CN111433594A - 拍摄装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于：在获取多个样本切片的图像的拍摄装置中，容易地获取各切片之间的对应的位置的图像。本发明的拍摄装置根据第一样本切片的特征点和第一观察区域之间的对应关系，计算第二样本切片的第二观察区域的坐标，并生成该计算出的坐标处的观察图像(参照图7B)。

Description

拍摄装置
技术领域
本发明涉及拍摄装置。
背景技术
已知使多个组织切片的图像重合的技术。在专利文献1中，公开了获取通过图像对位装置进行对位的图像的方法。在专利文献1中，公开了以下的技术，即，使用鼠的脑切片的积蓄性荧光体片的放射线图像，选择进行对位的2个图像，提取脑切片的轮廓，还提取比较醒目的点作为特征点，而进行对位。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平5-298417号公报
发明内容
发明要解决的问题
在观察多个样本切片的情况下，有时观察各切片的大致相同的位置。例如，在沿着样本的深度方向观察各深度下的样本的状态的情况下，有时通过沿着水平面对该样本进行切片而制作多个样本切片，而观察各样本切片的相同位置。为了确定各切片之间的对应的位置，例如在观察图像上分别指定各切片的特征点，在切片之间使该特征点对应起来即可。这是因为设想对应的特征点存在于大致相同的位置。在观察各样本切片时，例如使用扫描电子显微镜等电荷粒子线装置、光学显微镜。
电荷粒子线装置或光学显微镜能够高倍率地观察样本，但另一方面，因为是高倍率，所以视野变窄。因此，在高倍率地观察样本的情况下，在要如上述那样观察各切片的大致相同的位置时，有时难以在各切片之间确定对应的部位。
本发明就是鉴于上述那样的问题而提出的，其目的在于：在获取多个样本切片的图像的拍摄装置中，容易地获取各切片之间的对应的位置的图像。
解决方案
本发明的拍摄装置根据第一样本切片的特征点和第一观察区域之间的对应关系，计算第二样本切片的第二观察区域的坐标，并生成该计算出的坐标处的观察图像。
发明效果
根据本发明的拍摄装置，能够在获取多个样本切片的图像时，容易地获取各切片之间的对应的位置的图像。
附图说明
图1是实施方式1的电荷粒子线装置101的结构图。
图2是说明使用电荷粒子线装置101拍摄连续切片样本105的步骤的流程图。
图3是连续切片样本105和观察区域的例子。
图4是说明步骤S203的详情的流程图。
图5是显示装置130显示的画面界面的例子。
图6A是步骤S404中的画面界面的具体例。
图6B是步骤S406中的画面界面的具体例。
图7A是步骤S408中的画面界面的具体例。
图7B是显示步骤S410的结果的画面界面的例子。
图8A是在实施方式2中显示装置130显示的画面界面的例子。
图8B是在实施方式2中显示装置130显示的画面界面的另一例。
图9是在实施方式2中显示装置130显示的画面界面的另一例。
图10A是在实施方式3中显示装置130显示的画面界面的例子。
图10B是说明对第三样本切片的处理的图。
图11是说明实施方式3的步骤S203的详情的流程图。
具体实施方式
<实施方式1>
图1是本发明的实施方式1的电荷粒子线装置101的结构图。在本实施方式1中，电荷粒子线装置101是扫描型电子显微镜。电荷粒子线装置101构成为能够拍摄样本的观察图像的扫描电子显微镜。电荷粒子线装置101具备装置主体104和控制器。装置主体104将镜筒102和样本室103形成为一体而构成。装置主体104作为拍摄连续切片样本105的图像的拍摄部而动作。控制器具备后述的图像获取部117、位置输入部118、位置存储部119、位置运算部120、操作台控制部121、光学系统控制部122、显示装置130。
镜筒102具备电子枪107和电子光学系统108。电子枪107释放电子束106。电子光学系统108控制电子束106的轨道。电子光学系统108具备电容透镜109、偏向器110、物镜111。电容透镜109使从电子枪107释放的电子束106聚焦。偏向器110使电子束106进行扫描。物镜111使电子束106聚焦以使得焦点位于连续切片样本105的表面上。
