CN112635278A - 粒子束照射装置 - Google Patents

Abstract

提供粒子束照射装置，进行基于多个检测器的观察时，能缩短多个检测器的亮度调整的时间。粒子束照射装置具有照射粒子束的照射部、检测第1粒子的第1检测部、检测第2粒子的第2检测部、像形成部和控制部，像形成部进行如下处理：形成基于第1检测部检测到第1粒子的第1信号的观察像；形成基于第2检测部检测到第2粒子的第2信号的观察像，控制部进行如下处理：计算形成的第1观察像的第1区域的亮度，第1区域的亮度与第1目标亮度不同时，根据第1目标亮度进行第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；计算形成的第2观察像的第2区域的亮度，第2区域的亮度与第2目标亮度不同时，根据第2目标亮度进行第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。

Description

粒子束照射装置

技术领域

本发明涉及一种粒子束照射装置。

背景技术

关于对试样照射带电粒子束的带电粒子束照射装置的技术，正在进行研究、开发。

关于此，已知有如下带电粒子束照射装置，其中，该带电粒子束照射装置具备：照射部，其向规定的照射区域内照射带电粒子束；和检测部，其通过对配置在照射区域内的试样照射带电粒子束而对从试样产生的带电粒子进行检测，所述带电粒子束照射装置根据检测部检测带电粒子的信号，形成包含在照射区域中的期望的观察区域的观察像(参照专利文献1、2)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-086606号公报

专利文献2：日本特开2018-163822号公报

这样的现有的带电粒子束照射装置通过进行检测部的亮度调整(即，检测部的对比度值、亮度值等、涉及检测部的亮度调整的电压值的调整)，能够形成期望的亮度的观察像。然而，在该带电粒子束照射装置具备多个检测器的情况下，该带电粒子束照射装置要对多个检测器的每一个分别进行亮度调整，因此，亮度调整花费时间。

发明内容

因此，本发明是鉴于上述现有技术的问题而完成的，提供一种粒子束照射装置，即使在利用多个检测器进行观察的情况下，也能够缩短多个检测器的亮度调整所需的时间。

本发明的一个方式是一种粒子束照射装置，所述粒子束照射装置具备：照射部，其向规定的照射区域内照射粒子束；第1检测部，其对第1粒子进行检测，所述第1粒子是通过对配置在所述照射区域内的试样照射所述粒子束而从所述试样产生的；第2检测部，其对第2粒子进行检测，所述第2粒子是通过对所述试样照射所述粒子束而从所述试样产生的；像形成部；以及控制部，其中，所述像形成部执行如下处理：形成基于所述第1检测部检测到所述第1粒子的第1信号的观察像；形成基于所述第2检测部检测到所述第2粒子的第2信号的观察像，所述控制部执行如下处理：取得由所述像形成部形成的观察像作为第1观察像，计算所取得的所述第1观察像中的第1区域的亮度，在所述第1区域的亮度与第1目标亮度不同的情况下，根据所述第1目标亮度来进行所述第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；取得由所述像形成部形成的观察像作为第2观察像，计算所取得的所述第2观察像中的第2区域的亮度，在所述第2区域的亮度与第2目标亮度不同的情况下，根据所述第2目标亮度来进行所述第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。

此外，本发明的另一方式也可以采用如下结构：在粒子束照射装置中，所述第1观察像以及所述第2观察像分别是基于所述第1信号的观察像。

此外，本发明的另一方式也可以采用如下结构：在粒子束照射装置中，所述第1观察像以及所述第2观察像分别是基于所述第2信号的观察像。

此外，本发明的另一方式也可以采用如下结构：在粒子束照射装置中，所述第1观察像是基于所述第1信号的观察像，所述第2观察像是基于所述第2信号的观察像。

此外，本发明的另一方式也可以采用如下结构：在粒子束照射装置中，所述控制部通过所述第1亮度调整使所述第1区域的亮度接近所述第1目标亮度，通过所述第2亮度调整使所述第2区域的亮度接近所述第2目标亮度。

此外，本发明的另一方式也可以采用如下结构：在粒子束照射装置中，所述第1区域是包含在所述第1观察像中的区域中的、包含所述试样的作为想观察的对象的部位在内的区域，所述第2区域是包含在所述第2观察像中的区域中的、包含在校正所述第1区域的位置的漂移校正中作为基准的记号在内的区域。

此外，本发明的另一方式也可以采用如下结构：在粒子束照射装置中，具备显示图像的显示部，所述控制部使在进行了所述第1亮度调整之后由所述像形成部形成的所述第1观察像和在进行了所述第2亮度调整之后由所述像形成部形成的所述第2观察像中的至少一方显示在所述显示部上。

发明效果

根据本发明，能够提供一种粒子束照射装置，即使在进行基于多个检测器的观察的情况下，也能够缩短多个检测器的亮度调整所需的时间。

附图说明

图1是示出粒子束照射装置1的结构的一例的图。

图2是示出控制装置30的硬件结构的一例的图。

图3是示出控制装置30的功能结构的一例的图。

图4是示出粒子束照射装置1进行观察区域R1中的试样S的蚀刻和观察区域R1的观察像形成的处理流程的一例的图。

图5是示出控制装置30接受观察条件的处理流程的一例的图。

图6是示出显示装置35上所显示的图像中的照射区域整体的观察像的一例的图。

图7是示出粒子束照射装置1的结构的另一例的图。

附图标记说明

1：粒子束照射装置；10：粒子显微镜；11：会聚离子束镜筒；11C、12C、14C：三维坐标系；12：电子束镜筒；13：试样室；14：载物台；16：第1二次电子检测器；17：第2二次电子检测器；18：反射电子检测器；30：控制装置；32：存储部；33：输入接受部；34：通信部；35：显示装置；36：控制部；361：粒子显微镜控制部；362：像形成部；363：显示控制部；B1：会聚离子束；B2：电子束；R1、R2：观察区域；RP：图像；RR：信息；S：试样；SR：区域

具体实施方式

<实施方式>

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

<粒子束照射装置的概要>

首先，对实施方式的粒子束照射装置的概要进行说明。

粒子束照射装置具备照射部(例如，会聚离子束镜筒、电子束镜筒、氩粒子束镜筒等)、第1检测部(例如，第1二次电子检测器、第2二次电子检测器、反射电子检测器等)、第2检测部(例如，第1二次电子检测器、第2二次电子检测器、反射电子检测器等中的与第1检测器不同的任意检测器)、像形成部以及控制部。照射部向规定的照射区域内照射粒子束(例如，会聚离子束、电子束、氩光束等)。第1检测部检测通过向配置在照射区域内的试样照射粒子束而从试样产生的第1粒子(例如，二次电子等)。第2检测部检测通过向配置在照射区域内的试样照射粒子束而从试样产生的第2粒子(例如，二次电子等)。像形成部进行如下步骤：形成基于第1检测部检测第1粒子的第1信号的观察像(例如，SEM(Scanning ElectronMicroscope：扫描电子显微镜)像、BSE(Back Scattering Electron：背散射电子)像等)；形成基于第2检测部检测第2粒子的第2信号的观察像(例如，SEM像、BSE像等中的与第1观察像不同的任意观察像)。控制部进行如下步骤：取得由像形成部形成的观察像作为第1观察像，计算所取得的第1观察像中的第1区域的亮度，在第1区域的亮度与第1目标亮度不同的情况下，根据第1目标亮度进行第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；取得由像形成部形成的观察像作为第2观察像，计算所取得的第2观察像中的第2区域的亮度，在第2区域的亮度与第2目标亮度不同的情况下，根据第2目标亮度进行第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。

这里，第1检测部的亮度调整意味着进行第1检测部的对比度值、亮度值等、涉及第1检测部的亮度调整的电压值的调整，使得第1区域的亮度接近目标亮度。由此，像形成部能够根据进行亮度调整之后的第1检测部检测第1粒子的第1信号，形成适合观察的亮度的第1观察像。此外，第2检测部的亮度调整意味着进行第2检测部的对比度值、亮度值等、涉及第2检测部的亮度调整的电压值的调整，使得第2区域的亮度接近目标亮度。由此，像形成部能够根据进行亮度调整之后的第2检测部检测第2粒子的第2信号，形成适合观察的亮度的第2观察像。其结果是，控制部即使在利用多个检测器(即，第1检测器、第2检测器等)来进行观察的情况下，也能够缩短多个检测器的亮度调整所需的时间。

