DE102020211688A1

DE102020211688A1 - Teilchenstrahl-bestrahlungsvorrichtung

Info

Publication number: DE102020211688A1
Application number: DE102020211688.1A
Authority: DE
Inventors: Takuma ASO; Xin Man; Makoto Sato; Tatsuya Asahata
Original assignee: Hitachi High Tech Science Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Science Corp
Priority date: 2019-09-24
Filing date: 2020-09-17
Publication date: 2021-03-25
Also published as: US20210090853A1; US11335534B2; KR20210035744A; TW202125562A; JP7291047B2; CN112635278A; JP2021051879A

Abstract

Vorgesehen ist eine Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung, mit der auch bei Beobachtungen mit mehreren Erfassern eine Zeitspanne verkürzt werden kann, die für Helligkeitseinstellungen der mehreren Erfasser benötigt wird. Die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung umfasst: eine Bestrahlungseinheit, eine erste Erfassungseinheit; eine zweite Erfassungseinheit; eine Bilderzeugungseinheit; und eine Steuereinheit, die konfiguriert ist, um eine Helligkeit eines ersten Bereichs in einem gebildeten ersten Beobachtungsbild zu berechnen und eine Helligkeitseinstellung der ersten Erfassungseinheit auf der Grundlage einer ersten Zielhelligkeit als eine erste Helligkeitseinstellung durchzuführen, wenn die Helligkeit des ersten Bereichs von der ersten Zielhelligkeit verschieden ist, und um eine Helligkeit eines zweiten Bereichs in dem gebildeten zweiten Beobachtungsbild zu berechnen und eine Helligkeitseinstellung der zweiten Erfassungseinheit auf der Grundlage einer zweiten Zielhelligkeit als eine zweite Helligkeitseinstellung durchzuführen, wenn die Helligkeit des zweiten Bereichs von der zweiten Zielhelligkeit verschieden ist.

Description

ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung.
Beschreibung des Standes der Technik
Forschung und Entwicklung sind in einer Technologie einer Bestrahlungsvorrichtung mit geladenem Teilchenstrahl betrieben worden, welche dafür ausgelegt ist, eine Probe mit einem geladenen Teilchenstrahl zu bestrahlen.
Hinsichtlich der Technologie der Bestrahlungsvorrichtung mit geladenem Teilchenstrahl ist eine Bestrahlungsvorrichtung mit geladenem Teilchenstrahl bekannt, die eine Bestrahlungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie einen geladenen Teilchenstrahl innerhalb eines vorbestimmten Bestrahlungsbereichs abstrahlt, und eine Erfassungseinheit enthält, die so konfiguriert ist, dass sie geladene Teilchen erfasst, die von einer Probe erzeugt werden, die so angeordnet ist, dass sie sich in dem Bestrahlungsbereich befindet, als Ergebnis der Bestrahlung der Probe mit dem geladenen Teilchenstrahl. In der Bestrahlungsvorrichtung mit geladenem Teilchenstrahl wird ein Beobachtungsbild eines gewünschten Beobachtungsbereichs, der in dem Bestrahlungsbereich enthalten ist, auf der Grundlage eines Signals gebildet, das durch die Erfassung der geladenen Teilchen erhalten wird, die von der Erfassungseinheit durchgeführt wird (siehe japanische Patentanmeldung Nr. 2011-086606 und japanische Patentanmeldung Nr. 2018-163822 ).
In den oben beschriebenen Bestrahlungsvorrichtungen mit geladenem Teilchenstrahl vom Stand der Technik kann durch eine Helligkeitseinstellung der Erfassungseinheit (genauer gesagt, durch die Einstellung eines mit der Helligkeitseinstellung der Erfassungseinheit verbundenen Spannungswertes, wie z.B. der Einstellung eines Kontrastwertes und eines Helligkeitswertes der Erfassungseinheit) das Beobachtungsbild mit einer gewünschten Helligkeit erzeugt werden. Wenn jedoch die Bestrahlungsvorrichtung mit geladenem Teilchenstrahl mehrere Erfasser enthält, wird die Helligkeitseinstellung für jeden der Erfasser in der Bestrahlungsvorrichtung mit geladenem Teilchenstrahl einzeln durchgeführt. Daher erfordern die Helligkeitseinstellungen eine lange Zeitspanne.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung ist im Hinblick auf das oben erwähnte Problem des Standes der Technik gemacht worden und hat den Zweck, eine Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung bereitzustellen, mit der auch bei der Beobachtung mit Hilfe mehrerer Erfasser eine für die Helligkeitseinstellung der mehreren Erfasser erforderliche Zeitspanne verkürzt werden kann.
Nach mindestens einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung, welche folgendes einschließt: eine Bestrahlungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie einen Teilchenstrahl innerhalb eines vorbestimmten Bestrahlungsbereichs abstrahlt; eine erste Erfassungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie erste Teilchen erfasst, die von einer Probe erzeugt werden, die so angeordnet ist, dass sie sich in dem vorbestimmten Bestrahlungsbereich befindet, als Ergebnis der Bestrahlung der Probe mit dem Teilchenstrahl; eine zweite Erfassungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie zweite Teilchen erfasst, die von der Probe als Ergebnis der Bestrahlung der Probe mit dem Teilchenstrahl erzeugt werden; eine Bilderzeugungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie ein Beobachtungsbild auf der Grundlage eines ersten Signals erzeugt, das durch die Erfassung der ersten Teilchen erhalten wird, die von der ersten Erfassungseinheit durchgeführt wird, und dass sie ein Beobachtungsbild auf der Grundlage eines zweiten Signals erzeugt, das durch die Erfassung der zweiten Teilchen erhalten wird, die von der zweiten Erfassungseinheit durchgeführt wird; und eine Steuereinheit, die so konfiguriert ist, dass sie das von der Bilderzeugungseinheit gebildete Beobachtungsbild als ein erstes Beobachtungsbild erfasst, eine Helligkeit eines ersten Bereichs in dem erfassten ersten Beobachtungsbild berechnet und eine Helligkeitseinstellung der ersten Erfassungseinheit auf der Grundlage einer ersten Zielhelligkeit als eine erste Helligkeitseinstellung durchführt, wenn die Helligkeit des ersten Bereichs von der ersten Zielhelligkeit abweicht, und das von der Bilderzeugungseinheit gebildete Beobachtungsbild als zweites Beobachtungsbild erfasst, eine Helligkeit eines zweiten Bereichs im erfassten zweiten Beobachtungsbild berechnet und eine Helligkeitseinstellung der zweiten Erfassungseinheit auf der Grundlage einer zweiten Zielhelligkeit als zweite Helligkeitseinstellung durchführt, wenn sich die Helligkeit des zweiten Bereichs von der zweiten Zielhelligkeit unterscheidet.
Ferner kann nach einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung in der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, bei der sowohl das erste Beobachtungsbild als auch das zweite Beobachtungsbild das auf der Grundlage des ersten Signals gebildete Beobachtungsbild ist.
Ferner kann nach einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung in der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, bei der sowohl das erste Beobachtungsbild als auch das zweite Beobachtungsbild das auf der Grundlage des zweiten Signals gebildete Beobachtungsbild ist.
Ferner kann nach einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung in der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, bei der das erste Beobachtungsbild das auf der Grundlage des ersten Signals gebildete Beobachtungsbild ist, und das zweite Beobachtungsbild das auf der Grundlage des zweiten Signals gebildete Beobachtungsbild ist.
Ferner kann nach einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung in der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, bei der die Steuereinheit so konfiguriert ist, dass die Helligkeit des ersten Bereichs durch die erste Helligkeitseinstellung näher an die erste Zielhelligkeit gebracht wird und dass die Helligkeit des zweiten Bereichs durch die zweite Helligkeitseinstellung näher an die zweite Zielhelligkeit gebracht wird.
Ferner kann nach einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung in der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, bei der der erste Bereich in dem ersten Beobachtungsbild enthalten ist und einen Abschnitt der Probe enthält, der ein zu beobachtendes Ziel ist, und der zweite Bereich in dem zweiten Beobachtungsbild enthalten ist und eine Markierung enthält, die als Referenz bei der Driftkorrektur zur Korrektur einer Position des ersten Bereichs dient.
Ferner kann nach einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung in der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, in der die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung ferner eine Anzeigeeinheit enthält, die zur Anzeige eines Bildes konfiguriert ist, wobei die Steuereinheit so konfiguriert ist, dass sie die Anzeigeeinheit so steuert, dass sie mindestens das erste Beobachtungsbild, das von der Bilderzeugungseinheit nach der ersten Helligkeitseinstellung gebildet wird, oder das zweite Beobachtungsbild, das von der Bilderzeugungseinheit nach der zweiten Helligkeitseinstellung gebildet wird, anzeigt.
Nach mindestens einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist es möglich, die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen, mit der auch bei Beobachtungen mit mehreren Erfassern eine Zeitspanne verkürzt werden kann, die für Helligkeitseinstellungen der mehreren Erfasser erforderlich ist.
Figurenliste

1 ist eine Ansicht zur Veranschaulichung eines Beispiels für eine Konfiguration einer Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung.
2 ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines Beispiels für eine Hardware-Konfiguration einer Steuerung.
3 ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines Beispiels für eine funktionelle Konfiguration der Steuerung.
4 ist ein Flussdiagramm zur Veranschaulichung eines Beispiels für den Ablauf der Bearbeitung des Ätzens einer Probe in einem Beobachtungsbereich und der Bildung eines Beobachtungsbildes des Beobachtungsbereichs, die durch die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung durchgeführt wird.
5 ist ein Flussdiagramm zur Veranschaulichung eines Beispiels für den Ablauf der Verarbeitung des Empfangs einer Beobachtungsbedingung, die von der Steuerung durchgeführt wird.
6 ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines Beispiels für ein Beobachtungsbild des gesamten Bestrahlungsbereichs, das in einem auf einem Anzeigegerät angezeigten Bild enthalten ist.
7 ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines weiteren Beispiels für die Konfiguration der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung.

BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
<Ausführungsformen>
Nun wird mindestens eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
<Grundriss der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung>
Zunächst wird ein Grundriss einer Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung nach mindestens einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
Die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung umfasst eine Bestrahlungseinheit, eine erste Erfassungseinheit, eine zweite Erfassungseinheit, eine Bilderzeugungseinheit und eine Steuereinheit. Die Bestrahlungseinheit ist z.B. eine fokussierte Ionenstrahlsäule, eine Elektronenstrahlsäule oder eine Argonstrahlsäule. Die erste Erfassungseinheit ist z.B. ein erster Sekundärelektronenerfasser, ein zweiter Sekundärelektronenerfasser oder ein Rückstreuerfasser. Die zweite Erfassungseinheit ist z.B. ein erster Sekundärelektronenerfasser, ein zweiter Sekundärelektronenerfasser oder ein Rückstreuerfasser, der sich von der ersten Erfassungseinheit unterscheidet. Die Bestrahlungseinheit ist so konfiguriert, dass sie einen Teilchenstrahl (z.B. einen fokussierten Ionenstrahl, einen Elektronenstrahl oder einen Argonstrahl) innerhalb eines vorbestimmten Bestrahlungsbereichs abstrahlt. Die erste Erfassungseinheit ist so konfiguriert, dass sie erste Teilchen (z.B. Sekundärelektronen) erfasst, die von einer Probe erzeugt werden, die so angeordnet ist, dass sie sich in dem vorbestimmten Bestrahlungsbereich befindet, und zwar als Ergebnis der Bestrahlung der Probe mit dem Teilchenstrahl. Die zweite Erfassungseinheit ist so konfiguriert, dass sie zweite Teilchen (z.B. Sekundärelektronen) erfasst, die von der Probe erzeugt werden, die so angeordnet ist, dass sie sich im Bestrahlungsbereich befindet, als Ergebnis der Bestrahlung der Probe mit dem Teilchenstrahl. Die Bilderzeugungseinheit ist so konfiguriert, dass sie ein Beobachtungsbild (z.B. ein Rasterelektronenmikroskop-Bild (REM-Bild) oder ein Rückstreuelektronen-Bild (BSE-Bild)) auf der Grundlage eines ersten Signals erzeugt, das durch die Erfassung der ersten Teilchen erhalten wird, die von der ersten Erfassungseinheit durchgeführt wird, und dass sie ein Beobachtungsbild (z.B. eines der Beobachtungsbilder einschließlich des REM-Bildes und des BSE-Bildes, das sich von dem Beobachtungsbild unterscheidet, das auf der Grundlage des ersten Signals erzeugt wird) auf der Grundlage eines zweiten Signals erzeugt, das durch die Erfassung der zweiten Teilchen erhalten wird, die von der zweiten Erfassungseinheit durchgeführt wird. Die Steuereinheit ist so konfiguriert, dass sie das von der Bilderzeugungseinheit gebildete Beobachtungsbild als ein erstes Beobachtungsbild erfasst und die Helligkeit eines ersten Bereichs im erfassten ersten Beobachtungsbild berechnet. Wenn sich die Helligkeit des ersten Bereichs von einer ersten Zielhelligkeit unterscheidet, führt die Steuereinheit eine Helligkeitseinstellung der ersten Erfassungseinheit auf der Grundlage der ersten Zielhelligkeit als eine erste Helligkeitseinstellung durch. Ferner ist die Steuereinheit so konfiguriert, dass sie das von der Bilderzeugungseinheit gebildete Beobachtungsbild als zweites Beobachtungsbild erfasst und die Helligkeit eines zweiten Bereichs im erfassten zweiten Beobachtungsbild berechnet. Wenn sich die Helligkeit des zweiten Bereichs von einer zweiten Zielhelligkeit unterscheidet, führt die Steuereinheit eine Helligkeitseinstellung der zweiten Erfassungseinheit auf der Grundlage der zweiten Zielhelligkeit als zweite Helligkeitseinstellung durch.
In diesem Fall entspricht die Helligkeitseinstellung der ersten Erkennungseinheit einer Anpassung eines Spannungswerts, der mit der Helligkeitseinstellung der ersten Erkennungseinheit verbunden ist, wie z.B. eine Anpassung eines Kontrastwerts und eines Helligkeitswerts der ersten Erkennungseinheit, so dass die Helligkeit des ersten Bereichs näher an die erste Zielhelligkeit herankommt. Durch die Helligkeitseinstellung der ersten Erfassungseinheit kann die Bilderzeugungseinheit das erste Beobachtungsbild mit einer für die Beobachtung geeigneten Helligkeit auf der Grundlage des ersten Signals bilden, das durch die Erfassung der ersten Teilchen erhalten wird, die von der ersten Erfassungseinheit nach deren Helligkeitseinstellung durchgeführt wird. Ferner entspricht die Helligkeitseinstellung der zweiten Erfassungseinheit einer Einstellung eines Spannungswertes, der mit der Helligkeitseinstellung der zweiten Erfassungseinheit verbunden ist, wie z.B. einer Einstellung eines Kontrastwertes und eines Helligkeitswertes der zweiten Erfassungseinheit, so dass die Helligkeit des zweiten Bereiches näher an die zweite Zielhelligkeit heranreicht. Durch die Helligkeitseinstellung der zweiten Erfassungseinheit kann die Bilderzeugungseinheit das zweite Beobachtungsbild mit einer für die Beobachtung geeigneten Helligkeit auf der Grundlage des zweiten Signals bilden, das durch die Erfassung der zweiten Teilchen erhalten wird, die von der zweiten Erfassungseinheit nach deren Helligkeitseinstellung durchgeführt wird. Infolgedessen kann die Steuereinheit selbst dann, wenn die Beobachtung unter Verwendung mehrerer Erfasser (d.h. z.B. der ersten Erfassungseinheit und der zweiten Erfassungseinheit) durchgeführt wird, eine für die Helligkeitseinstellungen der mehreren Erfasser erforderliche Zeitspanne verkürzen.