通过向连续切片样本105照射电子束106，而产生信号113(例如二次电子、反射电子等)。检测器114被配置在镜筒102内或样本室103内的适当的位置，检测信号113。
样本室103具有经由可开闭的导入/导出口(未图示)而容纳样本台112的构造。连续切片样本105被载置在样本台112上。样本室103还具备载置样本台112的样本操作台115。
样本操作台115具备操作台控制装置116。操作台控制装置116在样本室103内使连续切片样本105例如在水平面内向平行方向移动或旋转，使样本室103内的连续切片样本105的位置、方向位移。操作台控制部121控制操作台控制装置116，光学系统控制部122控制电子光学系统118。通过向连续切片样本105的任意的位置照射电子束106，由检测器114检测所产生的信号113，能够在连续切片样本105的任意的位置和倍率下进行观察。
图像获取部117将检测器114检测出的信号113变换为观察图像(以下称为电显像)数据。图像获取部117将电显像数据转送到位置运算部120。位置运算部120由计算机等信息处理装置构成。位置运算部120使用从位置输入部118输入的信息、位置存储部119存储的信息，实施后述的运算。操作台控制部121和光学系统控制部122使用位置运算部120的运算结果，分别控制操作台控制装置161和电子光学系统108。
显示装置130例如是显示器设备等画面显示装置，对图像获取部117获取的连续切片样本105的观察图像进行画面显示。除此以外，显示装置130还显示在后述的图5以后说明的画面界面。位置输入部118接受在该画面界面上输入的指定输入。
图2是说明使用电荷粒子线装置101拍摄连续切片样本105的步骤的流程图。以下，说明图2的各步骤。
(图2：步骤S201～S202)
用户将连续切片样本105装载到样本台112，将该样本台112装载到样本操作台115(S201)。用户使用电荷粒子线装置101拍摄在后述的图3中说明的整体区域301(S202)。
(图2：步骤S203)
位置运算部120根据后述的图4的流程图，运算各样本切片的观察区域(在后述的图3中说明的高倍区域304)的坐标。位置存储部119存储位置运算部120求出的各观察区域的坐标。在观察区域在样本切片之间旋转的情况下，也可以同时求出并存储其旋转角度。
(图2：步骤S204)
操作台控制部121根据位置存储部119存储的各观察区域的坐标，使样本台115移动到能够获取各观察区域的图像的位置。光学系统控制部122同样地根据位置存储部119存储的各观察区域的坐标，控制电子光学系统108以使得向与各观察区域对应的位置照射电子束106。图像获取部117在各观察区域中获取在后述的图3中说明的中倍区域303和高倍区域304的图像。在获取了这些图像之后，可以使用在后述的图5中说明的画面界面观察各图像。
图3是连续切片样本105和观察区域的例子。连续切片样本105是连续地排列了多个切片302的样本。设想各切片具有大致相同的形状。将在后面说明形状不同的情况的例子。假定用户高倍率地观察各切片的大致相同的位置。
为了用户识别切片302的排列和个数而使用整体区域301。用户在步骤S202中，通过拍摄整体区域301的图像，而识别它们。
高倍区域304是用户要观察的区域。高倍区域坐标305是其坐标。高倍区域坐标305例如是高倍区域304的中心坐标。只要能够确定高倍区域304，也可以使用其他坐标(例如矩阵区域的各顶点的坐标)作为高倍区域坐标305。
中倍区域303是以整体区域301的倍率和高倍区域304的倍率之间的倍率拍摄所得的图像。在用户指定高倍区域304时，在该高倍区域304中必须包含用户要观察的部分。因此，为了某种程度地掌握高倍区域304内包含的特征，可以使用中倍区域303。具体地说，在用户在步骤S203中指定观察区域时，为了辅助该指定，可以拍摄中倍区域303。
图4是说明步骤S203的详情的流程图。以下，说明图4的各步骤。
(图4：步骤S401)
