KR102571030B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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도루 아즈마
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

[과제] 그룹마다 기판의 반송 및 처리가 관리된다.
[해결 수단] 순차 처리부는, 복수의 그룹으로 나누어진 기판마다 설정되는 순차 처리 기판 데이터에 의거하여, 기판을 순차적으로 반송하면서, 기판에 대해 처리를 행한다. 동시 처리부는, 그룹마다 설정되는 동시 처리 기판 데이터에 의거하여, 그룹마다 기판을 동시에 처리한다. 동시 처리 기판 데이터는, 그룹을 식별하는 그룹 식별 정보와, 그룹에 속하는 기판을 서로 구별하는 기판 번호와, 그룹에 있어서의 기판의 반송 방향에 대한 위치인 반송 위치를 나타내는 위치 정보와, 그룹에 속하는 기판에 공통으로 이루어지는 처리 내용을 규정하기 위한 레시피 정보를 포함한다. 순차 처리 기판 데이터는, 순차 처리 기판 데이터에 대응하는 기판에 대한 위치 정보와, 그룹 식별 정보와, 레시피 정보를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD}
본원은, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
기판 처리의 스루 풋을 향상시키기 위해, 복수의 기판을 한 묶음으로서 장치 간을 반송시키는 기술이 제안되고 있다. 예를 들면 순차 처리 장치(이것은 후에 상세히 서술된다)로 복수의 기판이 일괄적으로 반송된다. 기판은 순차 처리 장치에 있어서 1장씩 순차적으로 반송되면서 처리가 행해진다. 처리된 복수의 기판은 동시 처리 장치(이것은 후에 상세히 서술된다)로 일괄적으로 반송된다.
예를 들면 하기의 특허 문헌 1에서는, 개별 기판 데이터에 의거하여 순차 처리 장치에 있어서의 복수의 기판의 각각에 대한 반송 및 처리가 제어되고, 전체 기판 데이터에 의거하여 동시 처리 장치에 있어서의 복수의 기판의 반송 및 처리가 제어되는 기술이 개시된다. 개별 기판 데이터 및 전체 기판 데이터 중 어느 것에나 레시피 정보가 포함된다. 레시피 정보에 의해 기판에 대한 처리 내용이 규정된다. 한 묶음이 된 복수의 기판의 레시피 정보는 공통된다.
일본 특허공개 2020-17604호 공보
복수의 기판의 묶음(이하 「그룹」이라고도 칭한다)마다 레시피 정보가 공통될 때, 그룹마다 기판의 반송 및 처리가 관리되는 것이 바람직하다. 예를 들면 순차 처리 장치로부터 동시 처리 장치로 반송되는 기판이, 어느 그룹에 속하고 있는지가 관리되는 것이 바람직하다. 예를 들면 어떤 그룹에 속하는 기판 중 어느 하나가 순차 처리 장치에 있어서 제거되어도, 이와 같은 관리가 바람직하다.
본원에 개시되는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법은, 그룹마다 기판의 반송 및 처리를 관리하는 것을 목적으로 한다.
본원에 개시되는 기판 처리 장치는, 순차 처리부와, 동시 처리부와, 제어부를 구비한다. 상기 순차 처리부는, 복수의 그룹으로 나누어진 기판마다 설정되는 순차 처리 기판 데이터에 의거하여, 상기 기판을 순차적으로 반송하면서, 상기 기판에 대해 처리를 행한다. 상기 동시 처리부는, 상기 그룹마다 설정되는 동시 처리 기판 데이터에 의거하여, 상기 그룹마다 상기 기판을 동시에 처리한다. 상기 제어부는, 상기 순차 처리 기판 데이터에 의거하여 상기 순차 처리부에 있어서의 상기 기판에 대한 반송 및 상기 처리를 제어하여, 상기 동시 처리 기판 데이터에 의거하여 상기 동시 처리부에 있어서의 상기 기판에 대한 처리를 제어한다.
상기 동시 처리 기판 데이터는, 상기 그룹을 식별하는 그룹 식별 정보와, 상기 그룹에 속하는 상기 기판을 서로 구별하는 기판 번호와, 상기 그룹에 있어서의 상기 기판의 반송 방향에 대한 위치인 반송 위치를 나타내는 위치 정보와, 상기 그룹에 속하는 상기 기판에 공통으로 이루어지는 처리 내용을 규정하기 위한 레시피 정보를 포함한다.
상기 순차 처리 기판 데이터는, 상기 순차 처리 기판 데이터에 대응하는 상기 기판에 대한 상기 위치 정보와, 상기 그룹 식별 정보와, 상기 레시피 정보를 포함한다.
상기 제어부는, 상기 동시 처리 기판 데이터로부터 상기 순차 처리 기판 데이터를 생성하고, 상기 순차 처리 기판 데이터로부터 상기 동시 처리 기판 데이터를 생성한다.
본원에 개시되는 기판 처리 방법은, 순차 처리와 동시 처리를 구비한다. 상기 순차 처리는, 복수의 그룹으로 나누어진 기판마다 설정되는 순차 처리 기판 데이터에 의거하여, 상기 기판을 순차적으로 반송하면서, 상기 기판에 대해 처리를 행한다. 상기 동시 처리는, 상기 그룹마다 설정되는 동시 처리 기판 데이터에 의거하여, 상기 그룹마다 상기 기판을 동시에 처리한다.
상기 순차 처리 기판 데이터에 의거하여 상기 순차 처리에 있어서의 상기 기판에 대한 반송 및 상기 처리가 제어된다. 상기 동시 처리 기판 데이터에 의거하여 상기 동시 처리에 있어서의 상기 기판에 대한 처리가 제어된다. 상기 동시 처리 기판 데이터는, 상기 그룹을 식별하는 그룹 식별 정보와, 상기 그룹에 속하는 상기 기판을 서로 구별하는 기판 번호와, 상기 그룹에 있어서의 상기 기판의 반송 방향에 대한 위치인 반송 위치를 나타내는 위치 정보와, 상기 그룹에 속하는 상기 기판에 공통으로 이루어지는 처리 내용을 규정하기 위한 레시피 정보를 포함한다.
상기 순차 처리 기판 데이터는, 상기 순차 처리 기판 데이터에 대응하는 상기 기판에 대한 상기 위치 정보와, 상기 그룹 식별 정보와, 상기 레시피 정보를 포함한다.
상기 동시 처리 기판 데이터로부터 상기 순차 처리 기판 데이터가 생성되고, 상기 순차 처리 기판 데이터로부터 상기 동시 처리 기판 데이터가 생성된다.
본원에 개시되는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법은, 그룹마다 기판의 반송 및 처리를 관리한다.
본원 명세서에 개시되는 기술에 관한 목적과, 특징과, 국면과, 이점은, 이하에 나타내는 상세한 설명과 첨부 도면에 의해, 더욱 명백해진다.
도 1은 기판 처리 장치의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2는 순차 처리 장치의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 3은 동시 처리 장치의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 4는 제어부의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 기능 블럭도이다.
도 5는 동시 처리 기판 데이터의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 6은 카세트에 있어서 복수의 기판이 수용되는 양태를 모식적으로 나타내는 도이다.
도 7은 카세트에 있어서 복수의 기판이 수용되는 양태를 모식적으로 나타내는 도이다.
도 8은 동시 처리 기판 데이터의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 9는 동시 처리 기판 데이터의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 10은 동시 처리 장치의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 11은 순차 처리 기판 데이터의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 12는 순차 처리 기판 데이터의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 13은 순차 처리 장치의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 14는 순차 처리 장치의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 15는 순차 처리 기판 데이터의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 16은 순차 처리 장치의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 17은 순차 처리 장치의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 18은 순차 처리 장치의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 19는 순차 처리 장치의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 20은 동시 처리 장치 및 순차 처리 장치에 있어서의 동작의 흐름을 예시하는 플로차트이다.
도 21은 단계 S3의 상세를 예시하는 플로차트이다.
도 22는 단계 S5의 상세를 예시하는 플로차트이다.
도 23은 단계 S509의 상세를 예시하는 플로차트이다.
이하, 첨부되는 도면을 참조하면서 실시의 형태에 대해서 설명한다. 또한, 도면은 개략적으로 나타내는 것이며, 설명의 편의를 위해, 적절히, 구성의 생략 및 구성의 간략화가 이루어지는 것이다. 또, 도면에 나타내는 구성의 크기 및 위치의 상호 관계는, 반드시 정확하게 기재되는 것은 아니며, 적절히 변경될 수 있는 것이다.
또, 이하에 나타내는 설명에서는, 동일한 구성 요소에는 같은 부호를 붙여 도시하고, 그들의 명칭과 기능에 대해서도 동일한 것으로 한다. 따라서, 그들에 대한 상세한 설명을, 중복을 피하기 위해 생략하는 경우가 있다.
또, 이하에 기재되는 설명에 있어서, 「제1」 또는 「제2」 등의 서수가 이용되는 경우가 있어도, 이들 용어는, 실시의 형태의 내용을 이해하는 것을 용이하게 하기 위해 편의상 이용되는 것이며, 이들 서수에 의해 발생할 수 있는 순서 등에 한정되는 것은 아니다.
상대적 또는 절대적인 위치 관계를 나타내는 표현(예를 들면 「일 방향으로」 「일 방향을 따라」 「평행」 「직교」 「중심」 「동심」 「동축」 등)은, 특별히 언급하지 않는 한, 그 위치 관계를 엄밀하게 나타낼 뿐만 아니라, 공차 혹은 동일한 정도의 기능이 얻어지는 범위에서 상대적으로 각도 또는 거리에 관해서 변위된 상태도 나타내는 것으로 한다. 동등한 상태인 것을 나타내는 표현(예를 들면 「동일」 「동등하다」 「균질」 등)은, 특별히 언급하지 않는 한, 정량적으로 엄밀하게 동등한 상태를 나타낼 뿐만 아니라, 공차 혹은 동일한 정도의 기능이 얻어지는 차가 존재하는 상태도 나타내는 것으로 한다. 형상을 나타내는 표현(예를 들면, 「사각 형상」 또는 「원통 형상」 등)은, 특별히 언급하지 않는 한, 기하학적으로 엄밀하게 그 형상을 나타낼 뿐만 아니라, 동일한 정도의 효과가 얻어지는 범위에서, 예를 들면 요철이나 모따기 등을 가지는 형상도 나타내는 것으로 한다. 하나의 구성 요소를 「마련하다」 「갖추다」 「구비한다」 「포함한다」 또는 「가진다」라는 표현은, 다른 구성 요소의 존재를 제외하는 배타적 표현은 아니다. 「A, B 및 C 중 적어도 어느 하나」라는 표현은, A만, B만, C만, A, B 및 C 중 임의의 2개, 및, A, B 및 C 모두를 포함한다.
＜1. 기판 처리 장치의 전체 구성·전체 동작＞
도 1은, 기판 처리 장치(1)의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다. 도 1의 예에서는, 기판 처리 장치(1)는 코터/디벨로퍼 장치이며, 주로, 세정 장치(12), 탈수 베이크 장치(13), 도포 관련 장치(14), 프리베이크 장치(15), 현상 장치(17) 및 포스트 베이크 장치(18)의 각 처리 장치를 구비한다. 또, 기판 처리 장치(1)의 한쪽 측에는, 기판 처리 장치(1)에 대해 기판을 반입, 반출하는 인덱서부(11)가 배치된다. 또한 기판 처리 장치(1)의 다른쪽 측에 도시하지 않는 인터페이스부를 개재하여 노광 장치(16)가 배치된다.
인덱서부(11)로부터 노광 장치(16)까지의 왕로 라인에는, 세정 장치(12), 탈수 베이크 장치(13), 도포 관련 장치(14) 및 프리베이크 장치(15)가 이 순서로 배치된다. 노광 장치(16)로부터 인덱서부(11)까지의 귀로 라인에는, 현상 장치(17) 및 포스트 베이크 장치(18)가 이 순서로 배치된다.
인덱서부(11)에는 복수의 기판을 수납하는 복수의 카세트(도시 생략)가 재치된다. 기판은, 예를 들면 액정 표시 장치에 이용되는 직사각형상의 유리 기판이다. 인덱서부(11)에는, 반송부로서의 인덱서 로봇(도시 생략)이 배치되어 있다. 인덱서 로봇은 카세트로부터 기판을 취출하여, 이 기판을 세정 장치(12)로 반송한다. 세정 장치(12)에 있어서는, 기판에 세정 처리가 행해진다. 세정 처리가 행해진 기판은, 탈수 베이크 장치(13)에 반송된다. 탈수 베이크 장치(13)에 있어서는, 가열에 의해 탈수 처리(탈수 베이크 처리)가 행해진다. 탈수 베이크 처리가 행해진 기판은, 도포 관련 장치(14)에 반송되어, 레지스트의 도포 처리를 포함하는 각종의 처리가 행해진다. 이 처리가 행해진 기판은, 프리베이크 장치(15)에 반송되어, 가열 처리가 행해진다. 가열 처리가 행해진 기판은, 노광 장치(16)에 반송되어, 노광 처리가 행해진다.
이들 처리가 행해진 기판은, 현상 장치(17)에 반송되어, 현상 처리가 행해진다. 현상 처리가 행해진 기판은, 포스트 베이크 장치(18)에 반송되어, 가열 처리가 행해진다. 그 후, 그 기판은, 인덱서 로봇에 의해 인덱서부(11)에 재치(載置)되는 카세트에 수용된다. 이들 일련의 처리에 의해, 기판의 표면에는 레지스트의 패턴이 형성된다.
이하에서는 제1의 처리가 제2의 처리에 앞서 행해질 때, 제1의 처리를 행하는 장치는 제2의 처리를 행하는 장치의 「상류」에 있다고 설명되고, 제2의 처리를 행하는 장치는 제1의 처리를 행하는 장치의 「하류」에 있다고 설명된다. 인덱서부(11)는 세정 장치(12)에 대해 상류에 있고, 또한 포스트 베이크 장치(18)에 대해 하류에 있다. 「상류」 「하류」라는 용어는 장치나 당해 장치를 구성하는 제(諸)요소에 대해서 만이 아니라, 반송되는 기판의 위치 관계를 설명하는 경우에도 채용된다.
＜2. 처리 장치의 타입＞
이 기판 처리 장치(1)에서는, 처리 장치의 타입으로서 다음의 2개의 타입의 처리 장치가 혼재하고 있다. 즉, 기판을 순차적으로 일 방향으로 반송하면서 당해 기판에 대해 1장씩 처리를 행하는 순차 처리 장치(평흐름 처리 장치)와, N(2 이상의 정수)장의 기판에 대해 일괄적으로 동시에 처리 가능한 동시 처리 장치가 혼재한다. 또한 동시 처리 장치에 의한 N장의 기판의 처리 기간은 완전하게 일치할 필요는 없고, 각 처리 기간의 적어도 일부가 겹쳐 있으면 된다. 요컨대, 여기서 말하는 동시란, 각 처리 기간이 전혀 겹치지 않는 상태와 대비한 의미로 이용된다. 순차 처리 장치로서는, 세정 장치(12) 및 현상 장치(17)가 예시되고, 동시 처리 장치로서는, 탈수 베이크 장치(13), 도포 관련 장치(14), 프리베이크 장치(15) 및 포스트 베이크 장치(18)가 예시된다.