In diesem Fall ist z.B. sowohl das erste Beobachtungsbild als auch das zweite Beobachtungsbild jeweils das auf dem ersten Signal basierende Beobachtungsbild. In einem anderen Fall ist sowohl das erste als auch das zweite Beobachtungsbild beispielsweise das Beobachtungsbild, das auf der Grundlage des zweiten Signals gebildet wurde. Als ein weiteres Beispiel ist das erste Beobachtungsbild das auf der Grundlage des ersten Signals gebildete Beobachtungsbild, und das zweite Beobachtungsbild ist das auf der Grundlage des zweiten Signals gebildete Beobachtungsbild.
Als Beispiel wird im Folgenden ein Fall beschrieben, in dem sowohl das erste Beobachtungsbild als auch das zweite Beobachtungsbild das auf dem ersten Signal basierende Beobachtungsbild ist. Ferner werden im Folgenden eine Konfiguration der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung gemäß mindestens einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und die durch die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung durchgeführte Bearbeitung spezifisch beschrieben. Der von der Bestrahlungseinheit abgestrahlte Teilchenstrahl kann ein geladener Teilchenstrahl sein, wie z.B. der fokussierte Ionenstrahl, der durch die Fokussierung von Ionen gebildet wird, oder der Elektronenstrahl, der durch die Fokussierung von Elektronen gebildet wird, oder ein neutraler Teilchenstrahl, wie z.B. der Argonstrahl, der durch die Fokussierung von Argonteilchen erhalten wird. Ferner kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Vielzahl von Bestrahlungseinheiten enthalten. In diesem Fall kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung z.B. eine geeignete Kombination von z.B. zwei beliebigen Kombinationen des fokussierten Ionenstrahls, des Elektronenstrahls und des Neutralteilchenstrahls oder den gesamten fokussierten Ionenstrahl, den Elektronenstrahl und den Neutralteilchenstrahl bestrahlen. In dem unten beschriebenen Fall ist der Teilchenstrahl beispielsweise der geladene Teilchenstrahl.
<Konfiguration der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung>
Nun wird eine Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 als Beispiel für eine Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung nach mindestens einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Weiter unten wird eine Probe S als Beispiel für die Probe in mindestens einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die Probe S ist z. B. eine elektrisch leitende Probe. Die Probe S kann an Stelle der elektrisch leitenden Probe eine isolierende Probe oder eine halbleitende Probe (Halbleiterprobe) sein. Ferner kann die Probe S auch ein biologischer Gegenstand sein, wie z. B. Zellen oder ein Knochen eines Organismus.
1 ist eine Ansicht zur Veranschaulichung eines Beispiels für eine Konfiguration der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1.
Die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 umfasst ein Teilchenmikroskop 10, eine Steuerung 30 und ein Anzeigegerät 35. In der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 können das Teilchenmikroskop 10, die Steuerung 30 und die Anzeigevorrichtung 35 ganz oder teilweise integriert konfiguriert sein.
Das Teilchenmikroskop 10 umfasst z.B. eine fokussierte Ionenstrahl (FIB) Säule 11, eine Elektronenstrahl (EB) Säule 12 und eine Probenkammer 13. Das heißt, die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 ist ein Beispiel für eine Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung mit zwei Bestrahlungseinheiten, nämlich einer Bestrahlungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie den fokussierten Ionenstrahl ausstrahlt, und einer Bestrahlungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie den Elektronenstrahl ausstrahlt. Die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 könnte auch nur eine der beiden Säulen, die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 oder die Elektronenstrahlsäule 12 enthalten. Darüber hinaus kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 eine oder mehrere Säulen enthalten, die jeweils so konfiguriert sind, dass sie einen Strahl ausstrahlen, der durch Fokussierung einer anderen Teilchenart (z.B. den Neutralteilchenstrahl) an Stelle einer oder beider der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 und der Elektronenstrahlsäule 12 oder zusätzlich zu beiden der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 und der Elektronenstrahlsäule 12 gebildet wird.
Die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 ist so konfiguriert, dass sie einen fokussierten Ionenstrahl B1 abstrahlt, der durch die Fokussierung einer vorbestimmten Ionenart gebildet wird. Die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 umfasst z.B. eine Ionenquelle (z.B. eine Ionenkanone), eine Ionenbeschleunigungseinheit und eine Ionenbestrahlungseinheit. Die Ionenquelle ist so konfiguriert, dass sie Ionen erzeugt. Die Ionenbeschleunigungseinheit ist so konfiguriert, dass sie ein elektrisches Feld an die von der Ionenquelle erzeugten Ionen in einer Ionenbeschleunigungsrichtung anlegt, um die Ionen zu beschleunigen. Die Ionenbeschleunigungsrichtung ist eine Richtung entlang einer Mittelachse der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 und ist eine Richtung von der Ionenquelle der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 zu einer Austrittsöffnung der fokussierten Ionenstrahlsäule 11, durch die der fokussierte Ionenstrahl B1 emittiert wird. Die Ionenbestrahlungseinheit enthält eine elektrostatische Linse. Durch die elektrostatische Linse wird ein elektrisches Feld an die Ionen angelegt, die durch die Ionenbeschleunigungseinheit beschleunigt werden, um die Ionen zu fokussieren. Dann strahlt die Ionenbestrahlungseinheit die fokussierten Ionen als den fokussierten Ionenstrahl B1 durch die Austrittsöffnung in den Bestrahlungsbereich ab. Die elektrostatische Linse kann vom Typ Beschleunigung oder Abbremsung sein. Außerdem kann die Ionenbestrahlungseinheit eine Magnetfeldlinse enthalten. In diesem Fall wird durch die Magnetfeldlinse ein Magnetfeld an die durch die Ionenbeschleunigungseinheit beschleunigten Ionen angelegt, um die Ionen zu fokussieren.
Die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 ist in der Probenkammer 13 untergebracht. In der Probenkammer 13 befindet sich ein Tisch 14 und eine Tischantriebseinheit. Der Tisch 14 ist ein Probentisch, auf dem die Probe S platziert werden soll. Die Tischantriebseinheit ist so konfiguriert, dass sie eine Position und eine Haltung des Tisches 14 entsprechend einer Anforderung der Steuerung 30 ändert. In mindestens einer Ausführungsform ist die Position des Tischs 14 eine Position in einem dreidimensionalen Koordinatensystem 11C und wird durch eine Position eines Ursprungs eines dreidimensionalen Koordinatensystems 14C dargestellt. Ferner wird in mindestens einer Ausführungsform die Stellung des Tischs 14 durch Richtungen von Koordinatenachsen des dreidimensionalen Koordinatensystems 14C dargestellt, die Richtungen in Bezug auf Koordinatenachsen des dreidimensionalen Koordinatensystems 11C sind. In diesem Fall ist das dreidimensionale Koordinatensystem 11C ein dreidimensionales kartesisches Koordinatensystem, das mit einer vorbestimmten Position der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 verbunden ist. Die vorbestimmte Position kann zum Beispiel eine Position eines Schwerpunkts der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 sein. Um eine Komplikation der Darstellung zu vermeiden, ist in 1 die Position des Ursprungs des dreidimensionalen Koordinatensystems 11C von der Position des Schwerpunkts verschoben. Die vorgegebene Position kann eine andere, der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 zugeordnete Position anstelle der Position des Schwerpunkts der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 sein. Die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 ist in der Probenkammer 13 fixiert und unbeweglich. Somit sind die Position des Ursprungs des dreidimensionalen Koordinatensystems 11C und die Richtungen der Koordinatenachsen des dreidimensionalen Koordinatensystems 11C fest und unbeweglich. Das dreidimensionale Koordinatensystem 14C ist ein dreidimensionales kartesisches Koordinatensystem, das mit dem Mittelpunkt einer oberen Fläche des Tischs 14 verbunden ist. Wenn also der Tisch 14 bewegt wird, wird das dreidimensionale Koordinatensystem 14C zusammen mit dem Tisch 14 bewegt. Um eine Verkomplizierung der Darstellung zu vermeiden, wird in 1 die Position des Ursprungs des dreidimensionalen Koordinatensystems 14C von einer Position des Zentrums der oberen Fläche des Tisches 14 verschoben.
In dem in 1 dargestellten Beispiel stimmt eine Z-Achsen-Richtung des dreidimensionalen Koordinatensystems 11C mit einer Mittelachsen-Richtung der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 überein. Ferner ist in diesem Beispiel eine X-Achsenrichtung des dreidimensionalen Koordinatensystems 11C eine Richtung senkrecht zur Z-Achsenrichtung und stimmt mit einer Richtung von der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 zur Elektronenstrahlsäule 12 überein. Ferner ist in diesem Beispiel eine Y-Achsenrichtung des dreidimensionalen Koordinatensystems 11C eine Richtung orthogonal sowohl zur X-Achsenrichtung als auch zur Z-Achsenrichtung. Die Richtung der X-Achse, die Richtung der Y-Achse und die Richtung der Z-Achse des dreidimensionalen Koordinatensystems 11C können jeweils mit einer anderen Richtung anstelle einer entsprechenden der oben genannten Richtungen übereinstimmen.
Wenn die Position und die Stellung des Tischs 14 mit einer Referenzposition und einer Referenzstellung übereinstimmen, bei denen es sich um eine Position und eine Stellung handelt, die als vorgegebene Referenzen dienen, wird die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 in einer solchen Position installiert, dass die Mittelachse der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 orthogonal zur oberen Fläche des Tischs 14 verläuft. In dem unten beschriebenen Fall ändert ein Benutzer zur Vereinfachung der Beschreibung die Position und die Stellung des Tisches 14 gegenüber der Referenzposition und der Referenzstellung nicht.
In mindestens einer Ausführungsform stimmen die X-Achsenrichtung, die Y-Achsenrichtung und die Z-Achsenrichtung des dreidimensionalen Koordinatensystems 14C mit der X-Achsenrichtung, der Y-Achsenrichtung bzw. der Z-Achsenrichtung des dreidimensionalen Koordinatensystems 11C überein, wenn die Position und die Stellung des Tischs 14 mit der Referenzposition und der Referenzstellung übereinstimmen. Wenn die Position und die Stellung des Tischs 14 mit der Referenzposition und der Referenzhaltung übereinstimmen, können die X-Achsenrichtung, die Y-Achsenrichtung und die Z-Achsenrichtung des dreidimensionalen Koordinatensystems 14C mit anderen Richtungen anstelle der X-Achsenrichtung, der Y-Achsenrichtung und der Z-Achsenrichtung des dreidimensionalen Koordinatensystems 11C übereinstimmen.
Außerdem ist die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 an einer solchen Position installiert, dass der fokussierte Ionenstrahl B1 in den oben genannten Bestrahlungsbereich abgestrahlt werden kann. Der Bestrahlungsbereich ist ein ebener Bereich, der auf einer Ebene liegt, die sich entlang der oberen Oberfläche des Tischs 14 erstreckt, wenn die Position und die Stellung des Tischs 14 mit der Referenzposition und der Referenzstellung übereinstimmen. In dem unten beschriebenen Fall wird der Bestrahlungsbereich beispielsweise auf eine Innenseite der Oberseite des Tischs 14 gesetzt, wenn die Position und die Stellung des Tischs 14 mit der Referenzposition und der Referenzstellung übereinstimmen. Anstelle des oben genannten Bereichs kann ein Bereich, der auf einen Bereich einschließlich eines Teils der Oberseite oder der gesamten Oberseite des Tischs 14 gesetzt wird, wenn die Position und die Stellung des Tischs 14 mit der Referenzposition und der Referenzstellung übereinstimmen, als Bestrahlungsbereich festgelegt werden. Außerdem ist der Bestrahlungsbereich immer fest. Daher wird der Bestrahlungsbereich auch dann nicht zusammen mit der Oberseite des Tischs 14 bewegt, wenn die Tischantriebseinheit die Position und die Stellung des Tischs 14 ändert. Insbesondere kann die Tischantriebseinheit die auf der Oberseite des Tischs 14 platzierte Probe S relativ zum Bestrahlungsbereich verschieben oder neigen, indem sie die Position und die Stellung des Tischs 14 ändert. Die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 ist ein Beispiel für die Bestrahlungseinheit.
Die Elektronenstrahlsäule 12 ist so konfiguriert, dass sie einen Elektronenstrahl B2 abstrahlt, der durch fokussierte Elektronen gebildet wird. Die Elektronenstrahlsäule 12 umfasst beispielsweise eine Elektronenquelle (z.B. eine Elektronenkanone), eine Elektronenbeschleunigungseinheit und eine Elektronenbestrahlungseinheit. Die Elektronenquelle ist so konfiguriert, dass sie Elektronen erzeugt. Die Elektronenbeschleunigungseinheit ist so konfiguriert, dass sie ein elektrisches Feld an die von der Elektronenquelle erzeugten Elektronen in einer Elektronenbeschleunigungsrichtung anlegt, um die Elektronen zu beschleunigen. Die Elektronenbeschleunigungsrichtung ist eine Richtung entlang einer Mittelachse der Elektronenstrahlsäule 12 und ist eine Richtung von der Elektronenquelle der Elektronenstrahlsäule 12 zu einer Austrittsöffnung der Elektronenstrahlsäule 12, durch die der Elektronenstrahl B2 emittiert wird. Die Elektronenbestrahlungseinheit enthält eine elektrostatische Linse. Durch die elektrostatische Linse wird ein elektrisches Feld an die von der Elektronenbeschleunigungseinheit beschleunigten Elektronen angelegt, um die Elektronen zu fokussieren. Dann strahlt die Elektronenbestrahlungseinheit die fokussierten Elektronen als Elektronenstrahl B2 durch die Austrittsöffnung ab. Die elektrostatische Linse kann vom Beschleunigungstyp oder vom Abbremsungstyp sein. Außerdem kann die Elektronenbestrahlungseinheit eine Magnetfeldlinse enthalten. In diesem Fall wird durch die Magnetfeldlinse ein Magnetfeld an die von der Elektronenbeschleunigungseinheit beschleunigten Elektronen angelegt, um die Elektronen zu fokussieren.
