JP2001307348A - 近視野光ヘッド - Google Patents
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- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1387—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector using the near-field effect
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高速に情報を記録及び／もしくは再生を行う
近視野光ヘッドを提供すること。 【解決手段】 近視野光ヘッドは、光源からの光をレン
ズで集光し、微小開口１に照射する。このとき、微小開
口１周囲に形成された集光マーク５０１の反射光を検出
することで、レンズで集光した集光点と集光マーク５０
１との相対位置を検出し、集光点を集光マーク５０１に
追従させる。これにより、一定かつ高強度の近視野光を
微小開口１で生成でき、微小開口１を記録媒体上で高速
走査してもＳ／Ｎの高い信号が得られることから、高速
な情報記録及び／もしくは再生を行うことが可能とな
る。
近視野光ヘッドを提供すること。 【解決手段】 近視野光ヘッドは、光源からの光をレン
ズで集光し、微小開口１に照射する。このとき、微小開
口１周囲に形成された集光マーク５０１の反射光を検出
することで、レンズで集光した集光点と集光マーク５０
１との相対位置を検出し、集光点を集光マーク５０１に
追従させる。これにより、一定かつ高強度の近視野光を
微小開口１で生成でき、微小開口１を記録媒体上で高速
走査してもＳ／Ｎの高い信号が得られることから、高速
な情報記録及び／もしくは再生を行うことが可能とな
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、近視野光を利用
して高記録密度の記録媒体から情報の記録及び／もしく
は再生を行う光情報記録再生装置のための近視野光ヘッ
ドに関する。
して高記録密度の記録媒体から情報の記録及び／もしく
は再生を行う光情報記録再生装置のための近視野光ヘッ
ドに関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、光を用いた情報記録再生装置の多
くは、情報記録媒体として光ディスクを対象とした情報
の記録および再生を行っている。その中でも特に、光デ
ィスクの一つであるコンパクト・ディスク（ＣＤ）は、
大量の情報を再生できる記録媒体として広く利用されて
いる。ＣＤの表面には、情報再生時に使用されるレーザ
光の波長程度のサイズおよびその波長の４分の１程度の
深さを有したピット（情報記録単位）が形成され、光の
干渉を利用した読みとり（情報再生）を行っている。
くは、情報記録媒体として光ディスクを対象とした情報
の記録および再生を行っている。その中でも特に、光デ
ィスクの一つであるコンパクト・ディスク（ＣＤ）は、
大量の情報を再生できる記録媒体として広く利用されて
いる。ＣＤの表面には、情報再生時に使用されるレーザ
光の波長程度のサイズおよびその波長の４分の１程度の
深さを有したピット（情報記録単位）が形成され、光の
干渉を利用した読みとり（情報再生）を行っている。
【０００３】このような光情報記録再生装置は、大容量
化・小型化の方向へと進んでおり、そのため記録ピット
の高密度化が要求されている。しかしながら、従来の光
情報記録再生装置には、光学顕微鏡に用いられているレ
ンズ光学系が一般的に利用されている。このレンズ光学
系は、光の回折限界により、光のスポットサイズを波長
の２分の１以下にすることができない。そのため、情報
記録密度には限界があった。
化・小型化の方向へと進んでおり、そのため記録ピット
の高密度化が要求されている。しかしながら、従来の光
情報記録再生装置には、光学顕微鏡に用いられているレ
ンズ光学系が一般的に利用されている。このレンズ光学
系は、光の回折限界により、光のスポットサイズを波長
の２分の１以下にすることができない。そのため、情報
記録密度には限界があった。
【０００４】この情報記録密度の限界を打破する方法と
して、光の波長以下のサイズで形成した微小開口により
発生する近視野光と微小領域の相互作用を利用した情報
記録再生方法について研究が進められている。近視野光
を利用すると、従来のレンズ光学系において限界とされ
ていた光の波長以下の領域における光学情報を扱うこと
が可能となる。
して、光の波長以下のサイズで形成した微小開口により
発生する近視野光と微小領域の相互作用を利用した情報
記録再生方法について研究が進められている。近視野光
を利用すると、従来のレンズ光学系において限界とされ
ていた光の波長以下の領域における光学情報を扱うこと
が可能となる。
【０００５】近視野光を利用した情報再生方法の一例と
して、記録媒体表面に近接させた微小開口より近視野光
を生成し、記録媒体表面に情報として記録された微小構
造との相互作用により変換される散乱光を別途設けた受
光系で検出する。情報記録方法の一例としては、微小開
口より生成される近視野光を記録媒体表面に照射し、記
録媒体の微小な領域の形状を変化させたり、屈折率ある
いは透過率を変化させることにより行う。このように、
微小開口を有する近視野光ヘッドを用いることにより、
従来の光情報記録再生装置では実現できない光の回折限
界をこえた記録ピットの高密度化が達成できる。
して、記録媒体表面に近接させた微小開口より近視野光
を生成し、記録媒体表面に情報として記録された微小構
造との相互作用により変換される散乱光を別途設けた受
光系で検出する。情報記録方法の一例としては、微小開
口より生成される近視野光を記録媒体表面に照射し、記
録媒体の微小な領域の形状を変化させたり、屈折率ある
いは透過率を変化させることにより行う。このように、
微小開口を有する近視野光ヘッドを用いることにより、
従来の光情報記録再生装置では実現できない光の回折限
界をこえた記録ピットの高密度化が達成できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような近視野光ヘッドは光の利用効率が低く、発生する
近視野光の強度が非常に低い。このため、高速に情報を
記録及び／もしくは再生を行う場合には、情報再生時に
は受光系で十分な光量を得られない、情報記録時には記
録媒体の微小領域の形状もしくは屈折率、透過率の変化
に十分な光量を得られないという問題があった。その結
果、近視野光ヘッドを用いて光情報記録再生装置を構成
する際には、低速な記録及び／もしくは再生しかできな
いという問題があった。
ような近視野光ヘッドは光の利用効率が低く、発生する
近視野光の強度が非常に低い。このため、高速に情報を
記録及び／もしくは再生を行う場合には、情報再生時に
は受光系で十分な光量を得られない、情報記録時には記
録媒体の微小領域の形状もしくは屈折率、透過率の変化
に十分な光量を得られないという問題があった。その結
果、近視野光ヘッドを用いて光情報記録再生装置を構成
する際には、低速な記録及び／もしくは再生しかできな
いという問題があった。
【０００７】そこで、この発明は上記に鑑みてなされた
ものであって、常に高強度かつ一定な近視野光を発生さ
せ、高速に情報を記録及び／もしくは再生を行う近視野
光ヘッドを提供することを目的とする。
ものであって、常に高強度かつ一定な近視野光を発生さ
せ、高速に情報を記録及び／もしくは再生を行う近視野
光ヘッドを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明に係る第１の近視野光ヘッドは、近視野光
を利用して記録媒体の情報の記録及び／もしくは再生を
行う近視野光ヘッドにおいて、光源と、前記光源からの
光を集光するレンズと、凹または凸状で、かつ前記光源
からの光を反射する集光マークと、前記集光マーク内に
設けられた微小開口と、前記レンズで集光した集光点と
前記集光マークとの相対位置を検出する検出手段と、前
記集光点を前記集光マークに追従させる追従手段と、を
有することを特徴とする。
めに、本発明に係る第１の近視野光ヘッドは、近視野光
を利用して記録媒体の情報の記録及び／もしくは再生を
行う近視野光ヘッドにおいて、光源と、前記光源からの
光を集光するレンズと、凹または凸状で、かつ前記光源
からの光を反射する集光マークと、前記集光マーク内に
設けられた微小開口と、前記レンズで集光した集光点と
前記集光マークとの相対位置を検出する検出手段と、前
記集光点を前記集光マークに追従させる追従手段と、を
有することを特徴とする。
【０００９】従って、本発明に係る第１の近視野光ヘッ
ドは、集光した光を集光マークに照射することで、微小
開口に入射する光エネルギー密度を増加させ、微小開口
で発生する近視野光を高強度化できる。また、前記集光
点と集光マークとの相対位置を検出する検出手段および
前記集光点を集光マークに追従させる手段を利用するこ
とで、常に集光点が集光マークに存在し、集光マーク内
に設けられた微小開口に常に一定光量の光を照射でき
る。その結果、常に高強度かつ一定した近視野光を微小
開口で生成できることから、近視野光ヘッドを用いて高
速な情報記録及び／もしくは再生が可能となる。
ドは、集光した光を集光マークに照射することで、微小
開口に入射する光エネルギー密度を増加させ、微小開口
で発生する近視野光を高強度化できる。また、前記集光
点と集光マークとの相対位置を検出する検出手段および
前記集光点を集光マークに追従させる手段を利用するこ
とで、常に集光点が集光マークに存在し、集光マーク内
に設けられた微小開口に常に一定光量の光を照射でき
る。その結果、常に高強度かつ一定した近視野光を微小
開口で生成できることから、近視野光ヘッドを用いて高
速な情報記録及び／もしくは再生が可能となる。