순차 처리 장치는 기판 처리 장치(1)의 일부분인 순차 처리부인 것으로 볼 수 있다. 동시 처리 장치는 기판 처리 장치(1)의 일부분인 동시 처리부인 것으로 볼 수 있다.
＜2-1. 순차 처리 장치＞
도 2는, 순차 처리 장치(30)의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 측면도이다. 순차 처리 장치(30)는 처리 장치 본체(32)와 기판 도출부(33)를 구비하고 있으며, 순차 처리 장치(30)의 직전에는, 기판 도입부(수입부)(31)가 설치되어 있다. 기판 도입부(31)는 상류의 장치로부터 반송되는 복수(N장)의 기판(W)을 일괄적으로 받아 들인다. 처리 장치 본체(32)는 기판 도입부(31)로부터 반송되는 복수의 기판(W)을 1장씩 순차적으로 받아, 이 기판(W)을 일 방향(반송 방향： 도 2에 있어서는 좌측에서 우측을 향하는 방향)을 따라 반송시키면서, 기판(W)에 대해 각종의 처리를 행한다. 처리 후의 기판(W)은 처리 장치 본체(32)로부터 기판 도출부(33)로 반송된다. 기판 도출부(33)는 처리 장치 본체(32)로부터 반송된 복수의 기판(W)을 순차적으로 받는다. 기판 도출부(33)는 순차적으로 받은 기판(W)을 복수(N장) 유지할 수 있다. 복수의 기판(W)은 기판 도출부(33)로부터 일괄적으로 취출되어, 하류의 장치로 반송된다. 또한 기판 도입부(31)는 순차 처리 장치(30)에 포함되어 있다고 간주해도 상관없다. 기판 도입부(31)는 순차 처리 장치(30)의 입구부로서 기능할 수 있고, 기판 도출부(33)는 순차 처리 장치(30)의 출구부로서 기능할 수 있다. 이하에서는 N=2인 경우가 예시된다.
＜2-1-1. 기판 도입부(31)＞
기판 도입부(31)는 반송 기구로서의 복수의 롤러(311) 및 복수의 롤러(313)와, 센서(314, 315)를 가지고 있다. 롤러(311, 313)의 단면은 원형상을 가지고 있고, 롤러(311, 313)는, 그 중심축이 기판(W)의 반송 방향에 대략 수직 또한 대략 수평이 되도록 설치된다. 여기서 말하는 반송 방향이란, 순차 처리 장치(30)에 있어서의 기판(W)의 반송 방향이다. 복수의 롤러(311)는 반송 방향을 따라 간격을 두고 늘어서 설치된다. 각 롤러(311)는 자신의 중심축을 회전축으로 하여 회전할 수 있다. 각 롤러(311)의 중심축에 있어서의 양단은, 각각 지지판(도시하지 않음)에 회전 가능하게 고정된다. 이 한 쌍의 지지판은 반송 방향을 따라 연장되는 판형상 부재이며, 바닥면에 설치된 소정의 가대(312)에 고정된다. 복수의 롤러(313)는 반송 방향을 따라 간격을 두고 늘어서 설치된다. 롤러(313)는 롤러(311)보다 하류측에 위치하고 있으며, 롤러(311)와 같은 높이에 설치되어 있다. 각 롤러(313)는 자신의 중심축을 회전축으로 하여 회전할 수 있다. 각 롤러(313)의 중심축에 있어서의 양단은, 각각 지지판에 회전 가능하게 고정된다.
복수의 롤러(311)는 구동부(도시하지 않음)에 의해 구동되고, 미리 정해진 같은 방향으로 대략 동등한 회전 속도로 회전(동기 회전)한다. 구동부는 모터를 가지고 있다. 복수의 롤러(311) 상에는, 기판(W)이 재치된다. 기판(W)은 그 주면의 법선 방향이 연직 방향(도 2에 있어서는 상하 방향)을 따르도록 재치된다. 이 상태에서, 복수의 롤러(311)가 같은 방향으로 동기 회전함으로써, 기판(W)은 롤러(311) 상을 반송 방향을 따라 처리 장치 본체(32)로 이동한다. 복수의 롤러(313)도 구동부(도시하지 않음)에 의해 구동되어 동기 회전한다. 롤러(311, 313)는 서로 상이한 구동부에 의해 구동되므로, 서로 독립적으로 제어된다.
롤러(311, 313) 상에는, 1장씩 기판(W)이 재치된다. 예를 들면 인덱서부(11)로부터 2장의 기판(W)이 롤러(311, 313) 상에 재치되어도 된다. 이 상태에서 롤러(313) 만이 동기 회전함으로써, 롤러(313) 상의 기판(W)을 처리 장치 본체(32)로 반송할 수 있다. 다음에 롤러(311, 313) 양쪽이 동기 회전함으로써, 롤러(313) 상의 기판(W)을 처리 장치 본체(32)로 반송할 수 있다.
센서(314)는 롤러(311) 상의 정지 위치에 기판(W)이 존재하고 있는지 여부를 검출한다. 센서(315)는 롤러(313) 상의 정지 위치에 기판(W)이 존재하고 있는지 여부를 검출한다. 센서(314, 315)는 예를 들면 광학식의 센서이며, 기판(W)으로부터의 반사광을 수광했을 때에, 기판(W)을 검출한다. 센서(314, 315)의 검출 결과는 제어부(60)로 출력된다.
이하에서는, 2장의 기판(W)의 한쪽을 기판(W1)이라고도 부르고, 다른쪽을 기판(W2)라고도 부른다. 여기에서는, 기판(W1)은 기판(W2)보다 상류측에 위치하는 것으로 한다.
＜2-1-2. 기판 도출부(33)＞
기판 도출부(33)는, 처리 장치 본체(32)로부터 순차적으로 반송되는 기판(W)의 복수(N장)를 유지할 수 있다. 기판 도출부(33)가 유지 가능한 기판(W)의 장수는, 다음의 동시 처리 장치(40)(예를 들면 순차 처리 장치(30)가 세정 장치(12)이면, 탈수 베이크 장치(13))에서 처리 가능한 기판(W)의 장수와 같다. 여기에서는, 일례로서, 기판 도출부(33)는 2장의 기판(W)을 유지하고, 동시 처리 장치(40)는 2장의 기판(W)에 대해 동시에 처리를 행하는 것으로 한다.
기판 도출부(33)는, 반송 기구로서의 복수의 롤러(331) 및 복수의 롤러(332)와, 센서(334, 335)를 구비하고 있다. 롤러(331, 332)의 단면은 원형상을 가지고 있다. 롤러(331)는, 그 중심축이 기판(W)의 반송 방향에 수직 또한 수평이 되도록 반송 방향을 따라 간격을 두고 배치된다. 롤러(332)는 롤러(331)보다 하류측에 배치된다. 롤러(332)는 롤러(331)와 동일한 자세로 반송 방향을 따라 간격을 두고 배치된다. 각 롤러(331, 332)의 중심축에 있어서의 양단은, 각각 지지판(도시하지 않음)에 회전 가능하게 고정된다. 복수의 롤러(331)는 구동부(도시하지 않음)에 의해 동기 회전하고, 복수의 롤러(332)는 구동부(도시하지 않음)에 의해 동기 회전한다. 롤러(331) 및 롤러(332)는 서로 상이한 구동부에 의해 구동되므로, 서로 독립적으로 제어 가능하다. 각 구동부는 예를 들면 모터를 가진다.
롤러(331, 332)는, 서로 같은 높이에 설치되어 있다. 기판(W)은 처리 장치 본체(32)로부터 롤러(331)로 반송되어, 적절히 롤러(331)로부터 롤러(332)로 반송된다. 후에 설명하는 바와 같이, 롤러(331) 상에는 1장의 기판(W)이 정지하고, 롤러(332) 상에는 1장의 기판(W)이 정지한다. 이것에 의해, 기판 도출부(33)는 2장의 기판(W)을 유지할 수 있다.
센서(334)는 롤러(331) 상의 정지 위치에 기판(W)이 존재하고 있는지 여부를 검출한다. 센서(335)는 롤러(332) 상의 정지 위치에 기판(W)이 존재하고 있는지 여부를 검출한다. 센서(334, 335)는 예를 들면 광학식의 센서이며, 기판(W)으로부터의 반사광을 수광했을 때에, 기판(W)을 검출한다. 센서(334, 335)의 검출 결과는 제어부(60)로 출력된다.
기판 도출부(33)는 처리 장치 본체(32)로부터 2장의 기판(W)을 순차적으로 받아, 이들을 유지할 수 있다. 이하에서는 우선, 간략하게 2장의 기판(W)이 일괄적으로 처리되는 경우에 대해서 설명한다. N장의 기판(W)이 일괄되지 않고 처리되는 경우에 대해서는, 후에 상세히 서술된다.
우선 1장째의 기판(W)은 롤러(331, 332)가 동기 회전함으로써, 롤러(332) 상의 정지 위치까지 반송된다. 구체적으로는, 센서(334, 335) 양쪽이 기판(W)을 검출하고 있지 않을 때에, 롤러(331, 332)를 동기 회전시켜, 처리 장치 본체(32)로부터의 기판(W)을 기판 도출부(33)로 반송한다. 그리고 센서(335)가 기판(W)을 검출했을 때에 롤러(332)의 동기 회전을 정지한다. 이것에 의해, 1장째의 기판(W)(하류측의 기판(W2))은 롤러(332) 상에서 정지하여 지지된다. 2장째의 기판(W)(상류측의 기판(W1))에 대해서는, 롤러(332)를 회전시키지 않고, 롤러(331)를 동기 회전시킴으로써, 롤러(331)의 정지 위치까지 당해 기판(W)을 반송한다. 구체적으로는 센서(334)가 기판(W)을 검출했을 때에 롤러(331)의 동기 회전을 정지한다. 즉, 센서(334, 335) 양쪽이 기판(W)을 검출하고 있을 때, 롤러(331)의 동기 회전을 정지한다. 이것에 의해, 2장째의 기판(W)은 롤러(331) 상에서 정지하여 지지된다. 이와 같이 기판 도출부(33)는 2장의 기판(W)을 유지할 수 있다.
＜2-1-3. 처리 장치 본체(32)＞
처리 장치 본체(32)는 반송 기구로서의 복수의 롤러(321)를 가지고 있다. 복수의 롤러(321)는 롤러(311)와 동일한 형상을 가지고 있고, 롤러(311)와 동일한 자세로 배치된다. 롤러(321)의 중심축에 있어서의 양단은, 각각 지지판(도시하지 않음)에 회전 가능하게 고정된다. 복수의 롤러(321)는 반송 방향을 따라 간격을 두고 늘어서 있다. 복수의 롤러(321)는 기판 도입부(31)의 롤러(311)와 같은 높이에 설치되어 있으며, 기판(W)은 롤러(311)로부터 롤러(313, 321, 331)를 이 순서로 개재하여 롤러(332)로 이동할 수 있다.
처리 장치 본체(32)는, 롤러(321) 상을 흐르는 기판(W)에 대해, 그 반송 방향의 각 위치에 있어서 적절히 처리를 행한다. 여기에서는, 순차 처리 장치(30)로서 세정 장치(12)를 예로 들어 설명한다. 예를 들면 처리 장치 본체(32)는, 약액부(34), 세정부(35) 및 탈수부(36)를 가지고 있다. 약액부(34), 세정부(35) 및 탈수부(36)는 상류에서 하류를 향하여 이 순서로 직렬로 설치되어 있다. 또 복수의 롤러(321)는 약액부(34), 세정부(35) 및 탈수부(36)에 걸쳐 설치되어 있다. 복수의 롤러(321)는 구동부(도시하지 않음)에 의해 구동되어 동기 회전한다. 이것에 의해, 기판(W)을 반송 방향을 따라 반송하여, 약액부(34), 세정부(35) 및 탈수부(36)를 이 순서로 통과시킬 수 있다.
약액부(34)는, 롤러(321) 상의 기판(W)으로 약액을 공급하여 기판(W)을 세정하는 장치이다. 약액부(34)는, 약액을 토출하는 복수의 노즐(341)과, 약액을 저류하는 약액조(342)와, 약액조(342) 및 노즐(341)을 연결하는 공급관(343)과, 공급관(343)을 경유하여 약액을 노즐(341)로 공급하는 펌프(344)를 구비하고 있다. 노즐(341)은 연직 방향에 있어서 기판(W)의 양측에 설치되어 있으며, 기판(W)의 양면으로 약액을 공급한다. 공급관(343)에는 유량 센서(345)가 설치되어, 공급되는 약액의 양의 제어에 기여한다. 약액부(34)는, 기판(W)을 브러싱하기 위한 브러쉬(도시하지 않음) 등을 가지고 있어도 된다. 약액을 기판(W)에 공급하면서 브러싱을 행함으로써, 세정 효과를 높일 수 있다. 기판(W)에 공급된 약액은 주로 기판(W)의 둘레 가장자리로부터 떨어져, 약액조(342)로 회수된다.
세정부(35)는, 기판(W)에 대해 세정수를 공급함으로써 기판(W)에 잔류한 약액을 씻어 내는 장치이다. 세정부(35)는 세정수를 저류하는 제1 수조(355) 및 제2 수조(356)를 가지고 있다. 또 세정부(35)는 상류에서 하류를 향하여 이 순서로 배치되는 저압수 공급부(351), 고압수 공급부(352), 초음파 세정수 공급부(353) 및 순수 공급부(354)를 가지고 있다. 각 부(351~354)는 약액부(34)와 마찬가지로, 기판(W)에 액을 토출하는 노즐과, 당해 노즐에 연결된 공급관과, 당해 공급관을 경유하여 당해 노즐에 액을 공급하는 펌프를 구비하고 있다.
저압수 공급부(351)의 펌프(35t)는 저압 펌프이며, 낮은 압력으로 제1 수조(355)로부터 세정수를 퍼올려 노즐에 공급한다. 이것에 의해, 저압수 공급부(351)는 저압으로 세정수를 기판(W)에 공급할 수 있다. 저압수 공급부(351)에는 슬릿 노즐(액 나이프라고도 부른다)(35a)가 설치되어, 액 나이프(35a)로부터도 세정수가 기판(W)에 공급된다. 저압수 공급부(351)에 공급되는 세정수의 압력은 압력 센서(357)에 의해 측정된다.