Die Elektronenstrahlsäule 12 ist zusammen mit der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 in der Probenkammer 13 untergebracht. Wenn die Position und die Stellung des Tischs 14 mit der Referenzposition und der als Referenz dienenden Referenzstellung übereinstimmen, wird die Elektronenstrahlsäule 12 in einer solchen Position installiert, dass die Mittelachse der Elektronenstrahlsäule 12 um einen vorbestimmten Winkel in Bezug auf die Oberseite des Tischs 14 geneigt ist. Ferner wird die Elektronenstrahlsäule 12 in einer solchen Position installiert, dass der Elektronenstrahl B2 in den oben erwähnten Bestrahlungsbereich abgestrahlt werden kann. Es ist gewünscht, dass die Elektronenstrahlsäule 12 so angeordnet wird, dass die Richtung entlang der Mittelachse der Elektronenstrahlsäule 12, insbesondere die Richtung von der Elektronenquelle der Elektronenstrahlsäule 12 zur Austrittsöffnung der Elektronenstrahlsäule 12, durch die der Elektronenstrahl B2 emittiert wird, und die Richtung entlang der Mittelachse der fokussierten Ionenstrahlsäule 11, insbesondere die Richtung von der Ionenquelle der fokussierten Ionenstrahlsäule 11 zur Austrittsöffnung der fokussierten Ionenstrahlsäule 11, durch die der fokussierte Ionenstrahl B1 emittiert wird, orthogonal zueinander sind. Die Elektronenstrahlsäule 12 ist auch ein Beispiel für die Bestrahlungseinheit.
Darüber hinaus enthält das Teilchenmikroskop 10 einen ersten Sekundärelektronenerfasser 16, einen zweiten Sekundärelektronenerfasser 17 und einen Rückstreuerfasser (BSD) 18.
Der erste Sekundärelektronenerfasser 16 ist einer von drei Erfassern, die im Teilchenmikroskop 10 enthalten sind. Der erste Sekundärelektronenerfasser 16 befindet sich an einer anderen Position als der zweite Sekundärelektronenerfasser 17 und ist so konfiguriert, dass er Sekundärelektronen erfasst, die von der Probe S erzeugt werden, wenn die Probe S mit dem fokussierten Ionenstrahl B1 bestrahlt wird. Bei den Sekundärelektronen handelt es sich z.B. um Streuelektronen, die in den von der Probe S erzeugten Elektronen enthalten sind, die vom fokussierten Ionenstrahl B1 gestreut werden. Darüber hinaus ist der erste Sekundärelektronenerfasser 16 so konfiguriert, dass er Sekundärelektronen erfasst, die von der Probe S erzeugt werden, wenn die Probe S mit dem Elektronenstrahl B2 bestrahlt wird. Bei den Sekundärelektronen handelt es sich z.B. um Streuelektronen, die in den von der Probe S erzeugten Elektronen enthalten sind, die vom Elektronenstrahl B2 gestreut werden. Der erste Sekundärelektronenerfasser 16 ist so konfiguriert, dass er ein Signal, das Informationen über die erfassten Sekundärelektronen enthält, an die Steuerung 30 ausgibt. Diese Information gibt die Anzahl der Sekundärelektronen an.
Der erste Sekundärelektronenerfasser 16 ist ein Beispiel für die erste Erfassungseinheit, und er ist auch ein Beispiel für die zweite Erfassungseinheit. Wenn der erste Sekundärelektronenerfasser 16 ein Beispiel für die erste Erfassungseinheit ist, sind die vom ersten Sekundärelektronenerfasser 16 erfassten Sekundärelektronen ein Beispiel für die ersten Teilchen. In diesem Fall, ist das von dem ersten Sekundärelektronenerfasser 16 ausgegebene Signal ein Beispiel für das Signal, das durch den Nachweis der ersten Teilchen erhalten wird, der von der ersten Erfassungseinheit durchgeführt wird. Wenn außerdem der erste Sekundärelektronenerfasser 16 ein Beispiel für die zweite Erfassungseinheit ist, sind die Sekundärelektronen ein Beispiel für die zweiten Teilchen. In diesem Fall, ist das vom ersten Sekundärelektronenerfasser 16 ausgegebene Signal ein Beispiel für das Signal, das durch die Erfassung der zweiten Teilchen erhalten wird, die von der zweiten Erfassungseinheit durchgeführt wird. Weiterhin ist in 1 der erste Sekundärelektronenerfasser 16 innerhalb der Probenkammer 13 angeordnet. Stattdessen kann der erste Sekundärelektronenerfasser 16 innerhalb der Elektronenstrahlsäule 12 vorgesehen sein.
Der zweite Sekundärelektronenerfasser 17 ist einer der drei Erfasser, die im Teilchenmikroskop 10 enthalten sind. Der zweite Sekundärelektronenerfasser 17 befindet sich an einer anderen Position als der erste Sekundärelektronenerfasser 16 und ist so konfiguriert, dass er Sekundärelektronen erfasst, die von der Probe S erzeugt werden, wenn die Probe S mit dem fokussierten Ionenstrahl B1 bestrahlt wird. Bei den Sekundärelektronen handelt es sich z.B. um Streuelektronen, die in den von der Probe S erzeugten Elektronen enthalten sind, die vom fokussierten Ionenstrahl B1 gestreut werden. Darüber hinaus ist der zweite Sekundärelektronenerfasser 17 so konfiguriert, dass er Sekundärelektronen erfasst, die von der Probe S erzeugt werden, wenn die Probe S mit dem Elektronenstrahl B2 bestrahlt wird. Bei den Sekundärelektronen handelt es sich z.B. um Streuelektronen, die in den von der Probe S erzeugten Elektronen enthalten sind, die vom Elektronenstrahl B2 gestreut werden. Der zweite Sekundärelektronenerfasser 17 ist so konfiguriert, dass er ein Signal, das Informationen über die erfassten Sekundärelektronen enthält, an den Steuerung 30 ausgibt. Diese Information gibt die Anzahl der Sekundärelektronen an.
Der zweite Sekundärelektronenerfasser 17 ist ein Beispiel für die erste Erfassungseinheit und ist auch ein Beispiel für die zweite Erfassungseinheit. Wenn der zweite Sekundärelektronenerfasser 17 ein Beispiel für die erste Erfassungseinheit ist, sind die vom zweiten Sekundärelektronenerfasser 17 erfassten Sekundärelektronen ein Beispiel für die ersten Teilchen. In diesem Fall ist das Signal, das vom zweiten Sekundärelektronenerfasser 17 ausgegeben wird, ein Beispiel für das Signal, das durch die Erfassung der ersten Teilchen erhalten wird, die von der ersten Erfassungseinheit durchgeführt wird. Wenn außerdem der zweite Sekundärelektronenerfasser 17 ein Beispiel für die zweite Erfassungseinheit ist, sind die Sekundärelektronen ein Beispiel für die zweiten Teilchen. In diesem Fall, ist das von dem zweiten Sekundärelektronenerfasser 17 ausgegebene Signal ein Beispiel für das Signal, das durch die Erfassung der zweiten Teilchen erhalten wird, die von der zweiten Erfassungseinheit durchgeführt wird.
Der Rückstreuerfasser 18 ist einer der drei Erfasser, die im Teilchenmikroskop 10 enthalten sind. Wenn der fokussierte Ionenstrahl B1 auf die Probe S gestrahlt wird, erfasst der Rückstreuerfasser 18 Sekundärelektronen, die von der Probe S rückwärts gestreut (d.h. reflektiert) werden. Die Sekundärelektronen sind z.B. in den von der Probe S erzeugten Elektronen enthaltene Streuelektronen, die vom fokussierten Ionenstrahl B1 rückwärts gestreut werden. Wenn der Elektronenstrahl B2 auf die Probe S gestrahlt wird, erfasst der Rückstreuerfasser 18 außerdem von der Probe S rückwärts gestreute Sekundärelektronen. Die Sekundärelektronen sind z.B. Streuelektronen, die in den von der Probe S erzeugten Elektronen enthalten sind, die vom Elektronenstrahl B2 rückwärts gestreut werden. Der Rückstreuerfasser 18 ist so konfiguriert, dass er ein Signal, das Informationen über die erfassten Sekundärelektronen enthält, an den Steuerung 30 ausgibt. Diese Information gibt die Anzahl der Sekundärelektronen an.
Der Rückstreuerfasser 18 ist ein Beispiel für die erste Erfassungseinheit und auch ein Beispiel für die zweite Erfassungseinheit. Wenn der Rückstreuerfasser 18 ein Beispiel für die erste Erfassungseinheit ist, sind die vom Rückstreuerfasser 18 erfassten Sekundärelektronen ein Beispiel für die ersten Teilchen. In diesem Fall, ist das vom Rückstreuerfasser 18 ausgegebene Signal ein Beispiel für das Signal, das durch die Erfassung der ersten Teilchen erhalten wird, die von der ersten Erfassungseinheit durchgeführt wird. Wenn außerdem der Rückstreuerfasser 18 ein Beispiel für die zweite Erfassungseinheit ist, sind die Sekundärelektronen ein Beispiel für die zweiten Teilchen. In diesem Fall, ist das vom Rückstreuerfasser 18 ausgegebene Signal ein Beispiel für das Signal, das durch die Erfassung der zweiten Teilchen erhalten wird, die von der zweiten Erfassungseinheit durchgeführt wird. Weiterhin ist im Beispiel von 1 der Rückstreuerfasser 18 innerhalb der Probenkammer 13 angeordnet. Stattdessen kann der Rückstreuerfasser 18 im Inneren der Elektronenstrahlsäule 12 vorgesehen werden.
Wie oben beschrieben, ist die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 ein Beispiel für eine Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung mit drei Erfassungseinheiten. In der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 mit der oben beschriebenen Konfiguration ist das Teilchenmikroskop 10 über ein Kabel mit dem Steuergerät 30 verbunden, so dass es mit diesem kommunizieren kann. Infolgedessen führt jede der im Teilchenmikroskop 10 enthaltenen Ionenstrahlsäule 11, Elektronenstrahlsäule 12, der Tisch 14, der erste Sekundärelektronenerfasser 16, der zweite Sekundärelektronenerfasser 17 und der Rückstreuungserfasser 18 eine Operation auf der Grundlage eines von der Steuerung 30 erhaltenen Steuersignals durch. Die kabelgebundene Kommunikation über das Kabel erfolgt auf der Grundlage eines Standards wie Ethernet (Marke) oder eines universellen seriellen Busses (USB). Darüber hinaus kann das Teilchenmikroskop 10 über eine drahtlose Kommunikation, die auf einem Kommunikationsstandard wie Wi-Fi (Marke) basiert, an die Steuerung 30 angeschlossen sein.
Das Teilchenmikroskop 10 könnte auch nur einen Teil des ersten Sekundärelektronenerfassers 16, des zweiten Sekundärelektronenerfassers 17 oder des Rückstreuungserfassers 18 enthalten, die oben beschrieben sind. Ferner kann das Teilchenmikroskop 10 einen weiteren Erfasser enthalten, der in der Lage ist, die aus der mit dem Teilchenstrahl bestrahlten Probe S erzeugten Teilchen anstelle eines Teils oder der Gesamtheit des ersten Sekundärelektronenerfassers 16, des zweiten Sekundärelektronenerfassers 17 und des Rückstreuungserfassers 18 oder zusätzlich zu der Gesamtheit des ersten Sekundärelektronenerfassers 16, des zweiten Sekundärelektronenerfassers 17 und des Rückstreuungserfassers 18 nachzuweisen.
Der Einfachheit der Beschreibung halber werden die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 und die Elektronenstrahlsäule 12 im Folgenden zusammenfassend als „Strahlsäulen“ bezeichnet, es sei denn, es ist erforderlich, die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 und die Elektronenstrahlsäule 12 voneinander zu unterscheiden. Ferner werden der Einfachheit der Beschreibung halber der fokussierte Ionenstrahl B1 und der Elektronenstrahl B2 im Folgenden gemeinsam als „Teilchenstrahlen“ bezeichnet, es sei denn, der fokussierte Ionenstrahl B1 und der Elektronenstrahl B2 müssen voneinander unterschieden werden. Ferner werden der Einfachheit der Beschreibung halber, sofern nicht der erste Sekundärelektronenerfasser 16, der zweite Sekundärelektronenerfasser 17 und der Rückstreuerfasser 18 voneinander unterschieden werden müssen, der erste Sekundärelektronenerfasser 16, der zweite Sekundärelektronenerfasser 17 und der Rückstreuerfasser 18 im folgenden gemeinsam als „Erfasser“ bezeichnet.
Die Steuerung 30 ist z.B. ein informationsverarbeitendes Gerät wie ein Desktop-Personalcomputer (PC), ein Laptop-PC oder eine Arbeitsstation. Die Steuerung 30 kann ein anderes informationsverarbeitendes Gerät sein, wie z.B. ein Tablet-PC, ein multifunktionales Mobiltelefon (Smartphone), ein Personal Data Assistance (PDA) anstelle der oben beschriebenen informationsverarbeitenden Geräte.
Die Steuerung 30 ist für die Steuerung des Teilchenmikroskops 10 konfiguriert. Genauer gesagt steuert die Steuerung 30 das Teilchenmikroskop 10 auf der Grundlage einer empfangenen Beobachtungsbedingung, um einen Beobachtungsbereich, der der Beobachtungsbedingung entspricht und der im Bestrahlungsbereich enthalten ist, mit dem Teilchenstrahl zu bestrahlen. Dann steuert das Steuergerät 30 den Erfasser, um die aus der Probe S, die mit dem Teilchenstrahl bestrahlt wird, in dem Beobachtungsbereich erzeugten Teilchen zu detektieren. Dann erstellt die Steuerung 30 ein Beobachtungsbild des Beobachtungsbereichs auf der Grundlage des Signals, das Informationen enthält, die die vom Erfasser erfassten Teilchen anzeigen. Die Steuerung 30 gibt das gebildete Beobachtungsbild an die Anzeigevorrichtung 35 aus, so dass das Beobachtungsbild auf der Anzeigevorrichtung 35 angezeigt wird.
In dem oben beschriebenen Fall, als Beispiel, ist die Beobachtungsbedingung eine Information, die ein Stück Beobachtungsbereichsinformation enthält, die einen Beobachtungsbereich (gewünschte Beobachtungsregion) angibt, der von einem Benutzer beobachtet werden soll, und ein Stück Strahlsäuleninformation, die eine Strahlsäule (gewünschte Strahlsäule) angibt, die vom Benutzer verwendet werden soll. In diesem Fall ist der Beobachtungsbereich, der eine gegebene Beobachtungsbedingung erfüllt, ein Beobachtungsbereich, der durch die in der Beobachtungsbedingung enthaltene Beobachtungsbereichsinformation angezeigt wird. Ferner ist in diesem Fall die Strahlsäule, die eine gegebene Beobachtungsbedingung erfüllt, eine Strahlsäule, die durch die in der Beobachtungsbedingung enthaltene Strahlsäuleninformation angegeben wird. Der Beobachtungsbereich kann sowohl aus einem Teil des Bestrahlungsbereichs als auch aus dem gesamten Bestrahlungsbereich bestehen. Wenn die Steuerung 30 das Teilchenmikroskop 10 auf der Grundlage einer gegebenen Beobachtungsbedingung steuert, steuert die Steuerung 30 die Strahlsäule, die die Beobachtungsbedingung erfüllt, um den Beobachtungsbereich, der die Beobachtungsbedingung erfüllt, mit dem Teilchenstrahl zu bestrahlen. Die Beobachtungsbedingung kann eine Vielzahl von Informationen über den Beobachtungsbereich und eine Vielzahl von Informationen über die Strahlsäule enthalten.
