JP5527274B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
(第1操作)
カンチレバー22およびレーザ光26を光学顕微鏡40によって捉え、ビデオカメラ41によって撮影した画像を確認しながら、原子間力顕微鏡ヘッド(図示せず)部分にあるレーザ光調整つまみ(図示せず)を回して、レーザ光26がカンチレバー22と重なるようにレーザ光の照射位置を調整する。(粗調整という)
(第2操作)
カンチレバー22から反射したレーザ光26を4分割光検出器25の直前で紙片に映し、レーザ光が最も明るく、丸く、映るようにレーザ光調整つまみ(図示せず)でレーザ光26の照射位置を調整する。(微調整という)
(第3操作)
カンチレバー22から反射したレーザ光26が4分割光検出器25の中央に照射すべく4分割光検出器25の位置を調整する。
光学顕微鏡10の観察視野にカンチレバー2とカンチレバー2や試料9で反射されたレーザ光6を捉え、次にビデオカメラ11にカンチレバー画像13とレーザ光束画像16を表示する。ビデオカメラ11の画像上では、レーザ光6の輝度が強いため、レーザ光6以外のカンチレバー画像部分が暗く表示されるので、輝度の高いレーザ光6をオフにして、光軸調整装置18により、カンチレバー画像13上にカンチレバー位置マーカ14が表示される。なお、カンチレバー位置マーカ14の表示は、ユーザーが手動により指定する手法や、パターンマッチング手法を用いた画像処理により行われる。また、本実施例では、カンチレバー位置マーカ14として丸印破線を使用している。その状態が図2(a)に示されている。
次に、レーザ光6をオンにして、ビデオカメラ11の画像上において、光軸調整装置18により、レーザ光束の輝度重心位置を画像処理により検出し、レーザ光束画像16上にレーザ光輝度重心位置マーカ15が表示される。本実施例では、レーザ光輝度重心位置マーカ15として丸印実線を使用している。さらに、輝度の高いレーザ光6のため暗く表示されるカンチレバー等を破線で表示している。その状態が図2(b)に示されている。
次に、レーザ光調整つまみ19、20によりレーザ光源1を水平および垂直方向に動かしながら、ビデオカメラ11の画像上で、レーザ光輝度重心位置マーカ15をカンチレバー位置マーカ14まで移動させる。レーザ光6の照射位置の移動に追随してビデオカメラ11の画像上のレーザ光輝度重心位置マーカ15も移動し、レーザ光輝度重心位置マーカ15とカンチレバー位置マーカ14が重なると、光軸調整装置18により粗調整完了の合図がビデオカメラ11の画像上に表示される。その状態が図2(c)に示されている。
従来と同様に、カンチレバー2で反射されたレーザ光6を4分割光検出器5の直前で紙片に映し、レーザ光6が最も明るく、丸く、映るようにレーザ光調整つまみ19、20によってレーザ光6の照射位置を調整する。このステップを微調整という。
初期カンチレバーを新規のカンチレバーに取り替えた後、輝度の高いレーザ光6をオフにして、光軸調整装置18により、図3(b)に示すとおり新規のカンチレバー画像33上に新規のカンチレバー位置マーカ34が第1ステップと同様に表示される。次に、新規のカンチレバー位置マーカ34を基準に、図3(a)に示す微調整完了時に記憶された初期マーカ相対位置関係を基に、新規カンチレバー位置に対する新規レーザ光の相対的な位置を算出して目標位置マーカ35を設定する。その状態が図3(b)に示されている。次に、レーザ光調整つまみ19、20によって、ビデオカメラ11の画像上でレーザ光輝度重心位置マーカ15を目標位置マーカ35に重ねることにより光軸調整が完了する。したがって、カンチレバーを新規に取り替えるたびに第5ステップにしたがって光軸調整が行われる。
2、22 カンチレバー
3 ビームスプリッタ
4、23、24 反射鏡
5、25 4分割光検出器
6、26 レーザ光
7、27 探針
9、29 試料
10、40 光学顕微鏡
11、41 ビデオカメラ
13、33 カンチレバー画像
14、34 カンチレバー位置マーカ
15 レーザ光輝度重心位置マーカ
16 レーザ光束画像
18 光軸調整装置
19、20 レーザ光調整つまみ
35 目標位置マーカ
Claims (4)
- 試料に対向すべく配置された探針を備えたカンチレバーと、レーザ光を出力するレーザ光源と、前記レーザ光源から照射されるレーザ光を前記カンチレバーへ導く第1反射器と、前記カンチレバーで反射されたレーザ光を光検出器へ導く第2反射器と、前記レーザ光を検出する光検出器と、前記レーザ光の光軸調整のためにカンチレバー近接位置を観察するビデオカメラと、を備えた走査型プローブ顕微鏡において、前記カンチレバーの位置を示すカンチレバー位置マーカと、前記レーザ光の輝度重心位置を示すレーザ光輝度重心位置マーカと、をビデオカメラの画像上に表示する表示手段を備えるとともに、前記レーザ光の移動に追随してレーザ光輝度重心位置マーカもビデオカメラの画像上で移動することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
- 初期カンチレバーに対する初期光軸調整完了後の、初期カンチレバー位置マーカと初期レーザ光輝度重心位置マーカの位置関係を示す初期マーカ相対位置関係を、記憶および表示する記憶・表示手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記初期カンチレバーを新規カンチレバーに取り替えたとき、前記初期マーカ相対位置関係を基に、新規カンチレバー位置に対する新規レーザ光の相対的な位置を算出して目標位置マーカとして設定するとともに、前記目標位置マーカを原点とする座標系を設けたことを特徴とする請求項2記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記初期レーザ光輝度重心位置マーカを前記目標位置マーカに重ね合わせるための制御手段を備えたことを特徴とする請求項3記載の走査型プローブ顕微鏡。
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JP2011092634A JP5527274B2 (ja) | 2011-04-19 | 2011-04-19 | 走査型プローブ顕微鏡 |
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- 2011-04-19 JP JP2011092634A patent/JP5527274B2/ja active Active
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