【００１０】また、本発明に係る第２の近視野光ヘッド
は、第１の近視野光ヘッドにおいて、追従手段がレンズ
を移動するレンズアクチュエータを有することを特徴と
する。
は、第１の近視野光ヘッドにおいて、追従手段がレンズ
を移動するレンズアクチュエータを有することを特徴と
する。
【００１１】また、本発明に係る第３の近視野光ヘッド
は、本発明に係る第１もしくは第２の近視野光ヘッドに
おいて、追従手段が、レンズと光源との間に設けられた
ビーム偏向手段を有することを特徴とする。
は、本発明に係る第１もしくは第２の近視野光ヘッドに
おいて、追従手段が、レンズと光源との間に設けられた
ビーム偏向手段を有することを特徴とする。
【００１２】従って、レンズアクチュエータによるレン
ズ移動もしくはビーム偏向手段により、集光点を集光マ
ークに追従させるため、エネルギー密度の高い光が常に
集光マークに照射される。そのため、集光マーク内に設
けられた微小開口で常に高強度かつ一定した近視野光を
生成でき、近視野光ヘッドを用いて高速な情報記録及び
／もしくは再生が可能となる。また、集光点が集光マー
クに追従することから、近視野光ヘッドの作製および組
立精度が比較的低くても、同様の機能が発揮できる。そ
のため、安価な近視野光ヘッドを提供できる。
ズ移動もしくはビーム偏向手段により、集光点を集光マ
ークに追従させるため、エネルギー密度の高い光が常に
集光マークに照射される。そのため、集光マーク内に設
けられた微小開口で常に高強度かつ一定した近視野光を
生成でき、近視野光ヘッドを用いて高速な情報記録及び
／もしくは再生が可能となる。また、集光点が集光マー
クに追従することから、近視野光ヘッドの作製および組
立精度が比較的低くても、同様の機能が発揮できる。そ
のため、安価な近視野光ヘッドを提供できる。
【００１３】また、本発明に係る第４の近視野光ヘッド
は、本発明に係る第１から第３のいずれかの近視野光ヘ
ッドにおいて、検出手段が、集光マークからの反射光を
検出する受光素子を有することを特徴とする。
は、本発明に係る第１から第３のいずれかの近視野光ヘ
ッドにおいて、検出手段が、集光マークからの反射光を
検出する受光素子を有することを特徴とする。
【００１４】従って、集光マークからの反射光を利用す
ることから、集光点と集光マークとの相対位置検出を情
報記録及び／もしくは再生と同時に行うことができる。
そのため、常に高強度かつ一定した近視野光を微小開口
で生成できることから、高速な情報記録及び／もしくは
再生が可能となる。
ることから、集光点と集光マークとの相対位置検出を情
報記録及び／もしくは再生と同時に行うことができる。
そのため、常に高強度かつ一定した近視野光を微小開口
で生成できることから、高速な情報記録及び／もしくは
再生が可能となる。
【００１５】また、本発明に係る第５の近視野光ヘッド
は、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検出
手段が、光軸と略平行方向に関する集光点と集光マーク
との相対位置検出にナイフエッジ法を用いることを特徴
とする。
は、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検出
手段が、光軸と略平行方向に関する集光点と集光マーク
との相対位置検出にナイフエッジ法を用いることを特徴
とする。
【００１６】また、本発明に係る第６の近視野光ヘッド
は、本発明に係る第５の近視野光ヘッドにおいて、検出
手段が、反射光の一部を受光する二分割受光素子と、前
記反射光の一部を遮断するナイフエッジとを有すること
を特徴とする。
は、本発明に係る第５の近視野光ヘッドにおいて、検出
手段が、反射光の一部を受光する二分割受光素子と、前
記反射光の一部を遮断するナイフエッジとを有すること
を特徴とする。
【００１７】また、本発明に係る第７の近視野光ヘッド
は、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検出
手段が、光軸と略平行方向に関する前記集光点と集光マ
ークとの相対位置検出に非点収差法を用いることを特徴
とする。
は、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検出
手段が、光軸と略平行方向に関する前記集光点と集光マ
ークとの相対位置検出に非点収差法を用いることを特徴
とする。
【００１８】また、本発明に係る第８の近視野光ヘッド
は、本発明に係る第７の近視野光ヘッドにおいて、検出
手段が、反射光の一部を受光する四分割受光素子と、前
記四分割受光素子と前記レンズとの間に設けられた円筒
レンズと、を有することを特徴とする。
は、本発明に係る第７の近視野光ヘッドにおいて、検出
手段が、反射光の一部を受光する四分割受光素子と、前
記四分割受光素子と前記レンズとの間に設けられた円筒
レンズと、を有することを特徴とする。
【００１９】また、本発明に係る第９の近視野光ヘッド
は、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検出
手段が、光軸と略平行方向に関する集光点と集光マーク
との相対位置検出にビームサイズ検出法を用いることを
特徴とする。
は、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検出
手段が、光軸と略平行方向に関する集光点と集光マーク
との相対位置検出にビームサイズ検出法を用いることを
特徴とする。
【００２０】また、本発明に係る第１０の近視野光ヘッ
ドは、本発明に係る第９の近視野光ヘッドにおいて、検
出手段が、前記反射光を二つに分割する光ビーム分割手
段と、前記光ビーム分割手段により二つに分割されたビ
ームをそれぞれ受光する二つの三分割受光素子と、を有
することを特徴とする。
ドは、本発明に係る第９の近視野光ヘッドにおいて、検
出手段が、前記反射光を二つに分割する光ビーム分割手
段と、前記光ビーム分割手段により二つに分割されたビ
ームをそれぞれ受光する二つの三分割受光素子と、を有
することを特徴とする。
【００２１】また、本発明に係る第１１の近視野光ヘッ
ドは、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検
出手段が、光軸と略平行方向に関する集光点と集光マー
クとの相対位置検出に像回転法を用いることを特徴とす
る。
ドは、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検
出手段が、光軸と略平行方向に関する集光点と集光マー
クとの相対位置検出に像回転法を用いることを特徴とす
る。
【００２２】また、本発明に係る第１２の近視野光ヘッ
ドは、本発明に係る第１１の近視野光ヘッドにおいて、
検出手段が、反射光の一部を受光する二分割受光素子
と、円筒レンズと、前記二分割受光素子と前記円筒レン
ズの間に設けられたナイフエッジと、を有することを特
徴とする。
ドは、本発明に係る第１１の近視野光ヘッドにおいて、
検出手段が、反射光の一部を受光する二分割受光素子
と、円筒レンズと、前記二分割受光素子と前記円筒レン
ズの間に設けられたナイフエッジと、を有することを特
徴とする。
【００２３】従って、上記第５から第１２の発明におい
て、集光マークと集光点との光軸と略平行方向の相対位
置の検出手段に、従来の光ディスクおけるフォーカシン
グ技術を利用することで、簡易な構成でありながら高精
度な相対位置検出が可能となる。その結果、常に高強度
かつ一定した近視野光が微小開口で生成できることか
ら、この構成による近視野光ヘッドを用いて高速な情報
記録及び／もしくは再生が可能となる。
て、集光マークと集光点との光軸と略平行方向の相対位
置の検出手段に、従来の光ディスクおけるフォーカシン
グ技術を利用することで、簡易な構成でありながら高精
度な相対位置検出が可能となる。その結果、常に高強度
かつ一定した近視野光が微小開口で生成できることか
ら、この構成による近視野光ヘッドを用いて高速な情報
記録及び／もしくは再生が可能となる。
【００２４】また、本発明に係る第１３の近視野光ヘッ
ドは、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検
出手段が、光軸と略垂直方向に関する集光点と集光マー
クとの相対位置検出に３ビーム法を用いることを特徴と
する。
ドは、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検
出手段が、光軸と略垂直方向に関する集光点と集光マー
クとの相対位置検出に３ビーム法を用いることを特徴と
する。
【００２５】また、本発明に係る第１４の近視野光ヘッ
ドは、本発明に係る第１３の近視野光ヘッドにおいて、
検出手段が、前記光源と前記レンズとの間に設けられた
回折格子と、前記回折格子で回折し、さらに前記集光マ
ークで反射した光を受光する二分割受光素子と、を有す
ることを特徴とする。
ドは、本発明に係る第１３の近視野光ヘッドにおいて、
検出手段が、前記光源と前記レンズとの間に設けられた
回折格子と、前記回折格子で回折し、さらに前記集光マ
ークで反射した光を受光する二分割受光素子と、を有す
ることを特徴とする。
【００２６】また、本発明に係る第１５の近視野光ヘッ
ドは、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検
出手段が、光軸と略垂直方向の集光点と集光マークとの
相対位置検出にプッシュプル法を用いることを特徴とす
る。
ドは、本発明に係る第４の近視野光ヘッドにおいて、検
出手段が、光軸と略垂直方向の集光点と集光マークとの
相対位置検出にプッシュプル法を用いることを特徴とす
る。
【００２７】また、本発明に係る第１６の近視野光ヘッ
ドは、本発明に係る第１５の近視野光ヘッドにおいて、
検出手段が、反射光の一部を受光する二分割受光素子を