这里，第1观察像以及第2观察像分别是例如基于第1信号的观察像。此外，第1观察像以及第2观察像分别是例如基于第2信号的观察像。此外，例如，第1观察像是基于第1信号的观察像，第2观察像是基于所述第2信号的观察像。

在以下内容中，作为一例，对第1观察像以及第2观察像分别是基于第1信号的观察像的情况进行说明。此外，在以下内容中，对实施方式的粒子束照射装置的结构和该粒子束照射装置所进行的处理详细地进行说明。另外，照射部所照射的粒子束可以是使离子会聚的会聚离子束、使电子会聚的电子束等带电粒子束，也可以是使氩会聚的氩光束等中性粒子束。此外，粒子束照射装置也可以是具备多个照射部的结构。该情况下，例如，粒子束照射装置能够照射会聚离子束、电子束、中性粒子束中的任意两个组合、或者能够照射会聚离子束、电子束、中性粒子束的全部。在以下内容中，作为一例，对粒子束为带电粒子束的情况进行说明。

<粒子束照射装置的结构>

以下，作为实施方式的粒子束照射装置的一例，举粒子束照射装置1为例来进行说明。此外，以下，作为实施方式的试样的一例，举试样S为例来进行说明。试样S例如是导电性试样。另外，取而代之，试样S也可以是绝缘性试样，还可以是半导电性试样(半导体试样)。此外，试样S还可以是构成生物的细胞、骨等活体。

图1是示出粒子束照射装置1的结构的一例的图。

粒子束照射装置1具备粒子显微镜10、控制装置30以及显示装置35。另外，在粒子束照射装置1中，粒子显微镜10、控制装置30、显示装置35的一部分或全部也可以一体地构成。

粒子显微镜10例如具备会聚离子束(FIB(Focused Ion Beam))镜筒11、电子束(EB(Electron Beam))镜筒12以及试样室13。即，粒子束照射装置1是粒子束照射装置的一例，所述粒子束照射装置具备照射会聚离子束的照射部和照射电子束的照射部这两个照射部。另外，粒子束照射装置1也可以是不具备会聚离子束镜筒11和电子束镜筒12中的任意一方的结构。此外，粒子束照射装置1也可以是如下结构：具备一个以上的照射对其它粒子进行会聚而成的粒子束(例如，中性粒子束等)的镜筒来代替会聚离子束镜筒11和电子束镜筒12中的某一方或双方，或者，除了具备会聚离子束镜筒11和电子束镜筒12双方之外，还具备一个以上的照射对其它粒子进行会聚而成的粒子束(例如，中性粒子束等)的镜筒。

会聚离子束镜筒11照射使预定种类的离子会聚而成的会聚离子束B1。会聚离子束镜筒11例如具备离子源(例如，离子枪)、离子加速部以及离子照射部。离子源产生离子。离子加速部对离子源所产生的离子向离子加速方向施加电场，以使该离子加速。离子加速方向是沿会聚离子束镜筒11的中心轴的方向，并且是从会聚离子束镜筒11的离子源朝向会聚离子束镜筒11的射出会聚离子束B1的射出口的方向。离子照射部具备静电透镜，利用该静电透镜对由离子加速部加速后的离子施加电场而使该离子会聚。然后，离子照射部将会聚后的离子作为会聚离子束B1而从该射出口照射到照射区域。另外，该静电透镜可以是加速型，也可以是减速型。此外，离子照射部也可以是如下结构：具备磁场透镜，利用该磁场透镜对由离子加速部加速后的离子施加磁场而使该离子会聚。

会聚离子束镜筒11收纳在试样室13内。在试样室13中，具备：作为载置试样S的试样台的载物台14；和载物台驱动部，其根据来自控制装置30的请求而改变载物台14的位置及姿势。在实施方式中，载物台14的位置是三维坐标系11C中的位置，由三维坐标系14C的原点的位置来表示。此外，在实施方式中，载物台14的姿势是相对于三维坐标系11C的各坐标轴的方向，由三维坐标系14C的各坐标轴的方向来表示。这里，三维坐标系11C是指与会聚离子束镜筒11的预定的位置对应的三维正交坐标系。该预定的位置例如是会聚离子束镜筒11的重心的位置。在图1中，三维坐标系11C的原点的位置从该重心的位置错开，以防止图变得烦杂。另外，代替会聚离子束镜筒11的重心的位置，该预定的位置也可以是与会聚离子束镜筒11对应起来的其它位置。由于会聚离子束镜筒11在试样室13内被固定而不动，因此，三维坐标系11C的原点的位置以及三维坐标系11C的各坐标轴的方向被固定而不动。三维坐标系14C是指与载物台14的上表面的中心对应起来的三维正交坐标系。因此，三维坐标系14C在载物台14移动的情况下，与载物台14一起移动。在图1中，三维坐标系14C的原点的位置从该中心的位置错开，以防止图变得烦杂。

这里，在图1所示的例子中，三维坐标系11C中的Z轴方向与会聚离子束镜筒11的中心轴方向一致。此外，在该例子中，三维坐标系11C中的X轴方向与垂直于该Z轴方向且从会聚离子束镜筒11朝向电子束镜筒12的方向一致。此外，在该例子中，三维坐标系11C中的Y轴方向与该X轴方向以及该Z轴方向垂直。另外，代替上述方向，也可以是三维坐标系11C中的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向中的各个方向与其它方向一致的结构。

会聚离子束镜筒11被设置在如下位置：在载物台14的位置及姿势与作为预定的基准的位置及姿势即基准位置以及基准姿势一致的情况下，会聚离子束镜筒11的中心轴在该位置与载物台14的上表面正交。在以下内容中，为了简化说明，对用户不使载物台14的位置及姿势从基准位置以及基准姿势变化的情况进行说明。

这里，在实施方式中，在载物台14的位置及姿势与基准位置以及基准姿势一致的情况下，三维坐标系14C中的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向分别与三维坐标系11C中的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向一致。另外，在该情况下，代替上述方向，也可以是三维坐标系14C中的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向分别与其它方向一致的结构。

此外，会聚离子束镜筒11被设置在能够向所述照射区域照射会聚离子束B1的位置。照射区域是如下的平面区域，该平面区域设定在载物台14的位置及姿势与基准位置及基准姿势一致的情况下的沿载物台14的上表面的平面上。在以下内容中，作为一例，对照射区域是设定在该情况下的载物台14的上表面内侧的区域的情况进行说明。另外，取而代之，照射区域也可以是设定在该情况下的包含载物台14的上表面的一部分或全部的范围内的区域。此外，照射区域始终固定，即使在载物台驱动部改变了载物台14的位置及姿势的情况下，也不会与载物台14的上表面一起移动。即，载物台驱动部通过改变载物台14的位置及姿势，能够使载置于载物台14的上表面的试样S相对于照射区域相对地平移或倾斜。另外，会聚离子束镜筒11是照射部的一例。

电子束镜筒12照射使电子会聚而成的电子束B2。电子束镜筒12例如具备电子源(例如，电子枪)、电子加速部以及电子照射部。电子源产生电子。电子加速部对电子源所产生的电子向电子加速方向施加电场而使该电子加速。电子加速方向是沿着电子束镜筒12的中心轴的方向，并且是从电子束镜筒12的电子源朝向电子束镜筒12的射出电子束B2的射出口的方向。电子照射部具备静电透镜，利用该静电透镜对由电子加速部加速后的电子施加电场而使该电子会聚。然后，电子照射部将会聚后的电子作为电子束B2从该射出口照射。另外，该静电透镜可以是加速型，也可以是减速型。此外，电子照射部也可以是如下结构：具备磁场透镜，利用该磁场透镜对由电子加速部加速后的电子施加磁场而使该电子会聚。