显示装置130将整体区域301的图像显示到在后述的图5中说明的整体区域显示部501上。
(图4：步骤S402)
用户在后述的图5的画面上，将整体区域显示部501上的任意一个切片指定为第一样本切片。图像获取部17获取所指定的第一样本切片的中倍区域303的图像。中倍区域303的坐标可以是第一样本切片的适当的位置(例如以重心、用户在画面上指定的位置为中心的矩形区域等)。
(图4：步骤S403)
显示装置130将在步骤S402中拍摄的中倍区域303的图像显示到在后述的图5中说明的中倍区域显示部502。位置运算部120根据中倍区域303的坐标，求出整体区域显示部150内的中倍区域框601的坐标。显示装置130在该坐标处显示中倍区域框601。将在后述的图6A中另外说明中倍区域框601的例子。
(图4：步骤S404)
位置运算部120求出用于在中倍区域显示部502内指定高倍区域304的高倍区域标识符503的坐标(即高倍区域坐标305)。显示装置130在该坐标处显示高倍区域标识符503。用户在中倍区域显示部502中使高倍区域标识符503移动。位置运算部120逐次地求出移动后的高倍区域标识符503的坐标。将在后述的图6A中另外说明本步骤的具体例。
(图4：步骤S404：补足)
在本步骤中，为了容易识别高倍区域304，也可以将包含高倍区域标识符503指定的区域在内的周边区域放大显示到在后述的图5中说明的放大区域显示部505。
(图4：步骤S405)
位置存储部119存储高倍区域坐标305。在本实施方式1中，使用高倍区域标识符503的中心坐标作为高倍区域坐标305，但只要能够指定高倍区域标识符503的坐标，则也可以使用框内、框上、框外的任意一个的坐标。
(图4：步骤S406)
用户在整体区域显示部501上，选择第一样本切片的第一特征点和第一切片的第二特征点。在后述的图6B中说明本步骤的具体例。例如也可以在步骤S402之前实施本步骤。
(图4：步骤S407)
位置运算部120计算在步骤S406中用户指定的第一特征点/第二特征点/高倍区域坐标305之间的位置关系(例如它们的相对坐标)。位置存储部119存储该位置关系。
(图4：步骤S408)
用户指定整体区域显示部501上的其他样本作为第二样本切片。用户接着在整体区域显示部501上，选择第二样本切片的第一特征点和第二切片的第二特征点。将在后述的图7A中说明本步骤的具体例。
(图4：步骤S409)
位置运算部120从位置存储部119读出在步骤S407中针对第一切片样本求出的第一特征点/第二特征点/高倍区域坐标305之间的位置关系。
(图4：步骤S410)
位置运算部120使第一样本切片的第一特征点的坐标和第二样本切片的第一特征点的坐标对应起来。位置运算部120还使第一样本切片的第二特征点的坐标和第二样本切片的第二特征点的坐标对应起来。位置运算部120假定第二样本切片的第一特征点/第二特征点/高倍区域坐标305之间的对应关系与第一样本切片的这些对应关系为相似关系，利用该相似关系，计算第二样本切片的高倍区域坐标305。将在后述的图7B中说明本步骤的具体例。
(图4：步骤S411)
位置运算部120将计算出的第二样本切片的高倍区域坐标305存储到位置存储部119。
(图4：步骤S412)
用户到针对所有的样本切片求出高倍区域坐标305为止，针对第三样本切片以及以后重复进行与步骤S408～S411同样的处理。
图5是显示装置130显示的画面界面的例子。用户利用该画面界面，输入图4的各步骤中的指定输入。画面界面具有整体区域显示部501、中倍区域显示部502、放大区域显示部505。
整体区域显示部501显示整体区域301的图像。整体区域301包含连续切片样本105具有的多个样本切片。用户可以在步骤S402/S406/S408中，在整体区域显示部501上指定各切片的第一特征点和第二特征点。
中倍区域显示部502显示中倍区域303的图像。中倍区域303具有为了用户准确地指定高倍区域304而以更低的倍率显示高倍区域304周边的图像的作用。中倍区域显示部502还显示表示用户指定的高倍区域304的高倍区域标识符503。用户通过在画面上使高倍区域标识符503移动，而指定高倍区域304。