有することを特徴とする。
ドは、本発明に係る第１５の近視野光ヘッドにおいて、
検出手段が、反射光の一部を受光する二分割受光素子を
有することを特徴とする。
【００２８】従って、上記第１３から第１６の近視野光
ヘッドにおいて、集光マークと集光点との光軸と略垂直
方向の相対位置の検出手段に、従来の光ディスクおける
トラッキング技術を利用することで、簡易な構成であり
ながら高精度な相対位置検出が可能となる。そのため、
常に高強度かつ一定した近視野光が微小開口で生成で
き、この構成による近視野光ヘッドを用いて高速な情報
記録及び／もしくは再生が可能となる。
ヘッドにおいて、集光マークと集光点との光軸と略垂直
方向の相対位置の検出手段に、従来の光ディスクおける
トラッキング技術を利用することで、簡易な構成であり
ながら高精度な相対位置検出が可能となる。そのため、
常に高強度かつ一定した近視野光が微小開口で生成で
き、この構成による近視野光ヘッドを用いて高速な情報
記録及び／もしくは再生が可能となる。
【００２９】また、本発明に係る第１７の近視野光ヘッ
ドは、本発明に係る第１から１６いずれかの近視野光ヘ
ッドにおいて、集光マークの深さが、前記集光マークに
照射される光の実効波長の略１／８から１／４であるこ
とを特徴とする。
ドは、本発明に係る第１から１６いずれかの近視野光ヘ
ッドにおいて、集光マークの深さが、前記集光マークに
照射される光の実効波長の略１／８から１／４であるこ
とを特徴とする。
【００３０】従って、集光マークと集光点との相対位置
の変化によって、集光マークからの反射光が干渉し、反
射光の強度分布が変化する。そのため、集光マーク形状
を精度よく形成すれば、簡易な構成でありながら高精度
に集光マークと集光点の相対位置を検出することが可能
となる。その結果、常に高強度かつ一定した近視野光が
微小開口で生成でき、この構成による近視野光ヘッドを
用いて高速な情報記録及び／もしくは再生が可能とな
る。
の変化によって、集光マークからの反射光が干渉し、反
射光の強度分布が変化する。そのため、集光マーク形状
を精度よく形成すれば、簡易な構成でありながら高精度
に集光マークと集光点の相対位置を検出することが可能
となる。その結果、常に高強度かつ一定した近視野光が
微小開口で生成でき、この構成による近視野光ヘッドを
用いて高速な情報記録及び／もしくは再生が可能とな
る。
【００３１】また、本発明に係る第１８の近視野光ヘッ
ドは、本発明に係る第１から１７いずれかの近視野光ヘ
ッドにおいて、微小開口が浮上スライダーに設けられた
ことを特徴とする。
ドは、本発明に係る第１から１７いずれかの近視野光ヘ
ッドにおいて、微小開口が浮上スライダーに設けられた
ことを特徴とする。
【００３２】従って、浮上スライダーを用いることで、
浮上スライダーに設けられた微小開口と情報が記録され
た記録媒体との相対速度を高速化することができる。そ
の結果、微小開口の記録媒体上での高速走査が可能とな
り、近視野光ヘッドを用いて高速な情報記録及び／もし
くは再生が可能となる。
浮上スライダーに設けられた微小開口と情報が記録され
た記録媒体との相対速度を高速化することができる。そ
の結果、微小開口の記録媒体上での高速走査が可能とな
り、近視野光ヘッドを用いて高速な情報記録及び／もし
くは再生が可能となる。
【００３３】
【発明の実施の形態】以下、この発明につき図面を参照
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。 （実施の形態１）図１に本発明の実施の形態１に係る近
視野光ヘッド１０００の概略斜視図を示す。図２は近視
野光ヘッド１０００の構成図である。図３に近視野光ヘ
ッド１０００の一部であるスライダー５００の拡大構造
図を示す。図４にスライダー５００の断面構造図を示
す。
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。 （実施の形態１）図１に本発明の実施の形態１に係る近
視野光ヘッド１０００の概略斜視図を示す。図２は近視
野光ヘッド１０００の構成図である。図３に近視野光ヘ
ッド１０００の一部であるスライダー５００の拡大構造
図を示す。図４にスライダー５００の断面構造図を示
す。
【００３４】図１において、近視野光ヘッド１０００
は、光学素子部１００、受光素子部２００、粗動アクチ
ュエータ３００、微動アクチュエータ４００、スライダ
ー５００およびサスペンション６００から構成され、ス
ライダー５００で発生する近視野光を用いて、記録媒体
７００（図示省略、スライダー５００と受光素子部２０
０との間に設けられる）表面に記録された情報を再生す
るものである。
は、光学素子部１００、受光素子部２００、粗動アクチ
ュエータ３００、微動アクチュエータ４００、スライダ
ー５００およびサスペンション６００から構成され、ス
ライダー５００で発生する近視野光を用いて、記録媒体
７００（図示省略、スライダー５００と受光素子部２０
０との間に設けられる）表面に記録された情報を再生す
るものである。
【００３５】近視野光ヘッド１０００の構成では、高速
で回転する記録媒体７００表面に対して押しつけるよう
にサスペンション６００がスライダー５００を支持して
いる。サスペンション６００は微動アクチュエータ４０
０に連結され、さらに微動アクチュエータ４００は光学
素子部１００に結合されている。そして、粗動アクチュ
エータ３００は光学素子部１００および、記録媒体７０
０を挟んで反対面側に配置される受光素子部２００を移
動させる。
で回転する記録媒体７００表面に対して押しつけるよう
にサスペンション６００がスライダー５００を支持して
いる。サスペンション６００は微動アクチュエータ４０
０に連結され、さらに微動アクチュエータ４００は光学
素子部１００に結合されている。そして、粗動アクチュ
エータ３００は光学素子部１００および、記録媒体７０
０を挟んで反対面側に配置される受光素子部２００を移
動させる。
【００３６】図２において、光学素子部１００は、光源
１０１、二分割受光素子１０２、四分割受光素子１０
３、半反射鏡１０４、コリメート・レンズ１０５、集光
レンズ１０６、円筒レンズ１０７およびレンズアクチュ
エータ１０８から構成されている。光源１０１は例えば
半導体レーザ（波長λ＝６８０ｎｍ）である。また、レ
ンズアクチュエータ１０８は３次元方向に移動可能で、
可動範囲数十〜数百μｍ程度、例えばCDの対物レンズを
トラッキングおよびフォーカシングするボイスコイルモ
ータおよびバネ構造で構成できる。
１０１、二分割受光素子１０２、四分割受光素子１０
３、半反射鏡１０４、コリメート・レンズ１０５、集光
レンズ１０６、円筒レンズ１０７およびレンズアクチュ
エータ１０８から構成されている。光源１０１は例えば
半導体レーザ（波長λ＝６８０ｎｍ）である。また、レ
ンズアクチュエータ１０８は３次元方向に移動可能で、
可動範囲数十〜数百μｍ程度、例えばCDの対物レンズを
トラッキングおよびフォーカシングするボイスコイルモ
ータおよびバネ構造で構成できる。
【００３７】受光素子部２００は、例えばフォト・ダイ
オード２０１および受光レンズ２０２から構成されてい
る。
オード２０１および受光レンズ２０２から構成されてい
る。
【００３８】粗動アクチュエータ３００は、移動方向が
記録媒体７００の径方向、可動範囲が記録媒体７００の
情報記録領域の半径方向の長さ程度である。例えばCDの
ピックアップをシークさせるリニア型ボイスコイルモー
タで構成できる。
記録媒体７００の径方向、可動範囲が記録媒体７００の
情報記録領域の半径方向の長さ程度である。例えばCDの
ピックアップをシークさせるリニア型ボイスコイルモー
タで構成できる。
【００３９】微動アクチュエータ４００は、可動方向が
粗動アクチュエータ３００と同一方向、可動範囲が数μ
ｍ以上、位置決め精度が１０ｎｍ程度のものである。例
えば積層型圧電アクチュエータで構成できる。
粗動アクチュエータ３００と同一方向、可動範囲が数μ
ｍ以上、位置決め精度が１０ｎｍ程度のものである。例
えば積層型圧電アクチュエータで構成できる。
【００４０】図３においてスライダー５００には、エア
・ベアリング・サーフェース（ＡＢＳ）として機能する
二つのスキー部５０２が設けられている。また、二つの
スキー部５０２にはともに、ＡＢＳとして機能する際の
空気流の流入端となる側に、微小段差５０４が形成され
ている。そのスキー部５０２の片方には集光マーク５０
１が設けられ、さらに、集光マーク５０１とその周囲に
は反射膜５０３が設けられている。また、集光マーク５
０１内には微小開口１が設けられている。なお、スライ
ダー５００は空気流の流入端側が高く、流出端側が低く
浮上することから、集光マーク５０１は記録媒体７００
に近い流出端側に設けることが望ましい。スライダー５
００は１ｍｍ角程度、厚さ数百μｍの大きさである。二
つのスキー部５０２はともに、高さ１０μｍ程度の矩形
の突起であり、スキー部５０２に設けられた微小段差５
０４はスキー部５０２の上面から１５０ｎｍ程度低い構
造である。図４において、集光マーク５０１について
は、例えば、集光マーク５０１の幅Ｗは０．５μｍ、深
さＨは１１０ｎｍ、長さＬ（図中紙面に垂直方向）は１
μｍ程度の構造である。深さＨは光学素子部１００から
発した光の波長λで決定され、その関係はＨ＝（１／８
〜１／４）×λ／Ｎである。なお、Ｎはスライダー５０
０の材質の屈折率であり、λ／Ｎを実効波長と呼ぶ。後
述するが、従来の光ディスクで用いられているトラッキ
ングおよびフォーカシング技術を利用した集光マークと
集光点との相対位置検出手段をとるため、上記の集光マ
ークのサイズは、ＣＤのピットサイズと同等にしてい
る。なお、集光マークはＷが短くＬが長い矩形形状であ
り、Ｗは微動アクチュエータの可動方向に対して平行で
ある。このように微動アクチュエータの可動方向と平行
方向に関する集光マークのサイズ（Ｗ）を短くすること