电子束镜筒12与会聚离子束镜筒11一起收纳在试样室13内。在载物台14的位置及姿势与作为基准的基准位置及基准姿势一致的情况下，电子束镜筒12设置在电子束镜筒12的中心轴相对于载物台14的上表面以规定角度倾斜的位置。此外，电子束镜筒12设置在能够将电子束B2照射到所述照射区域的位置。另外，优选的是，电子束镜筒12被配置成，沿着电子束镜筒12的中心轴且从电子束镜筒12的电子源朝向电子束镜筒12的射出电子束B2的射出口的方向与沿着会聚离子束镜筒11的中心轴且从会聚离子束镜筒11的离子源朝向会聚离子束镜筒11的射出会聚离子束B1的射出口的方向正交。另外，电子束镜筒12也是照射部的一例。

此外，粒子显微镜10还具备第1二次电子检测器16、第2二次电子检测器17、以及反射电子检测器(BSD；Back Scattering Detector：背散射探测器)18。

第1二次电子检测器16是粒子显微镜10所具有的3个检测器之一，在与设置第2二次电子检测器17的位置不同的位置处，对在会聚离子束B1照射试样S的情况下从试样S产生的二次电子进行检测。该二次电子是试样S中含有的电子中被会聚离子束B1散射的散射电子等。此外，第1二次电子检测器16对在电子束B2照射试样S的情况下从试样S产生的二次电子进行检测。该二次电子是试样S中含有的电子中被电子束B2散射的散射电子等。第1二次电子检测器16向控制装置30输出包含示出所检测的二次电子的信息的信号。该信息是示出该二次电子的数量的信息。

另外，第1二次电子检测器16是第1检测部的一例，也是第2检测部的一例。在第1二次电子检测器16是第1检测部的一例的情况下，第1二次电子检测器16所检测的二次电子是第1粒子的一例。并且，该情况下，第1二次电子检测器16输出的信号是第1检测部检测到第1粒子的信号的一例。此外，在第1二次电子检测器16是第2检测部的一例的情况下，该二次电子是第2粒子的一例。并且，该情况下，第1二次电子检测器16输出的信号是第2检测部检测到第2粒子的信号的一例。此外，在图1中，第1二次电子检测器16设置在试样室13的内部，但是，取而代之，也可以是第1二次电子检测器16设置在电子束镜筒12的内部的结构。

第2二次电子检测器17是粒子显微镜10所具有的3个检测器之一，在与设置第1二次电子检测器16的位置不同的位置处，对在会聚离子束B1照射到试样S的情况下从试样S产生的二次电子进行检测。该二次电子是试样S中含有的电子中被会聚离子束B1散射的散射电子等。此外，第2二次电子检测器17对在电子束B2照射到试样S的情况下从试样S产生的二次电子进行检测。该二次电子是试样S中含有的电子中被电子束B2散射的散射电子等。第2二次电子检测器17向控制装置30输出包含示出所检测到的二次电子的信息的信号。该信息是示出该二次电子的数量的信息。

另外，第2二次电子检测器17是第1检测部的一例，也是第2检测部的一例。在第2二次电子检测器17是第1检测部的一例的情况下，第2二次电子检测器17所检测的二次电子是第1粒子的一例。并且，该情况下，第2二次电子检测器17输出的信号是第1检测部检测到第1粒子的信号的一例。此外，在第2二次电子检测器17是第2检测部的一例的情况下，该二次电子是第2粒子的一例。并且，该情况下，第2二次电子检测器17输出的信号是第2检测部检测到第2粒子的信号的一例。

反射电子检测器18是粒子显微镜10所具有的3个检测器之一，在会聚离子束B1照射到试样S的情况下，对在试样S中向后方散射(即，反射)的二次电子进行检测。该二次电子是指试样S中含有的电子中被会聚离子束B1向后方散射的散射电子等。此外，反射电子检测器18对在电子束B2照射到试样S的情况下在试样S中向后方散射的二次电子进行检测。该二次电子是指试样S中所含的电子中被电子束B2向后方散射的散射电子等。反射电子检测器18向控制装置30输出包含示出所检测到的二次电子的信息的信号。该信息是示出该二次电子的数量的信息。

另外，反射电子检测器18是第1检测部的一例，也是第2检测部的一例。在反射电子检测器18是第1检测部的一例的情况下，反射电子检测器18所检测的二次电子是第1粒子的一例。并且，该情况下，反射电子检测器18输出的信号是第1检测部检测到第1粒子的信号的一例。此外，在反射电子检测器18是第2检测部的一例的情况下，该二次电子是第2粒子的一例。并且，该情况下，反射电子检测器18输出的信号是第2检测部检测第2粒子的信号的一例。此外，在图1中，反射电子检测器18设置在试样室13的内部，但是，取而代之，也可以是反射电子检测器18设置在电子束镜筒12的内部的结构。

如上所述，粒子束照射装置1是具备3个检测器的粒子束照射装置的一例。在这样的结构的粒子束照射装置1中，粒子显微镜10通过电缆与控制装置30以能够通信的方式连接。由此，粒子显微镜10所具备的会聚离子束镜筒11、电子束镜筒12、载物台14、第1二次电子检测器16、第2二次电子检测器17、反射电子检测器18分别进行基于从控制装置30取得的控制信号的动作。另外，借助电缆实现的有线通信例如根据以太网(注册商标)、USB(UniversalSerial Bus：通用串行总线)等标准来进行。此外，粒子显微镜10也可以是通过根据Wi-Fi(注册商标)等通信标准进行的无线通信而与控制装置30连接的结构。

另外，粒子显微镜10也可以是如下结构：不具备所述镜筒内反射电子检测器、第1二次电子检测器16、第2二次电子检测器17以及反射电子检测器18中的一部分。此外，粒子显微镜10也可以是如下结构：具备能够检测从被照射了粒子束的试样S产生的粒子的其它检测器来代替第1二次电子检测器16、第2二次电子检测器17、反射电子检测器18中的一部分或全部，或者，除了具备第1二次电子检测器16、第2二次电子检测器17、反射电子检测器18的全部之外，还具备能够检测从被照射了粒子束的试样S产生的粒子的其它检测器。

在以下内容中，为了便于说明，只要无需区分会聚离子束镜筒11和电子束镜筒12，就统称为粒子束镜筒来进行说明。此外，在以下内容中，为了便于说明，只要无需区分会聚离子束B1和电子束B2，就统称为粒子束来进行说明。此外，在以下内容中，为了便于说明，只要无需区分第1二次电子检测器16、第2二次电子检测器17、反射电子检测器18，就统称为检测器来进行说明。

控制装置30例如是台式电脑(Personal Computer：个人计算机)、笔记本电脑、工作站等信息处理装置。另外，取而代之，控制装置30也可以是平板电脑、多功能手机(智能手机)、PDA(Personal Data Assistant：个人数字助理)等其它信息处理装置。

控制装置30对粒子显微镜10进行控制。具体而言，例如，控制装置30根据所接受的观察条件来控制粒子显微镜10，以向包含在照射区域中的区域中、与观察条件对应的观察区域照射粒子束。然后，控制装置30使检测器对从在该观察区域中被照射了粒子束的试样S产生的粒子进行检测。然后，控制装置30根据包含示出检测器所检测到的粒子的信息的信号，形成该观察区域的观察像。控制装置30将所形成的观察像输出到显示装置35进行显示。

这里，在以下内容中，作为一例，对观察条件是包含一个观察区域信息和一个粒子束镜筒信息在内的信息的情况进行说明，其中，所述观察区域信息表示用户想观察的期望的观察区域，所述粒子束镜筒信息表示用户想使用的期望的粒子束镜筒。该情况下，与某个观察条件对应的观察区域是指该观察条件中所包含的观察区域信息所表示的观察区域。此外，该情况下，与某个观察条件对应的粒子束镜筒是指该观察条件中所包含的粒子束镜筒信息所表示的粒子束镜筒。另外，观察区域可以是照射区域中的一部分区域，也可以是照射区域的整个区域。控制装置30在根据某个观察条件来控制粒子显微镜10的情况下，使与该观察条件对应的粒子束镜筒向与该观察条件对应的观察区域照射粒子束。另外，也可以是观察条件中包含多个观察区域信息的结构，还可以是观察条件中包含多个粒子束镜筒信息的结构。