고압수 공급부(352)의 펌프(35r)는 고압 펌프이며, 높은 압력으로 제1 수조(355)로부터 세정수를 퍼올려 노즐에 공급한다. 이것에 의해, 고압수 공급부(352)는 고압으로 세정수를 기판(W)에 공급할 수 있다. 고압수 공급부(352)에 공급되는 세정수의 압력은 압력 센서(358)에 의해 측정된다. 저압수 공급부(351) 및 고압수 공급부(352)에 의해 공급된 세정수는 주로 기판(W)의 둘레 가장자리로부터 떨어져 제1 수조(355)로 회수된다.
초음파 세정수 공급부(353)의 노즐(35b)에는, 제2 수조(356)로부터의 세정수에 초음파 진동을 부여하는 초음파 진동자가 설치되어 있다. 노즐(35b)은 액 나이프로서 기능한다. 초음파 세정수 공급부(353)의 펌프(35s)는, 제2 수조(356)로부터 세정수를 퍼올려 노즐(35b)에 공급한다. 노즐(35b)의 초음파 진동자가 진동함으로써, 초음파 세정수 공급부(353)는 노즐(35b)로부터 진동 상태의 세정수를 기판(W)으로 공급한다. 초음파 세정수 공급부(353)에 의해 공급된 세정수는 주로 제2 수조(356)로 회수된다. 노즐(35b)에 공급되는 세정수의 유량은 유량 센서(359)에 의해 측정된다.
순수 공급부(354)의 노즐은, 순수 공급원(365)으로부터 공급되는 순수를 기판(W)을 향하여 공급한다. 순수 공급원(365)은 예를 들면 공장 설비(유틸리티)로서 설치된다. 이 순수는 주로 제2 수조(356)로 회수된다.
탈수부(36)는 기판(W)으로 고압의 기류를 흐르게 함으로써 기판(W)으로부터 물을 날려 버리는 장치이다. 탈수부(36)는, 기판(W)에 기체를 분사하는 분사부(건조 에어 나이프)(361)와, 기체를 공급하는 기체 공급원(362)과, 분사부(361) 및 기체 공급원(362)을 연결하는 관로(363)를 가지고 있다. 관로(363)에는 당해 기체의 유량을 측정하는 유량 센서(364)가 설치된다. 기체 공급원(362)은 공장 설비(유틸리티)로서 설치된 기체원이다.
이상과 같이, 처리 장치 본체(32)에 있어서 기판(W)은 반송 방향을 따라 반송되어, 각 위치에 있어서 각종의 처리가 행해진다. 처리 장치 본체(32)에 의해 모든 처리가 행해진 기판(W)은 기판 도출부(33)로 반송된다.
＜3. 동시 처리 장치(40)＞
도 3은, 동시 처리 장치(40)의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다. 여기에서는 동시 처리 장치(40)로서 탈수 베이크 장치(13)를 예로 들어 설명한다. 도 3은, 탈수 베이크 장치(13)의 구성의 일례를 연직 하방향을 따라 보고 나타내는 개략적인 평면도이다.
＜3-1. 탈수 베이크 장치(13)＞
탈수 베이크 장치(13)는 가열부(82) 및 냉각부(83)를 구비하고 있다. 이 탈수 베이크 장치(13)는, (순차 처리 장치(30)인) 세정 장치(12)에 의해 세정 처리가 행해진 기판(W)을 반송 로봇(반송부)(81)으로부터 받고, 받은 기판(W)에 대해 동시에 처리를 행한다. 탈수 베이크 장치(13)는 복수장(N장)의 기판(W)에 대해서 동시에 처리를 행할 수 있다. 이하에서는 우선, 간략하게 2장의 기판(W)이 일괄적으로 처리되는 경우에 대해서 설명한다. N장의 기판(W)이 일괄되지 않고 처리되는 경우에 대해서는, 후에 상세히 서술된다.
＜3-1-1. 반송 로봇(81)＞
반송 로봇(81)은 핸드(H1)와 이동 기구(51)와 승강 기구(52)와 회전 기구(53)를 가지고 있다. 이동 기구(51)는 핸드(H1)를 수평면 내에서 이동시킬 수 있다. 예를 들면 이동 기구(51)는 한 쌍의 아암(도시하지 않음)을 가지고 있다. 각 아암은 장척형상의 복수의 연결 부재를 가지고 있고, 그 연결 부재의 단부끼리가 회전 가능하게 연결된다. 각 아암의 일단은 핸드(H1)에 연결되고, 타단은 승강 기구(52)에 연결된다. 연결 부재의 연결 각도가 제어됨으로써, 핸드(H1)를 수평면 내에서 이동시킬 수 있다. 승강 기구(52)는 아암을 연직 방향을 따라 승강시킴으로써, 핸드(H1)를 승강시킨다. 승강 기구(52)는 예를 들면 볼나사 기구를 가지고 있다. 회전 기구(53)는 연직 방향을 따르는 회전축을 중심으로 하여 승강 기구(52)를 회전시킬 수 있다. 이것에 의해, 핸드(H1)는 둘레 방향을 따라 회동한다. 이 회동에 의해, 핸드(H1)의 방향을 바꿀 수 있다. 회전 기구(53)는 예를 들면 모터를 가지고 있다.
핸드(H1)에는, 2장의 기판(W)이 수평한 일 방향(도 3에 있어서 좌우 방향)에 있어서 늘어선 상태로 재치된다. 핸드(H1)는 예를 들면 복수개의 손가락형상 부재(F1)와, 손가락형상 부재(F1)의 기단끼리를 연결하는 기단 부재(P1)를 가지고 있다. 이 기단 부재(P1)에는 상술된 아암의 일단이 연결된다. 손가락형상 부재(F1)는 장척형상의 형상을 가지고 있고, 그 상면에 있어서 기판(W)이 재치된다. 이 2장의 기판(W)은 손가락형상 부재(F1)의 길이 방향(도 3에 있어서 좌우 방향)을 따라 늘어서 재치된다. 따라서, 손가락형상 부재(F1)의 길이 방향의 길이는, 기판(W)의 2장 분의 길이와, 기판(W) 간의 간격에 따라 설정된다.
반송 로봇(81)은 핸드(H1)를 적절히 이동 및 회전시킴으로써, 핸드(H1)를 가열부(82), 냉각부(83), 세정 장치(12)의 기판 도출부(33) 및 다음 공정의 도포 관련 장치(14)(도 3에 있어서 도시하지 않음)의 각각으로 이동시킬 수 있다. 반송 로봇(81)은 2장의 기판(W)을 일괄적으로 기판 도출부(33), 가열부(82) 및 냉각부(83)의 각각으로부터 취출하거나, 혹은, 2장의 기판(W)을 일괄적으로 가열부(82), 냉각부(83) 및 도포 관련 장치(14)의 각각에 건넬 수 있다.
예를 들면 반송 로봇(81)은 다음과 같이 기판 도출부(33)로부터 2장의 기판(W)을 일괄적으로 취출한다. 즉, 반송 로봇(81)은, 기판 도출부(33)에서 유지된 2장의 기판(W)의 하방에 핸드(H1)를 위치시키기 위해, 핸드(H1)를 기판 도출부(33)로 이동시킨다.
또한 롤러(331, 332)는, 반송 로봇(81)의 핸드(H1)와의 충돌을 피하도록 구성되어 있다. 그리고 반송 로봇(81)은 핸드(H1)를 연직 상방으로 상승시킴으로써, N장의 기판(W)을 핸드(H1)에 의해 들어 올릴 수 있다. 이것에 의해, 2장의 기판(W)은 각각 롤러(331, 332)로부터 멀어진다. 2장의 기판(W)은 핸드(H1) 상에 있어서, 그 길이 방향을 따라 간격을 두고 늘어서 재치되게 된다. 2장의 기판(W)은 그 주면의 법선 방향이 연직 방향을 따르는 자세로 핸드(H1) 상에 재치된다.
2장의 기판(W)은 핸드(H1) 상에 있어서, 그 가로 방향(폭 방향)을 따라 간격을 두고 늘어서 재치되어도 된다. 이와 같은 재치는, 예를 들면 턴테이블을 설치하여 기판(W)을 90도 회전시킴으로써 실현된다.
다음에 반송 로봇(81)은 핸드(H1)를 기판 도출부(33)로부터 멀리하도록 이동시킴으로써, 기판 도출부(33)로부터 2장의 기판(W)을 일괄적으로 취출한다.
또한 손가락형상 부재(F1)의 상면(기판(W)이 재치되는 면)에는, 복수의 흡인구가 형성되어 있어도 상관없다. 이 흡인구는 2장의 기판(W)과 대향하는 위치에 설치되어 있으며, 당해 흡인구로부터 공기가 뽑아 내어져 기판(W)을 흡인한다. 이것에 의해, 기판(W)을 유지하기 위한 유지력을 향상시킬 수 있다.
반송 로봇(81)은 상기 동작과 동일한 동작에 의해 가열부(82) 및 냉각부(83)의 각각으로부터 2장의 기판(W)을 일괄적으로 취출한다. 한편, 반송 로봇(81)은 상기 동작과는 반대의 순서로, 가열부(82), 냉각부(83) 및 도포 관련 장치(14)의 각각(이하, 각 부라고 부른다)으로 2장의 기판(W)을 일괄적으로 건넨다. 즉, 반송 로봇(81)은 2장의 기판(W)이 재치된 핸드(H1)를 각 부의 내부로 이동시키고, 핸드(H1)를 하강시켜 각 부의 기판 유지부의 상면에 2장의 기판(W)을 일괄적으로 재치한다. 또한, 각 부의 기판 유지부는 2장의 기판(W)의 반출입 시에 핸드(H1)와 충돌하지 않도록 구성되어 있다. 그리고 반송 로봇(81)은 핸드(H1)를 각 부의 내부에서 외부로 이동시킨다. 이것에 의해, 2장의 기판(W)이 각 부에 일괄적으로 건네어진다.
이상과 같이, 반송 로봇(81)은, 순차 처리 장치인 세정 장치(12)에 의해 처리된 복수의 기판(W) 중 N장(2장)의 기판(W)을 수평한 일 방향으로 늘어놓아 유지하면서, 이 N장(2장)의 기판(W)을 일괄적으로 동시 처리 장치인 탈수 베이크 장치(13)로 반송할 수 있다. 복수장의 기판(W)을 일괄적으로 반송함으로써, 기판(W)을 1장씩 반송하는 경우에 비해, 반송 동작의 스루 풋을 향상시킬 수 있다.
＜3-1-2. 가열부(82)＞
가열부(82)에는, 반송 로봇(81)으로부터 2장의 기판(W)이 일괄적으로 건네어진다. 이 가열부(82)는, 이 2장의 기판(W)을 수평 방향으로 늘어놓아 유지하는 기판 유지부(91)와, 이 2장의 기판(W)에 대해 일괄적으로 동시에 가열 처리를 행하는 가열 수단(92)을 구비하고 있다. 환언하면, 가열부(82)는, 2장의 기판(W)에 대해 동시에 가열 처리를 행한다.
기판 유지부(91)는 2장의 기판(W)의 하면을 지지하는 부재를 가지고 있다. 2장의 기판(W)은 이 부재 상에 재치됨으로써 유지된다. 2장의 기판(W)은 그 주면의 법선 방향이 연직 방향을 따르는 자세로 재치된다. 예를 들면 기판 유지부(91)는 복수의 리프트 핀(도시하지 않음)을 구비한다. 이 복수의 리프트 핀은, 기판 유지부(91)의 상면보다, 그 선단을 돌출시킨 상측 위치와, 상면보다 아래로 퇴피한 하측 위치의 사이에서 승강한다. 반송 로봇(81)은 상방으로 돌출된 복수의 리프트 핀에 2장의 기판(W)을 건넨 후, 가열부(82)로부터 퇴피한다. 복수의 리프트 핀은 2장의 기판(W)을 지지한 상태에서 하강하여, 기판 유지부(91)의 상면에 2장의 기판(W)을 재치한다.
가열 수단(92)은 예를 들면 히터 등이며, 기판 유지부(91)에 의해 유지된 2장의 기판(W)에 대해 일괄적으로 동시에 가열 처리를 행한다. 이 가열 처리에 의해, 예를 들면 기판(W)에 잔류한 순수를 증발시킬 수 있다(탈수 처리). 복수장의 기판(W)에 대해 일괄적으로 동시에 가열 처리를 행함으로써, 기판(W)에 대해 1장씩 가열 처리를 행하는 경우에 비해, 가열 처리의 스루 풋을 향상시킬 수 있다.
＜3-1-3. 냉각부(83)＞
냉각부(83)에는, 가열부(82)에 의해 가열된 2장의 기판(W)이 반송 로봇(81)으로부터 일괄적으로 건네어진다. 즉, 반송 로봇(81)은, 순차 처리 장치인 세정 장치(12)에 의해 처리된 후에 가열부(82)에 의해 처리된 2장의 기판(W)을, 수평한 일 방향으로 늘어놓아 유지하면서, 당해 2장의 기판(W)을 일괄적으로 냉각부(83)로 반송한다. 이 냉각부(83)는, 이 2장의 기판(W)을 수평 방향으로 늘어놓아 유지하는 기판 유지부(93)와, 이 2장의 기판(W)에 대해 일괄적으로 냉각 처리를 행하는 냉각 수단(94)을 구비하고 있다. 환언하면, 냉각부(83)는, 2장의 기판(W)에 대해 동시에 냉각 처리를 행한다.
이 기판 유지부(93)는 2장의 기판(W)의 하면을 지지하는 부재(도시하지 않음)를 가지고 있다. 2장의 기판(W)은 이 부재 상에 재치됨으로써 유지된다. 2장의 기판(W)은 그 주면의 법선 방향이 연직 방향을 따르는 자세로 재치된다. 기판 유지부(93)의 구조는 기판 유지부(91)와 동일하다.
냉각 수단(94)은 예를 들면 금속판의 내부에 형성된 액로에 냉수를 흐르게 하는 냉각판 등이며, 기판 유지부(93)에 유지된 2장의 기판(W)에 대해 일괄적으로 냉각 처리를 행한다. 냉각 수단(94)은 제어부(60)에 의해 제어된다. 이 냉각 처리에 의해, 2장의 기판(W)이 냉각되고, 2장의 기판(W)의 온도를 하류측의 처리 장치(도포 관련 장치(14))에 적합한 온도로 할 수 있다. 2장의 기판(W)에 대해 일괄적으로 동시에 냉각 처리를 행함으로써, 기판(W)에 대해 1장씩 냉각 처리를 행하는 경우에 비해, 냉각 처리의 스루 풋을 향상시킬 수 있다.
또한 냉각부(83)는 자연 냉각에 의해 2장의 기판(W)을 냉각해도 된다. 자연 냉각이란, 가열된 기판(W)에 대해 동력(전력)을 이용한 냉각을 행하지 않고, 기판(W)을 방치하여 냉각하는 것이다. 이 경우, 냉각판 등의 구성으로서의 냉각 수단(94)은 불필요하다.