で、微動アクチュエータの可動に対して集光点と集光マ
ークとの相対位置検出を精度よく行うことができる。逆
にＬを長くすることで、Ｌ方向の組立精度を大きくで
き、実装を容易にすることができる。さらに、集光点で
のビームをＬ方向が長軸となる楕円状にすると、より実
装を容易にすることができる。なお、ここでは凹状の集
光マークであるが、逆に凸状でも同様に動作可能であ
る。また、反射膜５０３の厚さは数十〜数百ｎｍ程度で
ある。微小開口１は百ナノメートル以下のサイズである
ことが望ましい。ここでは、スライダー５００材料に二
酸化ケイ素を、反射膜５０３にはアルミニウムを用いて
いる。
・ベアリング・サーフェース（ＡＢＳ）として機能する
二つのスキー部５０２が設けられている。また、二つの
スキー部５０２にはともに、ＡＢＳとして機能する際の
空気流の流入端となる側に、微小段差５０４が形成され
ている。そのスキー部５０２の片方には集光マーク５０
１が設けられ、さらに、集光マーク５０１とその周囲に
は反射膜５０３が設けられている。また、集光マーク５
０１内には微小開口１が設けられている。なお、スライ
ダー５００は空気流の流入端側が高く、流出端側が低く
浮上することから、集光マーク５０１は記録媒体７００
に近い流出端側に設けることが望ましい。スライダー５
００は１ｍｍ角程度、厚さ数百μｍの大きさである。二
つのスキー部５０２はともに、高さ１０μｍ程度の矩形
の突起であり、スキー部５０２に設けられた微小段差５
０４はスキー部５０２の上面から１５０ｎｍ程度低い構
造である。図４において、集光マーク５０１について
は、例えば、集光マーク５０１の幅Ｗは０．５μｍ、深
さＨは１１０ｎｍ、長さＬ（図中紙面に垂直方向）は１
μｍ程度の構造である。深さＨは光学素子部１００から
発した光の波長λで決定され、その関係はＨ＝（１／８
〜１／４）×λ／Ｎである。なお、Ｎはスライダー５０
０の材質の屈折率であり、λ／Ｎを実効波長と呼ぶ。後
述するが、従来の光ディスクで用いられているトラッキ
ングおよびフォーカシング技術を利用した集光マークと
集光点との相対位置検出手段をとるため、上記の集光マ
ークのサイズは、ＣＤのピットサイズと同等にしてい
る。なお、集光マークはＷが短くＬが長い矩形形状であ
り、Ｗは微動アクチュエータの可動方向に対して平行で
ある。このように微動アクチュエータの可動方向と平行
方向に関する集光マークのサイズ（Ｗ）を短くすること
で、微動アクチュエータの可動に対して集光点と集光マ
ークとの相対位置検出を精度よく行うことができる。逆
にＬを長くすることで、Ｌ方向の組立精度を大きくで
き、実装を容易にすることができる。さらに、集光点で
のビームをＬ方向が長軸となる楕円状にすると、より実
装を容易にすることができる。なお、ここでは凹状の集
光マークであるが、逆に凸状でも同様に動作可能であ
る。また、反射膜５０３の厚さは数十〜数百ｎｍ程度で
ある。微小開口１は百ナノメートル以下のサイズである
ことが望ましい。ここでは、スライダー５００材料に二
酸化ケイ素を、反射膜５０３にはアルミニウムを用いて
いる。
【００４１】図２において、サスペンション６００は、
数ｇｆの力を発生させるバネ構造のものである。例えば
磁気ディスクのヘッドを支持するステンレス製ジンバル
で構成できる。
数ｇｆの力を発生させるバネ構造のものである。例えば
磁気ディスクのヘッドを支持するステンレス製ジンバル
で構成できる。
【００４２】記録媒体７００については、例えば中心穴
付きのガラス円盤（直径１インチ）を用いる。記録媒体
７００は数千ｒｐｍで高速回転する。スライダー５００
側の面には、例えば金属膜が蒸着され、この金属膜をパ
ターンニングしてピットが形成されている。例えば、ピ
ットの大きさは数十ナノメートル程度、ピットピッチ
（記録媒体７００の周方向の間隔）はピットの大きさと
同程度、トラックピッチ（記録媒体７００の径方向の間
隔）は百〜二百ナノメートル程度である。また、金属膜
の上にはピットの破損などを防止するため、例えばダイ
ヤモンドライクカーボン膜等で保護層を設けることが望
ましい。
付きのガラス円盤（直径１インチ）を用いる。記録媒体
７００は数千ｒｐｍで高速回転する。スライダー５００
側の面には、例えば金属膜が蒸着され、この金属膜をパ
ターンニングしてピットが形成されている。例えば、ピ
ットの大きさは数十ナノメートル程度、ピットピッチ
（記録媒体７００の周方向の間隔）はピットの大きさと
同程度、トラックピッチ（記録媒体７００の径方向の間
隔）は百〜二百ナノメートル程度である。また、金属膜
の上にはピットの破損などを防止するため、例えばダイ
ヤモンドライクカーボン膜等で保護層を設けることが望
ましい。
【００４３】なおデータを記録するピット以外に、ヘッ
ドのトラッキング制御のために、セグメントマークとウ
ォブルマークから構成されるサンプルサーボ用パターン
およびシーク動作制御用にセクタのアドレス情報を各セ
クタ先頭に配置している。このように記録媒体７００を
構成すると、記録媒体７００の表面１平方インチ当たり
１００Ｇｂｉｔという高密度記録、直径１インチの記録
媒体７００の片面で７ＧＢ近い大記録容量が実現でき
る。
ドのトラッキング制御のために、セグメントマークとウ
ォブルマークから構成されるサンプルサーボ用パターン
およびシーク動作制御用にセクタのアドレス情報を各セ
クタ先頭に配置している。このように記録媒体７００を
構成すると、記録媒体７００の表面１平方インチ当たり
１００Ｇｂｉｔという高密度記録、直径１インチの記録
媒体７００の片面で７ＧＢ近い大記録容量が実現でき
る。
【００４４】図２において、上記近視野光ヘッド１００
０で記録媒体７００の情報を読みとるには、スライダー
５００に設けられた微小開口１から発生する近視野光を
利用する。まず、近視野光を用いた記録媒体７００の情
報再生方法について述べる。
０で記録媒体７００の情報を読みとるには、スライダー
５００に設けられた微小開口１から発生する近視野光を
利用する。まず、近視野光を用いた記録媒体７００の情
報再生方法について述べる。
【００４５】光学素子部１００の光源１０１から出射し
た光は、コリメート・レンズ１０５で平行光に変換さ
れ、半反射鏡１０４内を直進する。この光は、スライダ
ー５００の微小開口１でビーム径が最も小さくなるよう
集光レンズ１０６で集光されて、微小開口１が設けられ
た集光マーク５０１に照射される。なお、ビーム径が最
も小さくなる点を集光点とする。その照射光は微小開口
１の記録媒体７００側に近視野光を発生させる。そして
微小開口１から数十ｎｍの距離で近接した記録媒体７０
０表面で、近視野光は散乱する。その散乱光は記録媒体
７００内を伝播し、受光素子部２００内の受光レンズ２
０２で集光され、フォト・ダイオード２０１で検出され
る。このときの記録媒体７００表面上のピット有無によ
り、受光素子部２００で検出する光量が変化する。記録
媒体７００表面を近視野光が照射する領域は微小開口１
の径と同程度であるため、微小開口１と同程度のサイズ
の微小なピット情報を再生する事ができる。したがっ
て、近視野光を用いることで、記録媒体７００に高密度
で記録された情報を再生することが可能である。
た光は、コリメート・レンズ１０５で平行光に変換さ
れ、半反射鏡１０４内を直進する。この光は、スライダ
ー５００の微小開口１でビーム径が最も小さくなるよう
集光レンズ１０６で集光されて、微小開口１が設けられ
た集光マーク５０１に照射される。なお、ビーム径が最
も小さくなる点を集光点とする。その照射光は微小開口
１の記録媒体７００側に近視野光を発生させる。そして
微小開口１から数十ｎｍの距離で近接した記録媒体７０
０表面で、近視野光は散乱する。その散乱光は記録媒体
７００内を伝播し、受光素子部２００内の受光レンズ２
０２で集光され、フォト・ダイオード２０１で検出され
る。このときの記録媒体７００表面上のピット有無によ
り、受光素子部２００で検出する光量が変化する。記録
媒体７００表面を近視野光が照射する領域は微小開口１
の径と同程度であるため、微小開口１と同程度のサイズ
の微小なピット情報を再生する事ができる。したがっ
て、近視野光を用いることで、記録媒体７００に高密度
で記録された情報を再生することが可能である。
【００４６】また、集光した光を集光マーク５０１に照
射するため、微小開口１に入射する光のエネルギー密度
が大きく、発生する近視野光強度も大きい。そのため、
受光素子部２００で検出する光量も大きくできることか
ら、受光素子部２００の検出信号のＳ／Ｎを上げること
ができる。
射するため、微小開口１に入射する光のエネルギー密度
が大きく、発生する近視野光強度も大きい。そのため、
受光素子部２００で検出する光量も大きくできることか
ら、受光素子部２００の検出信号のＳ／Ｎを上げること
ができる。
【００４７】次に、記録媒体７００に記録された任意の
情報を読みとるには、情報が記録されている記録媒体７
００の特定領域に微小開口１を高さ制御およびトラッキ
ング制御（記録媒体７００の面内方向に対する位置決
め）する必要がある。その位置決め動作について述べ
る。
情報を読みとるには、情報が記録されている記録媒体７
００の特定領域に微小開口１を高さ制御およびトラッキ
ング制御（記録媒体７００の面内方向に対する位置決
め）する必要がある。その位置決め動作について述べ
る。
【００４８】まず、スライダー５００の高さ制御につい
ては、磁気ディスクの浮上ヘッド技術を利用する。記録
媒体７００の表面にスライダー５００を数ｇｆでおしつ
けた状態で記録媒体７００を高速に回転させると、記録
媒体７００表面に空気流が発生し、スライダー５００が
記録媒体７００表面上から数十ナノメートル浮上する。
記録媒体７００を高速に回転させた場合、記録媒体７０
０は面外方向に振動する。しかし、記録媒体７００とス
ライダー５００との間を流れる空気流の作用により、ス