放大区域显示部505显示以更高的倍率放大高倍区域标识符503周边所得的图像。如果用户使高倍区域标识符503移动，则放大区域显示部505也伴随于此，使显示的图像变化。高倍区域框504与高倍区域标识符503对应。
图6A是步骤S404中的画面界面的具体例。如果用户在中倍区域显示部502内使高倍区域标识符503移动，则放大区域显示部505内的图像也伴随着变化。还，为了掌握样本切片上的高倍区域304的相对位置，也可以在整体区域显示部501中还显示高倍区域304的位置。例如既可以伴随着高倍区域304的移动使表示高倍区域坐标305的图像(图6A中的+标记)的位置移动，也可以使中倍区域框601移动。
图6B是步骤S406中的画面界面的具体例。用户在整体区域显示部501中指定第一样本切片的第一特征点602和第二特征点603。位置运算部120计算第一特征点602/第二特征点603/高倍区域坐标305之间的位置关系作为位置关系604，将其存储到位置存储部119。
图7A是步骤S408中的画面界面的具体例。用户在整体区域显示部501中指定第二切片样本的第一特征点701和第二特征点702。
图7B是显示步骤S410的结果的画面界面的例子。通过对第二样本切片也计算出与第一特征点602/第二特征点603/高倍区域坐标305的位置关系相似的位置关系，能够计算出第二样本切片的高倍区域坐标305。位置运算部120设置第二样本切片的第一特征点701的坐标/第二特征点702的坐标/高倍区域坐标305，作为登记历史记录704存储到位置存储部119。
<实施方式1：总结>
本实施方式1的电荷粒子线装置101使用第一样本切片的第一特征点/第二特征点/高倍区域坐标305之间的位置关系，计算其他样本切片的高倍区域坐标305。由此，针对每个样本切片指定高倍区域304的工作被简化，因此用户不对探索高倍区域304的工作花费很多时间，就能够高效地观察连续切片样本105。
本实施方式1的电荷粒子线装置101不使电子束106对准第二样本切片以后，就能够指定高倍区域坐标305。因此，能够抑制由于如现有技术那样为了探索高倍区域304而向样本照射电子束106造成的样本损坏。
<实施方式2>
图8A是在本发明的实施方式2中显示装置130显示的画面界面的例子。电荷粒子线装置101的结构与实施方式1同样，因此，以下主要说明与图8所示的画面界面有关的差异点。
位置运算部120计算第一样本切片的第一特征点602和第二特征点603之间的距离。如果用户指定了第二样本切片的第一特征点701，则位置运算部120求出以第一特征点701为中心并且以前面计算出的距离为半径的圆705，将该圆705显示到显示装置130。在第一样本切片和第二样本切片具有大致相同的形状和大小的情况下，能够推定为第二特征点702存在于圆705上。因此，如图8的右图那样，即使在缺少与第二特征点702对应的第二样本切片上的部位的情况下，用户也能够高精度地指定第二特征点702。例如，可以在从第一特征点701延伸的直线与圆705的交点上指定第二特征点702。
图8B是在本实施方式2中显示装置130显示的画面界面的另一例。位置运算部120计算第一样本切片的第一特征点602和第二特征点603之间的第一线段。如果用户指定了第二样本切片的第一特征点701，则位置运算部120求出以第一特征点701为起点、具有与第一线段相同的长度、并与第一线段平行的第二线段706，将该第二线段706显示到显示装置130。可以使用第二线段706的终点作为第二特征点702的候选。用户以第一特征点701为中心使第二线段706旋转，由此，即使在如图8B那样缺少与第二特征点702对应的第二样本切片上的部位的情况下，也能够高精度地指定第二特征点702。
图9是在本实施方式2中显示装置130显示的画面界面的另一例。位置运算部120也可以在每次完成步骤S411时，将样本切片的编号706显示到整体区域显示部501上。由此，能够容易地识别已经存储了高倍区域坐标305的样本切片。