在以下内容中，作为一例，对观察条件是包含观察区域信息、粒子束镜筒信息、检测器信息、照射参数信息、检测参数信息等在内的信息的情况进行说明，其中，所述观察区域信息示出包含于照射区域的区域中的用户想观察的期望的观察区域，所述粒子束镜筒信息示出用户想使用的期望的粒子束镜筒，所述检测器信息示出用户想使用的期望的检测器，所述照射参数信息示出对粒子束镜筒信息所表示的粒子束镜筒设定的照射参数，所述检测参数信息示出对检测器信息所表示的检测器设定的检测参数。另外，也可以是观察条件中不包含粒子束镜筒信息、检测器信息、照射参数信息、检测参数信息中的一部分或全部的结构。但是，即使在该情况下，控制装置30也与观察条件分开地接受这4个信息中不包含在观察条件中的1个以上的信息。

此外，在用户想使用的期望的检测器有多个的情况下，观察条件中也可以包含多个检测器信息。该情况下，观察条件中包含与多个检测器中的各个检测器对应起来的检测参数信息。例如，在观察条件中包含有示出第1二次电子检测器16的检测器信息D1和示出第2二次电子检测器17的检测器信息D2的情况下，在观察条件中，包含示出对检测器信息D1所表示的第1二次电子检测器16设定的检测参数的检测参数信息作为与检测器信息D1对应起来的检测参数信息D3，并且包含示出对检测器信息D2所表示的第2二次电子检测器17设定的检测参数的检测参数信息作为与检测器信息D2对应起来的检测参数信息D4。

这里，对粒子束镜筒信息所示的粒子束镜筒设定的照射参数例如是校准因子(aligner)、粒子束移位、OL值、斑点(stigma)值、加速电压、粒子束电流、透镜模式、支架种类、试样S的材质以及所述载物台14的位置等。这里，粒子束电流是指使粒子束镜筒照射的粒子束的粒子束电流。此外，透镜模式是表示粒子束镜筒所具备的静电透镜(或磁场透镜)中的物镜的动作模式的值。此外，在该一例中，支架种类是指表示当将试样S放置于载物台14的上表面时、保持试样S的支架的种类的值。另外，也可以是如下结构：在该照射参数中包含有其它的设定值等来代替这些设定值中的一部分或全部，或者，在该照射参数中，除了包含有这些设定值的全部之外，还包含有其它的设定值等。

此外，对检测器信息所示的检测器设定的检测参数例如是对比度值、亮度值等。但是，由于这些是进行检测器的亮度调节之前的检测参数，因此，进行检测器的亮度调节之后的检测器中所设定的检测参数除了偶然一致的情况外，与观察条件中所包含的检测参数是不同的。另外，也可以是如下结构：在对检测器信息所示的检测器设定的检测参数中包含有其它的设定值等来代替对比度值、亮度值中的任意一方或双方，或者，在对检测器信息所示的检测器设定的检测参数中，除了包含有对比度值、亮度值双方之外，还包含有其它的设定值等。

控制装置30接受1个以上的观察条件，并且接受定时信息，该定时信息按所接受的每个观察条件而示出进行基于观察条件的粒子束照射的定时。由此，粒子束照射装置1例如能够进行伴随如下复杂的观察工序的作业，该复杂的观察工序结合了基于多个观察条件中的各观察条件的粒子束照射以及观察像形成。该复杂的观察工序例如是指反复进行以下3个工序直到满足规定的结束条件为止那样的观察工序，所述3个工序是：如果在配置有试样S的照射区域内，则确定期望的观察区域；对所确定的观察区域进行蚀刻；以及形成蚀刻后的观察区域的观察像。另外，也可以是定时信息包含在观察条件中的结构。

此外，在控制装置30根据所接受的观察条件使粒子束镜筒照射粒子束的情况下(即，在使像形成部362形成该观察条件中所包含的观察区域信息所示的观察区域的观察像的情况下)，照射该粒子束，取得通过该粒子束的照射而形成的该观察像，计算出所取得的该观察像中的期望调整对象区域的亮度，在计算出的该亮度与期望目标亮度不同的情况下，根据该目标亮度对该观察条件中所包含的1个以上的检测器信息中的各个信息所示的检测器进行使该亮度接近该目标亮度的亮度调整。这里，在实施方式中，某个检测器的亮度调整意味着，进行该检测部的对比度值、亮度值等涉及该检测部的亮度调整的电压值的调整。控制装置30事先接受示出该观察像中的调整对象区域的调整对象区域信息，以对该观察条件中所包含的1个以上的检测器信息中的各个检测器信息所示的检测器进行这样的亮度调整。此外，控制装置30事先接受示出与该观察像中的该调整对象区域对应地确定的目标亮度的目标亮度信息，以对该观察条件中所包含的1个以上的检测器信息中的各个检测器信息所示的检测器进行这样的亮度调整。然后，控制装置30将所接受的目标亮度信息存储在存储部32的易失性存储区域或存储部32的非易失性存储区域中。另外，该调整对象区域可以是该观察像的一部分区域，也可以是该观察像的整个区域。在以下内容中，作为一例，对该调整对象区域是该观察像的整个区域的情况进行说明。该情况下，控制装置30可以是如下结构：接受按该观察条件中所包含的1个以上的检测器信息中的各个检测器信息所示的每个检测器而不同的目标亮度信息，也可以是如下结构：针对该观察条件中所包含的1个以上的检测器信息中的各个检测器信息所示的检测器的全部而接受共用的目标亮度信息。在以下内容中，作为一例，对控制装置30针对该观察条件中所包含的1个以上的检测器信息中的各个检测器信息所示的检测器的全部而接受共用的目标亮度信息的情况进行说明。通过对这样的检测器进行亮度调整，由此，粒子束照射装置1能够容易地形成多个观察区域各自的观察像作为适合观察的亮度的观察像。另外，也可以是调整对象区域信息和目标亮度信息中的某一方或双方包含在所述观察条件中的结构。此外，也可以是如下结构：调整对象区域信息作为与某种信息(例如，观察区域信息等)对应起来的信息而被控制装置30接受。此外，也可以是如下结构：目标亮度信息作为与某种信息(例如，观察区域信息等)对应起来的信息而被控制装置30接受。

另外，控制装置30还能够进行利用粒子显微镜10在试样S的表面形成保护该表面的沉积膜的处理等其它处理。然而，在实施方式中，对于这些其它处理的详细情况省略说明。

显示装置35例如是具备液晶显示面板或有机EL(Electro Luminescence：有机电致发光)显示面板的显示器。显示装置35显示从控制装置30取得的各种图像。另外，显示装置35是显示部的一例。

<控制装置的硬件结构>

以下，参照图2对控制装置30的硬件结构进行说明。图2是示出控制装置30的硬件结构的一例的图。

控制装置30例如具备CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)31、存储部32、输入接受部33以及通信部34。这些构成要素经由总线以能够相互通信的方式连接起来。此外，控制装置30经由通信部34而分别与粒子显微镜10、显示装置35进行通信。

CPU 31执行贮存在存储部32中的各种程序。

存储部32例如包含HDD(Hard Disk Drive：硬盘驱动器)、SSD(Solid State Drive：固态驱动器)、EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory：电可擦除可编程只读存储器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)、RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)等。即，存储部32包含具有易失性存储区域的存储装置和具有非易失性存储区域的存储装置中的各个装置。另外，存储部32也可以是通过USB等数字输入/输出端口等进行连接的外置型存储装置，来代替内置于控制装置30中的存储装置。存储部32用于贮存控制装置30所处理的各种信息、各种图像、以及各种程序等。

输入接受部33例如是键盘及鼠标、触摸板等输入装置。另外，在控制装置30与显示装置35一体地构成的情况下，输入接受部33也可以是与显示装置35所具备的显示部一体地构成的触摸面板等其它输入装置。

通信部34构成为包含例如USB等数字输入/输出端口及以太网(注册商标)端口等。

<控制装置的功能结构>

以下，参照图3对控制装置30的功能结构进行说明。图3是示出控制装置30的功能结构的一例的图。

控制装置30具备存储部32、输入接受部33、控制部36。

控制部36对控制装置30整体进行控制。控制部36具备粒子显微镜控制部361、像形成部362、显示控制部363。控制部36所具备的这些功能部例如是通过CPU 31执行存储在存储部32中的各种程序来实现的。此外，该功能部中的一部分或全部也可以是LSI(Large ScaleIntegration：大规模集成化)及ASIC(Application Specific Integrated Circuit：专用集成电路)等硬件功能部。