In dem unten beschriebenen Fall, als Beispiel, ist die Beobachtungsbedingung eine Information, die z.B. die Beobachtungsbereichsinformation, die den gewünschten Beobachtungsbereich angibt, der vom Benutzer beobachtet werden soll und der im Bestrahlungsbereich enthalten ist, die Strahlsäuleninformation, die die gewünschte Strahlsäule angibt, die vom Benutzer verwendet werden soll, die Erfassungsinformation, die einen gewünschten Erfasser angibt, der vom Benutzer verwendet werden soll, die Bestrahlungsparameterinformation, die die Bestrahlungsparameter angibt, die für die durch die Strahlsäuleninformation angegebene Strahlsäule eingestellt sind, und die Erfassungsparameterinformation, die die Erfassungsparameter angibt, die für den durch die Erfassungsinformation angegebenen Erfasser eingestellt sind, enthält. Ein Teil oder die gesamte Information der Strahlsäule, die Erfassungsinformation, die Bestrahlungsparameterinformation und die Erfassungsparameterinformation müssen nicht in der Beobachtungsbedingung enthalten sein. Selbst in diesem Fall empfängt die Steuerung 30 eine oder mehrere Arten von Informationen der oben genannten vier Arten von Informationen, die nicht in der Beobachtungsbedingung enthalten sind, getrennt von der Beobachtungsbedingung.
Außerdem kann die Beobachtungsbedingung mehrere Erfasser (gewünschte Erfasser) enthalten, wenn der Benutzer mehrere Erfassungsinformationen wünscht. In diesem Fall enthält die Beobachtungsbedingung Teile von Erfassungsparameterinformationen, die mit der jeweiligen Vielzahl von Erfassern verknüpft sind. Wenn z.B. die Erfassungsinformation D1, die den ersten Sekundärelektronenerfasser 16 anzeigt, und die Erfassungsinformation D2, die den zweiten Sekundärelektronenerfasser 17 anzeigt, in der Beobachtungsbedingung enthalten sind, ist die Erfassungsparameterinformation, die die für den ersten Sekundärelektronenerfasser 16 eingestellten Erfassungsparameter anzeigt und durch die Erfassungsinformation D1 angezeigt wird, in der Beobachtungsbedingung als Erfassungsparameterinformation D3 enthalten, die der Erfassungsinformation D1 zugeordnet ist. Gleichzeitig ist die Erfassungsparameterinformation, die die für den zweiten Sekundärelektronenerfasser 17 eingestellten Erfassungsparameter angibt und durch die Erfassungsinformation D2 angezeigt wird, in der Beobachtungsbedingung als Erfassungsparameterinformation D4 enthalten, die der Erfassungsinformation D2 zugeordnet ist.
In diesem Fall umfassen die Bestrahlungsparameter, die für die durch die Strahlsäuleninformation angegebene Strahlsäule eingestellt werden, z.B. einen Aligner, eine Strahlverschiebung, einen OL-Wert, einen Stigmawert, eine Beschleunigungsspannung, einen Strahlstrom, einen Linsenmodus, eine Art Halter, ein Material der Probe S und die oben beschriebene Position des Tisches 14. In diesem Fall ist der Strahlstrom ein Strahlstrom des Teilchenstrahls, der von der Strahlsäule abgestrahlt werden soll. Weiterhin ist der Linsenmodus ein Wert, der eine Betriebsart einer Objektivlinse angibt, die in der elektrostatischen Linse (oder der Magnetfeldlinse) in der Strahlsäule enthalten ist. Ferner ist die Art des Halters ein Wert, der die Art des Halters angibt, der so konfiguriert ist, dass er die Probe S hält, wenn die Probe S in diesem Beispiel auf die obere Fläche des Tischs 14 gelegt wird. Die Bestrahlungsparameter können z.B. einen anderen Einstellwert anstelle eines Teils oder aller der oben beschriebenen Einstellwerte oder zusätzlich zu allen oben beschriebenen Einstellwerten enthalten.
Zu den Erfassungsparametern, die für den durch die Erfassungsinformation angezeigten Erfasser eingestellt werden, gehören z.B. ein Kontrast- und ein Helligkeitswert. Der Kontrastwert und der Helligkeitswert sind jedoch Erfassungsparameter, bevor eine Helligkeitseinstellung für den Erfasser vorgenommen wird. Somit unterscheiden sich die für den Erfasser nach Abschluss der Helligkeitseinstellung des Erfassers eingestellten Erfassungsparameter von den in der Beobachtungsbedingung enthaltenen Erfassungsparametern, außer in einem Fall, in dem die Erfassungsparameter zufällig übereinstimmen. Die für den durch die Erfassungsinformation angezeigten Erfasser eingestellten Erfassungsparameter können z.B. einen anderen Einstellwert anstelle eines oder beider Kontrast- und Helligkeitswerte oder zusätzlich sowohl zum Kontrast- als auch zum Helligkeitswert enthalten.
Der Steuerung 30 empfängt eine oder mehrere Beobachtungsbedingungen und empfängt für jede der empfangenen Beobachtungsbedingungen, basierend auf der entsprechenden Beobachtungsbedingung, Zeitinformationen, die den Zeitpunkt für die Ausstrahlung des Teilchenstrahls angeben. Auf diese Weise kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 z.B. Arbeiten durchführen, die einen komplizierten Beobachtungsschritt beinhalten, bei dem die Abstrahlung des Teilchenstrahls und die Bildung des Beobachtungsbildes auf der Grundlage jeder einer Vielzahl von Beobachtungsbedingungen kombiniert werden. Bei dem komplizierten Beobachtungsschritt handelt es sich um einen Beobachtungsschritt mit drei Schritten, die so lange zu wiederholen sind, bis eine vorgegebene Endbedingung erfüllt ist. Die drei Schritte entsprechen z.B. einem Schritt der Spezifizierung des gewünschten Beobachtungsbereichs aus dem Bestrahlungsbereich, in dem die Probe S angeordnet ist, einem Schritt des Ätzens des spezifizierten Beobachtungsbereichs und einem Schritt der Bildung des Beobachtungsbildes des geätzten Beobachtungsbereichs. Die Zeitinformation kann in der Beobachtungsbedingung enthalten sein.
Wenn der Steuerung 30 die Strahlsäule so steuert, dass der Teilchenstrahl auf der Grundlage der empfangenen Beobachtungsbedingung abgestrahlt wird (insbesondere, wenn das Beobachtungsbild des Beobachtungsbereichs, der durch die in der Beobachtungsbedingung enthaltenen Beobachtungsbereichsinformationen angezeigt wird, von einer Bilderzeugungseinheit 362 erzeugt wird), führt die Steuerung 30 die Steuerung zur Abstrahlung des Teilchenstrahls durch, erfasst das als Ergebnis der Abstrahlung des Teilchenstrahls erzeugte Beobachtungsbild und berechnet die Helligkeit eines gewünschten Einstellzielbereichs des erfassten Beobachtungsbildes. Wenn sich die berechnete Helligkeit von einer gewünschten Zielhelligkeit unterscheidet, wird für jeden der Erfasser, die durch eine oder mehrere in der Beobachtungsbedingung enthaltene Erfassungsinformation angezeigt, eine Helligkeitseinstellung durchgeführt, um die Helligkeit näher an die Zielhelligkeit auf der Basis der Zielhelligkeit zu bringen. In mindestens einer Ausführungsform entspricht die Helligkeitseinstellung eines gegebenen Erfasser einer Einstellung eines mit der Helligkeitseinstellung des Erfassers verbundenen Spannungswertes, z.B. der Einstellung des Kontrastwertes und des Helligkeitswertes des Erfassers. Die Steuerung 30 führt die oben beschriebene Helligkeitseinstellung für jeden der Erfasser durch, die durch die eine oder mehrere in der Beobachtungsbedingung enthaltenen Erfassungsinformationen angezeigt werden. Auf diese Weise empfängt die Steuerung 30 im Voraus Einstellzielbereichsinformationen, die den Einstellzielbereich des Beobachtungsbildes angeben. Ferner führt die Steuerung 30 die oben beschriebene Helligkeitseinstellung für jeden der Erfasser durch, die durch die eine oder mehrere in der Beobachtungsbedingung enthaltene Erfassungsinformation angezeigt werden. Auf diese Weise empfängt die Steuerung 30 im Voraus Zielhelligkeitsinformationen, die die Zielhelligkeit angeben, die in Übereinstimmung mit dem Einstellzielbereich des Beobachtungsbildes bestimmt wurde. Dann speichert der Steuerung 30 die empfangene Zielhelligkeitsinformation in einem flüchtigen Speicherbereich einer Speichereinheit 32 oder in einem nichtflüchtigen Speicherbereich der Speichereinheit 32. Der Einstellzielbereich kann ein beliebiger Teil des Beobachtungsbildes oder das gesamte Beobachtungsbild sein. In dem unten beschriebenen Fall ist der Einstellzielbereich beispielsweise das gesamte Beobachtungsbild. In diesem Fall kann die Steuerung 30 so konfiguriert werden, dass sie für jeden der Erfasser, die durch die eine oder mehrere in der Beobachtungsbedingung enthaltene Erfassungsinformation angezeigt werden, einen anderen Teil der Zielhelligkeitsinformation empfängt, oder sie kann so konfiguriert werden, dass sie für alle Erfasser, die durch die eine oder mehrere in der Beobachtungsbedingung enthaltene Erfassungsinformation angezeigt werden, eine gemeinsame Zielhelligkeitsinformation empfängt. In dem unten beschriebenen Fall, als Beispiel, empfängt die Steuerung 30 die gemeinsame Zielhelligkeitsinformation für alle Erfasser, die durch die eine oder mehrere in der Beobachtungsbedingung enthaltene Erfassungsinformation angezeigt wird. Durch die oben erwähnte Helligkeitseinstellung des Erfassers kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 leicht Beobachtungsbilder einer Vielzahl von Beobachtungsbereichen als Beobachtungsbilder mit jeweils einer für die Beobachtung geeigneten Helligkeit erzeugen. Eine oder beide der Einstell-Zielbereichsinformationen und der Ziel-Helligkeitsinformationen können in der oben beschriebenen Beobachtungsbedingung enthalten sein. Außerdem kann die Information über den Einstellzielbereich von der Steuerung 30 als Information in Verbindung mit anderen Informationen (z.B. der Information über den Beobachtungsbereich) empfangen werden. Darüber hinaus kann die Zielhelligkeitsinformation von der Steuerung 30 als Information in Verbindung mit anderen Informationen (z.B. die Beobachtungsbereichsinformation) empfangen werden.
Der Steuerung 30 kann weitere Verarbeitungsschritte durchführen, z.B. die Herstellung eines Abscheidefilms, der so konfiguriert ist, dass er eine Oberfläche der Probe S auf der Oberfläche der Probe S unter Verwendung des Teilchenmikroskops 10 schützt. Die Beschreibung von Details anderer Verarbeitungen, wie die oben beschriebene, entfällt jedoch in der mindestens einen Ausführungsform.
Die Anzeigevorrichtung 35 ist zum Beispiel eine Anzeige mit einem Flüssigkristall-Anzeigefeld oder einem Elektrolumineszenz-Anzeigefeld (EL). Die Anzeigevorrichtung 35 ist so konfiguriert, dass sie verschiedene Arten von Bildern anzeigt, die von der Steuerung 30 erfasst werden. Die Anzeigevorrichtung 35 ist ein Beispiel für eine Anzeigeeinheit.
<Hardware-Konfiguration der Steuerung>
Unter Bezugnahme auf 2 wird nun eine Hardware-Konfiguration der Steuerung 30 beschrieben. 2 ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines Beispiels für die Hardwarekonfiguration der Steuerung 30.
Die Steuerung 30 umfasst z.B. eine Zentraleinheit (CPU) 31, die Speichereinheit 32, eine Eingabeempfangseinheit 33 und eine Kommunikationseinheit 34. Die oben genannten Komponenten sind über Busse miteinander verbunden, so dass sie gegenseitig miteinander kommunizieren können. Ferner kommuniziert die Steuerung 30 über die Kommunikationseinheit 34 mit dem Teilchenmikroskop 10 und der Anzeigevorrichtung 35.
Die CPU 31 ist so konfiguriert, dass sie verschiedene Arten von Programmen ausführt, die in der Speichereinheit 32 gespeichert sind.
Die Speichereinheit 32 umfasst beispielsweise ein Festplattenlaufwerk (HDD), ein Solid-State-Laufwerk (SSD), einen elektrisch löschbaren, programmierbaren Festwertspeicher (EEPROM), einen Festwertspeicher (ROM) und einen Direktzugriffsspeicher (RAM). Im Einzelnen umfasst die Speichereinheit 32 eine Speichervorrichtung mit einem flüchtigen Speicherbereich und eine Speichervorrichtung mit einem nichtflüchtigen Speicherbereich. Bei der Speichereinheit 32 kann es sich anstelle des in der Steuerung 30 eingebauten Speichergeräts um ein externes Speichergerät handeln, das über einen digitalen Ein-/Ausgabeport, z.B. einen USB-Port, angeschlossen ist. Die Speichereinheit 32 ist so konfiguriert, dass sie z.B. verschiedene Arten von Informationen, verschiedene Arten von Bildern und verschiedene Arten von Programmen speichert, die von der Steuerung 30 verarbeitet werden sollen.
Die Eingabeempfangseinheit 33 ist z.B. ein Eingabegerät wie eine Tastatur, eine Maus oder ein Touchpad. Wenn die Steuerung 30 integral mit dem Anzeigegerät 35 konfiguriert ist, kann die Eingabeempfangseinheit 33 ein anderes Eingabegerät sein, z.B. ein Berührungsfeld, das integral mit einem in die Anzeigevorrichtung 35 integrierten Anzeigeabschnitt konfiguriert ist.
Die Kommunikationseinheit 34 verfügt z.B. über einen digitalen Ein-/Ausgabeanschluss wie einen USB- oder einen Ethernet-Anschluss (Marke).
< Funktionale Konfiguration der Steuerung>
Unter Bezugnahme auf 3 wird nun eine funktionelle Konfiguration der Steuerung 30 beschrieben. 3 ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines Beispiels für die funktionelle Konfiguration der Steuerung 30.
Die Steuerung 30 umfasst die Speichereinheit 32, die Eingabeempfangseinheit 33 und eine Steuereinheit 36.