<实施方式3>
图10A是在本发明的实施方式3中显示装置130显示的画面界面的例子。电荷粒子线装置101的结构与实施方式1同样，因此，以下主要说明与图10所示的画面界面有关的差异点。
在连续切片样本105的各样本切片为大致相同形状、并且朝向大致相同的方向排列的情况下，可以认为各切片的对应的特征点被规则地排列了。在本实施方式3中，利用该情况，针对第一样本切片指定第一特征点901和高倍区域坐标305，并且针对第二样本切片，指定第二特征点903，根据它们的对应关系自动地求出第二样本切片的观察区域。用户通过在整体区域显示部501内指定各点的坐标，能够输入各特征点的坐标。
位置运算部120计算第一特征点901和第二特征点903之间的向量量904。位置运算部120还计算第一样本切片的第一特征点901与高倍区域坐标305的位置关系902，并且将位置关系902应用于第二特征点903，由此能够计算出第二样本切片的高倍区域坐标305。位置运算部120将位置关系902存储到位置存储部119。
图10B是说明对第三样本切片的处理的图。在各样本切片规则地排列的情况下，可以认为在第二样本切片的第二特征点903和第三样本切片的第三特征点905之间，也保持了第一特征点901和第二特征点90之间的位置关系。位置运算部120利用该情况，将向量量904应用于第二特征点903，由此计算出第三特征点905的坐标。因此，用户不需要指定第三特征点905的坐标。
位置运算部120还通过将位置关系902应用于第三特征点905，能够计算出第三样本切片的高倍区域坐标305。因此，用户不需要指定高倍区域坐标305。对于第四样本切片以后也同样，不指定特征点和高倍区域坐标305，就能够计算它们的坐标。将在后面说明如图10A和图10B的右端的样本切片那样排列稍微错开的情况。
图11是说明本实施方式3的步骤S203的详细的流程图。以下，说明图11的各步骤。
(图11：步骤S1101～S1107)
这些步骤与步骤S401～S407同样。但是，在步骤S1106中，用户如图10A所说明的那样指定第一样本切片的第一特征点901。另外，在步骤S1107中，位置运算部120求出位置关系902，将其存储到位置存储部119。
(图11：步骤S1108～S1111)
用户如图10A所说明的那样，指定第二样本切片的第二特征点903(S1108)。位置运算部120从位置存储部119读出位置关系902(S1109)。位置运算部120计算在图10A中说明的向量量904，并且计算第二样本切片的高倍区域坐标305(S1110)。位置运算部120将向量量904、第二样本切片的高倍区域坐标305存储到位置存储部119(S1111)。
(图11：步骤S1112)
位置运算部120既可以针对第三样本切片以及以后，重复使用第一样本切片的第一特征点901和高倍区域坐标305之间的位置关系，也可以依次将上一个样本切片的特征点和高倍区域坐标305之间的位置关系应用于下一个样本切片。在本流程图中假定为使用后者。在该情况下，位置运算部120获取第二样本切片的第二特征点903和高倍区域坐标305之间的位置关系。
(图11：步骤S1113)
位置运算部120通过将向量量904应用于第二特征点903，而求出第三样本切片的第三特征点905的坐标。位置运算部120通过将第二样本切片的第二特征点903和高倍区域坐标305之间的位置关系应用于第三特征点905，并计算出第三样本切片的高倍区域坐标305。
(图11：步骤S1113：补足之一)
例如，在稍微错开地配置第三样本切片的情况下，如果将向量量904应用于第二特征点903，则得到从第三特征点905稍微错开了的位置的坐标。为了在这样的情况下也准确地获取第三特征点905的坐标，位置运算部120也可以通过图案匹配等适当的方法，探索第三特征点905。例如，在用户指定了第二特征点903时，预先将第二特征点903周边的图像作为基准图案存储到位置存储部119。位置运算部120在通过将向量量904应用于第二特征点903而得到的坐标的周边，探索与基准图案符合的部分区域。由此，能够准确地确定第三特征点905。