粒子显微镜控制部361对粒子显微镜10整体进行控制。粒子显微镜控制部361例如根据所接受的观察条件来控制粒子显微镜10，以进行试样S的蚀刻。此外，粒子显微镜控制部361例如根据所接受的观察条件来控制粒子显微镜10，使粒子束照射到照射区域中的与该观察条件对应的观察区域。粒子显微镜控制部361是控制部的一例。

像形成部362形成基于从粒子显微镜10所具备的各检测器取得的信号的观察像。

显示控制部363生成要在显示装置35上显示的各种画面。显示控制部363将所生成的画面输出到显示装置35进行显示。

<粒子束照射装置进行检测器的亮度调整的处理>

以下，参照图4，举粒子束照射装置1进行未图示的某个观察区域R1中的试样S的蚀刻和观察区域R1的观察像形成的处理为例，对粒子束照射装置1进行检测器的亮度调整的处理进行说明。图4是示出粒子束照射装置1进行观察区域R1中的试样S的蚀刻和观察区域R1的观察像形成的处理流程的一例的图。另外，观察区域R1是指，包含在照射区域中的区域中、包含试样S的作为想观察的对象的部位的区域。

在图4所示的流程图的处理中，粒子束照射装置1依次反复执行观察区域R1中的试样S的蚀刻、观察区域R1的观察像形成、以及通过漂移校正进行的观察区域R1的位置校正。因此，在以下内容中，作为一例，对控制装置30在进行图4所示的步骤S110的处理之前的定时接受了第1观察条件、第2观察条件、第3观察条件这3个观察条件的情况进行说明。

第1观察条件是涉及观察区域R1中的试样S的蚀刻的观察条件。在该一例中，第1观察条件是如下信息，该信息包含：第1观察区域信息，其示出观察区域R1；第1粒子束镜筒信息，其示出会聚离子束镜筒11；第1检测器信息，其示出第1二次电子检测器16；第1照射参数信息，其示出对会聚离子束镜筒11设定的照射参数；以及第1检测参数信息，其示出进行蚀刻的情况下对第1二次电子检测器16设定的检测参数。即，第1观察条件是用于使粒子显微镜10利用会聚离子束B1对观察区域R1中的试样S进行蚀刻的观察条件。

第2观察条件是涉及观察区域R1的观察像形成的观察条件。在该一例中，第2观察条件是如下信息，该信息包含：第1观察区域信息；第2粒子束镜筒信息，其示出电子束镜筒12；第1检测器信息；第2照射参数信息，其示出进行观察像形成的情况下对电子束镜筒12设定的照射参数；以及第2检测参数信息，其示出进行观察像形成的情况下对第1二次电子检测器16设定的检测参数。即，第2观察条件是用于使粒子显微镜10进行如下处理的观察条件，所述处理是：向观察区域R1照射电子束B2；和利用第1二次电子检测器16检测在被照射电子束B2的观察区域R1内从试样S产生的二次电子。

第3观察条件是涉及通过漂移校正进行的观察区域R1的位置校正的观察条件。在该一例中，第3观察条件是如下信息，该信息包含：第2观察区域信息，其示出观察区域R2；第2粒子束镜筒信息，其示出电子束镜筒12；第1检测器信息；第3照射参数信息，其示出进行漂移校正的情况下对电子束镜筒12设定的照射参数；以及第3检测参数信息，其示出进行漂移校正的情况下对第2二次电子检测器17设定的检测参数。即，第3观察条件是用于使粒子显微镜10进行如下处理的观察条件，所述处理是：向观察区域R2照射电子束B2；和利用第2二次电子检测器17检测在被照射电子束B2的观察区域R2内从试样S产生的二次电子。另外，观察区域R2是包含于照射区域的区域中的、包含有在校正观察区域R1的位置的漂移校正中作为基准的记号的区域。

这里，观察区域R2可以是一部分与观察区域R1重叠的结构，也可以是完全不与观察区域R1重叠的结构。此外，例如在第2观察条件中所包含的检测器信息所示的检测器与第3观察条件中所包含的检测器信息所示的检测器是不同的检测器的情况下，也可以是观察区域R2与观察区域R1完全重叠的结构。另外，由于漂移校正是公知的技术，因此省略详细的说明。

此外，在以下内容中，作为一例，对控制装置30在该定时对观察区域R1的位置确定完毕的情况进行说明。

此外，在以下内容中，作为一例，对控制装置30在进行图4所示的步骤S110的处理之前的定时接受了示出第1目标亮度的第1目标亮度信息和示出第2目标亮度的第2目标亮度信息的情况进行说明。

第1目标亮度是针对如下观察像的亮度的目标亮度：所述观察像是作为第1观察像而由像形成部362根据第1二次电子检测器16检测到从观察区域R1产生的粒子的信号形成的。换言之，第1目标亮度是作为适合观察区域R1的观察的亮度而根据第1观察像来确定的目标亮度。

第2目标亮度是针对如下观察像的亮度的目标亮度：所述观察像是作为第2观察像而由像形成部362根据第1二次电子检测器16检测到从观察区域R2产生的粒子的信号形成的。换言之，第2目标亮度是作为适合观察区域R2的观察的亮度而根据第2观察像来确定的目标亮度。第2目标亮度除偶然一致的情况外，是与第1目标亮度不同的亮度。即，作为控制装置30，即使将示出与第1目标亮度相同的亮度的信息作为第2目标亮度信息来接受，作为装置也不会产生问题。

在图4所示的步骤S110中，粒子显微镜控制部361在存储部32中生成贮存在后述的步骤S120中进行蚀刻处理的次数即蚀刻次数的变量。然后，粒子显微镜控制部361将存储部32中生成的该变量初始化为零(步骤S110)。即，粒子显微镜控制部361将蚀刻次数初始化为零。另外，粒子显微镜控制部361也可以是将该变量初始化为不同于零的其它数值的结构。此外，粒子显微镜控制部361也可以是如下结构：作为该变量，在存储部32中生成贮存表示蚀刻次数的字符串、记号等的变量。

接下来，粒子显微镜控制部361根据事先接受的第1观察条件来控制会聚离子束镜筒11，进行配置在照射区域内的试样S的表面中、包含在观察区域R1内的表面的蚀刻(步骤S120)。然后，粒子显微镜控制部361使用于贮存存储在存储部32中的蚀刻次数的变量中所贮存的值加1。另外，在步骤S120中进行该表面蚀刻的方法可以是已知的方法，也可以是今后将要开发的方法。因此，关于在步骤S120中进行该表面蚀刻的方法的详细情况省略说明。

接下来，粒子显微镜控制部361根据事先接受的第2调整对象区域信息和事先接受的第2目标亮度信息来控制粒子显微镜10，将第2二次电子检测器17的亮度调整作为第2亮度调整来进行(步骤S130)。由此，粒子显微镜控制部361使第2观察像的亮度接近第2目标亮度。在该一例中，作为第2观察像的调整对象区域的第2调整对象区域是第2观察像的整个区域。因此，第2观察像的整个区域是第2区域的一例。这里，粒子显微镜控制部361例如读出存储在存储部32中的第2调整对象区域信息以及第2目标亮度信息，根据所读出的第2调整对象区域信息以及第2目标亮度信息来控制粒子显微镜10。此外，粒子显微镜控制部361反复进行第2亮度调整，直到判定为第2调整对象区域的亮度(在该一例中是第2观察像的亮度)与第2目标亮度一致为止。更具体来说，粒子显微镜控制部361例如在第2调整对象区域的亮度包含在第2目标亮度的±5％左右的范围内的情况下，判定为第2调整对象区域的亮度与第2目标亮度一致，从而结束第2亮度调整。另外，该±5％的误差范围可以是比±5％小的误差范围，也可以是比±5％大的误差范围。此外，进行第2二次电子检测器17的亮度调整的方法可以是已知的方法，也可以是今后将要开发的方法。因此，关于进行第2二次电子检测器17的亮度调整的方法的详细情况省略说明。

