JP2010521693A - 高速走査spmスキャナ及びその動作方法 - Google Patents
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Abstract
Description
液体、又は真空中の多種多様な絶縁性又は導電性表面において、原子レベルの解像度を得ることができる。それらの解像度及び多用性から、AFMは、半導体製造から生物学研究に及ぶ多様な分野での重要な測定装置である。
が知られている。とりわけ、高性能な顕微鏡の対物系は、作動距離が短く、また、サンプル表面に近接して位置決めしなければならない。従って、高解像度光学画像化は、従来のAFM検出器との組み合わせで実現するのは困難であるが、その理由は、対物系の底部とプローブとの間に、入射及び出射検出ビーム用の幾何学的形状を収容するための充分な空間がないためである。光学顕微鏡の重さの故に、機器の走査速度を著しく低減することなく、光学顕微鏡の光学系をAFMのスキャナに組み込むことは、困難である。
更に、検知光ビームをプローブに合焦し照準設定し得るSPMを提供し、これによって、比較的小さな合焦ビームスポット及び小さなプローブをSPMにおいて用い得るようにするニーズが存在する。
の照射ビーム及び検知光ビーム双方を単体としてパン操作し得ることが好ましい。このパン操作によって、合焦照射ビームの直接又は間接目視検査下で、合焦検知光ビームをカンチレバーに位置合わせ又は照準設定し得る。このパン操作によって、より小さく共振周波数も相応に小さいカンチレバーを用い得る。
本発明の更に他の態様に基づき、SPMでサンプルを走査する方法が提供され、本方法には、少なくとも4μmの線に沿って50Hzを超えるレートで走査しつつ、1オングストローム未満の解像度で画像を得る工程が含まれる。これらのレートは、好適には、100Hz又は200Hzを超え、更に好適には、400Hzを超える。
上記「要約」の章で述べたように、本発明は、原子間力顕微鏡(AFM)等の走査型プローブ顕微鏡(SPM)用の高速動作の走査ヘッドに関する。走査ヘッドには、プローブ、プローブ用アクチュエータ、及び光学対物系が含まれ、これらは、走査のために単体として動くスキャナを集合的に形成する。更に、これらは、照射ビームを用いて、サンプルを接触して検査できるように配置され、また、検知光ビームの焦点をプローブのカンチレバーに合わせるように配置されている。
。好適なx−yアクチュエータについて、以下に述べる。好適な実施形態において、x−yアクチュエータ24の移動可能な部分、及び走査中にそれらの部分と共に動く要素は、「スキャナ」を形成する。本出願の目的のために、用語「チップスキャナ」は、サンプルとほぼ平行な面(x−y面)内で、プローブ12を走査することが可能な組立体を意味する。
を可能にし、また、検知光ビームの合焦を可能にする。それは、少なくとも部分的には、コントローラ22によって制御し得る。顕微鏡32には、対物系34と同様に光学系28の一部が含まれる。光学系28は、照射ビーム及び検知光ビーム双方をプローブ12に導き、反射検知光ビームを検出器30に導き、また、反射照射ビームを受光器36に導く。更に、対物系34は、好適には、カンチレバーの位置の向こう側にあるサンプルに合焦される。この場合、照射ビームは、サンプルに合焦され、またその像は、対物系34を通り受光器36に送出される。受光器36は、例えば、カメラ等の撮像装置であってよい。図示したカメラは、走査ヘッド11以外に配置され、光学顕微鏡32用の光源及び撮像装置の双方の役割を果たす。CCDカメラは、適切な撮像装置である。他の選択肢又は追加として、別の光源及び受光器を走査ヘッド11内及び/又は外に提供し得る。カメラに加えて又はカメラの代わりに、受光器36は、人間の目であってよい。
図1に関連して簡単に上述したように、光学系28及び対物系34は、入射検知光ビームをカンチレバー16に導き、出射検知光ビームを検出器30に導く。照射ビームも、残りの光学系28の上方に配置された鏡220によって対物系34との間に導かれる。コリメータレンズ50及び開口52は、入射検知光ビーム送出の方向で光学系28の上流に配置される。コリメータレンズ50は、入射光を平行光線のビームに変換する。それは、検知光ビーム源27と一体化形成するか又はそれに含んでよい。開口52は、スポットサイズを最小にして光てこ感度も最大にする幅又は「短径」が比較的狭いほぼ楕円又は矩形の