ライダー５００は記録媒体７００の表面上で常に一定の
高さを維持したまま浮上することができる。
ては、磁気ディスクの浮上ヘッド技術を利用する。記録
媒体７００の表面にスライダー５００を数ｇｆでおしつ
けた状態で記録媒体７００を高速に回転させると、記録
媒体７００表面に空気流が発生し、スライダー５００が
記録媒体７００表面上から数十ナノメートル浮上する。
記録媒体７００を高速に回転させた場合、記録媒体７０
０は面外方向に振動する。しかし、記録媒体７００とス
ライダー５００との間を流れる空気流の作用により、ス
ライダー５００は記録媒体７００の表面上で常に一定の
高さを維持したまま浮上することができる。
【００４９】次にスライダー５００のトラッキング制御
について述べる。
について述べる。
【００５０】記録媒体７００の再生する情報が記録され
ている特定領域（目標トラック）に向かって、粗動アク
チュエータ３００が記録媒体７００の径方向に近視野光
ヘッド１０００全体を移動させる。そして、微小開口１
と目標トラックとが１μｍ以下に近づいたとき、微動ア
クチュエータ４００がサスペンション６００およびスラ
イダー５００を粗動アクチュエータ３００の動作方向と
同一方向に、目標トラックに向かって移動させる。そし
て、微小開口１と目標トラックとの距離が常に１０ｎｍ
程度の精度を保つよう微小開口１の位置決めを行う。ま
た、微小開口１から発生した近視野光が記録媒体７００
表面で散乱し、その光を受光素子部２００が受光するた
め、受光素子部２００は光学素子部１００と連結され、
光学素子部１００に追従した動作を行う。
ている特定領域（目標トラック）に向かって、粗動アク
チュエータ３００が記録媒体７００の径方向に近視野光
ヘッド１０００全体を移動させる。そして、微小開口１
と目標トラックとが１μｍ以下に近づいたとき、微動ア
クチュエータ４００がサスペンション６００およびスラ
イダー５００を粗動アクチュエータ３００の動作方向と
同一方向に、目標トラックに向かって移動させる。そし
て、微小開口１と目標トラックとの距離が常に１０ｎｍ
程度の精度を保つよう微小開口１の位置決めを行う。ま
た、微小開口１から発生した近視野光が記録媒体７００
表面で散乱し、その光を受光素子部２００が受光するた
め、受光素子部２００は光学素子部１００と連結され、
光学素子部１００に追従した動作を行う。
【００５１】また、粗動アクチュエータ３００および微
動アクチュエータ４００の移動方向は、記録媒体７００
の径方向であり、微動アクチュエータ４００の位置決め
精度は記録媒体７００のトラックピッチの１／１０以下
が望ましい。
動アクチュエータ４００の移動方向は、記録媒体７００
の径方向であり、微動アクチュエータ４００の位置決め
精度は記録媒体７００のトラックピッチの１／１０以下
が望ましい。
【００５２】なお、記録媒体７００の各セクタ先頭に設
けられたサンプルサーボ用パターンおよびセクタ・アド
レス情報を読みとり、微小開口１の現在位置を認識する
ことで、粗動アクチュエータ３００および微動アクチュ
エータ４００を制御している。そのため、目標トラック
と微小開口１との距離が１０ｎｍ以下という高精度な位
置決めが可能である。
けられたサンプルサーボ用パターンおよびセクタ・アド
レス情報を読みとり、微小開口１の現在位置を認識する
ことで、粗動アクチュエータ３００および微動アクチュ
エータ４００を制御している。そのため、目標トラック
と微小開口１との距離が１０ｎｍ以下という高精度な位
置決めが可能である。
【００５３】このように粗動アクチュエータ３００と微
動アクチュエータ４００との動作を連動させることで、
微小開口１の可動範囲を広く、また高精度に位置決めす
ることが可能である。
動アクチュエータ４００との動作を連動させることで、
微小開口１の可動範囲を広く、また高精度に位置決めす
ることが可能である。
【００５４】また、情報再生時と非再生時とのスライダ
ー５００の動作については、記録媒体７００およびスラ
イダー５００の摩耗および破損を防ぐため、ロード／ア
ンロード方式が望ましい。
ー５００の動作については、記録媒体７００およびスラ
イダー５００の摩耗および破損を防ぐため、ロード／ア
ンロード方式が望ましい。
【００５５】回転時の記録媒体７００は厚さ方向に数十
μｍほど面ブレ振動する。この時、光学素子部１００は
高さ方向には移動しないが、スライダー５００は記録媒
体７００の表面と一定の高さを保って浮上しているた
め、微小開口１と集光レンズ１０６の距離は変動し、集
光点が微小開口１からずれる。また、スライダー５００
のトラッキング制御時には、微動アクチュエータ４００
がスライダー５００を可動するため、微小開口１と集光
点とがずれる。以上から、発生する近視野光強度も微小
開口１と集光点との相対位置のずれに応じて変化するこ
とになる。
μｍほど面ブレ振動する。この時、光学素子部１００は
高さ方向には移動しないが、スライダー５００は記録媒
体７００の表面と一定の高さを保って浮上しているた
め、微小開口１と集光レンズ１０６の距離は変動し、集
光点が微小開口１からずれる。また、スライダー５００
のトラッキング制御時には、微動アクチュエータ４００
がスライダー５００を可動するため、微小開口１と集光
点とがずれる。以上から、発生する近視野光強度も微小
開口１と集光点との相対位置のずれに応じて変化するこ
とになる。
【００５６】そこで、集光レンズ１０６にとりつけられ
たレンズアクチュエータ１０８を用いて微小開口１を設
けた集光マーク５０１に対する集光点の追従制御を行
う。この追従制御は、情報記録もしくは再生時に、微小
開口１を設けた集光マーク５０１で反射し再び光学素子
部１００に入射する光を利用して集光マーク５０１と集
光点との相対位置を検出する手段と、集光レンズ１０６
を移動し、集光点を集光マーク５０１に追従させる手段
から成り立っている。
たレンズアクチュエータ１０８を用いて微小開口１を設
けた集光マーク５０１に対する集光点の追従制御を行
う。この追従制御は、情報記録もしくは再生時に、微小
開口１を設けた集光マーク５０１で反射し再び光学素子
部１００に入射する光を利用して集光マーク５０１と集
光点との相対位置を検出する手段と、集光レンズ１０６
を移動し、集光点を集光マーク５０１に追従させる手段
から成り立っている。
【００５７】このとき、集光マーク５０１の形状は、前
述したように、ＣＤのピットサイズとほぼ同等であるた
め、ＣＤで用いられているフォーカスおよびトラッキン
グ技術が使用できる。
述したように、ＣＤのピットサイズとほぼ同等であるた
め、ＣＤで用いられているフォーカスおよびトラッキン
グ技術が使用できる。
【００５８】集光マーク５０１と集光点との高さ方向の
相対位置検出には、光学素子部１００の四分割受光素子
１０３および円筒レンズ１０７を利用した非点収差法
を、記録媒体７００面内方向の相対位置検出について
は、光学素子部１００の二分割受光素子１０２を利用し
たプッシュプル法を用いる。
相対位置検出には、光学素子部１００の四分割受光素子
１０３および円筒レンズ１０７を利用した非点収差法
を、記録媒体７００面内方向の相対位置検出について
は、光学素子部１００の二分割受光素子１０２を利用し
たプッシュプル法を用いる。
【００５９】集光マーク５０１と集光点との相対位置検
出に利用する光は、光学素子部１００から出射し、集光
マーク５０１で反射し、再び光学素子部１００に入射
し、半反射鏡１０４で直角に進行方向を曲げられる。そ
して、他方の半反射鏡１０４でさらに二分割され、一方
は二分割受光素子１０２で、他方は円筒レンズ１０７で
一方向のみ集光された上で、四分割受光素子１０３で検
出される。検出した集光点と集光マーク５０１との相対
位置をもとにレンズアクチュエータ１０８で集光レンズ
１０６を移動させ、集光点を集光マーク５０１に追従さ
せることができる。
出に利用する光は、光学素子部１００から出射し、集光
マーク５０１で反射し、再び光学素子部１００に入射
し、半反射鏡１０４で直角に進行方向を曲げられる。そ
して、他方の半反射鏡１０４でさらに二分割され、一方
は二分割受光素子１０２で、他方は円筒レンズ１０７で
一方向のみ集光された上で、四分割受光素子１０３で検
出される。検出した集光点と集光マーク５０１との相対
位置をもとにレンズアクチュエータ１０８で集光レンズ
１０６を移動させ、集光点を集光マーク５０１に追従さ
せることができる。
【００６０】このような追従制御することで、集光点を
集光マーク５０１に追従させ、微小開口１に入射する光
強度を大きくかつ安定させることができる。このとき、
発生する近視野光の強度が増加および一定化し、さらに
受光素子部２００での検出光の光量を大きくできる。そ
のため、受光素子部２００からの検出信号のＳ／Ｎを上
げることができる。また、スライダー５００を用いるこ
とで、微小開口１の記録媒体７００面上での高速走査が
可能である。以上から、高記録密度の記録媒体７００か
ら高速な情報再生が可能となる。
集光マーク５０１に追従させ、微小開口１に入射する光
強度を大きくかつ安定させることができる。このとき、
発生する近視野光の強度が増加および一定化し、さらに
受光素子部２００での検出光の光量を大きくできる。そ
のため、受光素子部２００からの検出信号のＳ／Ｎを上
げることができる。また、スライダー５００を用いるこ
とで、微小開口１の記録媒体７００面上での高速走査が
可能である。以上から、高記録密度の記録媒体７００か
ら高速な情報再生が可能となる。
【００６１】また、このような従来の光ディスクで用い
られているレンズ追従制御方法を利用することで、複雑
な制御系が不要でありながら、高密度に記録された記録
媒体７００の情報を再生することが可能である。また、
組立精度も従来の光ディスク装置と同等程度に押さえる
ことができるため、安価に近視野光ヘッド１０００を提
供することができる。
られているレンズ追従制御方法を利用することで、複雑