接下来，粒子显微镜控制部361根据事先接受的第3观察条件来控制粒子显微镜10，以进行漂移校正(步骤S140)。这时，粒子显微镜控制部361使电子束镜筒12向观察区域R2照射电子束B2，使像形成部362形成观察区域R2的观察像(该情况下为SEM像)，从像形成部362取得该观察像作为第2观察像。该第2观察像是基于通过步骤S160的处理进行亮度调整之后的第2二次电子检测器17检测到该二次电子的信号的观察像。因此，所述第2调整对象区域的亮度(在该一例中为第2观察像的亮度)与第2目标亮度一致。换言之，第2观察像是适合观察区域R2的观察的亮度的观察像。粒子显微镜控制部361根据所取得的第2观察像来校正观察区域R1的位置。

接下来，粒子显微镜控制部361根据事先接受的第1调整对象区域和事先接受的第1目标亮度信息来控制粒子显微镜10，进行第1二次电子检测器16的亮度调整作为第1亮度调整(步骤S150)。由此，粒子显微镜控制部361使第1观察像的亮度接近第1目标亮度。在该一例中，作为第1观察像的调整对象区域的第1调整对象区域是第1观察像的整体区域。因此，第1观察像的整体区域是第1区域的一例。这里，粒子显微镜控制部361例如读出存储在存储部32中的第1调整对象区域信息以及第1目标亮度信息，根据所读出的第1调整对象区域以及第1目标亮度信息来控制粒子显微镜10。此外，粒子显微镜控制部361反复进行第1亮度调整，直到判定为第1调整对象区域的亮度(在该一例中为第1观察像的亮度)与第1目标亮度一致为止。更具体来说，粒子显微镜控制部361例如在第1调整对象区域的亮度包含在第1目标亮度的±5％左右的范围内的情况下，判定为第1调整对象区域的亮度与第1目标亮度一致，从而结束第1亮度调整。另外，该±5％的误差范围可以是比±5％小的误差范围，也可以是比±5％大的误差范围。此外，进行第1二次电子检测器16的亮度调整的方法可以是已知的方法，也可以是今后将要开发的方法。因此，关于进行第1二次电子检测器16的亮度调整的方法的详细情况，省略说明。

接下来，粒子显微镜控制部361根据事先接受的第2观察条件来控制电子束镜筒12，向配置在照射区域内的试样S的表面中的观察区域R1内照射电子束B2。像形成部362根据第1二次电子检测器16检测到通过该电子束B2的照射而在观察区域R1中从试样S产生的二次电子的信号，形成观察区域R1的观察像(该情况下为SEM像)。粒子显微镜控制部361取得像形成部362形成的观察像作为第1观察像(步骤S160)。第1观察像是基于通过步骤S130的处理进行亮度调整之后的第1二次电子检测器16检测到该二次电子的信号的观察像。因此，第1调整对象区域(在该一例中为第1观察像的亮度)与第1目标亮度一致。换言之，第1观察像是适合观察区域R1的观察的亮度的观察像。

接下来，粒子显微镜控制部361判定用于贮存存储在存储部32中的蚀刻次数的变量中所贮存的蚀刻次数是否为规定值以上(步骤S170)。这里，规定值是根据用户想对试样S进行蚀刻的期望次数而确定的值。另外，规定值由用户预先输入到粒子显微镜控制部361。

粒子显微镜控制部361在判定为存储在存储部32中的蚀刻次数为规定值以上的情况下(步骤S170-“是”)，结束处理。

另一方面，粒子显微镜控制部361在判定为存储在存储部32中的蚀刻次数小于规定值的情况下(步骤S170-“否”)，转移到步骤S120，根据通过刚执行的步骤S140的处理进行了校正后的观察区域R1的位置和事先接受的第1观察条件来控制会聚离子束镜筒11，再次进行配置在照射区域内的试样S的表面中的包含在观察区域R1内的表面的蚀刻。

如上所述，粒子束照射装置1执行如下步骤：取得由像形成部(在上述内容中进行了说明的例子中为362)形成的观察像作为第1观察像，计算出所取得的第1观察像中的第1区域(在该一例中为第1调整对象区域)的亮度，在第1区域的亮度与第1目标亮度不同的情况下，根据第1目标亮度进行第1检测部(在上述内容中进行了说明的例子中为第1二次电子检测器16)的亮度调整作为第1亮度调整；取得由像形成部362形成的观察像作为第2观察像，计算出所取得的第2观察像中的第2区域(在上述内容中进行了说明的例子中为第2调整对象区域)的亮度，在第2区域的亮度与第2目标亮度不同的情况下，根据第2目标亮度来进行第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。由此，粒子束照射装置1即使在利用多个检测器进行观察的情况下，也能够缩短多个检测器的亮度调整所需的时间。此外，粒子束照射装置1能够将多个观察区域各自的观察像形成为适合观察的亮度的观察像。其结果是，在图4所示的流程图的处理中，粒子束照射装置1能够一边进行高精度的漂移校正，一边容易地反复取得适合观察的亮度的第1观察像。

另外，在示出第1二次电子检测器16的检测器信息以及示出其它检测器的检测器信息(例如，示出第2二次电子检测器17的检测器信息)均包含在第2观察条件中的情况下，在步骤S150中，粒子束照射装置1进行第1二次电子检测器16的亮度调整作为第1亮度调整，并且进行该其它检测器的亮度调整作为第3亮度调整。此外，该情况下，粒子束照射装置1并行地进行第1亮度调整和第3亮度调整。这里，粒子束照射装置1在进行第1亮度调整的同时进行第3亮度调整的情况下，根据事先接受的第1调整对象区域信息所示的第1调整对象区域和事先接受的第1目标亮度信息所示的第1目标亮度来进行第1亮度调整，并根据事先接受的第3调整对象区域信息所示的第3调整对象区域和事先接受的第3目标亮度信息所示的第3目标亮度来进行第3亮度调整。第3调整对象区域是指在第3亮度调整中作为进行亮度调整的对象的区域。第3目标亮度除偶然一致的情况外，是与第1目标亮度不同的亮度。由此，在使用某两个检测器并行地形成不同的两种观察像(例如，SEM像和BSE像等)的情况下，粒子束照射装置1能够缩短该两个检测器各自的亮度调整所需的时间。另外，该情况下，粒子束照射装置1也可以是以规定的顺序来进行第1亮度调整和第3亮度调整的结构。这里，这样并行地进行两个检测器各自的亮度调整，不仅可以在步骤S150中进行，还可以在步骤S130中进行。

此外，粒子束照射装置1也可以是如下结构：在某个观察条件中包含有示出3个以上的检测器中的各检测器的检测器信息的情况下，并行地进行该3个以上的检测器各自的亮度调整。

这里，有时，观察像的亮度的变化量K1与观察像的亮度的变化量K2是不同的，其中，所述变化量K1基于在使涉及某个检测器DT1的亮度调整的电压值V1以规定值变化的情况下检测器DT1检测到粒子的信号，所述变化量K2基于在使涉及另一检测器DT2的亮度调整的电压值V2以规定值变化的情况下检测器DT2检测到粒子的信号。在变化量K1与变化量K2不同的情况下，基于某个目标亮度TK1的检测器DT1的亮度调整所需的时间与基于另一目标亮度TK2的检测器DT2的亮度调整所需的时间除偶然一致的情况外，都是不一致的。因此，该情况下，粒子束照射装置1即使在并行地进行了检测器DT1的亮度调整和检测器DT2的亮度调整的情况下，也难以缩短这两个亮度调整所需的时间。因此，粒子束照射装置1也可以是如下结构：预先存储有第1比例信息和第2比例信息，所述第1比例信息示出电压值V1的变化量与变化量K1之间的比例关系，所述第2比例信息示出电压值V2的变化量与变化量K2之间的比例关系。该情况下，粒子束照射装置1能够根据第1比例信息和第2比例信息来分别改变电压值V1以及电压值V2，使得基于目标亮度TK1的检测器DT1的亮度调整所需的时间与基于目标亮度TK2的检测器DT2的亮度调整所需的时间一致。这样的情况在粒子束照射装置1中进行3个以上的检测器各自的亮度调整的情况下也是同样的。此外，通过预先存储这样的比例关系信息，粒子束照射装置1还能够缩短各个检测器的亮度调整所需的时间。