＜3-1-4. 탈수 베이크 장치의 일련의 처리＞
다음에 탈수 베이크 장치(13)에 의한 일련의 처리를 간단하게 설명한다. 반송 로봇(81)은 상류측의 세정 장치(12)의 기판 도출부(33)로부터 2장의 기판(W)을 일괄적으로 취출하여, 이 2장의 기판(W)을 일괄적으로 가열부(82)로 건넨다. 이 가열부(82)에서도, 2장의 기판(W)은 수평 방향으로 늘어선 상태로 유지된다. 가열부(82)는 이 2장의 기판(W)에 대해 일괄적으로 가열 처리를 행한다. 가열 처리 후의 2장의 기판(W)은 반송 로봇(81)에 의해 일괄적으로 취출되어, 냉각부(83)로 일괄적으로 건네어진다. 냉각부(83)에서도, 2장의 기판(W)은 수평 방향으로 늘어선 상태로 유지된다. 냉각부(83)는 이 2장의 기판(W)에 대해 일괄적으로 냉각 처리를 행한다. 냉각 처리가 행해진 2장의 기판(W)은 반송 로봇(81)에 의해 일괄적으로 취출되어, 도포 관련 장치(14)로 일괄적으로 반송된다.
＜4. 제어부＞
도 1에 예시하는 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는, 각 처리 장치에서의 처리 및 기판의 반송을 제어하는 제어부(60)를 가지고 있다. 도 4는, 제어부(60)의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 기능 블럭도이다.
제어부(60)는 제어 회로이며, 도 4에 나타내는 바와 같이, 예를 들면, CPU(Central Processing Unit)(61), ROM(Read Only Memory)(62), RAM(Random Access Memory)(63) 및 기억 장치(64) 등이, 버스 라인(65)을 개재하여 상호 접속된 일반적인 컴퓨터에 의해 구성된다. ROM(62)은 기본 프로그램 등을 저장하고 있으며, RAM(63)은 CPU(61)가 소정의 처리를 행할 때의 작업 영역으로서 제공된다. 기억 장치(64)는, 플래쉬 메모리, 혹은, 하드 디스크 장치 등의 불휘발성의 기억 장치에 의해 구성된다.
또, 제어부(60)에서는, 입력부(66), 표시부(67), 통신부(68)도 버스 라인(65)에 접속되어 있다. 입력부(66)는, 각종 스위치, 혹은, 터치 패널 등에 의해 구성되어 있으며, 오퍼레이터로부터 처리 레시피 등의 각종의 입력 설정 지시를 받는다. 표시부(67)는, 액정 표시 장치 및 램프 등에 의해 구성되어 있으며, CPU(61)에 의한 제어 하에 각종의 정보를 표시한다. 통신부(68)는, LAN(Local Area Network) 등을 통한 데이터 통신 기능을 가진다.
또, 제어부(60)에는, 각 로봇(인덱서 로봇 등의 반송 로봇 등) 및 상술한 각 처리 장치가 제어 대상으로서 접속되어 있다. 즉 제어부(60)는 기판(W)의 반송을 제어하는 반송 제어부로서 기능할 수 있다.
제어부(60)의 기억 장치(64)에는, 기판 처리 장치(1)를 구성하는 각 장치를 제어하기 위한 처리 프로그램(P)이 저장되어 있다. 제어부(60)의 CPU(61)가 처리 프로그램(P)을 실행함으로써, 기판의 반송 동작 및 처리 동작이 제어된다. 또, 처리 프로그램(P)은, 기록 매체에 기억되어 있어도 된다. 이 기록 매체를 이용하면, 제어부(60)(컴퓨터)에 처리 프로그램(P)을 인스톨할 수 있다. 또 제어부(60)가 실행하는 기능의 일부 또는 전부는 반드시 소프트웨어에 의해 실현될 필요는 없고, 전용의 논리 회로 등의 하드웨어에 의해 실현되어도 된다.
제어부(60)는 복수 계층 구조를 가지고 있어도 된다. 예를 들면, 제어부(60)는, 주제어부와, 복수의 말단 제어부를 포함해도 된다. 말단 제어부는, 예를 들면, 인덱서부(11), 세정 장치(12), 탈수 베이크 장치(13), 도포 관련 장치(14), 프리베이크 장치(15), 노광 장치(16), 현상 장치(17) 및 포스트 베이크 장치(18)의 각 처리 장치에 설치된다. 주제어부는 기판 처리 장치(1)에 설치되고, 복수의 말단 제어부와 통신한다. 주제어부는 기판 처리 장치(1)의 전체의 동작을 관리하고, 말단 제어부는 대응하는 각 장치의 동작을 제어한다.
복수의 말단 제어부는 서로 통신 가능하다. 예를 들면, 말단 제어부의 사이에서, 기판(W)에 관한 데이터가 송수신된다. 기판(W)에 관한 데이터는, 예를 들면, 그룹 단위로의 기판(W)의 데이터를 나타내고, 기판(W)의 처리의 내용을 나타내는 정보가 당해 데이터에 포함되어 있다. 말단 제어부는, 하나 상류측의 말단 제어부로부터 받은 기판(W)의 데이터에 의거하여, 대응하는 장치를 제어하여, 기판(W)을 처리한다. 예를 들면, 세정 장치(12)의 말단 제어부는, 인덱서부(11)의 말단 제어부로부터 기판(W)의 데이터를 받음과 함께, 세정 장치(12)에 기판(W)이 그룹 단위로 반입된다. 세정 장치(12)의 말단 제어부는, 받은 기판의 데이터에 의거하여 세정 장치(12)를 제어하여, 반입된 기판(W)에 대한 세정 처리를 행한다. 그리고, 기판(W)의 처리 종료 후에 기판(W)이 그룹 단위로 탈수 베이크 장치(13)에 반송되면서, 세정 장치(12)의 말단 제어부로부터 탈수 베이크 장치(13)의 말단 장치에 기판(W)의 데이터가 전달된다. 이하, 동일하게 하여 처리가 행해진다.
＜5. 동시 처리 기판 데이터＞
제어부(60)는, 각 기판(W)에 대응한 기판 데이터를 취급할 수 있다. 제어부(60)는, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 의거하여, 동시 처리 장치(40)에 있어서의 기판(W)으로의 처리를 제어한다.
도 5는, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다(k는 양의 정수). 동시 처리 기판 데이터(D0(k))는, 제k의 그룹에 속하는 N장(여기에서는 2장)의 기판(W)에 대응한 데이터를 포함한다. 같은 그룹에 속하는 기판(W)은, 동시 처리 장치와 순차 처리 장치의 사이에서 반송될 때에, 일괄적으로 반송된다.
도 5에 예시되는 바와 같이 동시 처리 기판 데이터(D0(k))는, 기판 번호, 그룹 식별 정보(Da1), 위치 정보(Db1), 레시피 정보(Dc1)를 포함한다.
기판 번호는, 같은 그룹에 속하는 기판(W)끼리를 식별하기 위한 정보이다. 도 5에 나타낸 예에 있어서는, 한쪽의 기판(W)의 기판 번호는 (기판) W1이며, 다른쪽의 기판(W)의 기판 번호는 (기판) W2이다.
그룹 식별 정보(Da1)는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 어느 그룹에 대응하는지를 나타낸다. 도 5에 나타낸 예에 있어서는 하나의 그룹에 한 쌍의 기판이 속하기 때문에, 페어 번호 k가, 그룹 식별 정보(Da1)로서 채용된다. 예를 들면 제1의 그룹에 대한 동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 그룹 식별 정보(Da1)로서 페어 번호 1이 채용된다. 마찬가지로, 제2의 그룹에 대한 동시 처리 기판 데이터 D0(2)에 있어서 그룹 식별 정보(Da1)로서 페어 번호 2가 채용된다.
도 6은 카세트(10)에 있어서 복수의 기판이 그룹마다 수용되는 양태를 모식적으로 나타내는 도이다. 복수의 기판은 카세트(10)에 있어서 그룹마다 서로 상이한 수용 위치(슬롯)에 수용된다. 따라서, 그룹 식별 정보(Da1)로서, 카세트(10)에 있어서의 그룹의 수용 위치를 나타내는 정보(슬롯 번호)를 채용해도 된다.
카세트(10)에 있어서 기판(W)이 수용되는 양태는, 인덱서부(11)로부터 세정 장치(12)로 기판(W)이 반송되는 경우와, 포스트 베이크 장치(18)로부터 인덱서부(11)로 기판이 반송되는 경우에 있어서 공통된다.
도 6에 있어서 상이한 슬롯은 도면에 있어서 상하로 위치한다. 도 6에 있어서는 제k의 그룹 중 어느 것에 있어서도 2장의 기판(W1(k), W2(k))이 격납되는 경우가 예시된다.
카세트(10)에 있어서는 제k의 그룹에 속하는 기판(W1(k), W2(k))(단 도 6에 있어서 k=1~7)이 도면에 있어서 좌우 방향으로 격납된다. 기판(W1(k))은 상술한 기판(W1)의 예시로서 생각할 수 있고, 기판(W2(k))은 상술한 기판(W2)의 예시로서 생각할 수 있다.
위치 정보(Db1)는, N장(여기에서는 2장)의 기판(W)의 반송 방향에 있어서의 위치 관계를 나타낸다. 도 5에 나타낸 예에서는, 제k의 그룹에 있어서 기판 번호 W1에 대응하는 기판(W1(k))이 기판 번호 W2에 대응하는 기판(W2(k))에 대해 상류측에 위치하고 있으며, 기판 번호 W1, W2에 대한 위치 정보(Db1)는 각각 「상류」 및 「하류」를 나타낸다. 위치 정보(Db1)는, 주로, 순차 처리 장치(30)에 있어서의 반송 제어에 이용된다. 구체적으로는, 순차 처리 장치(30)는 「하류」의 위치 정보(Db1)가 부여된 기판(W2(k))을 먼저 반송하고, 그 후에 「상류」의 위치 정보(Db1)가 부여된 기판(W1(k))을 반송한다.
이하의 설명에 있어서는, 그룹 식별 정보(Da1)가 나타내는 값이 클수록, 당해 그룹 식별 정보(Da1)에 대응하는 그룹에 속하는 기판이, 보다 상류에 있어서 반송된다. 예를 들면, 도 6에 있어서 상방에 나타내는 슬롯에 격납된 기판으로부터 하방에 나타내는 슬롯에 격납된 기판으로 순서대로 반출되는 경우, 기판(W1(3))은 기판(W2(3))보다 상류에 있어서 반송되고, 기판(W2(3))은 기판(W1(2))보다 상류에 있어서 반송되고, 기판(W1(2))은 기판(W2(2))보다 상류에 있어서 반송되고, 기판(W2(2))은 기판(W1(1))보다 상류에 있어서 반송되고, 기판(W1(1))은 기판(W2(1))보다 상류에 있어서 반송된다.
레시피 정보(Dc1)는, 그룹 식별 정보(Da1)에 같은 페어 번호 k가 부여되는 (즉 제k의 그룹에 속한다) 기판(W1(k), W2(k))에 대해 공통으로 행해져야 할 처리를 나타내는 정보(예를 들면 레시피 번호)와, 그 처리에 있어서의 처리 조건의 정보를 포함한다.
처리 조건으로서는, 예를 들면 세정 처리에 대해서 말하면, 사용하는 약액의 종류, 약액의 유량 및 처리 시간(즉 반송 속도) 등의 조건이 채용될 수 있다. 예를 들면 탈수 베이크 처리이면, 처리 조건으로서, 가열 온도, 가열 시간, 냉각 온도 및 냉각 시간 등의 조건이 채용될 수 있다.
레시피 정보(Dc1)는 기판(W1(k), W2(k))에 공통의 정보이므로, 레시피 정보(Dc1)는 기판 번호 W1, W2에 대해 공통되며, 그룹 식별 정보(Da1)에 대응한다.
도 7은 카세트(10)에 있어서 복수의 기판(W)이 그룹마다 수용되는 다른 양태를 모식적으로 나타내는 도이다. 도 7에 있어서는 제2의 그룹에 있어서 기판(W2(2))은 격납되지 않고 기판(W1(2)) 만이 격납되고, 제5의 그룹에 있어서 기판(W1(5))은 격납되지 않고 기판(W2(5)) 만이 격납되는 경우가 예시된다.
도 8은 제k의 그룹에 있어서 하류측의 기판(W2(k))이 존재하지 않을 때의 동시 처리 기판 데이터(D0(k))의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다. 도 9는 제k의 그룹에 있어서 상류측의 기판(W1(k))이 존재하지 않을 때의 동시 처리 기판 데이터(D0(k))의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다. 도 7에 입각해서 말하면, 도 5는 k=1, 3, 4, 6, 7인 경우에 상당하고, 도 8은 k=2인 경우에 상당하고, 도 9는 k=5인 경우에 상당한다.
도 5, 도 8, 도 9, 도 11, 도 12, 도 15에 있어서, 기호 「×」가 부기된 란은, 당해 란에 해당하는 값은 특별히 의미를 가지지 않는 것을 나타낸다. 여기서 「의미를 가지지 않는다」란, 기판이 존재하지 않는 것에 더하여 어떠한 물체가 존재해도 평가의 대상은 아닌 것도 포함한다.
도 10은, 도 3과 유사하며, 동시 처리 장치(40)(예를 들면 탈수 베이크 장치(13))를 연직 하방향을 따라 보고 나타내는 개략적인 평면도이다. 도 10은, 동시 처리 장치(40)의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타낸다. 도 3에 있어서 기판(W)은 한 쌍이 되어 처리되는 경우가 예시된다. 도 10에 있어서는, 기판(W)이 그룹마다 처리되는 경우가 예시된다. 단 제1의 그룹에는 기판(W2(1))은 존재하지 않고 기판(W1(1))이 존재하고, 제2의 그룹에는 기판(W1(2))은 존재하지 않고 기판(W2(2))이 존재하고, 제3의 그룹에는 기판(W1(3)), (W2(3)) 모두가 존재하는 경우가 예시된다. 가상적으로 기판(W2(1)), (W1(2))이 존재하는 경우의 그들 위치가, 일점 쇄선으로 표시된다.
도 10에 입각해서 말하면, 도 5는 k=3인 경우에 상당하고, 도 8은 k=1인 경우에 상당하고, 도 9는 k=2인 경우에 상당한다.
동시 처리 장치(40)는, 그룹마다 설정되는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 의거하여, 그룹마다 기판(W1(k), W2(k))을 동시에 처리한다고 할 수 있다. 이와 같은 관점에서 인덱서부(11)도 동시 처리 장치(40)의 예라고 볼 수 있다.