(图11：步骤S1113：补足之二)
位置运算部120对通过将向量量904应用于第二特征点903而得到的坐标周边的图像和基准图案进行比较，在该坐标与基准图案符合的情况下，直接采样它作为第三特征点905。在不符合的情况下，既可以在其周边区域还探索基准图案，也可以显示催促用户指定第三特征点905的消息。
(图11：步骤S1114)
位置运算部120将计算出的第三样本切片的高倍区域坐标305存储到位置存储部119。
(图11：步骤S1115)
用户到针对所有的样本切片求出高倍区域坐标305为止，对第四样本切片以及以后重复进行与步骤S1112～S1114同样的处理。
<实施方式3：总结>
本实施方式3的电荷粒子线装置101根据向量量904，对第二样本切片以及以后，重复参照第一样本切片的第一特征点901和高倍区域坐标305之间的对应关系，由此自动地计算各样本切片的特征点和高倍区域坐标305。由此，特别在各样本切片充分排列整齐的情况下，能够减轻用户指定特征点等的工作负担。
<本发明的变形例>
本发明并不限于上述实施方式，包含各种变形例。例如，为了容易理解地说明本发明而详细说明了上述实施方式，但并不一定限于具备所说明的全部结构。另外，能够将某实施方式的结构的一部分置换为其他实施方式的结构，另外也能够向某实施方式的结构追加其他实施方式的结构。另外，能够对各实施方式的结构的一部分进行其他结构的追加/删除/置换。
在实施方式1中，使用第一样本切片的2个特征点和高倍区域坐标305之间的位置关系，计算各样本切片的高倍区域坐标305。只要能够求出高倍区域坐标305，则特征点的个数并不限于此。同样在实施方式3中，也可以对每个样本切片指定2个以上的特征点，根据向量量904，对第二样本切片以及以后，重复参照这些特征点之间的位置关系。
在实施方式1和2中，说明了电荷粒子线装置101构成为扫描型电子显微镜从而作为拍摄装置动作，但在FIB(聚焦离子束：Focused Ion Beam)装置、透射型电子显微镜等其他电荷粒子线装置作为拍摄装置动作的情况下，也同样能够应用本发明。另外，在共焦点激光显微镜、荧光显微镜等拍摄装置中，也同样能够应用本发明。
在以上的实施方式中，也可以代替中倍区域显示部502、或与之一起使用地，在整体区域显示部501内显示中倍区域303的像。例如，也可以在图6A的中倍区域框601内，缩小地显示中倍区域303的图像。
在以上的实施方式中，示例了生物体组织作为连续切片样本105，但对于排列了具有类似构造的多个样本的其他样本，通过应用本技术，也能够大幅改善摄影效率。
附图标记说明：
101：电荷粒子线装置；102：镜筒；103：样本室；104：装置主体；105：连续切片样本；106：电子束；107：电子枪；108：电子光学系统；109：电容透镜；110：偏向器；111：物镜；112：样本台；113：信号；114：检测器；115：样本操作台；116：操作台控制装置；117：图像获取部；118：位置输入部；119：位置存储部；120：位置运算部；121：操作台控制部；122：光学系统控制部。

Claims (13)

1.一种拍摄装置，该拍摄装置拍摄由多个切片构成的样本的图像，
其特征在于，
上述拍摄装置具备：
拍摄部，其生成表示上述样本的图像的图像信号；
控制器，其使用上述图像信号来生成上述样本的图像；以及
界面，其接受指定上述图像中的坐标的指定输入，
上述界面接受指定上述图像中的第一样本切片的第一特征点的坐标以及作为上述第一样本切片的部分区域的第一观察区域的坐标的上述指定输入，
上述界面还接受指定上述图像中的第二样本切片的第二特征点的坐标的上述指定输入，
上述控制器根据上述第一特征点的坐标和上述第一观察区域之间的第一对应关系，计算上述第二特征点和作为上述第二样本切片的部分区域的第二观察区域的坐标之间的第二对应关系，
上述控制器根据上述第二对应关系来确定上述第二观察区域的坐标，并且生成该确定的上述第二观察区域的图像。
2.根据权利要求1所述的拍摄装置，其特征在于，