但是，在基于某个检测器检测到粒子的信号的观察像是SEM像的情况下，涉及该检测器的亮度调整的电压值的变化量与该SEM像的亮度的变化量之间的比例关系根据该检测器的每个倍率(Fields Of View：视野)而不同。因此，粒子束照射装置1在存储示出该比例关系的比例关系信息的情况下，优选存储该检测器的每个倍率的该比例关系信息、或者存储示出校正系数的信息，所述校正系数是作为该检测器的基准的倍率中的该比例关系信息所示的比例关系与其它倍率中的该比例关系信息所示的比例关系之间的校正系数。

另外，在上述内容中进行了说明的比例关系信息可以是将电压值的变化量和亮度的变化量对应起来的表，也可以是示出电压值的变化量、亮度的变化量、比例关系中的比例常数的信息，还可以是示出该比例关系的其它信息。

<控制装置接受观察条件的处理>

以下，参照图5对控制装置30接受观察条件的处理进行说明。图5是示出控制装置30接受观察条件的处理流程的一例的图。

在以下内容中，作为一例，对在进行图5所示的步骤S210的处理之前的定时，像形成部362将照射区域整体的SEM像形成为照射区域整体的观察像的情况进行说明。此外，在以下内容中，作为一例，对控制装置30在该定时接受了使控制装置30开始观察条件的接受的操作的情况进行说明。

显示控制部363从像形成部362取得照射区域整体的观察像。然后，显示控制部363生成包含所取得的该观察像的观察条件接受图像。观察条件接受图像是指控制装置30从用户接受观察条件的图像。显示控制部363将所生成的观察条件接受图像输出到显示装置35进行显示。即，显示控制部363将该观察像显示在显示装置35上(步骤S210)。这里，由于在观察条件接受图像上显示的观察像是照射区域整体的SEM像，因此，该观察像上的位置与照射区域上的位置一一对应。

接下来，显示控制部363根据在步骤S210中取得的观察像，将该观察像上的区域中被估计为用户想观察的期望观察区域的区域确定为观察区域的候补。这里，显示控制部363例如根据机器学习模型和该观察像，从该观察像上的区域中，将被估计为用户想观察的期望观察区域的区域确定为观察区域的候补。在该机器学习模型中，将包含用户想观察的具有期望特征的部位(例如，规定形状的突起、规定形状的边缘等)的图像作为教师图像进行学习。该机器学习模型可以是神经网络的模型，也可以是深度学习的模型，还可以是其它机器学习的模型。此外，显示控制部363也可以是如下结构：代替机器学习模型，根据图案匹配等其它算法和该观察像，从该观察像上的区域中，将被估计为用户想观察的期望观察区域的区域确定为观察区域的候补。显示控制部363将示出所确定的观察区域候补的观察区域候补信息与在观察条件接受图像上显示的观察像重叠地显示(步骤S220)。由此，粒子束照射装置1能够削减用户根据该观察像来寻找期望的观察区域的时间。另外，在步骤S220中，显示控制部363可以是仅将一个观察区域候补信息与该观察像重叠地显示的结构，也可以是将互不相同的多个观察区域候补信息与该观察像重叠地显示的结构。

这里，图6是示出显示装置35上所显示的图像中的照射区域整体的观察像的一例的图。图6所示的图像RP示出该观察像的一例。并且，图6所示的信息RR示出显示控制部363显示在该观察像上的观察区域候补信息的一例。

在进行步骤S220的处理之后，粒子显微镜控制部361经由观察条件接受图像来接受观察区域信息(步骤S230)。具体而言，粒子显微镜控制部361根据从用户对观察条件接受图像进行的操作来接受示出用户所期望的观察区域的观察区域信息。例如，在由用户在图6所示的图像RP上选择了信息RR的情况下，粒子显微镜控制部361将信息RR所示的观察区域候补信息接受为示出用户所期望的观察区域的观察区域信息。此外，例如，在由用户在图6所示的图像RP上选择了与信息RR所示的区域不同的区域的情况下，粒子显微镜控制部361将示出所选择的该区域的信息接受为观察区域信息。图6所示的区域SR是这样由用户选择出的区域的一例。另外，用户在图像RP上选择区域的方法可以是已知的方法，也可以是今后将要开发的方法。因此，关于用户在图像RP上选择区域的方法的详细情况省略说明。

接下来，粒子显微镜控制部361经由观察条件接受图像来接受示出用户想使用的粒子束镜筒的粒子束镜筒信息，作为向在步骤S230中接受的观察区域信息所示的观察区域照射粒子束的粒子束镜筒(步骤S240)。

接下来，粒子显微镜控制部361经由观察条件接受图像来接受关于在步骤S240中接受的粒子束镜筒信息所示的粒子束镜筒的照射参数信息(步骤S250)。

接下来，粒子显微镜控制部361经由观察条件接受图像来接受检测器信息，该检测器信息示出用户想在步骤S230中接受的观察区域信息所示的观察区域中从试样S产生的粒子的检测中使用的检测器(步骤S260)。另外，在步骤S250中，在该检测器存在多个的情况下，粒子显微镜控制部361经由观察条件接受图像来接受多个检测器信息。

接下来，粒子显微镜控制部361经由观察条件接受图像来接受关于在步骤S260中接受的检测器信息所示的检测器的检测参数信息(步骤S270)。另外，在步骤S270中，在该检测器存在多个的情况下，粒子显微镜控制部361针对多个该检测器的每一个而接受检测参数信息。

这里，步骤S240～步骤S270的处理也可以按照与图5所示的流程图的顺序不同的顺序来进行。此外，该处理中的一部分或全部也可以并行地进行。此外，该处理中的一部分或全部还可以与步骤S240的处理并行地进行。

在进行步骤S270的处理之后，粒子显微镜控制部361生成如下信息作为观察条件，该信息包含在步骤S230～步骤S270的处理中接受的观察区域信息、粒子束镜筒信息、照射参数信息、检测器信息以及检测参数信息(步骤S280)。

接下来，粒子显微镜控制部361将在步骤S280中生成的观察条件存储在存储部32中(步骤S290)。

接下来，粒子显微镜控制部361经由观察条件接受图像来接受目标亮度信息(步骤S300)，该目标亮度信息在进行与在步骤S290中存储在存储部32中的观察条件对应的检测器的亮度调整的情况下使用。

接下来，粒子显微镜控制部361将在步骤S300中接受的目标亮度信息与在步骤S290中所存储的观察条件对应起来存储在存储部32中(步骤S310)。由此，粒子显微镜控制部361能够从存储部32读出与该观察条件对应起来的目标亮度信息。

接下来，粒子显微镜控制部361进行是否追加下一个观察条件的判定(步骤S320)。这里，在粒子显微镜控制部361经由观察条件接受图像从用户接受了追加下一个观察条件的操作的情况下，判定为要追加下一个观察条件。另一方面，粒子显微镜控制部361在未经由观察条件接受图像从用户接受该操作的情况下，判定为不追加下一个观察条件。

在粒子显微镜控制部361判定为不追加下一个观察条件的情况下(步骤S320-“否”)，删除在显示装置35上所显示的观察条件接受图像，结束处理。

另一方面，粒子显微镜控制部361在判定为要追加下一个观察条件的情况下(步骤S320-“是”)，转移到步骤S230，再次接受示出下一个观察区域的观察区域信息。

另外，粒子显微镜控制部361可以是通过与图5所示的步骤S230的处理相同的处理来事先接受所述第1调整对象区域信息和第2调整对象区域信息的结构，也可以是通过其它的处理来事先接受第1调整对象区域信息和第2调整对象区域信息的结构。

此外，在图5所示的流程图中，步骤S220的处理也可以省略。即，显示控制部363也可以是不进行观察区域候补的估计和观察区域候补信息的显示的结构。

此外，在图5所示的流程图中，步骤S230的处理也可以省略。即，粒子显微镜控制部361也可以是如下结构：在不从用户接受操作的情况下，将观察区域候补信息接受为观察区域信息，所述观察区域候补信息示出在步骤S220中由显示控制部363估计的观察区域候补。

此外，粒子束照射装置1也可以是如下结构：例如，在接受两个以上的观察区域信息的情况下，在不伴随来自用户的操作的情况下从观察区域候补信息中接受该两个以上的观察区域信息中的一部分，并根据来自用户的操作来接受该两个以上的观察区域信息中的其余信息的全部。