＜6. 순차 처리 기판 데이터＞
제k의 그룹에 속하는 기판(W1(k), W2(k))마다, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k))가 설정된다. 순차 처리 기판 데이터(J1(k))는, 이것에 대응하는 기판(W1(k))에 대한 그룹 식별 정보(Da1)와, 위치 정보(Db1)와, 레시피 정보(Dc1)를 포함한다. 순차 처리 기판 데이터(J2(k))는, 이것에 대응하는 기판(W2(k))에 대한 위치 정보(Db1)와 레시피 정보(Dc1)를 포함한다.
하기의 설명에서는 순차 처리 기판 데이터(J1(k))는 기판 번호 W1을 포함하고, 순차 처리 기판 데이터(J2(k))는 기판 번호 W2를 포함한다. 단, 순차 처리 기판 데이터(J1(k))는 기판(W1(k))에 대해 설정되므로 기판 번호 W1을 포함할 필요는 없다. 순차 처리 기판 데이터(J2(k))는 기판(W2(k))에 대해 설정되므로 기판 번호 W2를 포함할 필요는 없다.
순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k))는, 제어부(60)에 의해, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))로부터 생성된다. 제어부(60)는, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k))에 의거하여 순차 처리 장치(30)(예를 들면 인덱서부(11)의 하류에 위치하고, 탈수 베이크 장치(13)의 상류에 위치하는 세정 장치(12))에 있어서의 기판(W1(k), W2(k))에 대한 반송 및 처리를 제어한다.
순차 처리 장치(30)는, 복수의 그룹으로 나누어진 기판(W1(k), W2(k))을 순차적으로 반송하면서, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k))에 의거하여, 기판(W1(k), W2(k))에 대해 처리를 행한다.
＜6-1. 그룹에 있어서 기판이 결여되지 않는 경우＞
본 절에서는, 제k의 그룹(k=1, 2, 3) 모두에 있어서 기판(W1(k), W2(k))이 존재하는 경우가 설명된다. 도 5는 이 경우에 있어서의 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 해당한다. 도 11은 이 경우에 있어서의 순차 처리 기판 데이터(J1(k))의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다. 도 12는 이 경우에 있어서의 순차 처리 기판 데이터(J2(k))의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다.
순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k))의 어느 그룹 식별 정보(Da1)에나, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 포함되어 있던 그룹 식별 정보(Da1)가 채용된다. 이것에 의해 순차 처리 장치(30)에 있어서도 기판(W)의 그룹 나눔이 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
순차 처리 기판 데이터(J1(k))의 위치 정보(Db1)에는, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서 기판 번호 W1에 대응한 위치 정보(Db1)(「상류」)가 채용된다. 순차 처리 기판 데이터(J2(k))의 위치 정보(Db1)에는, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서 기판 번호 W2에 대응한 위치 정보(Db1)(「하류」)가 채용된다. 동시 처리 장치(40)에 있어서도 순차 처리 장치(30)에 있어서도, 기판(W)의 반송 위치의 관계가 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k))의 어느 레시피 정보(Dc1)에나, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 포함되어 있던 레시피 정보(Dc1)가 채용된다. 레시피 정보(Dc1)는, 기판(W1(k), W2(k))의 어느 것에나 공통으로 행해져야 할 처리 및 그 처리에 있어서의 처리 조건을 나타내는 정보이기 때문이다.
순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k)) 모두 최종 정보(Dd1)를 포함한다. 최종 정보(Dd1)는, 어느 기판 번호 Wn(n은 1 이상 N 이하의 정수)에 대응하는 기판(Wn(k))이 속하는 제k의 그룹에 있어서, 당해 기판(Wn(k))이 반송 방향에 대한 최후미인지 여부를 나타낸다. 여기에서는 제k의 그룹에 속하는 기판(W)의 장수는 N=2이며, 기판(W1(k), W2(k)) 모두 존재하고, 또한 기판(W1(k))의 반송 위치는 기판(W2(k))의 반송 위치보다 상류에 있다. 따라서 순차 처리 기판 데이터(J1(k))에 있어서의 최종 정보(Dd1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J1(k))에 대응하는 기판(W1(k))이 제k의 그룹에 있어서 최후미인 것(이것은 최상류이기도 하다)을 나타내는 「END」가 채용된다. 순차 처리 기판 데이터(J1(k))에 있어서의 최종 정보(Dd1)에는 특별히 값은 채용되지 않는다.
또한, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k)) 모두가 최종 정보(Dd1)를 포함하지 않아도 되는 경우가 있다. 이 경우에 대해서는 후에 ＜6-2-2＞, ＜6-2-3＞에 있어서 재차 설명된다.
도 13은 순차 처리 장치(30)의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 측면도이다. 도 13에 있어서는, 도 2에서 나타낸 순차 처리 장치(30)의 구성으로부터, 액이나 기체를 공급하는 구성 및 액을 회수하는 구성의 묘화가 생략되어 있다.
도 13에 나타낸 상태에 있어서는, 기판(W1(3), W2(3))이 기판 도입부(31)에 위치한다. 기판(W1(3))이 롤러(311) 상에 재치되어 있는 것은 센서(314)에 의해 검출된다. 기판(W2(3))이 롤러(313) 상에 재치되어 있는 것은 센서(315)에 의해 검출된다.
기판(W1(2))은 기판(W1(3), W2(3))보다 하류의 약액부(34)에 위치한다. 기판(W2(2))은 기판(W1(2))보다 하류의 세정부(35)에 위치한다.
기판(W1(1), W2(1))이 기판(W2(2))보다 하류의 기판 도출부(33)에 위치한다. 기판(W1(1))이 롤러(331) 상에 재치되어 있는 것은 센서(334)에 의해 검출된다. 기판(W2(1))이 롤러(332) 상에 재치되어 있는 것은 센서(335)에 의해 검출된다.
당해 상태보다 전에, 기판(W1(1), W2(1))이 기판 도입부(31)에 위치하고, 그 후에 기판(W1(1), W2(1))이 처리 장치 본체(32)로 반송된다. 제어부(60)는, 예를 들면 센서(314, 315)에 의해 기판(W1(1), W2(1))의 존재가 검출된 것을 계기로 하여, 순차 처리 기판 데이터(J1(1), J2(1))를 생성한다. 그 후, 동일하게 하여 기판(W1(2), W2(2))이 기판 도입부(31)에 위치하고 순차 처리 기판 데이터(J1(2), J2(2))가 생성되고, 기판(W1(3), W2(3))이 기판 도입부(31)에 위치하고 순차 처리 기판 데이터(J1(3), J2(3))가 생성된다.
도 13에 나타낸 상태 후에, 기판(W1(1), W2(1))은 기판 도출부(33)로부터, 보다 하류에 있는 동시 처리 장치(40)(예를 들면 탈수 베이크 장치(13))로 불출된다.
제어부(60)는, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k))로부터 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 생성한다. 예를 들면 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용된 순차 처리 기판 데이터(J1(k))에 대응하는 기판(W1(k))이 센서(334)에 의해 검출된 것을 계기로 하여, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 생성된다.
순차 처리 기판 데이터(J1(1), J2(1))로부터 이하와 같이 하여 동시 처리 기판 데이터(D0(1))가 생성된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서의 그룹 식별 정보(Da1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J1(1), J2(1))에 있어서 공통되는 그룹 식별 정보(Da1)가 채용된다. 이것에 의해 하류에 있는 동시 처리 장치(40)에 있어서도 기판(W)의 그룹 나눔이 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서의 레시피 정보(Dc1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J1(1), J2(1))에 있어서 공통되는 레시피 정보(Dc1)가 채용된다. 레시피 정보(Dc1)는, 기판(W1(1), W2(1))의 어느 것에나 공통으로 행해져야 할 처리 및 그 처리에 있어서의 처리 조건을 나타내는 정보이기 때문이다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 기판 번호 W1에 대한 위치 정보(Db1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J1(1))에 있어서의 위치 정보(Db1)(「상류」)가 채용된다. 동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 기판 번호 W2에 대한 위치 정보(Db1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))에 있어서의 위치 정보(Db1)가 채용된다(「하류」). 위치 정보(Db1)는 동시 처리 장치(40)에 있어서 반드시 이용되지 않지만, 당해 동시 처리 장치(40)보다 더 하류에 있는 다른 순차 처리 장치(30)(예를 들면 현상 장치(17))에 있어서 이용된다. 위치 정보(Db1)가 동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 채용되는 것은, 당해 다른 순차 처리 장치(30)에 있어서 이용되는 순차 처리 기판 데이터(J1(1), J2(1))를 생성하는 것에 기여한다.
동시 처리 장치(40)에 있어서의 처리에는 기판(W)의 반송 위치는 관계가 작다. 최종 정보(Dd1)는 후술되는 바와 같이, 순차 처리 장치(30)에 있어서의 기판의 결여에 의해 변동하는 정보이며, 복수의 순차 처리 장치(30)에 있어서 공통으로 채용될 필요는 없다. 따라서 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서 최종 정보(Dd1)를 유지할 필요성은 작으며, 생략될 수 있다.
기판(W1(1), W2(1))이 기판 도출부(33)로부터 불출된 후, 순차 처리 장치(30)에 있어서의 처리가 진행되어 기판(W1(2), W2(2))이 기판 도출부(33)에 위치한다. 순차 처리 기판 데이터(J1(2), J2(2))로부터 동시 처리 기판 데이터 D0(2)가, 동시 처리 기판 데이터(D0(1))와 동일하게 하여 생성된다. 그 후에도 동일하게 하여 순차 처리 기판 데이터(J1(3), J2(3))로부터 동시 처리 기판 데이터(D0(3))가 생성된다.
그룹마다 대응하는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 의거하여 동시 처리 장치(40)에 의한 처리가 행해지며, 순차 처리 장치(30)의 상류와 하류에 있어서 그룹 나눔은 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
＜6-2. 그룹에 있어서 기판이 결여되는 경우＞
본 절에서는, 제k의 그룹(k=1, 2, 3) 중 어느 하나에 있어서, 기판(W1(k), W2(k))이 존재하지 않는 경우가 설명된다.
＜6-2-1. 순차 처리 장치에 있어서 상류측의 기판이 배제되는 경우＞
도 5는 이 경우에 있어서의 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 해당한다. 도 11은 이 경우에 있어서 최초로 생성되는 순차 처리 기판 데이터(J1(k))의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다. 도 12는 이 경우에 있어서 최초로 생성되는 순차 처리 기판 데이터(J2(k))의 일례를 개략적으로 나타내는 도이다. 「최초로 생성된다」란 기판(W1(k), W2(k))이 기판 도입부(31)에 위치했을 때에 생성되는 것을 가리킨다.
도 14는 순차 처리 장치(30)의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 측면도이다. 도 14에 있어서도, 도 2에서 나타낸 순차 처리 장치(30)의 구성으로부터, 액이나 기체를 공급하는 구성 및 액을 회수하는 구성의 묘화가 생략되어 있다.
도 14에 나타낸 상태는, 도 13에 나타낸 상태에서는 존재하고 있던 기판(W1(1))이, 탈수부(36)에 있어서 처리를 받고 있을 때에 배제된 양태를 나타낸다. 배제되기 전의 기판(W1(1))의 위치는 가상적으로 일점 쇄선으로 표시된다.
이와 같은 배제는, 예를 들면 탈수부(36)에 있어서 기판(W1(1))이 파손되거나, 롤러(321)로부터의 기판 W(1)의 낙하를 포함하는 처리의 불량이 생기거나 했을 때에, 조작자에 의해 행해진다.
이와 같은 배제를 행한 조작자는 제어부(60)를 조작하여, 순차 처리 기판 데이터(J1(1))를 제어부(60)로 하여금 삭제하게 한다. 제어부(60)는 순차 처리 기판 데이터(J1(1))를 삭제할 때, 그 최종 정보(Dd1)의 내용을 확인한다. 순차 처리 기판 데이터(J1(1))의 최종 정보(Dd1)가 「END」이지만 기판(W1(1))이 배제되었으므로, 제어부(60)는, 기판(W1(1))보다 하류이며 같은 그룹에 속하는 기판(W2(1))에 대응하는 순차 처리 기판 데이터(J2(1))를 재차 생성한다. 여기서 말하는 재차의 생성에는, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))로 최종 정보(Dd1)로서 「END」가 전달되는 것도 포함한다. 구체적으로는 순차 처리 기판 데이터(J2(1))의 그룹 식별 정보(Da1), 위치 정보(Db1), 레시피 정보(Dc1)가 유지되고, 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용된다. 이와 같은 재차의 순차 처리 기판 데이터(J2(1))의 생성은, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))의 갱신이라고도 할 수 있다.
순차 처리 기판 데이터(J1(1))가 삭제되기 전에는, 순차 처리 기판 데이터(J1(1))는 도 11에 있어서 k=1인 경우에 상당한다. 갱신되기 전의 순차 처리 기판 데이터(J2(1))는 도 12에 있어서 k=1인 경우에 상당한다. 도 15는 갱신된 후의 순차 처리 기판 데이터(J2(k))를 나타낸다. 갱신된 후의 순차 처리 기판 데이터(J2(1))는 도 15에 있어서 k=1인 경우에 상당하고, 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용된다. 도 15에 나타낸 구성은 도 12에 나타낸 구성에 대해 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용되는 점만 상이하다.
최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용된 순차 처리 기판 데이터(J2(1))에 대응하는 기판(W2(1))이 센서(335)에 의해 검출된 것을 계기로 하여, 동시 처리 기판 데이터(D0(1))가 생성된다. 기판(W2(1))은 기판 도출부(33)로부터 불출된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))는, 삭제된 순차 처리 기판 데이터(J1(1))를 이용하지 않고 순차 처리 기판 데이터(J2(1))를 이용하여 생성된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서의 그룹 식별 정보(Da1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))에 있어서의 그룹 식별 정보(Da1)가 채용된다. 이것에 의해 하류에 있는 동시 처리 장치(40)에 있어서도 기판(W)의 그룹 나눔이 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서의 레시피 정보(Dc1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))에 있어서의 레시피 정보(Dc1)가 채용된다. 레시피 정보(Dc1)는, 기판(W1(1))의 유무에 상관 없이 기판(W2(1))에 행해져야 할 처리 및 그 처리에 있어서의 처리 조건을 나타내는 정보이기 때문이다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 기판 번호 W1 및 기판 번호 W1에 대한 위치 정보(Db1)는 채용되지 않는다. 동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 기판 번호 W2에 대한 위치 정보(Db1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))에 있어서의 위치 정보(Db1)가 채용된다. 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서 최종 정보(Dd1)는 불필요하다.