形状を有するように、カンチレバー16面に合焦光ビームを形成する。短径とは、最も短い長さ方向のスポットサイズの測定値を意味する。これによって、詳細に後述するように、より小さいカンチレバーを用いることが可能になる。同様に成形した開口、例えば、卵形開口も、この目的のために用い得る。このことは、開口がシステムにとって必須であることを意味しない。開口は、完全に省略するか又は円形開口で置き換え得るが、この場合、短径は、唯一の直径となる。
組合せを実現し得る。また、従来の常備レンズを多種多様な構成に用いて、適切な対物系を形成できる。
が可能だからである。
曲げ剛性が、アクチュエータの運動を阻むほど、高くなった時である。
最大アクチュエータ変位ΔXは、下式によって与えられる。
X0は、湾曲部が無い場合の自由範囲、
Kactは、アクチュエータの剛性、
Kflexは、湾曲部の剛性である。高い剛性Kflexを用いる代償は、利用可能なアクチュエータ範囲ΔXが狭くなることである。
てよい。静電容量センサ、光学センサ、歪みセンサ、インダクタンス・センサ、又はアクチュエータの動き及び/又は位置を示す出力を生成する他の任意のセンサを用いてもよい。アクチュエータに接触するどのようなセンサも、質量は最小であるべきである。例えば、小さな歪み計128は、ホイートストンブリッジ構成におけるzアクチュエータ26に搭載し得る。同様の歪み計128は、x及びy圧電素子116及び118上に又は湾曲部126によって形成されたフレーム上に搭載し得る。
周部との間でバレルの段の上方の位置に形成される。他の環状チャンバ196は、歯車144のIDとスリーブ142のODとの間でバレル88の上端の上方に形成される。3つの全チャンバ192、194、及び196は、レンズ支持体140がバレル88内で上方に動くにつれてサイズが大きくなり、レンズ支持体140がバレル88内で下方に動くにつれてサイズが小さくなる。好適には、レンズ支持体140が下方に動く間、チャンバ192、194、及び196から空気を抜くように対策が取られる。本実施形態では、底部チャンバ192からの空気は、Oリング180を通り過ぎて流れることによって、環状チャンバ194に排気され、チャンバ192及び194双方からの空気は、通気路161を通過することによって、バレル88から排出し得る。上側チャンバ196からの空気は、歯車144とバレル88の外面との間を流れOリング146を通り抜けることによって、排出される。
60及び鏡62によって受光器30へ偏向される。結果として生じるデータ又はそれから導出される情報は、閲覧、記憶、及び/又は異なる場所に送信し得る。
図10のプロセスは、ブロック300の「開始」からブロック302に進み、ここで、作業者は、空間的にプローブを配置し、カンチレバー16上において検知光ビームの中心位置を決定する。これには、通常、検知光ビームでパン操作を行うカメラ36の目視検査下でノブ94及び96を操作して、カンチレバー16上において検知光ビームの中心を位置決めすることによって、目視検査下でx及びy方向に行うパン操作の組み合わせを伴う。更にそれには、通常、検知光ビームをカンチレバー16に合焦する駆動装置38の動作を伴う。照射ビームは、この時同時に、カンチレバー16に合焦され、検知光ビームの中心位置決めと合焦の目視確認を行う。この合焦は、図12において概略的に示す。
Claims (33)
- 走査型プローブ顕微鏡(SPM)のチップスキャナであって、
アクチュエータと、
前記アクチュエータによって少なくともx−y面において移動されるプローブと、
前記プローブに入射する光ビームを出力する対物系と、を備え、
基本共振周波数が2kHzより大きいチップスキャナ。 - 基本共振周波数が5kHzより大きい請求項1に記載のチップスキャナ。
- 基本共振周波数が9kHzより大きい請求項1に記載のチップスキャナ。
- 前記アクチュエータは、互いに直交するxアクチュエータ要素及びyアクチュエータ要素を有するx−yアクチュエータを備える請求項1に記載のチップスキャナ。
- 前記アクチュエータは、更に、zアクチュエータを備える請求項4に記載のチップスキャナ。
- 前記対物系は、前記アクチュエータによって動かされる走査レンズである請求項1に記載のチップスキャナ。
- 前記アクチュエータに、更に、前記走査レンズ上に支持されたzアクチュエータを備える請求項6に記載のチップスキャナ。