Die Steuereinheit 36 ist so konfiguriert, dass sie die gesamten Steuerung 30 steuert. Die Steuereinheit 36 umfasst eine Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361, die Bilderzeugungseinheit 362 und eine Anzeigesteuereinheit 363. Die oben genannten Funktionseinheiten, die in der Steuereinheit 36 enthalten sind, werden z.B. dadurch erreicht, dass die CPU 31 die verschiedenen Arten von Programmen ausführt, die in der Speichereinheit 32 gespeichert sind. Ferner kann es sich bei den oben genannten Funktionseinheiten ganz oder teilweise um Hardware-Funktionseinheiten handeln, wie z.B. eine LSI-Schaltung (Large-Scale Integration) oder eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung (ASIC).
Die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 ist so konfiguriert, dass sie das gesamte Teilchenmikroskop 10 steuert. Die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 steuert z.B. das Teilchenmikroskop 10 auf der Grundlage der empfangenen Beobachtungsbedingung, um die Probe S zu ätzen. Ferner steuert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 z.B. das Teilchenmikroskop 10 auf der Grundlage der empfangenen Beobachtungsbedingung, um den Teilchenstrahl in den Beobachtungsbereich abzustrahlen, der der Beobachtungsbedingung entspricht und der im Bestrahlungsbereich enthalten ist. Die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 ist ein Beispiel für die Steuereinheit.
Die Bilderzeugungseinheit 362 ist so konfiguriert, dass sie das Beobachtungsbild auf der Grundlage des von jedem der im Teilchenmikroskop 10 enthaltenen Erfasser erfassten Signals erzeugt.
Die Anzeigesteuereinheit 363 ist so konfiguriert, dass sie verschiedene Arten von Bildschirmen erstellt, die auf der Anzeigevorrichtung 35 angezeigt werden. Die Anzeigesteuereinheit 363 ist so konfiguriert, dass sie den erstellten Bildschirm auf dar Anzeigevorrichtung 35 ausgibt, um den erstellten Bildschirm auf der Anzeigevorrichtung 35 anzuzeigen.
<Verarbeitung der Durchführung der Helligkeitseinstellung des Erfassers durch eine Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung>
Nun wird unter Bezugnahme auf 4 die Verarbeitung der Durchführung der Helligkeitseinstellung des Erfassers, die von der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 durchgeführt wird, beschrieben, wobei als Beispiel die Verarbeitung der Ätzung der Probe S in einem gegebenen Beobachtungsbereich R1 (nicht gezeigt) und die Bildung eines Beobachtungsbildes des Beobachtungsbereichs R1, die von der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 durchgeführt wird, genommen wird. 4 ist ein Flussdiagramm zur Veranschaulichung eines Beispiels für einen Fluss der Verarbeitung des Ätzens der Probe S in dem Beobachtungsbereich R1 und der Bildung des Beobachtungsbildes des Beobachtungsbereichs R1, die durch die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 durchgeführt wird. Der Beobachtungsbereich R1 ist in dem Bestrahlungsbereich enthalten und umfasst einen Teil der Probe S, die ein zu beobachtendes Ziel ist.
Bei der im Flussdiagramm von 4 dargestellten Verarbeitung führt die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 wiederholt die Ätzung der Probe S im Beobachtungsbereich R1, die Bildung des Beobachtungsbildes des Beobachtungsbereiches R1 und die Korrektur einer Position des Beobachtungsbereiches R1 durch Driftkorrektur der Reihe nach durch. Als Beispiel wird nachfolgend ein Fall beschrieben, in dem die Steuerung 30 drei Beobachtungsbedingungen erhält, nämlich eine erste Beobachtungsbedingung, eine zweite Beobachtungsbedingung und eine dritte Beobachtungsbedingung, und zwar zu einem Zeitpunkt vor Beginn der Verarbeitung des in 4 dargestellten Schrittes S110.
Die erste Beobachtungsbedingung ist eine Beobachtungsbedingung im Zusammenhang mit der Ätzung der Probe S in dem Beobachtungsbereich R1. In diesem Beispiel ist die erste Beobachtungsbedingung eine Information, die Informationen über den ersten Beobachtungsbereich, die erste Strahlsäuleninformation, die erste Erfassungsinformation, die erste Bestrahlungsparameterinformation und die erste Erfassungsparameterinformation enthält. Die erste Beobachtungsbereichsinformation gibt den Beobachtungsbereich R1 an. Die erste Strahlsäuleninformation gibt die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 an. Die erste Erfassungsinformation gibt den ersten Sekundärelektronenerfasser 16 an. Die erste Information zu den Bestrahlungsparametern gibt die Bestrahlungsparameter an, die für die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 eingestellt wurden. Die erste Erfassungsparameter-Information gibt die für den ersten Sekundärelektronenerfasser 16 eingestellten Erfassungsparameter an, wenn das Ätzen durchgeführt wird. Das heißt, die erste Beobachtungsbedingung ist eine Beobachtungsbedingung, die es dem Teilchenmikroskop 10 erlaubt, die Probe S in dem Beobachtungsbereich R1 unter Verwendung des fokussierten Ionenstrahls B1 zu ätzen.
Die zweite Beobachtungsbedingung ist eine Beobachtungsbedingung, die mit der Bildung des Beobachtungsbildes des Beobachtungsbereichs R1 verbunden ist. In diesem Beispiel ist die zweite Beobachtungsbedingung eine Information, die die Information des ersten Beobachtungsbereichs, die Information der zweiten Strahlsäule, die Information des ersten Erfassers, die Information des zweiten Bestrahlungsparameters und die Information des zweiten Erfassungsparameters enthält. Die zweite Strahlsäuleninformation gibt die Elektronenstrahlsäule 12 an. Die zweite Bestrahlungsparameterinformation gibt die Bestrahlungsparameter an, die für die Elektronenstrahlsäule 12 eingestellt wurden, wenn das Beobachtungsbild erzeugt wird. Die zweite Erfassungsparameter-Information gibt die Erfassungsparameter an, die für den ersten Sekundärelektronenerfasser 16 bei der Erzeugung des Beobachtungsbildes eingestellt wurden. Das heißt, die zweite Beobachtungsbedingung ist eine Beobachtungsbedingung, die es dem Teilchenmikroskop 10 ermöglicht, den Elektronenstrahl B2 in den Beobachtungsbereich R1 zu strahlen und die Sekundärelektronen, die von der Probe S im Beobachtungsbereich R1, der mit dem Elektronenstrahl B2 bestrahlt wird, erzeugt werden, durch den ersten Sekundärelektronenerfasser 16 zu detektieren.
Die dritte Beobachtungsbedingung ist eine Beobachtungsbedingung, die mit der Korrektur der Position des Beobachtungsbereichs R1 durch die Driftkorrektur verbunden ist. In diesem Beispiel ist die dritte Beobachtungsbedingung eine Information, die Informationen über den zweiten Beobachtungsbereich, die zweite Strahlsäuleninformation, die erste Erfassungsinformation, die dritte Bestrahlungsparameterinformation und die dritte Erfassungsparameterinformation enthält. Die zweite Beobachtungsbereichsinformation weist auf einen Beobachtungsbereich R2 hin. Die dritte Bestrahlungsparameterinformation gibt die Bestrahlungsparameter an, die für die Elektronenstrahlsäule 12 eingestellt sind, wenn die Driftkorrektur durchgeführt wird. Die dritte Erfassungsparameterinformation gibt die Erfassungsparameter an, die für den zweiten Sekundärelektronenerfasser 17 eingestellt sind, wenn die Driftkorrektur durchgeführt wird. Das heißt, die dritte Beobachtungsbedingung ist eine Beobachtungsbedingung, die es dem Teilchenmikroskop 10 erlaubt, den Elektronenstrahl B2 in den Beobachtungsbereich R2 zu strahlen und die Sekundärelektronen, die von der Probe S im Beobachtungsbereich R2, der mit dem Elektronenstrahl B2 bestrahlt wird, erzeugt werden, durch den zweiten Sekundärelektronenerfasser 17 zu erfassen. Der Beobachtungsbereich R2 ist in dem Bestrahlungsbereich enthalten und enthält eine Markierung, die als Referenz in der Driftkorrektur zur Korrektur der Position des Beobachtungsbereichs R1 dient.
In diesem Fall kann der Beobachtungsbereich R2 teilweise mit dem Beobachtungsbereich R1 überlappen, und es ist nicht erforderlich, dass der Beobachtungsbereich R1 perfekt mit dem Beobachtungsbereich R1 überlappt. Wenn sich beispielsweise der Erfasser, der durch die in der zweiten Beobachtungsbedingung enthaltene Erfassungsinformation angezeigt wird, und der Erfasser, der durch die in der dritten Beobachtungsbedingung enthaltene Erfassungsinformation angezeigt wird, voneinander unterscheiden, kann der Beobachtungsbereich R2 vollständig mit dem Beobachtungsbereich R1 überlappen. Die Driftkorrektur ist eine bekannte Technologie, und daher wird auf eine detaillierte Beschreibung derselben verzichtet.
Ferner hat im unten beschriebenen Fall, als Beispiel, die Steuerung 30 bereits die Position des Beobachtungsbereichs R1 zum oben beschriebenen Zeitpunkt festgelegt.
Ferner erhält in dem unten beschriebenen Fall, als Beispiel, die Steuerung 30 eine erste Zielhelligkeitsinformation, die die erste Zielhelligkeit angibt, und eine zweite Zielhelligkeitsinformation, die die zweite Zielhelligkeit angibt, zum Zeitpunkt vor Beginn der Verarbeitung von Schritt S110 von 4.
Die erste Zielhelligkeit ist eine Zielhelligkeit für eine Helligkeit des Beobachtungsbildes, die als erstes Beobachtungsbild von der Bilderzeugungseinheit 362 auf der Grundlage des Signals gebildet wird, das durch die Erfassung der aus dem Beobachtungsbereich R1 erzeugten Teilchen erhalten wird, die vom ersten Sekundärelektronenerfasser 16 durchgeführt wird. Mit anderen Worten, die erste Zielhelligkeit ist eine Zielhelligkeit, die auf der Grundlage des ersten Beobachtungsbildes als eine für die Beobachtung des Beobachtungsbereichs R1 geeignete Helligkeit bestimmt wird.
Die zweite Zielhelligkeit ist eine Zielhelligkeit für eine Helligkeit des Beobachtungsbildes, die als zweites Beobachtungsbild durch die Bilderzeugungseinheit 362 auf der Grundlage des Signals gebildet werden soll, das durch die Erfassung der aus dem Beobachtungsbereich R2 erzeugten Teilchen erhalten wird, die durch den ersten Sekundärelektronenerfasser 16 durchgeführt wird. Mit anderen Worten, die zweite Zielhelligkeit ist eine Zielhelligkeit, die auf der Grundlage des zweiten Beobachtungsbildes als eine für die Beobachtung des Beobachtungsbereichs R2 geeignete Helligkeit bestimmt wird. Die zweite Zielhelligkeit unterscheidet sich von der ersten Zielhelligkeit, außer in einem Fall, in dem die erste Zielhelligkeit und die zweite Zielhelligkeit zufällig übereinstimmen. Das heißt, selbst wenn die Steuerung 30 Informationen empfängt, die die gleiche Helligkeit wie die erste Zielhelligkeit als zweite Zielhelligkeit anzeigen, gibt es als Vorrichtung kein Problem.
In dem in 4 dargestellten Schritt S110 erzeugt und speichert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 in der Speichereinheit 32 eine Variable zur Speicherung einer Ätzzahl, die der Anzahl der in Schritt S120 durchgeführten Ätzungen entspricht, wie unten beschrieben. Dann initialisiert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die erzeugte und in der Speichereinheit 32 gespeicherte Variable auf null (Schritt S110). Das heißt, die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 initialisiert die Ätzanzahl auf null. Die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 kann so konfiguriert werden, dass sie die Variable auf einen anderen von Null verschiedenen numerischen Wert initialisiert. Ferner kann die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 so konfiguriert werden, dass sie eine Variable erzeugt und in der Speichereinheit 32 speichert, um beispielsweise eine Zeichenkette oder ein Symbol, das die Ätzzahl darstellt, als die oben genannte Variable zu speichern.
Als Nächstes steuert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die fokussierten Ionenstrahlsäule 11 auf der Grundlage der ersten Beobachtungsbedingung, die im Voraus empfangen wurde, um einen im Beobachtungsbereich R1 enthaltenen Teil einer Oberfläche der Probe S zu ätzen, die so angeordnet ist, dass sie sich im Bestrahlungsbereich befindet (Schritt S120). Dann inkrementiert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 den als Variable zur Speicherung der Ätzzahl gespeicherten Wert, der in der Speichereinheit 32 gespeichert ist, um eins. Eine Methode zum Ätzen der Oberfläche der Probe S in Schritt S120 kann eine bekannte Methode oder eine in der Zukunft entwickelte Methode sein. Daher entfällt die Beschreibung von Details der Methode zum Ätzen der Oberfläche in Schritt S120.
Als Nächstes steuert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 das Teilchenmikroskop 10 auf der Grundlage der im Voraus empfangenen zweiten Einstellzielbereichsinformation und der im Voraus empfangenen zweiten Zielhelligkeitsinformation, um die Helligkeitseinstellung des zweiten Sekundärelektronenerfassers 17 als zweite Helligkeitseinstellung (Schritt S130) durchzuführen. Durch die zweite Helligkeitseinstellung bringt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 eine Helligkeit des zweiten Beobachtungsbildes näher an die zweite Zielhelligkeit. In diesem Beispiel ist ein zweiter Einstellzielbereich, der ein Einstellzielbereich des zweiten Beobachtungsbildes ist, der gesamte Bereich des zweiten Beobachtungsbildes. Somit ist der gesamte Bereich des zweiten Beobachtungsbildes ein Beispiel für den zweiten Bereich. In diesem Fall liest die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 beispielsweise die Informationen über den zweiten Einstellzielbereich und die zweite Zielhelligkeit aus, die in der Speichereinheit 32 gespeichert sind, und steuert das Teilchenmikroskop 10 auf der Grundlage der ausgelesenen Informationen über den zweiten Einstellzielbereich und die zweite Zielhelligkeit. Ferner führt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 wiederholt die zweite Helligkeitseinstellung durch, bis festgestellt wird, dass die Helligkeit des zweiten Einstellzielbereichs (in diesem Beispiel die Helligkeit des zweiten Beobachtungsbildes) mit der zweiten Zielhelligkeit übereinstimmt. Genauer gesagt, wenn z.B. eine Helligkeit des zweiten Einstellzielbereichs in einen Bereich von etwa ±5% der zweiten Zielhelligkeit fällt, bestimmt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361, dass die Helligkeit des zweiten Einstellzielbereichs mit der zweiten Zielhelligkeit übereinstimmt, und beendet die zweite Helligkeitseinstellung. Der oben erwähnte Fehlerbereich von etwa ±5% kann schmaler als etwa ±5% oder breiter als etwa ±5% sein. Außerdem kann die Methode zur Durchführung der Helligkeitseinstellung des zweiten Sekundärelektronenerfassers 17 eine bekannte oder eine in der Zukunft entwickelte Methode sein. Daher entfällt die Beschreibung von Details der Methode zur Durchführung der Helligkeitseinstellung des zweiten Sekundärelektronenerfassers 17.