이와 같이 하여, 그룹마다 대응하는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 의거하여 동시 처리 장치(40)에 의한 처리가 행해지며, 기판(W)의 배제가 있어도, 순차 처리 장치(30)의 상류와 하류에 있어서 그룹 나눔이 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
예를 들면, 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용되어 갱신된 순차 처리 기판 데이터(J2(1))가 얻어지며, 기판(W2(1))이 센서(335)에 의해 검출된 것을 계기로 하여, 알람이 예를 들면 표시부(67)에 의해 발보된다. 이와 같은 발보는 기판(W)이 제거되어, 그룹을 구성하는 기판의 장수가 정상적이지 않은 상황인 것을 표시하여, 기판 처리 장치(1)의 조작자에 대한 주의 환기에 기여한다.
＜6-2-2. 순차 처리 장치에 있어서 상류측의 기판의 유무가 확인되는 경우＞
이 항에서 설명되는 수법에서는 최종 정보(Dd1)의 값은 불문이며, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k)) 모두가 최종 정보(Dd1)를 포함하지 않아도 된다.
순차 처리 장치에 있어서 상류측의 기판의 유무가 확인되는 경우의 제1의 예로서, ＜6-2-1＞에 있어서 설명된 바와 같이, 기판(W1(1))이 순차 처리 장치(30)에 있어서 반송되어, 처리를 받고 있는 도중에 있어서, 조작자에 의해 배제되는 경우를 들 수 있다. 제2의 예로서, 기판 도입부(31)로 기판(W)이 반송된 시점에 있어서 이미 상류측의 기판(W1(k))이 존재하지 않고, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서도 기판 번호 W1이 존재하지 않았던 경우를 들 수 있다. 이하의 설명에 있어서는, 제1의 예로서도, 제2의 예로서도, 기판(W1(1))이 존재하지 않고 기판(W2(1))이 존재하는 경우가 예시된다.
도 16은 순차 처리 장치(30)의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 측면도이다. 도 16에 있어서도, 도 2에서 나타낸 순차 처리 장치(30)의 구성으로부터, 액이나 기체를 공급하는 구성 및 액을 회수하는 구성의 묘화가 생략되어 있다.
제1의 예에 있어서는, ＜6-2-1＞에 있어서 설명된 바와 같이, 제어부(60)는 순차 처리 기판 데이터(J1(1))를 삭제한다. 순차 처리 기판 데이터(J2(1))는 도 12에 있어서 k=1로 한 구조를 유지해도 되고, 도 15에 있어서 k=1로 한 구조로 갱신되어도 된다.
제2의 예이며, 동시 처리 기판 데이터(D0(1))가 도 9에 있어서 k=1로 한 구조를 가질 때, 제어부(60)는 순차 처리 기판 데이터(J1(1))를 생성하지 않고, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))를 생성한다. 순차 처리 기판 데이터(J2(1))는, 도 15에 있어서 k=1로 한 구조를 가져도 되고, 도 12에 있어서 k=1로 한 구조를 가져도 된다. 순차 처리 기판 데이터(J2(1))는 최종 정보(Dd1)를 포함하지 않아도 된다.
제1의 예여도, 제2의 예여도, 순차 처리 기판 데이터(J1(1))는 존재하지 않고, 센서(334)에 의해 기판(W1(1))이 검출되지 않고, 기판(W1(1))의 결여가 확인된다. 이와 같은 확인과, 센서(335)에 의해 기판(W2(1))이 검출된 것을 계기로 하여, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))를 이용하여 동시 처리 기판 데이터(D0(1))가 생성된다. 기판(W2(1))은 기판 도출부(33)로부터 불출된다.
예를 들면 제어부(60)는, 센서(335)가 기판(W2)을 검출했을 때에, 기판(W2)의 순차 처리 기판 데이터의 그룹 식별 정보(Da1)와, 당해 기판(W2)보다 하나 상류측의 기판(W)의 순차 처리 기판 데이터의 그룹 식별 정보(Da1)를 비교한다. 순차 처리 기판 데이터가 반송 순서로 늘어서 있는 것은, 인접하여 반송되는 두 개의 기판(W)에 대한 각각의 순차 처리 기판 데이터가 제어부(60)에 의해 특정되는 것을 용이하게 한다. 이들 두 개의 그룹 식별 정보(Da1)가 서로 상이한 경우에는, 당해 기판(W2)과 같은 그룹에 속하는 기판(W1)이 결여되어 있다. 이 경우에 제어부(60)는, 상술한 예에서는, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))를 이용하여 동시 처리 기판 데이터(D0(1))를 생성한다. 센서(334)에 의한 기판(W)의 검출을 기다리지 않고, 기판(W2(1))이 기판 도출부(33)로부터 불출된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))는, (삭제된, 혹은 생성되지 않았던) 순차 처리 기판 데이터(J1(1))를 이용하지 않고 순차 처리 기판 데이터(J2(1))를 이용하여 생성된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서의 그룹 식별 정보(Da1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))에 있어서의 그룹 식별 정보(Da1)가 채용된다. 이것에 의해 하류에 있는 동시 처리 장치(40)에 있어서도 기판(W)의 그룹 나눔이 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서의 레시피 정보(Dc1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))에 있어서의 레시피 정보(Dc1)가 채용된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 기판 번호 W1 및 기판 번호 W1에 대한 위치 정보(Db1)는 채용되지 않는다. 동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 기판 번호 W2에 대한 위치 정보(Db1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))에 있어서의 위치 정보(Db1)가 채용된다. 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서 최종 정보(Dd1)는 불필요하다.
이와 같이 하여, 그룹마다 대응하는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 의거하여 동시 처리 장치(40)에 의한 처리가 행해지며, 기판(W)의 배제가 있어도, 순차 처리 장치(30)의 상류와 하류에 있어서 그룹 나눔이 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
예를 들면, 순차 처리 기판 데이터(J1(1))가 없고, 센서(334)에 의해 기판(W1(1))이 검출되지 않고, 센서(335)에 의해 기판(W2(1))이 검출된 것을 계기로 하여, 알람이 예를 들면 표시부(67)에 의해 발보된다. 이와 같은 발보는 기판(W)이 제거되어, 그룹을 구성하는 기판의 장수가 정상적이지 않은 상황인 것을 표시하여, 기판 처리 장치(1)의 조작자에 대한 주의 환기에 기여한다.
＜6-2-3. 순차 처리 장치에 있어서 하류측의 기판이 결여되는 경우＞
이 항에서 설명되는 수법에서는 최종 정보(Dd1)의 값은 불문이며, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k)) 모두가 최종 정보(Dd1)를 포함하지 않아도 된다.
순차 처리 장치에 있어서 하류측의 기판의 유무가 확인되는 경우의 제1의 예로서, 기판(W2(k))이 순차 처리 장치(30)에 있어서 반송되어, 처리를 받고 있는 도중에 있어서, 조작자에 의해 배제되는 경우를 들 수 있다. 또 제2의 예로서, 기판 도입부(31)로 기판(W)이 반송된 시점에 있어서 이미 하류측의 기판(W2(k))이 존재하지 않고, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서도 기판 번호 W2가 존재하지 않았던 경우를 들 수 있다. 이하의 설명에 있어서는, 제1의 예로서도, 제2의 예로서도, 기판(W2(1))이 존재하지 않고 기판(W1(1))이 존재하는 경우가 예시된다.
도 17은 순차 처리 장치(30)의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 측면도이다. 도 17에 있어서도, 도 2에서 나타낸 순차 처리 장치(30)의 구성으로부터, 액이나 기체를 공급하는 구성 및 액을 회수하는 구성의 묘화가 생략되어 있다.
제1의 예에서는 제어부(60)는 순차 처리 기판 데이터(J2(1))를 삭제한다. 제2의 예이며, 동시 처리 기판 데이터(D0(1))가 도 8에 있어서 k=1로 한 구조를 가질 때, 제어부(60)는 순차 처리 기판 데이터(J2(1))를 생성하지 않고, 순차 처리 기판 데이터(J1(1))를 생성한다. 순차 처리 기판 데이터(J1(1))에는 도 11에 있어서 k=1로 한 구조가 채용된다. 단 순차 처리 기판 데이터(J1(1))는 최종 정보(Dd1)를 포함하지 않아도 된다.
제1의 예여도, 제2의 예여도, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))가 존재하지 않고, 순차 처리 기판 데이터(J1(1))는 생성된다. 센서(335)에 의해 기판(W2(1))이 검출되지 않고, 센서(334)에 의해 기판(W1(1))이 검출된 것을 계기로 하여, 동시 처리 기판 데이터(D0(1))가 생성된다. 기판(W1(1))은 기판 도출부(33)로부터 불출된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))는, (삭제된, 혹은 생성되지 않았던) 순차 처리 기판 데이터(J2(1))를 이용하지 않고 순차 처리 기판 데이터(J1(1))를 이용하여 생성된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서의 그룹 식별 정보(Da1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J1(1))에 있어서의 그룹 식별 정보(Da1)가 채용된다. 이것에 의해 하류에 있는 동시 처리 장치(40)에 있어서도 기판(W)의 그룹 나눔이 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서의 레시피 정보(Dc1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J1(1))에 있어서의 레시피 정보(Dc1)가 채용된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 기판 번호 W2 및 기판 번호 W2에 대한 위치 정보(Db1)는 채용되지 않는다. 동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 기판 번호 W1에 대한 위치 정보(Db1)에는, 순차 처리 기판 데이터(J1(1))에 있어서의 위치 정보(Db1)가 채용된다. 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서 최종 정보(Dd1)는 불필요하다.
이와 같이 하여, 그룹마다 대응하는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 의거하여 동시 처리 장치(40)에 의한 처리가 행해지며, 기판(W)의 배제가 있어도, 순차 처리 장치(30)의 상류와 하류에 있어서 그룹 나눔이 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
예를 들면, 순차 처리 기판 데이터(J2(1))가 없고, 센서(335)에 의해 기판(W2(1))이 검출되지 않고, 센서(334)에 의해 기판(W1(1))이 검출된 것을 계기로 하여, 알람이 예를 들면 표시부(67)에 의해 발보된다. 이와 같은 발보는 기판(W)이 제거되어, 그룹을 구성하는 기판의 장수가 정상적이지 않은 상황인 것을 표시하여, 기판 처리 장치(1)의 조작자에 대한 주의 환기에 기여한다.
＜6-2-4. 동시 처리 기판 데이터에 있어서 기판의 결여가 나타나지 않은 경우＞
기판 도입부(31)로 기판(W)이 반송된 시점에 있어서, 상류측의 기판(W1(k))이 존재하지 않았던 경우에 대해서 ＜6-2-2＞에 있어서의 제2의 예와 같은 대응으로 처리된다. 당해 설명에 있어서의 동시 처리 기판 데이터(D0(1))는, 도 9에 있어서 k=1로 한 구조를 가지고 있었다.
기판 도입부(31)로 기판(W)이 반송된 시점에 있어서, 하류측의 기판(W2(k))이 존재하지 않았던 경우에 대해서 ＜6-2-3＞에 있어서의 제2의 예와 같은 대응으로 처리된다. 당해 설명에 있어서의 동시 처리 기판 데이터(D0(1))는, 도 8에 있어서 k=1로 한 구조를 가지고 있었다.
이들 제2의 예에 있어서는, 동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 기판의 결여가 나타나 있는 경우가 설명되었다. 이와 같은 경우의 예로서, 예를 들면 카세트(10)에 있어서 기판의 결여가 판명되어 있을 때, 반송 로봇(81)에 의해 기판의 결여가 검출될 때를 들 수 있다.
그러나, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 기판의 결여가 나타나지 않은 경우도 상정된다. 예를 들면, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 도 5에 나타낸 구성을 가지면서도, 센서(314)에 의해 기판(W1(k))이 검출되지 않고 센서(315)에 의해 기판(W2(k))이 검출된 경우(이하 「제3의 예」라고 칭해진다)가 상정된다. 혹은 예를 들면, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 도 5에 나타낸 구성을 가지면서도, 센서(314)에 의해 기판(W1(k))이 검출되면서도 센서(315)에 의해 기판(W2(k))이 검출되지 않는 경우(이하 「제4의 예」라고 칭해진다)도 상정된다.
도 18 및 도 19는, 모두 순차 처리 장치(30)의 기판 반송의 사례를 개략적으로 나타내는 측면도이다. 도 18은 제3의 예를 나타내고, 도 19는 제4의 예를 나타낸다. 도 18 및 도 19에 있어서도, 도 2에서 나타낸 순차 처리 장치(30)의 구성으로부터, 액이나 기체를 공급하는 구성 및 액을 회수하는 구성의 묘화가 생략되어 있다.
제3의 예에 대해서, 기판 도입부(31)로 제3 그룹의 기판(W)이 반송된 시점에 있어서, 센서(314)에 의해 기판(W1(3))이 검출되지 않고, 센서(315)에 의해 기판(W2(3))이 검출되는 경우가, 도 18에 예시된다.
제3의 예에 있어서는, 이 시점에 있어서의 동시 처리 기판 데이터(D0(3))는 도 5에 있어서 k=3으로 한 구성을 가지고, 기판(W1(3))의 결여가 나타나지 않았다. 제어부(60)는 센서(314, 315)의 동작의 결과로부터, 순차 처리 기판 데이터(J1(3))를 생성하지 않고, 순차 처리 기판 데이터(J2(3))를 생성한다. 순차 처리 기판 데이터(J2(3))는, 도 15에 있어서 k=3으로 한 구조를 가진다.
혹은 이 때에는, 제어부(60)는 일단은 순차 처리 기판 데이터(J1(3), J2(3))를 생성하고, 알람이 예를 들면 표시부(67)에 의해 발보된다. 알람을 인식한 조작자는 입력부(66)를 이용하여, 제어부(60)에 대해, 순차 처리 기판 데이터(J1(3))를 삭제하게 하여, 순차 처리 기판 데이터(J2(3))를 유지한다.
제4의 예에 대해서, 기판 도입부(31)로 제3 그룹의 기판(W)이 반송된 시점에 있어서, 센서(315)에 의해 기판(W2(3))이 검출되지 않고, 센서(314)에 의해 기판(W1(3))이 검출되는 경우가, 도 19에 예시된다.
제4의 예에 있어서는, 이 시점에 있어서의 동시 처리 기판 데이터(D0(3))는 도 5에 있어서 k=3으로 한 구성을 가지고, 기판(W2(3))의 결여가 나타나지 않았다. 제어부(60)는 센서(314, 315)의 동작의 결과로부터, 순차 처리 기판 데이터(J2(3))를 생성하지 않고, 순차 처리 기판 데이터(J1(3))를 생성한다. 순차 처리 기판 데이터(J1(3))는, 도 11에 있어서 k=3으로 한 구조를 가진다.
혹은 이 때에는, 제어부(60)는 일단은 순차 처리 기판 데이터(J1(3), J2(3))를 생성하고, 알람이 예를 들면 표시부(67)에 의해 발보된다. 알람을 인식한 조작자는 입력부(66)를 이용하여, 제어부(60)에 대해, 순차 처리 기판 데이터(J2(3))를 삭제하게 하여, 순차 처리 기판 데이터(J1(3))를 유지한다.
