5084528B2 (ja) 電子顕微鏡の制御装置及び制御方法
JP6121704B2 (ja) 荷電粒子線装置
CN108292578B (zh) 带电粒子射线装置、使用带电粒子射线装置的观察方法及程序
US11626266B2 (en) Charged particle beam device
WO2023199506A1 (ja) 荷電粒子ビームシステム
JP2002015691A (ja) 走査電子顕微鏡
JP2012114014A (ja) 荷電ビーム装置、及び荷電ビーム装置の画像表示方法
JPH10302704A (ja) 荷電粒子ビーム装置
JP7068069B2 (ja) 電子顕微鏡
JP6706956B2 (ja) 分析装置
JP2017162606A (ja) 軸合わせ方法および電子顕微鏡
JP4209434B2 (ja) 荷電粒子線装置
JP2016035800A (ja) 荷電粒子線装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 13858644

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1120130052431

Country of ref document: DE

Ref document number: 112013005243

Country of ref document: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14647323

Country of ref document: US

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 13858644

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1