Als Nächstes steuert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 das Teilchenmikroskop 10 auf der Grundlage der dritten Beobachtungsbedingung, die im Voraus empfangen wurde, um die Driftkorrektur durchzuführen (Schritt S140). Zu diesem Zeitpunkt steuert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die Elektronenstrahlsäule 12, um den Elektronenstrahl B2 in den Beobachtungsbereich R2 abzustrahlen, steuert die Bilderzeugungseinheit 362, um das Beobachtungsbild (in diesem Fall das REM-Bild) des Beobachtungsbereichs R2 zu erzeugen, und nimmt das Beobachtungsbild als zweites Beobachtungsbild von der Bilderzeugungseinheit 362 auf. Das zweite Beobachtungsbild ist ein Beobachtungsbild, das auf der Grundlage des Signals gebildet wird, das durch die Erfassung der Sekundärelektronen erhalten wird, die durch den zweiten Sekundärelektronenerfassers 17 durchgeführt wird, nachdem die Helligkeitseinstellung durch die Verarbeitung von Schritt S130 durchgeführt wurde. Somit stimmt die Helligkeit des oben beschriebenen Zielbereichs der zweiten Einstellung (in diesem Beispiel die Helligkeit des zweiten Beobachtungsbildes) mit der zweiten Zielhelligkeit überein. Mit anderen Worten, das zweite Beobachtungsbild ist ein Beobachtungsbild mit einer Helligkeit, die für die Beobachtung des Beobachtungsbereichs R2 geeignet ist. Die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 korrigiert die Position des Beobachtungsbereichs R1 auf der Grundlage des erfassten zweiten Beobachtungsbildes.
Als Nächstes steuert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 das Teilchenmikroskop 10 auf der Grundlage des ersten Einstellzielbereichs, der im Voraus empfangen wurde, und der ersten Zielhelligkeitsinformation, die im Voraus empfangen wurde, um die Helligkeitseinstellung des ersten Sekundärelektronenerfassers 16 als erste Helligkeitseinstellung (Schritt S150) durchzuführen. Durch die erste Helligkeitseinstellung bringt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 eine Helligkeit des ersten Beobachtungsbildes näher an die erste Zielhelligkeit. In diesem Beispiel ist ein Zielbereich der ersten Einstellung, der ein Einstellzielbereich des ersten Beobachtungsbildes ist, der gesamte Bereich des ersten Beobachtungsbildes. Somit ist der gesamte Bereich des ersten Beobachtungsbildes ein Beispiel für den ersten Bereich. In diesem Fall liest die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 beispielsweise die Informationen über den ersten Einstellzielbereich und die erste Zielhelligkeit aus, die in der Speichereinheit 32 gespeichert sind, und steuert das Teilchenmikroskop 10 auf der Grundlage der ausgelesenen Informationen über den ersten Einstellzielbereich und die erste Zielhelligkeit. Ferner führt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 wiederholt die erste Helligkeitseinstellung durch, bis festgestellt wird, dass die Helligkeit des ersten Einstellzielbereichs (in diesem Beispiel die Helligkeit des ersten Beobachtungsbildes) mit der ersten Zielhelligkeit übereinstimmt. Genauer gesagt, wenn z.B. eine Helligkeit des Zielbereichs für die erste Einstellung in einen Bereich von etwa ±5% der Helligkeit des ersten Zielbereichs fällt, bestimmt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361, dass die Helligkeit des Zielbereichs für die erste Einstellung mit der Helligkeit des ersten Zielbildes übereinstimmt, und beendet die erste Helligkeitseinstellung. Der oben erwähnte Fehlerbereich von etwa ±5% kann schmaler als etwa ±5% oder breiter als etwa ±5% sein. Außerdem kann die Methode zur Durchführung der Helligkeitseinstellung des ersten Sekundärelektronenerfassers 16 eine bekannte oder eine in der Zukunft entwickelte Methode sein. Die Beschreibung von Details der Methode zur Durchführung der Helligkeitseinstellung des ersten Sekundärelektronenerfassers 16 entfällt daher.
Als Nächstes steuert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die Elektronenstrahlsäule 12 auf der Grundlage der zweiten Beobachtungsbedingung, die im Voraus empfangen wurde, um den Elektronenstrahl B2 innerhalb des Beobachtungsbereichs R1 der Oberfläche der Probe S abzustrahlen, die so angeordnet ist, dass sie sich im Bestrahlungsbereich befindet. Die Bilderzeugungseinheit 362 bildet das Beobachtungsbild (in diesem Fall das REM-Bild) des Beobachtungsbereichs R1 auf der Grundlage des Signals, das durch die Erfassung der Sekundärelektronen erhalten wird, die von der Probe S im Beobachtungsbereich R1 infolge der Bestrahlung mit dem Elektronenstrahl B2 erzeugt werden, die durch den ersten Sekundärelektronenerfasser 16 durchgeführt wird. Die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 nimmt das von der Bilderzeugungseinheit 362 erzeugte Beobachtungsbild als erstes Beobachtungsbild auf (Schritt S160). Das erste Beobachtungsbild ist ein Beobachtungsbild, das auf der Grundlage des Signals gebildet wird, das durch die Erfassung der Sekundärelektronen, die durch den ersten Sekundärelektronenerfasser 16 durchgeführt wird, nach der Helligkeitseinstellung durch die Verarbeitung von Schritt S150 erhalten wird. Somit stimmt die Helligkeit des Zielbereichs der ersten Einstellung (in diesem Beispiel die Helligkeit des ersten Beobachtungsbildes) mit der ersten Zielhelligkeit überein. Mit anderen Worten, das erste Beobachtungsbild ist ein Beobachtungsbild mit einer Helligkeit, die für die Beobachtung des Beobachtungsbereichs R1 geeignet ist.
Als Nächstes bestimmt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361, ob die Ätzzahl, die in der in der Speichereinheit 32 gespeicherten Variable zur Speicherung der Ätzzahl gespeichert ist, gleich oder größer als ein vorbestimmter Wert ist oder nicht (Schritt S170). In diesem Fall ist der vorbestimmte Wert ein Wert, der auf der Grundlage einer vom Benutzer gewünschten Anzahl von Ätzungen bestimmt wird, die an der Probe S durchgeführt werden sollen. Der vorbestimmte Wert wird vom Benutzer im Voraus in die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 eingegeben.
Wenn die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 feststellt, dass die in der Speichereinheit 32 gespeicherte Ätzzahl gleich oder größer als der vorgegebene Wert ist (JA in Schritt S170), beendet die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die Verarbeitung.
In der Zwischenzeit, wenn die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 feststellt, dass die in der Speichereinheit 32 gespeicherte Ätzzahl kleiner ist als der vorgegebene Wert (NEIN in Schritt S170), kehrt die Verarbeitung zu Schritt S120 zurück. In Schritt S120 steuert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die fokussierten Ionenstrahlsäule 11 auf der Grundlage der Position des Beobachtungsbereichs R1, die durch die zuletzt durchgeführte Verarbeitung von Schritt S140 korrigiert wurde, und der ersten Beobachtungsbedingung, die im Voraus empfangen wurde, um wieder einen Teil der Oberfläche der Probe S, der im Beobachtungsbereich R1 enthalten ist, zu ätzen, der so angeordnet ist, dass er sich im Bestrahlungsbereich befindet.
Wie oben beschrieben, ist die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 so konfiguriert, dass sie das von der Bilderzeugungseinheit (im oben genannten Beispiel die Bilderzeugungseinheit 362) erzeugte Beobachtungsbild als erstes Beobachtungsbild erfasst, die Helligkeit des ersten Bereichs (im oben genannten Beispiel der erste Einstellzielbereich) im erfassten ersten Beobachtungsbild berechnet und die Helligkeitseinstellung der ersten Erfassungseinheit (im oben genannten Beispiel der erste Sekundärelektronenerfasser 16) auf der Grundlage der ersten Zielhelligkeit als erste Helligkeitseinstellung durchführt, wenn sich die Helligkeit des ersten Bereichs von der ersten Zielhelligkeit unterscheidet. Ferner ist die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 so konfiguriert, dass sie das von der Bilderzeugungseinheit 362 erzeugte Beobachtungsbild als zweites Beobachtungsbild erfasst, die Helligkeit des zweiten Bereichs (im oben genannten Beispiel der zweite Einstellzielbereich) im erfassten zweiten Beobachtungsbild berechnet und die Helligkeitseinstellung der zweiten Erfassungseinheit auf der Grundlage der zweiten Zielhelligkeit als zweite Helligkeitseinstellung durchführt, wenn sich die Helligkeit des zweiten Bereichs von der zweiten Zielhelligkeit unterscheidet. Mit dieser Konfiguration kann selbst dann, wenn die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 die Beobachtung unter Verwendung der Vielzahl von Erfassern durchführt, eine für die Helligkeitseinstellungen der Vielzahl von Erfassern erforderliche Zeitspanne verkürzt werden. Ferner kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 jedes der Beobachtungsbilder der Vielzahl von Beobachtungsbereichen als Beobachtungsbild mit der für die Beobachtung geeigneten Helligkeit erzeugen. Infolgedessen kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 leicht wiederholt das erste Beobachtungsbild mit der für die Beobachtung geeigneten Helligkeit aufnehmen, während die Driftkorrektur mit hoher Genauigkeit bei der Verarbeitung des Flussdiagramm von 4 durchgeführt wird.
Wenn die einen anderen Erfasser anzeigende Erfassungsinformation (z.B. die den zweiten Sekundärelektronenerfasser 17 anzeigende Erfassungsinformation) in der zweiten Beobachtungsbedingung zusammen mit der den ersten Sekundärelektronenerfasser 16 anzeigenden Erfassungsinformation enthalten ist, führt die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 die Helligkeitseinstellung des ersten Sekundärelektronenerfasser 16 als erste Helligkeitseinstellung und die Helligkeitseinstellung des anderen Erfassers als dritte Helligkeitseinstellung in Schritt S150 durch. Ferner führt die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 in diesem Fall die erste Helligkeitseinstellung und die dritte Helligkeitseinstellung parallel durch. Wenn die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 die dritte Helligkeitseinstellung zusammen mit der ersten Helligkeitseinstellung durchführt, führt die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 die erste Helligkeitseinstellung auf der Grundlage des ersten Einstellzielbereichs, der durch die erste Einstellzielbereichsinformation angezeigt wird, die im Voraus empfangen wurde, und der ersten Zielhelligkeit, die durch die erste Zielhelligkeitsinformation angezeigt wird, die im Voraus empfangen wurde, durch und führt die dritte Helligkeitseinstellung auf der Grundlage eines dritten Einstellzielbereichs, der durch dritte Einstellzielbereichsinformation angezeigt wird, die im Voraus empfangen wurde, und einer dritten Zielhelligkeit, die durch dritte Zielhelligkeitsinformation angezeigt wird, die im Voraus empfangen wurde, durch. Der dritte Einstellzielbereich ist ein Bereich, der als Ziel der Helligkeitseinstellung bei der dritten Helligkeitseinstellung dienen soll. Die dritte Zielhelligkeit unterscheidet sich von der ersten Zielhelligkeit, außer in einem Fall, in dem die dritte Zielhelligkeit und die erste Zielhelligkeit zufällig übereinstimmen. Wenn die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 zwei verschiedene Arten von Beobachtungsbildern (z.B. das REM-Bild und das BSE-Bild) parallel bei Verwendung von zwei Erfassern erzeugt, kann dadurch eine Zeitspanne verkürzt werden, die für die Helligkeitseinstellungen der beiden Erfasser erforderlich ist. In diesem Fall kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 so konfiguriert werden, dass sie die erste Helligkeitseinstellung und die dritte Helligkeitseinstellung in einer vorgegebenen Reihenfolge vornimmt. In diesem Fall ist der Schritt, in dem die Helligkeitseinstellungen der beiden Erfasser parallel durchgeführt werden, nicht auf Schritt S150 beschränkt, sondern kann auch Schritt S130 sein.
Wenn sich Erfassungsinformationen, die drei oder mehr Erfasser anzeigen, in einer Beobachtungsbedingung befinden, kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 so konfiguriert werden, dass die Helligkeitseinstellungen der drei oder mehr Erfasser parallel durchgeführt werden.
Ein Änderungsbetrag K1 in der Helligkeit eines Beobachtungsbildes, das auf der Grundlage eines Signals gebildet wird, das durch Erfassung von Teilchen erhalten wird, die durch einen Erfasser DT1 durchgeführt wird, erzeugt, wenn ein Spannungswert VI, der einer Helligkeitseinstellung des Erfassers DT1 zugeordnet ist, um einen vorbestimmten Wert geändert wird, und ein Änderungsbetrag K2 in der Helligkeit eines Beobachtungsbildes, das auf der Grundlage eines Signals gebildet wird, das durch Erfassung von Teilchen erhalten wird, die durch einen Erfasser DT2 durchgeführt wird, erzeugt, wenn ein Spannungswert V2, der einer Helligkeitseinstellung des Erfassers DT2 zugeordnet ist, um einen vorbestimmten Wert geändert wird, können in einigen Fällen voneinander verschieden sein. Wenn der Änderungsbetrag K1 und der Änderungsbetrag K2 voneinander verschieden sind, stimmen eine Zeitspanne, die für die Helligkeitseinstellung des Erfassers DT1 auf der Basis einer Zielhelligkeit TK1 benötigt wird, und eine Zeitspanne, die für die Helligkeitseinstellung des Erfassers DT2 auf der Basis einer anderen Zielhelligkeit TK2 benötigt wird, nicht überein, außer in einem Fall, in dem die oben genannten Zeitspannen zufällig übereinstimmen. In diesem Fall ist es also selbst dann, wenn die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 die Helligkeitseinstellung des Erfassers DT1 und die Helligkeitseinstellung des Erfassers DT2 parallel durchführt, schwierig, die für die beiden oben genannten Helligkeitseinstellungen erforderliche Zeitspanne zu verkürzen. Daher kann eine erste Proportionalinformation, die eine proportionale Beziehung zwischen einem Änderungsbetrag des Spannungswertes V1 und dem Änderungsbetrag K1 anzeigt, und eine zweite Proportionalinformation, die eine proportionale Beziehung zwischen einem Änderungsbetrag des Spannungswertes V2 und dem Änderungsbetrag K2 anzeigt, in der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 im Voraus gespeichert werden. In diesem Fall kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 die erste Proportionalitätsinformation und die zweite Proportionalitätsinformation verwenden, um jeweils den Spannungswert V1 und den Spannungswert V2 so zu ändern, dass die Zeitdauer, die für die Helligkeitseinstellung des Erfassers DT1 auf der Basis der Zielhelligkeit TK1 erforderlich ist, und die Zeitdauer, die für die Helligkeitseinstellung des Erfassers DT2 auf der Basis der Zielhelligkeit TK2 erforderlich ist, miteinander übereinstimmen. Dieselbe Konfiguration wird auch dann verwendet, wenn die Helligkeitseinstellung für jeden von drei oder mehr Erfassern in der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 durchgeführt wird. Darüber hinaus kann auch in der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 eine Zeitspanne, die für die Helligkeitseinstellung jedes der Erfasser benötigt wird, verkürzt werden, indem die oben erwähnte Information über die proportionale Beziehung im Voraus gespeichert wird.