＜7. 전체적인 처리의 설명＞
도 20은 본 실시의 형태에 있어서의 동시 처리 장치(40) 및 순차 처리 장치(30)에 있어서의 동작의 흐름을 예시하는 플로차트이다. 당해 플로차트에서는 순차 처리 장치(30)에 있어서의 처리에 주안점을 두고 있다.
단계 S1에 있어서, 순차 처리 장치(30)(예를 들면 세정 장치(12))는, 그 상류측에 있어서의 동시 처리 장치(40)(예를 들면 인덱서부(11))로부터 반송된 기판(W)을, 순차 처리 장치(30)의 입구부(예를 들면 기판 도입부(31))에 있어서 받는다.
단계 S2에 있어서 동시 처리 장치(40)에 있어서 이용되고 있던 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를, 제어부(60)가 받는다. 동시 처리 기판 데이터(D0(k))는 동시 처리 장치(40) 또는 또한 상류측의 장치로부터 송신되어도 된다. 예를 들면 동시 처리 기판 데이터(D0(k))는 인덱서부(11) 또는 인덱서부(11)보다 상류측의 장치로부터 송신된다. 예를 들면 카세트(10)로부터 기판(W)이 취출될 때에, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 얻어져도 된다.
동시 처리 기판 데이터(D0(k))는 반드시 상류측의 장치로부터 송신될 필요는 없고, 조작자가 입력부(66)를 이용하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 입력해도 된다. 단계 S1, S2가 실행되는 순서는 바뀌어도 된다. 예를 들면 기판(W)을 그룹으로 나누지 않고 처리되는 제어로부터, 기판(W)을 그룹으로 나누어 처리하는 제어로 변경될 때에 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 얻어져도 된다.
단계 S3에 있어서, 제어부(60)는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 의거하여 순차 처리 기판 데이터(J1(k)) 및 순차 처리 기판 데이터(J2(k)) 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 생성한다. 도 20 이후의 도면에 있어서 「and/or」란, 그 전후에 있어서의 구성 요소 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 의미한다.
예를 들면 ＜6-1＞에 있어서 설명된 경우에는 순차 처리 기판 데이터(J1(k)), (J2(k)) 양쪽이 생성된다.
예를 들면 ＜6-2-1＞, ＜6-2-2＞의 제1의 예에 있어서 설명된 경우에는, 후속 단계 S4에 있어서 순차 처리 기판 데이터(J1(k))가 삭제되지만, 순차 처리 기판 데이터(J1(k)), (J2(k)) 양쪽이 일단은 생성된다.
예를 들면 ＜6-2-3＞의 제1의 예에 있어서 설명된 경우에는, 후속 단계 S4에 있어서 순차 처리 기판 데이터(J2(k))가 삭제되지만, 순차 처리 기판 데이터(J1(k)), (J2(k)) 양쪽이 일단은 생성된다.
예를 들면 ＜6-2-2＞의 제2의 예, ＜6-2-4＞의 제3의 예에 있어서 설명된 경우에는 순차 처리 기판 데이터(J2(k)) 만이 생성된다. 예를 들면 ＜6-2-3＞의 제2의 예, ＜6-2-4＞의 제4의 예에 있어서 설명된 경우에는 순차 처리 기판 데이터(J1(k)) 만이 생성된다.
단계 S4에 있어서 순차 처리 장치(30)에 있어서, 순차 처리 기판 데이터(J1(k)) 및 순차 처리 기판 데이터(J2(k)) 중 어느 한쪽을 이용한 순차 처리가 행해진다. 예를 들면 ＜6-1＞에 있어서 설명된 경우에는 순차 처리 기판 데이터(J1(k)), (J2(k)) 양쪽이 이용되어 순차 처리가 행해진다.
예를 들면 ＜6-2-1＞, ＜6-2-2＞의 제1의 예에 있어서 설명된 경우에는, 순차 처리 기판 데이터(J1(k)), (J2(k)) 양쪽이 이용되어 순차 처리가 행해진 후, 순차 처리 기판 데이터(J2(k)) 만이 이용되어 순차 처리가 행해진다. 구체적으로는 단계 S3이 실행된 후에, 기판(W1(1))이 배제되어 존재하지 않게 되고, 기판(W2(1))이 존재한다. 그리고 기판 번호 W2에 대한 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용되어, 순차 처리 기판 데이터(J2(1)) 만이 남는다(도 15 참조).
예를 들면 ＜6-2-3＞의 제1의 예에 있어서 설명된 경우에는, 순차 처리 기판 데이터(J1(k)), (J2(k)) 양쪽이 이용되어 순차 처리가 행해진 후, 순차 처리 기판 데이터(J1(k)) 만이 이용되어 순차 처리가 행해진다. 구체적으로는 단계 S3이 실행된 후에, 기판(W2(1))이 배제되어 존재하지 않게 되고, 기판(W1(1))이 존재한다. 그리고 기판 번호 W1에 대한 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용된 채로, 순차 처리 기판 데이터(J1(1)) 만이 남는다(도 11 참조).
예를 들면 ＜6-2-2＞의 제2의 예, ＜6-2-4＞의 제3의 예에 있어서 설명된 경우에는 순차 처리 기판 데이터(J2(k)) 만이 이용되어 순차 처리가 행해진다.
예를 들면 ＜6-2-3＞의 제2의 예, ＜6-2-4＞의 제4의 예에 있어서 설명된 경우에는 순차 처리 기판 데이터(J1(k)) 만이 이용되어 순차 처리가 행해진다.
단계 S5에 있어서, 제어부(60)는 순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k)) 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 의거하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 생성한다. 예를 들면 ＜6-1＞에 있어서 설명된 경우에는 순차 처리 기판 데이터(J1(k)), (J2(k)) 양쪽에 의거하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 생성된다.
예를 들면 ＜6-2-1＞, ＜6-2-2＞의 제1의 예 및 제2의 예, ＜6-2-4＞의 제3의 예에 있어서 설명된 경우에는, 순차 처리 기판 데이터(J2(k))에만 의거하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 생성된다.
예를 들면 ＜6-2-3＞의 제1의 예 및 제2의 예, ＜6-2-4＞의 제4의 예에 있어서 설명된 경우에는 순차 처리 기판 데이터(J1(k))에만 의거하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 생성된다.
기판(W)은 순차 처리 장치(30)의 출구부(예를 들면 기판 도출부(33))에 있어서 동시 처리 장치(40)로 불출된다.
단계 S6에 있어서, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 이용한 동시 처리가 동시 처리 장치(40)(예를 들면 탈수 베이크 장치(13))에 있어서 행해진다.
도 21은 단계 S3의 상세를 예시하는 플로차트이다. 단계 S3은 단계 S301~S305를 가진다.
단계 S301에 있어서, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 기판 번호 W1, W2 모두가 있는지 여부가 판단된다. 당해 판단의 결과가 긍정적이 되는 경우는, 단계 S302로 처리가 진행되고, 부정적이 되는 경우에는 단계 S305로 처리가 진행된다.
예를 들면 ＜6-1＞, ＜6-2-1＞, ＜6-2-2＞의 제1의 예, ＜6-2-3＞의 제1의 예, ＜6-2-4＞의 제3의 예 및 제4의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S301에 있어서의 판단의 결과는 긍정적이 되고, 처리가 단계 S302로 진행된다. 예를 들면 ＜6-2-2＞의 제2의 예, ＜6-2-3＞의 제2의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S301에 있어서의 판단의 결과는 부정적이 되고, 처리가 단계 S305로 진행된다.
단계 S302에 있어서는, 입구부에 있어서 기판(W1(k), W2(k)) 모두가 검지되었는지 여부가 판단된다. 당해 판단의 결과가 긍정적이 되는 경우는, 단계 S303으로 처리가 진행되고, 부정적이 되는 경우에는 단계 S304로 처리가 진행된다.
예를 들면 ＜6-1＞, ＜6-2-1＞, ＜6-2-2＞의 제1의 예, ＜6-2-3＞의 제1의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S302에 있어서의 판단의 결과는 긍정적이 되고, 처리가 단계 S303으로 진행된다. 예를 들면 ＜6-2-4＞의 제3의 예 및 제4의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S302에 있어서의 판단의 결과는 부정적이 되고, 처리가 단계 S304로 진행된다.
단계 S303에 있어서는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))의 분리가 행해진다. 여기서 「분리」란 그룹 식별 정보(Da1), 위치 정보(Db1), 레시피 정보(Dc1)를, 기판 번호 W1, W2마다(따로 따로) 얻는 것을 가리킨다. 예를 들면 단계 S303에 있어서의 처리에 의해, 도 8에 나타낸 구조를 가지는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))와 같은 구조를 가지는 데이터와, 도 9에 나타낸 구조를 가지는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))와 같은 구조를 가지는 데이터가, 도 5에 나타낸 구조를 가지는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))로부터 얻어진다.
단계 S304에 있어서는, 입구부에 있어서 검지되지 않는 기판에 대응하는, 기판 번호 및 위치 정보(Db1)의 삭제가 행해진다. 예를 들면 ＜6-2-4＞의 제3의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S304에 있어서의 처리에 의해, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 가지는 구조는, 도 5에 나타낸 구조로부터 도 9에 나타낸 구조로 변경된다. 예를 들면 ＜6-2-4＞의 제4의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S304에 있어서의 처리에 의해, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 가지는 구조는, 도 5에 나타낸 구조로부터 도 8에 나타낸 구조로 변경된다.
단계 S303이 실행된 후여도, 단계 S304가 실행된 후여도, 단계 S301에 있어서의 판단에 있어서 부정적인 결과가 얻어지는 경우와 마찬가지로, 단계 S305가 실행된다.
단계 S305에 있어서는, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k)) 중 어느 한쪽 또는 양쪽이 생성된다. 존재하는 기판 번호 중, 최상류(이것은 최후미이기도 하다)의 기판 번호에 대한 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용된다.
예를 들면 ＜6-1＞, ＜6-2-1＞, ＜6-2-2＞의 제1의 예, ＜6-2-3＞의 제1의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S303이 실행된 후에, 기판(W1(k)), 기판(W2(k)) 모두가 존재하고, 기판 번호 W1에 대한 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용되어, 순차 처리 기판 데이터(J1(k)), (J2(k)) 양쪽이 생성된다(도 11, 도 12 참조).
단, 상술한 바와 같이, ＜6-2-2＞의 제1의 예, ＜6-2-3＞의 제1의 예에 있어서 설명된 경우에는, 최종 정보(Dd1)의 값은 불문이며, 최종 정보(Dd1)의 추가가 생략되어도 된다.
예를 들면 ＜6-2-4＞의 제3의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S304의 실행에 의해 동시 처리 기판 데이터(D0(3))에 있어서 기판 번호 W1이 존재하지 않고 기판 번호 W2가 존재한다. 단계 S305에 있어서는, 기판 번호 W2에 대한 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용되어, 순차 처리 기판 데이터(J2(3)) 만이 생성된다(도 15 참조).
예를 들면 ＜6-2-4＞의 제4의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S304의 실행에 의해 동시 처리 기판 데이터(D0(3))에 있어서 기판 번호 W2가 존재하지 않고 기판 번호 W1이 존재한다. 단계 S305에 있어서는, 기판 번호 W1에 대한 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용된 채로, 순차 처리 기판 데이터(J1(3)) 만이 생성된다(도 11 참조).
예를 들면 ＜6-2-2＞의 제2의 예에 있어서 설명된 경우에는, 동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 기판 번호 W1은 존재하지 않고, 기판 번호 W2가 존재한다. 단계 S305에 있어서는, 기판 번호 W2에 대한 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용되어, 순차 처리 기판 데이터(J2(3)) 만이 생성된다(도 15 참조).
예를 들면 ＜6-2-3＞의 제2의 예에 있어서 설명된 경우에는, 동시 처리 기판 데이터(D0(1))에 있어서 기판 번호 W2는 존재하지 않고, 기판 번호 W1이 존재한다. 단계 S305에 있어서는, 기판 번호 W1에 대한 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용되어, 순차 처리 기판 데이터(J1(3)) 만이 생성된다(도 11 참조).
도 22는 단계 S5의 상세를 예시하는 플로차트이다. 단계 S5는 단계 S501~S509를 가진다. 도 23은 단계 S509의 상세를 예시하는 플로차트이다.
단계 S4에 있어서 순차 처리 장치(30)에 있어서, 순차 처리 기판 데이터(J1(k)) 및 순차 처리 기판 데이터(J2(k)) 중 어느 한쪽을 이용한 순차 처리가 행해진 후, 단계 S501이 실행된다.
단계 S501에 있어서는, 순차 처리 장치(30)의 출구부에 기판(W2(k))이 도착했는지 여부가 판단된다. 당해 판단의 결과가 긍정적이면 처리는 단계 S502로 진행된다. 당해 판단의 결과가 부정적이면 처리는 단계 S509로 진행된다.
예를 들면 ＜6-1＞, ＜6-2-1＞, ＜6-2-2＞의 제1의 예 및 제2의 예, ＜6-2-4＞의 제3의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S501에 있어서의 판단의 결과는 긍정적이 되고, 처리가 단계 S502로 진행된다. 예를 들면 ＜6-2-3＞의 제1의 예 및 제2의 예, ＜6-2-4＞의 제4의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S501에 있어서의 판단의 결과는 부정적이 되고, 처리가 단계 S509로 진행된다.
단계 S502에 있어서는 순차 처리 기판 데이터(J2(k))의 최종 정보(Dd1)에 「END」가 있는지 여부(「END」가 채용되어 있는지 여부)가 판단된다. 당해 판단의 결과가 긍정적이면 처리는 단계 S507로 진행된다. 당해 판단의 결과가 부정적이면 처리는 단계 S503으로 진행된다.
예를 들면 ＜6-2-1＞, ＜6-2-2＞의 제1의 예, ＜6-2-2＞의 제2의 예(순차 처리 기판 데이터(J2(k))가 도 15에 나타내는 구조를 가질 때)에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S305의 실행에 의해 순차 처리 기판 데이터(J2(k))의 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용되어, 단계 S502에 있어서의 판단의 결과는 긍정적이 되고, 처리가 단계 S507로 진행된다. 예를 들면 ＜6-1＞, ＜6-2-2＞의 제2의 예(순차 처리 기판 데이터(J2(k))가 도 12에 나타내는 구조를 가질 때), ＜6-2-4＞의 제3의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S502에 있어서의 판단의 결과는 부정적이 되고, 처리가 단계 S503으로 진행된다.
단계 S503에 있어서는, 기판(W2(k))의 상류측에 기판(W1(k))(이것은 기판(W2(k))과 같은 제k의 그룹에 속한다)이 존재하는지 여부가 판단된다. 당해 판단의 결과가 긍정적이면 처리는 단계 S504로 진행된다. 당해 판단의 결과가 부정적이면 처리는 단계 S507로 진행된다.