上述界面还接受指定上述图像中的上述第一样本切片的第三特征点的坐标以及上述第二样本切片的第四特征点的坐标的上述指定输入，
上述控制器根据上述第一特征点的坐标、上述第三特征点的坐标和上述第一观察区域之间的第三对应关系，计算上述第二特征点的坐标、上述第四特征点的坐标和上述第二观察区域的坐标之间的第四对应关系，
上述控制器根据上述第四对应关系来确定上述第二观察区域的坐标，并且生成该确定的上述第二观察区域的图像。
3.根据权利要求2所述的拍摄装置，其特征在于，
上述拍摄装置还具备显示上述图像的显示部，
上述控制器根据上述第一特征点的坐标和上述第三特征点的坐标之间的对应关系，推定上述第四特征点相对于上述第二特征点的坐标的相对坐标，
上述显示部显示表示上述控制器推定出的上述第四特征点的相对坐标的图像。
4.根据权利要求3所述的拍摄装置，其特征在于，
上述控制器求出上述第一特征点的坐标和上述第三特征点的坐标之间的距离，并且求出以上述第二特征点的坐标为中心的圆弧，
上述显示部显示上述控制器求出的以上述第二特征点的坐标为中心的圆弧，来作为表示上述第四特征点的相对坐标的图像。
5.根据权利要求3所述的拍摄装置，其特征在于，
上述控制器求出上述第一特征点的坐标和上述第三特征点的坐标之间的第一线段，
上述控制器求出从上述第二特征点的坐标开始具有与上述第一线段的长度相等的长度且与上述第一线段平行的第二线段，
上述显示部显示上述控制器求出的上述第二线段，来作为表示上述第四特征点的相对坐标的图像。
6.根据权利要求1所述的拍摄装置，其特征在于，
上述控制器根据上述第一特征点和上述第二特征点之间的第五对应关系，计算上述第二特征点和上述第三样本切片的第五特征点之间的第六对应关系，
上述控制器根据上述第六对应关系，推定上述第五特征点的坐标。
7.根据权利要求6所述的拍摄装置，其特征在于，
上述控制器根据上述第一对应关系和上述第六对应关系，计算上述第五特征点和作为上述第三样本切片的部分区域的第三观察区域的坐标之间的第七对应关系，
上述控制器根据上述第七对应关系来确定上述第三观察区域的坐标，并且生成该确定的上述第三观察区域的图像。
8.根据权利要求1所述的拍摄装置，其特征在于，
上述拍摄装置还具备载置上述样本的样本台、由上述控制器控制而使上述样本台移动的操作台，
上述控制器根据上述确定的上述第二观察区域的坐标而使上述操作台移动。
9.根据权利要求1所述的拍摄装置，其特征在于，
上述拍摄部生成包含上述第一样本切片的图像和上述第二样本切片的图像在内的第一图像信号、具有比上述第一图像信号高的倍率且表示上述第一样本切片的部分区域的图像的第二图像信号，来作为上述图像信号，
上述控制器使用上述第一图像信号，生成包含上述第一样本切片的图像和上述第二样本切片的图像在内的第一图像，
上述控制器使用上述第二图像信号，生成上述第一样本切片的部分区域的第二图像。
10.根据权利要求1所述的拍摄装置，其特征在于，
上述拍摄装置还具备显示上述图像的显示部，
上述显示部显示识别上述第一样本切片的第一标识符和识别上述第二样本切片的第二标识符。
11.根据权利要求2所述的拍摄装置，其特征在于，
上述控制器在上述第二特征点的坐标、上述第四特征点的坐标和上述第二观察区域之间，计算与上述第一特征点的坐标、上述第三特征点的坐标和上述第一观察区域的坐标之间的第一几何学位置关系相似的第二几何学位置关系，由此确定上述第二观察区域的坐标。
12.根据权利要求1所述的拍摄装置，其特征在于，
上述拍摄装置还具备显示上述图像的显示部，
上述显示部显示表示上述第一特征点的坐标的图像、表示上述第一观察区域的坐标的图像、表示上述第二特征点的坐标的图像、以及表示上述第二观察区域的坐标的图像。
13.根据权利要求1所述的拍摄装置，其特征在于，
上述拍摄部具备：
照射部，其向上述样本照射电荷粒子线；以及
检测器，其检测因上述电荷粒子线与上述样本碰撞而产生的电子，
上述检测器输出表示检测出的上述电子的强度的信号作为上述图像信号。
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