Wenn das Beobachtungsbild, das auf dem Signal basiert, das durch die Erfassung der Teilchen, die von einem Erfasser durchgeführt wird, erhalten wird, das REM-Bild ist, ist eine proportionale Beziehung zwischen einem Änderungsbetrag im Spannungswert, der mit der Helligkeitseinstellung des Erfassers verbunden ist, und einem Änderungsbetrag in der Helligkeit des REM-Bildes für jedes Sichtfeld des Erfassers unterschiedlich. Wenn die Proportionalbeziehungsinformation, die die Proportionalbeziehung anzeigt, gespeichert wird, ist es daher erwünscht, dass die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 die Proportionalbeziehungsinformation für jedes Sichtfeld des Erfassers speichert oder Information speichert, die einen Korrekturfaktor zur Korrektur zwischen einer Proportionalbeziehung, die durch die Proportionalbeziehungsinformation in einem Sichtfeld angezeigt wird, das als Referenz für den Erfasser dient, und einer Proportionalbeziehung, die durch die Proportionalbeziehungsinformation in einem anderen Sichtfeld angezeigt wird, anzeigt.
Bei den oben beschriebenen Informationen zur Proportionalitätsbeziehung kann es sich um eine Tabelle handeln, in der der Änderungsbetrag im Spannungswert und der Änderungsbetrag in der Helligkeit einander zugeordnet sind, um Informationen, die eine Proportionalitätskonstante in der Proportionalitätsbeziehung zwischen dem Änderungsbetrag im Spannungswert und dem Änderungsbetrag in der Helligkeit angeben, und um andere Informationen, die die Proportionalitätsbeziehung angeben.
<Verarbeitung der Empfangsbeobachtungsbedingung durch die Steuerung>
Nun wird unter Bezugnahme auf 5 die Verarbeitung des Empfangs der Beobachtungsbedingung beschrieben, die durch die Steuerung 30 durchgeführt wird. 5 ist ein Flussdiagramm zur Veranschaulichung eines Beispiels für den Ablauf der Verarbeitung des Empfangs der Beobachtungsbedingung, die durch die Steuerung 30 durchgeführt wird.
Als Beispiel wird nachfolgend ein Fall beschrieben, in dem die Bilderzeugungseinheit 362 das REM-Bild des gesamten Bestrahlungsbereichs als Beobachtungsbild des gesamten Bestrahlungsbereichs zum Zeitpunkt vor Beginn der Bearbeitung von Schritt S210 von 5 bildet. Weiterhin wird in dem unten beschriebenen Fall, als Beispiel, eine Operation zur Steuerung der Steuerung 30, um den Empfang der Beobachtungsbedingung zu beginnen, von der Steuerung 30 zu dem oben genannten Zeitpunkt empfangen.
Die Anzeigesteuereinheit 363 nimmt das Beobachtungsbild des gesamten Bestrahlungsbereichs von der Bilderzeugungseinheit 362 auf. Anschließend erzeugt die Anzeigesteuereinheit 363 ein Beobachtungszustands-Empfangsbild einschließlich des erfassten Beobachtungsbildes. Das Beobachtungsbedingungs-Empfangsbild ist ein Bild, durch das die Steuerung 30 die Beobachtungsbedingung vom Benutzer empfängt. Die Anzeigesteuereinheit 363 gibt das erzeugte Beobachtungsbedingungs-Empfangsbild an die Anzeigevorrichtung 35 aus, um das Beobachtungsbedingungs-Empfangsbild auf der Anzeigevorrichtung 35 anzuzeigen. Das heißt, die Anzeigesteuereinheit 363 steuert das Anzeigegerät 35, um das Beobachtungsbedingungs-Empfangsbild anzuzeigen (Schritt S210). In diesem Fall ist das auf dem Beobachtungsbedingungs-Empfangsbild angezeigte Beobachtungsbild das REM-Bild des gesamten Bestrahlungsbereichs. Somit entspricht eine Position auf dem Beobachtungsbild einer Position auf dem Bestrahlungsbereich auf einer Eins-zu-Eins-Basis.
Als Nächstes spezifiziert die Anzeigesteuereinheit 363 einen Bereich des Beobachtungsbildes, der auf der Grundlage des in Schritt S210 aufgenommenen Beobachtungsbildes als Kandidat für den Beobachtungsbereich vom Benutzer als gewünschter Beobachtungsbereich eingeschätzt wird. In diesem Fall spezifiziert die Anzeigesteuereinheit 363 z.B. einen Bereich des Beobachtungsbildes, der auf der Grundlage eines Maschinenlernmodells und des Beobachtungsbildes als Kandidat für den Beobachtungsbereich als ein gewünschter Beobachtungsbereich eingeschätzt wird, der vom Benutzer beobachtet werden soll. Als Maschinenlernmodell wird ein Bild, das einen Abschnitt mit einem Merkmal enthält, das vom Benutzer beobachtet werden soll (z.B. eine Projektion mit einer vorgegebenen Form oder eine Kante mit einer vorgegebenen Form), als Lehrbild gelernt. Das Maschinenlernmodell kann ein neuronales Netz, Tiefenlernen oder ein anderes Maschinenlernmodell sein. Ferner kann die Anzeigesteuereinheit 363 so konfiguriert werden, dass ein Bereich des Beobachtungsbildes, der als der vom Benutzer gewünschte Beobachtungsbereich eingeschätzt wird, als Kandidat des Beobachtungsbereichs auf der Grundlage eines anderen Algorithmus, wie z.B. Mustervergleich, anstelle des Maschinenlernmodells und des Beobachtungsbildes festgelegt wird. Die Anzeigesteuereinheit 363 zeigt auf dem Beobachtungsbild, das auf dem Empfangsbild der Beobachtungsbedingung angezeigt wird, überlappend Informationen zum Kandidaten des Beobachtungsbereichs an, die den spezifizierten Kandidaten des Beobachtungsbereichs angeben (Schritt S220). Auf diese Weise ermöglicht die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 eine Reduzierung des Zeit- und Arbeitsaufwands des Benutzers bei der Suche nach dem gewünschten Beobachtungsbereich auf der Grundlage des Beobachtungsbildes. In Schritt S220 kann die Anzeigesteuereinheit 363 so konfiguriert werden, dass sie nur eine einzige Kandidatinformation für den Beobachtungsbereich auf dem Beobachtungsbild in überlappender Weise anzeigt, oder sie kann so konfiguriert werden, dass sie eine Vielzahl verschiedener Kandidatinformationen für den Beobachtungsbereich auf dem Beobachtungsbild in überlappender Weise anzeigt.
6 ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines Beispiels für das Beobachtungsbild des gesamten Bestrahlungsbereichs, das in dem auf der Anzeigevorrichtung 35 angezeigten Bild enthalten ist. Ein in 6 dargestelltes Bild RP ist ein Beispiel für das Beobachtungsbild. Die in 6 dargestellte Information RR ist ein Beispiel für die Kandidateninformation des Beobachtungsbereichs, die von der Anzeigesteuereinheit 363 so angezeigt wird, dass sie sich mit dem Beobachtungsbild überlappt.
Nach der Verarbeitung von Schritt S220 empfängt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die Informationen über den Beobachtungsbereich durch das Beobachtungsbedingungs-Empfangsbild (Schritt S230). Genauer gesagt, empfängt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die Beobachtungsbereichsinformation, die den vom Benutzer gewünschten Beobachtungsbereich angibt, basierend auf einer vom Benutzer für das Beobachtungsbedingungs-Empfangsbild durchgeführten Operation. Wenn z.B. die Information RR vom Benutzer auf dem in 6 dargestellten Bild RP ausgewählt wird, empfängt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die Beobachtungsbereichs-Kandidateninformation, die der Information RR entspricht, als die Beobachtungsbereichsinformation, die den vom Benutzer gewünschten Beobachtungsbereich angibt. Wenn z.B. ein Bereich, der sich von dem durch die Information RR angezeigten Bereich unterscheidet, vom Benutzer auf dem in 6 dargestellten Bild RP ausgewählt wird, erhält die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die Information, die den ausgewählten Bereich anzeigt, als Beobachtungsbereichsinformation. Eine in 6 dargestellter Bereich SR ist ein Beispiel für den vom Benutzer wie oben beschrieben ausgewählten Bereich. Eine Methode, die es dem Benutzer erlaubt, einen Bereich auf dem Bild RP auszuwählen, kann eine bekannte Methode oder eine in der Zukunft entwickelte Methode sein. Die Beschreibung von Details der Methode, die es dem Benutzer erlaubt, einen Bereich auf dem Bild RP auszuwählen, entfällt daher.
Als Nächstes empfängt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 über das Empfangsbild der Beobachtungsbedingung die Strahlsäuleninformation, die die Strahlsäule angibt, die vom Benutzer als die Strahlsäule verwendet werden soll, die so konfiguriert ist, dass sie den Teilchenstrahl in den Beobachtungsbereich abstrahlt, der durch die in Schritt S230 (Schritt S240) empfangene Beobachtungsbereichsinformation angegeben wird.
Als Nächstes empfängt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 über das Empfangsbild der Beobachtungsbedingung die Informationen zu den Bestrahlungsparametern der Strahlsäule, die durch die in Schritt S240 (Schritt S250) empfangenen Strahlsäuleninformationen angezeigt werden.
Anschließend empfängt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 über das Empfangsbild der Beobachtungsbedingung die Erfassungsinformation, die den Erfasser angibt, der vom Benutzer für die Erfassung der von der Probe S erzeugten Teilchen in dem Beobachtungsbereich verwendet werden soll, der durch die in Schritt S230 (Schritt S260) empfangene Beobachtungsbereichsinformation angegeben wird. Wenn in Schritt S260 mehrere Erfasser verwendet werden, empfängt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 eine Vielzahl von Erfassungsinformationen durch das Beobachtungszustands-Empfangsbild.
Als Nächstes empfängt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 über das Empfangsbild der Beobachtungsbedingung die Informationen über die Erfassungsparameter des Erfassers, die durch die in Schritt S260 (Schritt S270) empfangenen Erfassungsinformationen angezeigt werden. In Schritt S270, wenn mehrere Erfasser verwendet werden, empfängt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 Teile der Erfassungsparameter-Informationen über die entsprechende Vielzahl von Erfassern.
In diesem Fall kann die Abarbeitung von Schritt S240 bis Schritt S270 in einer Reihenfolge erfolgen, die sich von der Reihenfolge des Flussdiagramms von 5 unterscheidet. Außerdem kann die Verarbeitung ganz oder teilweise parallel durchgeführt werden. Außerdem kann die Verarbeitung ganz oder teilweise parallel zur Verarbeitung von Schritt S240 durchgeführt werden.
Nach der Verarbeitung von Schritt S270 erzeugt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die Informationen, die die Beobachtungsbereichsinformationen, die Strahlsäuleninformationen, die Bestrahlungsparameterinformationen, die Erfassungsinformationen und die Erfassungsparameterinformationen enthalten, die bei der Verarbeitung von Schritt S230 bis Schritt S270 als Beobachtungsbedingung (Schritt S280) empfangen wurden.
Anschließend speichert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die in Schritt S280 erzeugte Beobachtungsbedingung in der Speichereinheit 32 (Schritt S290).
Als Nächstes empfängt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 über das Empfangsbild der Beobachtungsbedingung die Zielhelligkeitsinformation, die zu verwenden ist, wenn die Helligkeitseinstellung des Erfassers, die der in Schritt S290 in der Speichereinheit 32 gespeicherten Beobachtungsbedingung entspricht, durchgeführt wird (Schritt S300).
Als Nächstes speichert die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die in Schritt S300 empfangene Zielhelligkeitsinformation in der Speichereinheit 32 in Verbindung mit der in Schritt S290 (Schritt S310) gespeicherten Beobachtungsbedingung. Auf diese Weise kann die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 die mit der Beobachtungsbedingung verbundenen Zielhelligkeitsinformationen aus der Speichereinheit 32 auslesen.
Als Nächstes bestimmt das Teilchenmikroskop-Steuergerät 361, ob eine nächste Beobachtungsbedingung hinzugefügt werden soll oder nicht (Schritt S320). Wenn in diesem Fall vom Benutzer über das Empfangsbild der Beobachtungsbedingung eine Operation zum Hinzufügen einer nächsten Beobachtungsbedingung empfangen wurde, bestimmt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361, dass eine nächste Beobachtungsbedingung hinzugefügt werden soll. In der Zwischenzeit, wenn der oben beschriebene Vorgang nicht vom Benutzer über das Empfangsbild der Beobachtungsbedingung empfangen wurde, bestimmt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361, dass keine nächste Beobachtungsbedingung hinzugefügt werden soll.
Wenn die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 feststellt, dass eine nächste Beobachtungsbedingung nicht hinzugefügt werden soll (NEIN in Schritt S320), löscht die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 das auf der Anzeigevorrichtung 35 angezeigte Empfangsbild der Beobachtungsbedingung und beendet die Verarbeitung.
In der Zwischenzeit, wenn die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 bestimmt, dass eine nächste Beobachtungsbedingung hinzugefügt werden soll (JA in Schritt S320), kehrt die Verarbeitung zu Schritt S230 zurück. In Schritt S230 empfängt die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 wieder die Beobachtungsbereichsinformation, die einen nächsten Beobachtungsbereich anzeigt.
Die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 kann so konfiguriert werden, dass sie die oben beschriebenen Informationen über den ersten Einstellzielbereich und den zweiten Einstellzielbereich im Voraus durch die gleiche Verarbeitung wie in Schritt S230 in 5 dargestellt empfängt, oder sie kann so konfiguriert werden, dass sie die Informationen über den ersten Einstellzielbereich und den zweiten Einstellzielbereich im Voraus durch eine andere Verarbeitung empfängt.
Ferner kann die Bearbeitung von Schritt S220 im Flussdiagramm von 5 ausgelassen werden. Insbesondere ist die Anzeigesteuereinheit 363 nicht erforderlich, um die Schätzung des Kandidaten des Beobachtungsbereichs und die Anzeige der Informationen über den Kandidaten des Beobachtungsbereichs durchzuführen.
Ferner kann die Bearbeitung von Schritt S230 im Flussdiagramm von 5 ausgelassen werden. Insbesondere kann die Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 so konfiguriert werden, dass sie die Information über den Kandidaten des Beobachtungsbereichs, die von der Anzeigen-Steuereinheit 363 in Schritt S220 als Beobachtungsbereichskandidat eingeschätzt wird, als Beobachtungsbereichskandidaten empfängt, ohne die vom Benutzer durchgeführte Operation zu erhalten.