な制御系が不要でありながら、高密度に記録された記録
媒体７００の情報を再生することが可能である。また、
組立精度も従来の光ディスク装置と同等程度に押さえる
ことができるため、安価に近視野光ヘッド１０００を提
供することができる。
【００６２】なお、集光マーク５０１と集光点との相対
位置を検出する方法及び集光マーク５０１に集光点を追
従させる方法は、上記の方法および構成に限定されるも
のではない。
位置を検出する方法及び集光マーク５０１に集光点を追
従させる方法は、上記の方法および構成に限定されるも
のではない。
【００６３】例えば、図６に示すように、集光マーク５
０１と集光点との高さ方向の相対位置検出には、光学素
子部１００の二分割受光素子１０２とナイフエッジ１１
３を利用したナイフエッジ法を、面内方向の相対位置検
出には、前記のプッシュプル法を用いた構成も可能であ
る。
０１と集光点との高さ方向の相対位置検出には、光学素
子部１００の二分割受光素子１０２とナイフエッジ１１
３を利用したナイフエッジ法を、面内方向の相対位置検
出には、前記のプッシュプル法を用いた構成も可能であ
る。
【００６４】また、図７に示すように、集光マーク５０
１と集光点との高さ方向の相対位置検出には、光学素子
部１００の半反射鏡１０４と二つの三分割受光素子１１
０を利用したビームサイズ検出法を、面内方向の相対位
置検出には、前記のプッシュプル法を用いた構成も可能
である。
１と集光点との高さ方向の相対位置検出には、光学素子
部１００の半反射鏡１０４と二つの三分割受光素子１１
０を利用したビームサイズ検出法を、面内方向の相対位
置検出には、前記のプッシュプル法を用いた構成も可能
である。
【００６５】また、図８に示すように、集光マーク５０
１と集光点との高さ方向の相対位置検出には、光学素子
部１００の二分割受光素子１０２及び円筒レンズ１０
７、ナイフエッジ１１３を利用した像回転検出法を、面
内方向の相対位置検出には、前記のプッシュプル法を用
いた構成も可能である。
１と集光点との高さ方向の相対位置検出には、光学素子
部１００の二分割受光素子１０２及び円筒レンズ１０
７、ナイフエッジ１１３を利用した像回転検出法を、面
内方向の相対位置検出には、前記のプッシュプル法を用
いた構成も可能である。
【００６６】また、図９に示すように、集光マーク５０
１と集光点との高さ方向の相対位置検出には、光学素子
部１００の二分割受光素子１０２、スリット１１２およ
びナイフエッジ１１３を利用したナイフエッジ法を、面
内方向の相対位置検出には、回折格子１１１と三分割受
光素子１１０を利用した３ビーム法を利用する。さら
に、集光マーク５０１に集光点を記録媒体の面内方向に
追従させる手段として、ガルバノ・ミラー１０９を用
い、集光マーク５０１に集光点を追従制御する構成も可
能である。
１と集光点との高さ方向の相対位置検出には、光学素子
部１００の二分割受光素子１０２、スリット１１２およ
びナイフエッジ１１３を利用したナイフエッジ法を、面
内方向の相対位置検出には、回折格子１１１と三分割受
光素子１１０を利用した３ビーム法を利用する。さら
に、集光マーク５０１に集光点を記録媒体の面内方向に
追従させる手段として、ガルバノ・ミラー１０９を用
い、集光マーク５０１に集光点を追従制御する構成も可
能である。
【００６７】なお、記録媒体７００に例えば相変化材料
の薄膜を設けることで、近視野光による情報の記録が可
能となる。これは、相変化材料が熱により結晶相とアモ
ルファス相との間を可逆変化できる性質を利用するもの
である。このような相変化材料として、例えばＩｎＳｅ
やＧｅＴｅなどが上げられる。
の薄膜を設けることで、近視野光による情報の記録が可
能となる。これは、相変化材料が熱により結晶相とアモ
ルファス相との間を可逆変化できる性質を利用するもの
である。このような相変化材料として、例えばＩｎＳｅ
やＧｅＴｅなどが上げられる。
【００６８】微小開口１で生成した近視野光を相変化材
料の薄膜を設けた記録媒体７００に照射すると、近視野
光は記録媒体７００の表面で散乱する。散乱光は相変化
薄膜表面で熱に変化し、相変化薄膜の微小領域（微小開
口１の径程度）のみを熱することができる。この近視野
光による加熱を利用して、相変化薄膜の微小領域を融点
以上に加熱後急冷した場合、その微小領域のみがアモル
ファス相となる。一方、微小開口１から低光強度の近視
野光を相変化薄膜に照射し、アモルファス相に変化させ
る時より低温で熱すると、相変化薄膜の微小領域のみが
結晶相に変化する。このような近視野光の照射方法を用
いると、微小開口１の径程度の微小領域でアモルファス
相から結晶相、結晶相からアモルファス相の変化が何度
でも可能となる。
料の薄膜を設けた記録媒体７００に照射すると、近視野
光は記録媒体７００の表面で散乱する。散乱光は相変化
薄膜表面で熱に変化し、相変化薄膜の微小領域（微小開
口１の径程度）のみを熱することができる。この近視野
光による加熱を利用して、相変化薄膜の微小領域を融点
以上に加熱後急冷した場合、その微小領域のみがアモル
ファス相となる。一方、微小開口１から低光強度の近視
野光を相変化薄膜に照射し、アモルファス相に変化させ
る時より低温で熱すると、相変化薄膜の微小領域のみが
結晶相に変化する。このような近視野光の照射方法を用
いると、微小開口１の径程度の微小領域でアモルファス
相から結晶相、結晶相からアモルファス相の変化が何度
でも可能となる。
【００６９】近視野光ヘッド１０００は高強度の近視野
光を生成できることから、以上の相変化薄膜の相変化を
利用した記録媒体７００への高速かつ高密度な情報記録
が可能となる。また、高強度の近視野光を生成する微小
開口１が記録媒体７００上を高速走査することで、記録
媒体７００上にアモルファス相と結晶相の領域を任意か
つ微細に設けることができる。このことから、記録媒体
７００上に高速かつ高密度で、繰り返し情報記録する事
が可能となる。
光を生成できることから、以上の相変化薄膜の相変化を
利用した記録媒体７００への高速かつ高密度な情報記録
が可能となる。また、高強度の近視野光を生成する微小
開口１が記録媒体７００上を高速走査することで、記録
媒体７００上にアモルファス相と結晶相の領域を任意か
つ微細に設けることができる。このことから、記録媒体
７００上に高速かつ高密度で、繰り返し情報記録する事
が可能となる。
【００７０】また、相変化薄膜を設けた記録媒体７００
から情報を再生する場合、アモルファス相と結晶相とで
は反射率や透過率等の光学的性質が異なるので、上記の
近視野光を利用した情報再生方法を用いることができ
る。なお、一度記録したアモルファス相と結晶相とを変
化させないため、再生時の近視野光の光強度は、結晶相
に変化させる場合より低い光強度の近視野光で行う必要
がある。
から情報を再生する場合、アモルファス相と結晶相とで
は反射率や透過率等の光学的性質が異なるので、上記の
近視野光を利用した情報再生方法を用いることができ
る。なお、一度記録したアモルファス相と結晶相とを変
化させないため、再生時の近視野光の光強度は、結晶相
に変化させる場合より低い光強度の近視野光で行う必要
がある。
【００７１】以上のように、近視野光ヘッド１０００で
相変化材料の薄膜を設けた記録媒体７００を記録及び再
生する構成は、高密度かつ繰り返し情報記録ができ、高
速な情報記録および再生も可能となる。
相変化材料の薄膜を設けた記録媒体７００を記録及び再
生する構成は、高密度かつ繰り返し情報記録ができ、高
速な情報記録および再生も可能となる。
【００７２】また、図１０に示すように、光学素子部１
００で情報記録及び／もしくは再生を行う構成も可能で
ある。
００で情報記録及び／もしくは再生を行う構成も可能で
ある。
【００７３】上記と同様、微小開口１で生成された近視
野光が記録媒体７００上で散乱される。その後、散乱光
が再び微小開口１に入射し、集光レンズ１０６に戻る。
戻り光は集光レンズ１０６で集光され、半反射鏡１０４
で反射され、集光マーク５０１と集光点との相対位置検
出を行う二分割受光素子１０２および四分割受光素子１
０３で検出される。そのため、二分割受光素子１０２お
よび四分割受光素子１０３の検出信号の総和から、記録
媒体７００の情報を再生する事が可能となる。したがっ
て、少ない構成要素でありながら、高密度で記録された
情報を再生できる。
野光が記録媒体７００上で散乱される。その後、散乱光
が再び微小開口１に入射し、集光レンズ１０６に戻る。
戻り光は集光レンズ１０６で集光され、半反射鏡１０４
で反射され、集光マーク５０１と集光点との相対位置検
出を行う二分割受光素子１０２および四分割受光素子１
０３で検出される。そのため、二分割受光素子１０２お
よび四分割受光素子１０３の検出信号の総和から、記録
媒体７００の情報を再生する事が可能となる。したがっ
て、少ない構成要素でありながら、高密度で記録された
情報を再生できる。
【００７４】スライダー５００の製造方法の概略を図５
に示す。
に示す。
【００７５】図５（ａ）は基板１０となる二酸化ケイ素
の表面にレジスト２０を塗布した状態を示している。図
５（ｂ）は、レジスト２０を露光し、集光マーク５０１
形成用マスク３０を矩形にパターニングする工程を示し
ている。図５（ｃ）は、集光マーク５０１をエッチング
で形成する工程を示している。図５（ｄ）では、レジス
トを露光し、微小段差５０４形成用マスク４０をパター
ニングし、図５（ｅ）では、微小段差５０４をエッチン
グで形成する工程を示している。図５（ｆ）はレジスト
を露光し、スキー部５０２形成用マスク５０をパターニ
ングし、図５（ｇ）はスキー部５０２をエッチングで形
成する工程を示している。図５（ｈ）は集光マーク５０
１にアルミニウムをスパッタし、反射膜５０３を形成す
る工程を示している。図５（ｉ）はＦＩＢ（Ｆｏｃｕｓ
ｅｄ Ｉｏｎ Ｂｅａｍ）を用いて微小開口１を形成す
る工程を示している。
の表面にレジスト２０を塗布した状態を示している。図