此外，粒子束照射装置1也可以是如下结构：例如，在接受两个以上的观察区域信息的情况下，在接受该两个以上的观察区域信息中的一部分时显示观察区域候补信息，而在接受该两个以上的观察区域信息中的其余信息的全部时不显示观察区域候补信息。

此外，在图5所示的步骤S230的处理中，粒子显微镜控制部361所接受的观察区域信息也可以是示出照射区域整体的信息、即示出图像RP整体的区域的信息。

<实施方式的变形例>

在上述内容中进行了说明的例子中，在粒子显微镜10中，会聚离子束镜筒11和电子束镜筒12配置成各自的照射轴斜交。然而，在粒子显微镜10中，也可以是如下结构：如图7所示，会聚离子束镜筒11和电子束镜筒12配置成各自的照射轴彼此正交。图7是示出粒子束照射装置1的结构的另一例的图。

其中，在图7所示的例子中，载物台14的位置是三维坐标系12C中的位置，由三维坐标系14C的原点的位置来表示。此外，在该例子中，载物台14的姿势是相对于三维坐标系12C的各坐标轴的方向，由三维坐标系14C的各坐标轴的方向来表示。这里，三维坐标系12C是指与电子束镜筒12的预定的位置对应起来的三维正交坐标系。该预定的位置例如是电子束镜筒12的重心的位置。在图7中，三维坐标系12C的原点的位置从该重心的位置错开，以防止附图变得烦杂。另外，代替电子束镜筒12的重心的位置，该预定的位置也可以是与电子束镜筒12对应起来的其它位置。由于电子束镜筒12在试样室13内被固定而不动，因此，三维坐标系12C的原点的位置以及三维坐标系12C的各坐标轴的方向被固定而不动。

具备图7所示的粒子显微镜10的粒子束照射装置1能够进行与在图4～6中进行了说明的处理相同的处理。其结果是，该粒子束照射装置1即使在利用多个检测器进行观察的情况下，也能够缩短多个检测器的亮度调整所需的时间。

如以上进行了说明的那样，上述实施方式的粒子束照射装置具备：照射部，其向规定的照射区域内照射粒子束；第1检测部，其对第1粒子进行检测，所述第1粒子是通过对配置在所述照射区域内的试样照射所述粒子束而从所述试样产生的；第2检测部，其对第2粒子进行检测，所述第2粒子是通过对所述试样照射所述粒子束而从所述试样产生的；像形成部；以及控制部，其中，所述像形成部执行如下处理：形成基于所述第1检测部检测到所述第1粒子的第1信号的观察像；形成基于所述第2检测部检测到所述第2粒子的第2信号的观察像，所述控制部执行如下处理：取得由所述像形成部形成的观察像作为第1观察像，计算所取得的所述第1观察像中的第1区域的亮度，在所述第1区域的亮度与第1目标亮度不同的情况下，根据所述第1目标亮度来进行所述第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；取得由所述像形成部形成的观察像作为第2观察像，计算所取得的所述第2观察像中的第2区域的亮度，在所述第2区域的亮度与第2目标亮度不同的情况下，根据所述第2目标亮度来进行所述第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。由此，粒子束照射装置即使在利用多个检测器进行观察的情况下，也能够缩短多个检测器的亮度调整所需的时间。

此外，在粒子束照射装置中，也可以采用第1观察像以及第2观察像分别是基于第1信号的观察像的结构。

此外，在粒子束照射装置中，也可以采用第1观察像以及第2观察像分别是基于第2信号的观察像的结构。

此外，在粒子束照射装置中，也可以采用第1观察像是基于第1信号的观察像、第2观察像是基于第2信号的观察像的结构。

此外，在粒子束照射装置中，也可以采用如下结构：控制部通过第1亮度调整使第1区域的亮度接近第1目标亮度，通过第2亮度调整使第2区域的亮度接近第2目标亮度。

此外，在粒子束照射装置中，也可以采用如下结构：第1区域是包含在第1观察像中的区域中的、包含试样的作为想观察的对象的部位的区域，第2区域是在包含于第2观察像中的区域中的、包含在校正第1区域的位置的漂移校正中作为基准的记号的区域。

此外，在粒子束照射装置中，也可以采用如下结构：具备显示图像的显示部，控制部使第1观察像和第2观察像中的至少一方显示在显示部上，所述第1观察像是在进行了第1亮度调整之后由像形成部形成的，所述第2观察像是在进行了第2亮度调整之后由像形成部形成的。

以上，参照附图详细地叙述了本发明的实施方式，但是，具体的结构不限于该实施方式，只要不脱离本发明的主旨，也可以进行变更、置换、删除等。

此外，也可以将用于实现以上进行了说明的装置(例如，控制装置30)中的任意构成部的功能的程序记录在计算机可读取的记录介质，使计算机系统读入并执行该程序。另外，设这里所说的“计算机系统”包含OS(Operating System：操作系统)及周边设备等硬件。此外，“计算机可读取的记录介质”是指，软盘、光磁盘、ROM、CD(Compact Disk：光盘)-ROM等可移动介质、内置于计算机系统中的硬盘等存储装置。此外，“计算机可读取的记录介质”是指，还包含如经由互联网等网络或电话线路等通信线路发送了程序时的服务器或成为客户端的计算机系统内部的易失性存储器(RAM)那样的将程序保持一定时间的介质。

此外，上述的程序还可以从将该程序贮存在存储装置等的计算机系统经由传输介质、或者通过传输介质中的传输波传输到其它计算机系统。这里，传输程序的"传输介质"是指，如互联网等网络(通信网)或电话线路等通信线路(通信线)那样具有传输信息的功能的介质。

此外，上述的程序还可以是用于实现所述的功能的一部分的程序。此外，上述的程序还可以是所谓的差分文件(差分程序)，能够通过与已经将所述的功能记录在计算机系统的程序的组合来实现。

Claims (7)

1.一种粒子束照射装置，该粒子束照射装置具备：

照射部，其向规定的照射区域内照射粒子束；

第1检测部，其对第1粒子进行检测，所述第1粒子是通过对配置在所述照射区域内的试样照射所述粒子束而从所述试样产生的；

第2检测部，其对第2粒子进行检测，所述第2粒子是通过对所述试样照射所述粒子束而从所述试样产生的；

像形成部；以及

控制部，

其中，所述像形成部执行以下处理：

形成基于所述第1检测部检测到所述第1粒子的第1信号的观察像；以及

形成基于所述第2检测部检测到所述第2粒子的第2信号的观察像，

所述控制部执行以下处理：

取得由所述像形成部形成的观察像作为第1观察像，计算所取得的所述第1观察像中的第1区域的亮度，在所述第1区域的亮度与第1目标亮度不同的情况下，根据所述第1目标亮度来进行所述第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；以及

取得由所述像形成部形成的观察像作为第2观察像，计算所取得的所述第2观察像中的第2区域的亮度，在所述第2区域的亮度与第2目标亮度不同的情况下，根据所述第2目标亮度来进行所述第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。

2.根据权利要求1所述的粒子束照射装置，其中，

所述第1观察像以及所述第2观察像分别是基于所述第1信号的观察像。

3.根据权利要求1所述的粒子束照射装置，其中，

所述第1观察像以及所述第2观察像分别是基于所述第2信号的观察像。

4.根据权利要求1所述的粒子束照射装置，其中，

所述第1观察像是基于所述第1信号的观察像，所述第2观察像是基于所述第2信号的观察像。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的粒子束照射装置，其中，

所述控制部通过所述第1亮度调整使所述第1区域的亮度接近所述第1目标亮度，通过所述第2亮度调整使所述第2区域的亮度接近所述第2目标亮度。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的粒子束照射装置，其中，

所述第1区域是包含在所述第1观察像中的区域中的、包含所述试样的作为想观察的对象的部位在内的区域，

所述第2区域是包含在所述第2观察像中的区域中的、包含在校正所述第1区域的位置的漂移校正中作为基准的记号在内的区域。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的粒子束照射装置，其中，

所述粒子束照射装置具备显示图像的显示部，

所述控制部使在进行了所述第1亮度调整之后由所述像形成部形成的所述第1观察像和在进行了所述第2亮度调整之后由所述像形成部形成的所述第2观察像中的至少一方显示在所述显示部上。

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