Ferner kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 beim Empfang von z.B. zwei oder mehr Beobachtungsbereichs-Informationen einen Teil der zwei oder mehr Beobachtungsbereichs-Informationen von den Beobachtungsbereichskandidaten-Informationen ohne die vom Benutzer durchgeführte Operation empfangen und alle übrigen Beobachtungsbereichs-Informationen der zwei oder mehr Beobachtungsbreichs-Informationen auf der Grundlage der vom Benutzer durchgeführten Operation empfangen.
Ferner kann die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 beim Empfang von z.B. zwei oder mehr Beobachtungsbereichs-Informationen die Beobachtungsbereichskandidaten-Informationen zum Zeitpunkt des Empfangs eines Teils der zwei oder mehr Beobachtungsbereichs-Informationen anzeigen und die Anzeige der Beobachtungsbereichskandidaten-Informationen zum Zeitpunkt des Empfangs aller übrigen Beobachtungsbereichs-Informationen der zwei oder mehr Beobachtungsbereichs-Informationen auslassen.
Darüber hinaus kann es sich bei den Beobachtungsbereichs-Informationen, die von der Teilchenmikroskop-Steuereinheit 361 bei der Verarbeitung des in 5 dargestellten Schrittes S230 empfangen werden, um Informationen handeln, die den gesamten Bestrahlungsbereich betreffen, insbesondere um Informationen, die den gesamten Bereich des RP-Bildes betreffen.
<Modifikationsbeispiel für Ausführungsformen>
In dem oben beschriebenen Beispiel sind die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 und die Elektronenstrahlsäule 12 im Teilchenmikroskop 10 so angeordnet, dass sich deren Bestrahlungsachsen schräg kreuzen. Wie in 7 dargestellt, können jedoch die fokussierte Ionenstrahlsäule 11 und die Elektronenstrahlsäule 12 im Teilchenmikroskop 10 so angeordnet werden, dass ihre Bestrahlungsachsen orthogonal zueinander stehen. 7 ist eine Ansicht zur Veranschaulichung eines weiteren Beispiels für die Konfiguration der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1.
Im Beispiel von 7 ist die Position der Stufe 14 jedoch eine Position in einem dreidimensionalen Koordinatensystem 12C und wird durch eine Position eines Ursprungs in einem dreidimensionalen Koordinatensystem 14C dargestellt. Weiterhin wird im Beispiel die Stellung des Tischs 14 durch Richtungen der Koordinatenachsen des dreidimensionalen Koordinatensystems 14C dargestellt, die Richtungen in Bezug auf die Koordinatenachsen des dreidimensionalen Koordinatensystems 12C sind. In diesem Fall ist das dreidimensionale Koordinatensystem 12C ein dreidimensionales kartesisches Koordinatensystem, das mit einer vorbestimmten Position der Elektronenstrahlsäule 12 verbunden ist. Zum Beispiel kann die vorbestimmte Position eine Position eines Schwerpunkts der Elektronenstrahlsäule 12 sein. Um eine Verkomplizierung der FIG. zu vermeiden, wird in 7 die Position des Ursprungs des dreidimensionalen Koordinatensystems 12C von der Position des Schwerpunkts verschoben. Die vorgegebene Position kann eine andere, der Elektronenstrahlsäule 12 zugeordnete Position anstelle der Position des Schwerpunkts der Elektronenstrahlsäule 12 sein. Die Elektronenstrahlsäule 12 ist in der Probenkammer 13 fixiert und unbeweglich. Somit sind die Position des Ursprungs des dreidimensionalen Koordinatensystems 12C und die Richtungen der Koordinatenachsen des dreidimensionalen Koordinatensystems 12C fest und unbeweglich.
Die in 7 dargestellte Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 einschließlich des Teilchenmikroskops 10, kann die gleiche Bearbeitung wie die oben unter Bezugnahme auf 4 bis 6 beschriebene durchführen. Als Ergebnis kann selbst dann, wenn die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung 1 die Beobachtung unter Verwendung der Vielzahl von Erfassern durchführt, eine für die Helligkeitseinstellungen der Vielzahl von Erfassern erforderliche Zeitspanne verkürzt werden.
Wie oben beschrieben, umfasst die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung nach mindestens einer oben beschriebenen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung: eine Bestrahlungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie einen Teilchenstrahl innerhalb eines vorbestimmten Bestrahlungsbereichs abstrahlt; eine erste Erfassungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie erste Teilchen erfasst, die von einer Probe erzeugt werden, die so angeordnet ist, dass sie sich in dem vorbestimmten Bestrahlungsbereich befindet, als Ergebnis der Bestrahlung der Probe mit dem Teilchenstrahl; eine zweite Erfassungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie zweite Teilchen erfasst, die von der Probe als Ergebnis der Bestrahlung der Probe mit dem Teilchenstrahl erzeugt werden; eine Bilderzeugungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie ein Beobachtungsbild auf der Grundlage eines ersten Signals erzeugt, das durch die Erfassung der ersten Teilchen erhalten wird, die von der ersten Erfassungseinheit durchgeführt wird, und dass sie ein Beobachtungsbild auf der Grundlage eines zweiten Signals erzeugt, das durch die Erfassung der zweiten Teilchen erhalten wird, die von der zweiten Erfassungseinheit durchgeführt wird; und eine Steuereinheit, die so konfiguriert ist, dass sie das von der Bilderzeugungseinheit gebildete Beobachtungsbild als ein erstes Beobachtungsbild erfasst, eine Helligkeit eines ersten Bereichs in dem erfassten ersten Beobachtungsbild berechnet und eine Helligkeitseinstellung der ersten Erfassungseinheit auf der Grundlage einer ersten Zielhelligkeit als eine erste Helligkeitseinstellung durchführt, wenn die Helligkeit des ersten Bereichs von der ersten Zielhelligkeit abweicht, und das von der Bilderzeugungseinheit gebildete Beobachtungsbild als zweites Beobachtungsbild erfasst, eine Helligkeit eines zweiten Bereichs im erfassten zweiten Beobachtungsbild berechnet und eine Helligkeitseinstellung der zweiten Erfassungseinheit auf der Grundlage einer zweiten Zielhelligkeit als zweite Helligkeitseinstellung durchführt, wenn sich die Helligkeit des zweiten Bereichs von der zweiten Zielhelligkeit unterscheidet. Mit dieser Konfiguration kann in der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung, selbst wenn die Beobachtung unter Verwendung einer Vielzahl von Erfassern durchgeführt wird, eine für die Helligkeitseinstellungen der Vielzahl von Erfassern erforderliche Zeitspanne verkürzt werden.
Darüber hinaus kann bei der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, bei der sowohl das erste Beobachtungsbild als auch das zweite Beobachtungsbild jeweils das auf dem ersten Signal basierende Beobachtungsbild ist.
Darüber hinaus kann bei der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, bei der sowohl das erste Beobachtungsbild als auch das zweite Beobachtungsbild das auf dem zweiten Signal basierende Beobachtungsbild ist.
Ferner kann bei der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, bei der das erste Beobachtungsbild das auf der Grundlage des ersten Signals erzeugte Beobachtungsbild ist und das zweite Beobachtungsbild das auf der Grundlage des zweiten Signals erzeugte Beobachtungsbild ist.
Ferner kann bei der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, bei der die Steuereinheit so konfiguriert ist, dass die Helligkeit des ersten Bereichs durch die erste Helligkeitseinstellung näher an die erste Zielhelligkeit und die Helligkeit des zweiten Bereichs durch die zweite Helligkeitseinstellung näher an die zweite Zielhelligkeit gebracht wird.
Ferner kann bei der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, bei der der erste Bereich im ersten Beobachtungsbild enthalten ist und einen Teil der Probe enthält, die ein zu beobachtendes Ziel ist, und der zweite Bereich im zweiten Beobachtungsbild enthalten ist und eine Markierung enthält, die als Referenz bei der Driftkorrektur zur Korrektur einer Position des ersten Bereichs dient.
Ferner kann bei der Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung eine Konfiguration verwendet werden, bei der die Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung ferner eine Anzeigeeinheit enthält, die so konfiguriert ist, dass sie ein Bild anzeigt, und die Steuereinheit so konfiguriert ist, dass sie die Anzeigeeinheit so steuert, dass sie mindestens eines des ersten Beobachtungsbildes, das von der Bilderzeugungseinheit nach der ersten Helligkeitseinstellung erzeugt wird, oder des zweiten Beobachtungsbildes, das von der Bilderzeugungseinheit nach der zweiten Helligkeitseinstellung erzeugt wird, anzeigt.
Mindestens eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist unter Bezugnahme auf die Zeichnungen ausführlich beschrieben worden. Bestimmte Konfigurationen der vorliegenden Erfindung sind jedoch nicht auf die in der mindestens einen Ausführungsform beschriebenen beschränkt. Beispielsweise kann sie geändert, ersetzt oder gestrichen werden, ohne vom Kern der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
Ferner kann ein Programm zur Erzielung einer Funktion einer geeigneten Konfigurationseinheit des oben beschriebenen Geräts (z.B. die Steuerung 30) auf einem computerlesbaren Aufzeichnungsmedium aufgezeichnet werden, so dass das Programm von einem auszuführenden Computersystem gelesen wird. In diesem Fall umfasst das „Computersystem“ ein Betriebssystem (OS) und Hardware einschließlich Peripheriegeräten. Ferner umfasst das „computerlesbare Aufzeichnungsmedium“ ein tragbares Medium, wie eine flexible Platte, eine magnetooptische Platte, ein ROM oder eine Compact-Disk (CD)-ROM, und ein Aufzeichnungsmedium, wie ein in das Computersystem eingebautes Festplattenlaufwerk. Darüber hinaus umfasst das „computerlesbare Aufzeichnungsmedium“ ein Auf zeichnungsmedium, das ein Programm für eine bestimmte Zeitdauer enthält, wie z.B. einen flüchtigen Speicher (RAM), der im Computersystem vorgesehen ist und als Server oder Client dient, wenn ein Programm über ein Netzwerk wie das Internet oder eine Kommunikationsleitung wie eine Telefonleitung übertragen wird.
Das oben erwähnte Programm kann von dem Computersystem, in dem das Programm z.B. auf dem Speichergerät gespeichert ist, über ein Übertragungsmedium oder durch eine Übertragungswelle in einem Übertragungsmedium auf ein anderes Computersystem übertragen werden. In diesem Fall entspricht das „Übertragungsmedium“, das zur Übertragung eines Programms konfiguriert ist, einem Medium, das die Funktion hat, Informationen zu übertragen, z.B. ein Netzwerk (Kommunikationsnetzwerk) wie das Internet oder eine Kommunikationsleitung (Kommunikationsdraht) wie eine Telefonleitung.
Weiter kann das vorstehend genannte Programm dazu bestimmt sein, um einen Teil der vorstehend beschriebenen Funktionen zu erzielen. Ferner kann das vorstehend genannte Programm es ermöglichen, dass die vorstehend beschriebenen Funktionen erzielt werden, wenn es mit einem Programm kombiniert wird, welches bereits in einem Computersystem aufgezeichnet ist, und kann eine so genannte Differentialdatei (Differentialprogramm) sein.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2011086606 [0003]
JP 2018163822 [0003]

Claims

Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung, welche folgendes aufweist: eine Bestrahlungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie einen Teilchenstrahl innerhalb eines vorbestimmten Bestrahlungsbereichs abstrahlt; eine erste Erfassungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie erste Teilchen erfasst, die von einer Probe erzeugt werden, die so angeordnet ist, dass sie sich in dem vorbestimmten Bestrahlungsbereich befindet, als Ergebnis der Bestrahlung der Probe mit dem Teilchenstrahl; eine zweite Erfassungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie zweite Teilchen erfasst, die von der Probe als Ergebnis der Bestrahlung der Probe mit dem Teilchenstrahl erzeugt werden; eine Bilderzeugungseinheit, die so konfiguriert ist, dass sie ein Beobachtungsbild auf der Grundlage eines ersten Signals erzeugt, das durch die Erfassung der ersten Teilchen erhalten wird, die von der ersten Erfassungseinheit durchgeführt wird, und dass sie ein Beobachtungsbild auf der Grundlage eines zweiten Signals erzeugt, das durch die Erfassung der zweiten Teilchen erhalten wird, die von der zweiten Erfassungseinheit durchgeführt wird; und eine Steuereinheit, die so konfiguriert ist, dass sie das von der Bilderzeugungseinheit gebildete Beobachtungsbild als ein erstes Beobachtungsbild erfasst, eine Helligkeit eines ersten Bereichs in dem erfassten ersten Beobachtungsbild berechnet und eine Helligkeitseinstellung der ersten Erfassungseinheit auf der Grundlage einer ersten Zielhelligkeit als eine erste Helligkeitseinstellung durchführt, wenn die Helligkeit des ersten Bereichs von der ersten Zielhelligkeit abweicht, und das von der Bilderzeugungseinheit gebildete Beobachtungsbild als zweites Beobachtungsbild erfasst, eine Helligkeit eines zweiten Bereichs im erfassten zweiten Beobachtungsbild berechnet und eine Helligkeitseinstellung der zweiten Erfassungseinheit auf der Grundlage einer zweiten Zielhelligkeit als zweite Helligkeitseinstellung durchführt, wenn sich die Helligkeit des zweiten Bereichs von der zweiten Zielhelligkeit unterscheidet.
Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei sowohl das erste Beobachtungsbild als auch das zweite Beobachtungsbild das auf der Grundlage des ersten Signals gebildete Beobachtungsbild ist.
Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei sowohl das erste Beobachtungsbild als auch das zweite Beobachtungsbild das auf der Grundlage des zweiten Signals gebildete Beobachtungsbild ist.
Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das erste Beobachtungsbild das auf der Grundlage des ersten Signals gebildete Beobachtungsbild ist, und wobei das zweite Beobachtungsbild das auf der Grundlage des zweiten Signals gebildete Beobachtungsbild ist.
Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Steuereinheit so konfiguriert ist, dass die Helligkeit des ersten Bereichs durch die erste Helligkeitseinstellung näher an die erste Zielhelligkeit gebracht wird und dass die Helligkeit des zweiten Bereichs durch die zweite Helligkeitseinstellung näher an die zweite Zielhelligkeit gebracht wird.
Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei der erste Bereich in dem ersten Beobachtungsbild enthalten ist und einen Abschnitt der Probe enthält, der ein zu beobachtendes Ziel ist, und wobei der zweite Bereich in dem zweiten Beobachtungsbild enthalten ist und eine Markierung enthält, die als Referenz bei der Driftkorrektur zur Korrektur einer Position des ersten Bereichs dient.
Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, ferner eine Anzeigeeinheit aufweisend, die zur Anzeige eines Bildes konfiguriert ist, wobei die Steuereinheit so konfiguriert ist, dass sie die Anzeigeeinheit so steuert, dass sie mindestens das erste Beobachtungsbild, das von der Bilderzeugungseinheit nach der ersten Helligkeitseinstellung gebildet wird, oder das zweite Beobachtungsbild, das von der Bilderzeugungseinheit nach der zweiten Helligkeitseinstellung gebildet wird, anzeigt.