５（ｂ）は、レジスト２０を露光し、集光マーク５０１
形成用マスク３０を矩形にパターニングする工程を示し
ている。図５（ｃ）は、集光マーク５０１をエッチング
で形成する工程を示している。図５（ｄ）では、レジス
トを露光し、微小段差５０４形成用マスク４０をパター
ニングし、図５（ｅ）では、微小段差５０４をエッチン
グで形成する工程を示している。図５（ｆ）はレジスト
を露光し、スキー部５０２形成用マスク５０をパターニ
ングし、図５（ｇ）はスキー部５０２をエッチングで形
成する工程を示している。図５（ｈ）は集光マーク５０
１にアルミニウムをスパッタし、反射膜５０３を形成す
る工程を示している。図５（ｉ）はＦＩＢ（Ｆｏｃｕｓ
ｅｄ Ｉｏｎ Ｂｅａｍ）を用いて微小開口１を形成す
る工程を示している。
【００７６】スライダー５００の製造方法については、
スライダー５００材料に二酸化ケイ素やシリコン等の半
導体材料を用いた場合、半導体プロセスにおけるフォト
リソグラフィや異方性エッチング等を用いた微細加工を
利用できる。このため、スライダー５００を高精度かつ
一括大量に作製することが可能である。
スライダー５００材料に二酸化ケイ素やシリコン等の半
導体材料を用いた場合、半導体プロセスにおけるフォト
リソグラフィや異方性エッチング等を用いた微細加工を
利用できる。このため、スライダー５００を高精度かつ
一括大量に作製することが可能である。
【００７７】以上を説明したように、実施の形態１によ
れば、近視野光強度が増加し、また安定化させることが
できるため、情報が高密度に記録された記録媒体７００
から高速に情報記録及び再生できる近視野光ヘッド１０
００を提供することが可能となる。また、組立精度も従
来の光ディスク装置と同等程度に押さえることができる
ため、安価な近視野光ヘッド１０００を提供できる。さ
らに、最も加工精度の高いスライダー５００の作製に、
半導体プロセスを導入することで、高精度かつ一括大量
に作製することでき、近視野光ヘッド１０００を安価に
提供することができる。
れば、近視野光強度が増加し、また安定化させることが
できるため、情報が高密度に記録された記録媒体７００
から高速に情報記録及び再生できる近視野光ヘッド１０
００を提供することが可能となる。また、組立精度も従
来の光ディスク装置と同等程度に押さえることができる
ため、安価な近視野光ヘッド１０００を提供できる。さ
らに、最も加工精度の高いスライダー５００の作製に、
半導体プロセスを導入することで、高精度かつ一括大量
に作製することでき、近視野光ヘッド１０００を安価に
提供することができる。
【００７８】
【発明の効果】以上説明したように、第１の発明による
近視野光ヘッドでは、集光した光を集光マークに照射す
ることで、微小開口に入射する光エネルギー密度を増加
させ、微小開口で発生する近視野光を高強度化できる。
また、前記集光点と集光マークとの相対位置を検出する
検出手段および前記集光点を集光マークに追従させる手
段を利用することで、常に集光点が集光マークに存在
し、集光マーク内に設けられた微小開口に常に一定光量
の光を照射できる。その結果、常に高強度かつ一定した
近視野光を微小開口で生成できることから、近視野光ヘ
ッドを用いて高速な情報記録及び／もしくは再生が実現
できる。
近視野光ヘッドでは、集光した光を集光マークに照射す
ることで、微小開口に入射する光エネルギー密度を増加
させ、微小開口で発生する近視野光を高強度化できる。
また、前記集光点と集光マークとの相対位置を検出する
検出手段および前記集光点を集光マークに追従させる手
段を利用することで、常に集光点が集光マークに存在
し、集光マーク内に設けられた微小開口に常に一定光量
の光を照射できる。その結果、常に高強度かつ一定した
近視野光を微小開口で生成できることから、近視野光ヘ
ッドを用いて高速な情報記録及び／もしくは再生が実現
できる。
【００７９】また、第２及び第３の発明による近視野光
ヘッドでは、レンズアクチュエータによるレンズ移動も
しくはビーム偏向手段により、集光点を集光マークに追
従させるため、エネルギー密度の高い光が常に集光マー
クに照射される。そのため、常に高強度かつ一定した近
視野光を微小開口で生成でき、近視野光ヘッドを用いて
高速な情報記録及び／もしくは再生を実現できる。ま
た、集光点が集光マークに追従することから、近視野光
ヘッドの作製および組立精度が比較的低くても、同様の
機能を発揮できる。そのため、安価な近視野光ヘッドを
提供できる。
ヘッドでは、レンズアクチュエータによるレンズ移動も
しくはビーム偏向手段により、集光点を集光マークに追
従させるため、エネルギー密度の高い光が常に集光マー
クに照射される。そのため、常に高強度かつ一定した近
視野光を微小開口で生成でき、近視野光ヘッドを用いて
高速な情報記録及び／もしくは再生を実現できる。ま
た、集光点が集光マークに追従することから、近視野光
ヘッドの作製および組立精度が比較的低くても、同様の
機能を発揮できる。そのため、安価な近視野光ヘッドを
提供できる。
【００８０】また、第４の発明による近視野光ヘッドで
は、集光マークからの反射光を利用することから、集光
点と集光マークとの相対位置検出を情報記録及び／もし
くは再生と同時に行うことができる。そのため、高速な
情報記録及び／もしくは再生が実現できる。
は、集光マークからの反射光を利用することから、集光
点と集光マークとの相対位置検出を情報記録及び／もし
くは再生と同時に行うことができる。そのため、高速な
情報記録及び／もしくは再生が実現できる。
【００８１】また、第５から第１２の発明による近視野
光ヘッドは、集光点と集光マークとの光軸と略垂直方向
の相対位置検出手段に、従来の光ディスクのフォーカシ
ング技術を利用することで、簡易な構成でありながら高
精度な集光点と集光マークとの光軸と略平行方向の相対
位置検出が可能となる。そのため、常に高強度かつ一定
した近視野光が微小開口で生成でき、この構成による近
視野光ヘッドを用いて高速な情報記録及び／もしくは再
生が実現できる。
光ヘッドは、集光点と集光マークとの光軸と略垂直方向
の相対位置検出手段に、従来の光ディスクのフォーカシ
ング技術を利用することで、簡易な構成でありながら高
精度な集光点と集光マークとの光軸と略平行方向の相対
位置検出が可能となる。そのため、常に高強度かつ一定
した近視野光が微小開口で生成でき、この構成による近
視野光ヘッドを用いて高速な情報記録及び／もしくは再
生が実現できる。
【００８２】また、第１３から第１６の発明による近視
野光ヘッドは、集光点と集光マークとの光軸と略平行方
向の相対位置検出手段に、従来の光ディスクおけるトラ
ッキング技術を利用することで、簡易な構成でありなが
ら高精度な集光点と集光マークとの光軸と略垂直方向の
相対位置検出が可能となる。そのため、常に高強度かつ
一定した近視野光が微小開口で生成でき、この構成によ
る近視野光ヘッドを用いて高速な情報記録及び／もしく
は再生が実現できる。
野光ヘッドは、集光点と集光マークとの光軸と略平行方
向の相対位置検出手段に、従来の光ディスクおけるトラ
ッキング技術を利用することで、簡易な構成でありなが
ら高精度な集光点と集光マークとの光軸と略垂直方向の
相対位置検出が可能となる。そのため、常に高強度かつ
一定した近視野光が微小開口で生成でき、この構成によ
る近視野光ヘッドを用いて高速な情報記録及び／もしく
は再生が実現できる。
【００８３】また、第１７の発明における近視野光ヘッ
ドは、集光マークの上面および下面での反射光が干渉
し、その干渉光の強度分布から集光マーク位置を検出す
る事ができる。そのため、集光マーク形状を精度よく形
成すれば、簡易な構成でありながら高精度に集光マーク
と集光点の相対位置を検出することが可能となる。その
結果、常に高強度かつ一定した近視野光が微小開口で生
成でき、この構成による近視野光ヘッドを用いて高速な
情報記録及び／もしくは再生が実現できる。
ドは、集光マークの上面および下面での反射光が干渉
し、その干渉光の強度分布から集光マーク位置を検出す
る事ができる。そのため、集光マーク形状を精度よく形
成すれば、簡易な構成でありながら高精度に集光マーク
と集光点の相対位置を検出することが可能となる。その
結果、常に高強度かつ一定した近視野光が微小開口で生
成でき、この構成による近視野光ヘッドを用いて高速な
情報記録及び／もしくは再生が実現できる。
【００８４】また、第１８の発明における近視野光ヘッ
ドは、浮上スライダーを用いることで、浮上スライダー
に設けられた微小開口と情報が記録された記録媒体との
相対速度を高速化することができる。その結果、微小開
口の記録媒体上での高速走査が可能となり、近視野光ヘ
ッドを用いて高速な情報記録及び／もしくは再生が可能
となる。
ドは、浮上スライダーを用いることで、浮上スライダー
に設けられた微小開口と情報が記録された記録媒体との
相対速度を高速化することができる。その結果、微小開
口の記録媒体上での高速走査が可能となり、近視野光ヘ
ッドを用いて高速な情報記録及び／もしくは再生が可能
となる。
【図１】本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッドを
示す概略斜視図である。
示す概略斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッドを
示す構成図である。
示す構成図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッドの
一部であるスライダーの構造を示す説明図である。
一部であるスライダーの構造を示す説明図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッドの
一部であるスライダーの断面構造を示す説明図である。