- 前記対物系は、前記プローブに対して移動可能である請求項1に記載のチップスキャナ。
- 前記対物系は、前記プローブに対して垂直方向に移動可能である請求項8に記載のチップスキャナ。
- 対物系筐体を更に備え、前記プローブは前記対物系筐体上に支持されており、前記対物系は前記対物系筐体の内部で垂直方向に移動可能である請求項9に記載のチップスキャナ。
- 走査型プローブ顕微鏡(SPM)チップスキャナであって、
アクチュエータと、
前記アクチュエータによって移動される走査レンズと、を備え、
基本共振周波数が500Hzより大きく、検知光ビームスポットの短径が10マイクロメートルより小さいSPMチップスキャナ。 - 基本共振周波数が1kHzより大きく、検知光ビームスポットの短径が5マイクロメートルより小さい請求項11に記載のSPMチップスキャナ。
- 基本共振周波数が5kHzより大きい請求項11に記載のチップスキャナ。
- 基本共振周波数が9kHzより大きい請求項11に記載のチップスキャナ。
- 走査型プローブ顕微鏡(SPM)チップスキャナであって、
アクチュエータと、
前記アクチュエータによって少なくともx−y面において移動されるプローブと、
前記アクチュエータによって移動されるとともに、前記プローブに入射する光ビームを出力する対物系と、を備え、
基本共振周波数が2kHzより大きいチップスキャナ。 - 走査型プローブ顕微鏡(SPM)であって、
スキャナを備え、前記スキャナは、
プローブと、
x−y面において少なくとも100Hzのレートで前記プローブを移動させるアクチュエータと、
前記アクチュエータによって移動され、光ビームを前記プローブに合焦するとともに、対象物の画像を受光器に導く対物系と、を備える、SPM。 - 前記対物系との間に照射光ビーム及び検知光ビームを導く光学系を更に備える請求項16に記載のSPM。
- 前記光学系は、前記光学系を通過する光をパン操作して検知光ビームを前記プローブの所望の部分に導くように可動である請求項16に記載のSPM。
- 前記光学系は、x、y、及びz面において可動であるチップ/チルトステージに搭載されている請求項18に記載のSPM。
- 前記チップ/チルトステージは、ジンバルを備える請求項19に記載のSPM。
- 前記対物系は、透過光ビームの焦点を前記プローブに対して調整するように可動である請求項16に記載のSPM。
- 走査型プローブ顕微鏡(SPM)を動作させる方法であって、
少なくとも30Hzのレートでサンプル領域の上方においてプローブを走査しつつ、データを取り込む走査工程と、前記サンプルは最大寸法が少なくとも7mmであることと、
前記データの内の少なくとも1つ及び前記データから導出される情報の記憶、送信、及び表示の内の少なくとも1つを行う工程と、からなる方法。 - 前記プローブは最大直径が少なくとも10mmであるサンプル領域を走査する請求項22に記載の方法。
- 前記プローブは最大直径が少なくとも100mmであるサンプル領域を走査する請求項23に記載の方法。
- 前記走査工程は少なくとも50Hzのレートで実施される請求項22に記載の方法。
- 前記走査工程は少なくとも100Hzのレートで実施される請求項25に記載の方法。
- 前記走査工程は少なくとも200Hzのレートで実施される請求項26に記載の方法。
- 前記走査工程は少なくとも400Hzのレートで実施される請求項27に記載の方法。
- 前記走査工程は少なくとも5μmの距離を走査する工程を含む請求項22に記載の方法。
- 前記走査工程は少なくとも10μmの距離を走査する工程を含む請求項22に記載の方
法。 - 前記サンプルは、パターン付きウェーハ、生体サンプル、データ記憶要素、ポリマ、及び薄膜の内の1つである請求項22に記載の方法。
- 前記サンプルは半導体ウェーハである請求項31に記載の方法。
- 走査型プローブ顕微鏡(SPM)の光学系を操作し、合焦検知光ビームを前記SPMのプローブに照準設定する工程と、
前記光学系及び前記SPMのスキャナを操作して、サンプル表面の上方に基準面を配置する工程と、
前記基準面内において前記SPMのプローブを位置決めする工程と、
前記スキャナを操作して、前記サンプルを前記プローブと接触させる工程と、
前記合焦検知光ビームが前記プローブに照準設定されている間、前記プローブで前記サンプルを走査する工程と、からなる方法。
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