一部であるスライダーの断面構造を示す説明図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッドの
製造方法を示す図である。
製造方法を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッドを
示す構成図である。
示す構成図である。
【図７】本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッドを
示す構成図である。
示す構成図である。
【図８】本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッドを
示す構成図である。
示す構成図である。
【図９】本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッドを
示す構成図である。
示す構成図である。
【図１０】本発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッド
を示す構成図である。
を示す構成図である。
１０００ 近視野光ヘッド １ 微小開口 １００ 光学素子部 １０１ 光源 １０２ 二分割受光素子 １０３ 四分割受光素子 １０４ 半反射鏡 １０５ コリメート・レンズ １０６ 集光レンズ １０７ 円筒レンズ １０８ レンズアクチュエータ １０９ ガルバノ・ミラー １１０ 三分割受光素子 １１１ 回折格子 １１２ スリット １１３ ナイフエッジ ２００ 受光素子部 ２０１ フォト・ダイオード ２０２ 受光レンズ ３００ 粗動アクチュエータ ４００ 微動アクチュエータ ５００ スライダー ５０１ 集光マーク ５０２ スキー部 ５０３ 反射膜 ５０４ 微小段差 ６００ サスペンション ７００ 記録媒体 １０ 基板 ２０ レジスト ３０ 集光マーク形成用マスク ４０ 微小段差形成用マスク ５０ スキー部形成用マスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｎ 13/10 Ｇ０１Ｎ 13/10 Ｇ 13/14 13/14 Ｂ Ｇ１１Ｂ 7/135 Ｇ１１Ｂ 7/135 Ａ Ｇ１２Ｂ 21/06 Ｇ１２Ｂ 1/00 ６０１Ｃ (72)発明者 大海 学 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 笠間 宣行 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 前田 英孝 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 加藤 健二 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 新輪 隆 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 Ｆターム(参考） 2G065 AA04 AB04 AB09 AB22 AB23 BA09 BB06 BB23 BB46 DA15 5D118 AA13 AA14 BA01 BB02 BF02 BF03 CD02 CD03 CF02 CF03 CF06 CF16 DA03 DA12 DA35 DC03 DC20 5D119 AA11 AA22 AA43 BA01 DA01 DA05 EA02 EA03 JA34 JA43 MA06
Claims (18)
- 【請求項１】 近視野光を利用して記録媒体の情報の記
録及び／もしくは再生を行う近視野光ヘッドにおいて、 光源と、 前記光源からの光を集光するレンズと、 凹または凸状で、かつ前記光源からの光を反射する集光
マークと、 前記集光マーク内に設けられた微小開口と、 前記レンズで集光した集光点と前記集光マークとの相対
位置を検出する検出手段と、 前記集光点を前記集光マークに追従させる追従手段と、
を有することを特徴とする近視野光ヘッド。 - 【請求項２】 前記追従手段が、前記レンズを移動する
レンズアクチュエータを有することを特徴とする請求項
１に記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項３】 前記追従手段が、前記レンズと前記光源
との間に設けられたビーム偏向手段を有することを特徴
とする請求項１もしくは２に記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項４】 前記検出手段が、前記集光マークからの
反射光を検出する受光素子を有することを特徴とする請
求項１から３のいずれか一項に記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項５】 前記検出手段が、光軸と略平行方向に関
する前記集光点と前記集光マークとの相対位置検出にナ
イフエッジ法を用いることを特徴とする請求項４に記載
の近視野光ヘッド。 - 【請求項６】 前記検出手段が、前記反射光の一部を受
光する二分割受光素子と、前記反射光の一部を遮断する
ナイフエッジとを有することを特徴とする請求項５に記
載の近視野光ヘッド。 - 【請求項７】 前記検出手段が、光軸と略平行方向に関
する前記集光点と前記集光マークとの相対位置検出に非
点収差法を用いることを特徴とする請求項４に記載の近
視野光ヘッド。 - 【請求項８】 前記検出手段が、前記反射光の一部を受
光する四分割受光素子と、前記四分割受光素子と前記レ
ンズとの間に設けられた円筒レンズと、を有することを
特徴とする請求項７に記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項９】 前記検出手段が、光軸と略平行方向に関
する前記集光点と前記集光マークとの相対位置検出にビ
ームサイズ検出法を用いることを特徴とする請求項４に
記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項１０】 前記検出手段が、前記反射光の一部を
二つに分割する光ビーム分割手段と、前記光ビーム分割
手段により二つに分割されたビームをそれぞれ受光する
二つの三分割受光素子と、を有することを特徴とする請
求項９に記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項１１】 前記検出手段が、光軸と略平行方向に
関する前記集光点と前記集光マークとの相対位置検出に
像回転法を用いることを特徴とする請求項４に記載の近
視野光ヘッド。 - 【請求項１２】 前記検出手段が、前記反射光の一部を
受光する二分割受光素子と、前記二分割受光素子と前記
レンズとの間に設けられた円筒レンズと、前記二分割受
光素子と前記円筒レンズの間に設けられたナイフエッジ
と、を有することを特徴とする請求項１１に記載の近視
野光ヘッド。 - 【請求項１３】 前記検出手段が、光軸と略垂直方向に
関する前記集光点と前記集光マークとの相対位置検出に
３ビーム法を用いることを特徴とする請求項４に記載の
近視野光ヘッド。 - 【請求項１４】 前記検出手段が、前記光源と前記レン
ズとの間に設けられた回折格子と、前記回折格子で回折
し、さらに前記集光マークで反射した光を受光する二分
割受光素子と、を有することを特徴とする請求項１３に
記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項１５】 前記検出手段が、光軸と略垂直方向に
関する前記集光点と前記集光マークとの相対位置検出に
プッシュプル法を用いることを特徴とする請求項４に記
載の近視野光ヘッド。 - 【請求項１６】 前記検出手段が、前記反射光の一部を
受光する二分割受光素子を有することを特徴とする請求
項１５に記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項１７】 前記集光マークの深さが、前記集光マ
ークに照射される光の実効波長の略１／８から１／４で
あることを特徴とする請求項１から１６のいずれか一項
に記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項１８】 前記微小開口が浮上スライダーに設け
られたことを特徴とする請求項１から１７のいずれか一
項に記載の近視野光ヘッド。
Priority Applications (4)
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| JP2000119753A JP2001307348A (ja) | 2000-04-20 | 2000-04-20 | 近視野光ヘッド |
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| EP01303370A EP1150286B1 (en) | 2000-04-20 | 2001-04-10 | Near-field optical head |
| US09/833,147 US6744708B2 (en) | 2000-04-20 | 2001-04-11 | Near-field optical head |
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|---|---|---|---|
| JP2000119753A JP2001307348A (ja) | 2000-04-20 | 2000-04-20 | 近視野光ヘッド |
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|---|---|---|---|---|
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| EP1150286A2 (en) | 2001-10-31 |
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