예를 들면 ＜6-1＞에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S503에 있어서의 판단의 결과는 긍정적이 되고, 처리가 단계 S504로 진행된다. 예를 들면, ＜6-2-2＞의 제2의 예(순차 처리 기판 데이터(J2(k))가 도 12에 나타내는 구조를 가질 때), ＜6-2-4＞의 제3의 예에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S503에 있어서의 판단의 결과는 부정적이 되고, 처리가 단계 S507로 진행된다.
상기의 처리의 흐름으로부터, ＜6-2-2＞의 제2의 예에 있어서 설명된 경우는, 순차 처리 기판 데이터(J2(k))가 도 12에 나타낸 구조를 가지는지 도 15에 나타낸 구조를 가지는지에 관계없이, 단계 S507이 실행된다.
단계 S504에 있어서, 순차 처리 장치(30)의 출구부에 기판(W1(k))이 도착했는지 여부가 판단된다. 당해 판단의 결과가 부정적이면 단계 S504가 반복해서 실행되어, 다른 처리가 대기된다. 단계 S504에 있어서의 판단의 결과가 긍정적이면 처리가 단계 S505로 진행된다.
단계 S504의 실행은 단계 S503에 있어서의 긍정적인 판단이 전제이므로, 단계 S504에 있어서 처리가 정지하는 일은 없다.
단계 S505에 있어서, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), J2(k))를 결합하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 생성된다. 여기서 「결합」이란 기판 번호 W1에 대응하는 데이터로서 순차 처리 기판 데이터(J1(k))가 가지고 있던 데이터를 채용하고, 기판 번호 W2에 대응하는 데이터로서 순차 처리 기판 데이터(J2(k))가 가지고 있던 데이터를 채용하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 생성되는 것을 가리킨다.
상술한 바와 같이, 같은 그룹에 있어서는 그룹 식별 정보(Da1), 레시피 정보(Dc1)는 공통된다. 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서는 기판 번호 W1, W2에 공통되는 데이터로서 이용된다.
단계 S505가 실행된 후, 단계 S506이 실행된다. 단계 S506에 있어서는 기판(W1(k), W2(k))이 동시 처리 장치(40)로 불출된다.
단계 S507에 있어서는, 순차 처리 기판 데이터(J2(k))로부터 최종 정보(Dd1)가 삭제된다. 최종 정보(Dd1)가 삭제된 순차 처리 기판 데이터(J2(k))를 이용하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 생성된다.
예를 들면 단계 S502에 있어서 긍정적인 판단이 된, ＜6-2-1＞, ＜6-2-2＞의 제1의 예, ＜6-2-2＞의 제2의 예(순차 처리 기판 데이터(J2(k))가 도 15에 나타내는 구조를 가질 때)에 있어서 설명된 경우에는, 단계 S305의 실행에 의해 순차 처리 기판 데이터(J2(k))의 최종 정보(Dd1)에 「END」가 채용되었다. 이와 같은 최종 정보(Dd1)에 의해 기판(W1(k))이 존재하지 않는 것이 시사되어, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))의 생성에는 순차 처리 기판 데이터(J1(k))는 이용되지 않는다.
예를 들면 단계 S503에 있어서 부정적인 판단이 된, ＜6-2-2＞의 제2의 예(순차 처리 기판 데이터(J2(k))가 도 12에 나타내는 구조를 가질 때), ＜6-2-4＞의 제3의 예에 있어서 설명된 경우에는, 순차 처리 기판 데이터(J1(k))가 생성되어 있지 않았다. 이들 경우에도 동시 처리 기판 데이터(D0(k))의 생성에는 순차 처리 기판 데이터(J1(k))는 이용되지 않는다.
단계 S507이 실행된 후, 단계 S508이 실행된다. 단계 S508에 있어서는 기판(W2(k)) 만이 동시 처리 장치(40)로 불출된다.
단계 S506, S508이 실행된 후, 처리는 단계 S6(도 20 참조)으로 진행된다.
단계 S509는 단계 S511~S513을 포함한다(도 23 참조). 단계 S501에 있어서의 판단이 부정적이었을 때, 단계 S511이 실행된다. 단계 D511에 있어서는 순차 처리 장치(30)의 출구부(기판 도출부(33))에 기판(W1(k))이 도착했는지 여부가 판단된다. 당해 판단의 결과가 긍정적이었을 때 단계 S512로 처리가 진행된다.
당해 판단의 결과가 부정적이었을 때 단계 S5에 있어서의 처리는 종료되고(도 22 참조), 단계 S6으로 처리가 진행된다(도 20 참조). 단, 단계 S511에 있어서의 판단이 부정적이었을 때, 이미 단계 S501에 있어서의 판단에 의해 기판(W2(k))이 도착하지 않기 때문에, 순차 처리 장치(30)의 출구부로부터 불출되는 기판(W1(k), W2(k)) 모두가 존재하지 않는다. 따라서 단계 S511에 있어서의 판단이 부정적이었을 때, 제k 그룹에 관한 단계 S6은, 실질적으로는 실행되지 않는다.
단계 S512에 있어서 제어부(60)는, 순차 처리 기판 데이터(J2(k))를 이용하지 않고, 순차 처리 기판 데이터(J1(k))로부터 최종 정보(Dd1)를 삭제하고, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 생성한다. 예를 들면 ＜6-2-3＞의 제1의 예에 있어서는 순차 처리 기판 데이터(J2(k))는 단계 S4에 있어서 삭제된다. 예를 들면 ＜6-2-3＞의 제2의 예, ＜6-2-4＞의 제4의 예에 있어서는, 순차 처리 기판 데이터(J2(k))는 생성되지 않는다.
단계 S512에 의해 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 생성된 후, 단계 S513이 실행된다. 단계 S513에 있어서 기판(W1(k)) 만이 동시 처리 장치(40)로 불출된다.
단계 S513이 실행된 것에 의해 단계 S509는 종료되고, 처리는 단계 S6으로 진행된다(도 20 참조).
＜8. 일반적인 설명＞
상기의 각 항의 설명에 의거하여, 이하에 일반적인 설명이 행해진다.
(i) 기판 처리 장치(1)는, 기판(W)에 대해 처리를 행하는 순차 처리 장치(30)와, 기판(W)을 동시에 처리하는 동시 처리 장치(40)와, 제어부(60)를 구비한다. 예를 들면 기판 처리 장치(1)는 순차 처리 장치(30)로서 세정 장치(12)를 구비한다. 예를 들면 기판 처리 장치(1)는 동시 처리 장치(40)로서 인덱서부(11)와 탈수 베이크 장치(13)를 구비한다.
기판(W)은 복수의 그룹으로 나누어진다. 제k의 그룹에는 기판(W1(k), …WN(k))이 속한다. 기호 N은 양의 정수를 나타낸다. 예를 들면 N=2로서 설명되었지만, N≥3이어도 된다.
순차 처리 장치(30)는 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …JN(k))에 의거하여, 기판(W)을 순차적으로 반송하면서, 기판(W)에 대해 처리를 행한다. 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …JN(k))는, 각각 기판(W1(k), …WN(k))에 대해 설정된다.
동시 처리 장치(40)는, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 의거하여, 그룹마다 기판(W1(k), …WN(k))을 동시에 처리한다. 동시 처리 기판 데이터(D0(k))는 제k의 그룹에 대응하여 설정된다.
제어부(60)는, 제k의 그룹에 속하는 기판(W1(k), …WN(k))마다 설정되는 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …JN(k))에 의거하여, 순차 처리 장치(30)에 있어서의 기판(W1(k), …WN(k))에 대한 반송 및 처리를 제어한다.
제어부(60)는, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 의거하여, 동시 처리 장치(40)에 있어서의 기판(W1(k), …WN(k))에 대한 기판으로의 처리를 제어한다.
동시 처리 기판 데이터(D0(k))는, 그룹 식별 정보(Da1)와, 기판 번호 W1, W2와, 위치 정보(Db1)와, 레시피 정보(Dc1)를 포함한다. 그룹 식별 정보(Da1)는, 그룹을 식별한다. 구체적으로는 기판(W1(k), …WN(k))이 제k의 그룹에 속하는 것이 그룹 식별 정보(Da1)에 의해 나타난다. 기판 번호 W1, …WN은, 같은 그룹에 속하는 기판(W)을 서로 구별한다. 위치 정보(Db1)는, 같은 그룹에 있어서의 기판(W)의 반송 위치를 나타낸다. 레시피 정보(Dc1)는, 같은 그룹에 속하는 기판(W)에 공통으로 이루어지는 처리 내용을 규정한다.
순차 처리 기판 데이터(J1(k), …JN(k))는, 각각 대응하는 기판(W1(k), …WN(k))에 대한 위치 정보(Db1)와, 그룹 식별 정보(Da1)와, 레시피 정보(Dc1)를 포함한다.
제어부(60)는, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))로부터 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …JN(k))를 생성한다(도 20의 단계 S3 참조). 제어부(60)는, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …JN(k))로부터 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 생성한다(도 20의 단계 S5 참조).
순차 처리 기판 데이터(J1(k), …JN(k))의 어느 그룹 식별 정보(Da1), 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 포함되어 있던 그룹 식별 정보(Da1)가 채용된다. 이것에 의해 순차 처리 장치(30)에 있어서도 기판(W)의 그룹 나눔이 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
(ii) 예를 들면 제어부(60)는, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서의 기판 번호 W1과, 기판 번호 W1에 대응하는 위치 정보(Db1)와, 레시피 정보(Dc1)와, 최종 정보(Dd1)를 이용하여, 기판 번호 W1에 대응하는 기판(W1(k))에 대한 순차 처리 기판 데이터(J1(k))를 생성한다(도 11 참조). 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서의 기판 번호 Wm과, 기판 번호 Wm에 대응하는 위치 정보(Db1)와, 레시피 정보(Dc1)와, 최종 정보(Dd1)를 이용하여, 기판 번호 Wm에 대응하는 기판(Wm(k))에 대한 순차 처리 기판 데이터(Jm(k))를 생성한다(m은 2 이상 N 이하의 정수이며, 도 12 참조).
당해 최종 정보(Dd1)는, 기판 번호 W1에 대응하는 기판(W1(k))이 속하는 제k의 그룹에 있어서, 기판(W1(k))이 반송 방향에 대한 최후미(최상류)인지 여부를 나타낸다. 예를 들면 ＜6-2-1＞에 있어서 설명된 경우에는, 일단은, 도 11에 나타낸 구성을 가지는 순차 처리 기판 데이터(J1(k))가 생성된다(도 21의 단계 S305 참조). 그 후, 순차 처리 기판 데이터(J1(k))가 삭제되어, 순차 처리 기판 데이터(Jm(k)) 중, 반송 방향에 대한 최후미(최상류)가 되는 순차 처리 기판 데이터(J2(k))의 최종 정보(Dd1)가 기판(W2(k))이 반송 방향에 대한 최후미(최상류)인 것을 나타낸다(도 15 참조).
이것에 의해 순차 처리 장치(30)에 있어서도, 그룹 식별 정보(Da1)에 의하지 않고도 기판(W)의 그룹 나눔이 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다.
(iii) 예를 들면 제어부(60)는, 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 있어서의 기판 번호 Wn과, 기판 번호 Wn에 대응하는 위치 정보(Db1)와, 레시피 정보(Dc1)와, 그룹 식별 정보(Da1)를 이용하여, 기판 번호 Wn에 대응하는 기판(Wn(k))에 대한 순차 처리 기판 데이터(Jn(k))를 생성한다. 이것에 의해 순차 처리 장치(30)에 있어서도, 최종 정보(Dd1)에 의하지 않아도 기판(W)의 그룹 나눔이 유지되어, 그룹마다 기판(W)의 반송 및 처리가 관리된다. 이 경우에 있어서 최종 정보(Dd1)를 이용하여 기판(W)의 그룹 나눔이 유지되어도 된다.
(iv) 예를 들면 순차 처리 장치(30)는, 동시 처리 장치(40)로 기판(W)을 불출하는 출구부인 기판 도출부(33)를 포함한다. 순차 처리 장치(30)로서 세정 장치(12)를 생각하면, 동시 처리 장치(40)로서 탈수 베이크 장치(13)를 생각할 수 있다.
기판 도출부(33)는, 기판 도출부(33)에 있어서의 기판(W)의 존부를 검출하는 센서(334, 335)를 가진다. 출구부에 있어서의 센서에 의해 기판(W1(k))이 검출되지 않고 기판(Wm(k))이 검출되고(도 22의 단계 S503으로부터 단계 S507로의 흐름을 참조), 또한 기판(W1(k))의 결여가 확인되었을 때(도 22의 단계 S503으로부터 단계 S507로의 흐름을 참조), 제어부(60)는 기판(W1(k))에 대한 순차 처리 기판 데이터(J1(k))를 이용하지 않고, 기판(Wm(k))에 대한 순차 처리 기판 데이터(Jm(k))를 이용하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 생성한다(도 22의 단계 S507 참조).
예를 들면, 기판(W1(k), …Ws(k))이 (s=m-1), 기판(Wm(k), …WN(k))보다 상류에 배치되고, 기판(W1(k), …Wm(k))은 모두 제k의 그룹에 속하고 있는 경우를 상정한다.
예를 들면, 기판(W1(k), …Ws(k))이 검출되지 않고 기판(Wm(k), …WN(k))이 검출되었을 때에, 단계 S507에 있어서 제어부(60)가 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …Js(k))를 이용하지 않고, 순차 처리 기판 데이터(Jm(k), …WN(k))을 이용하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 생성한다.
이것에 의해, 실제로 불출되는 기판(W)과 대응한 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가, 동시 처리에 제공된다(도 22의 단계 S508 참조).
예를 들면 기판(W1(k), …Ws(k))을 제1의 기판으로서 파악하고, 기판(Wm(k), …WN(k))을 제2의 기판으로서 파악할 수 있다. 이 경우, 출구부에 있어서의 센서에 의해 제1의 기판이 검출되지 않고 제2의 기판이 검출되고, 또한 제1의 기판의 결여가 확인되었을 때에, 제어부(60)는 제1의 기판에 대한 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …Js(k))를 이용하지 않고, 제2의 기판에 대한 순차 처리 기판 데이터(Jm(k), …JN(k))를 이용하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 생성한다.
(v) 예를 들면 순차 처리 장치(30)는, 동시 처리 장치(40)로 기판(W)을 불출하는 출구부인 기판 도출부(33)를 포함한다. 기판 도출부(33)는, 기판 도출부(33)에 있어서의 기판(W)의 존부를 검출하는 센서(334, 335)를 가진다. 출구부에 있어서의 센서에 의해 기판(W1(k))이, 기판(Wm(k))이 검출되지 않고 검출되었을 때에(도 23의 단계 S501로부터 단계 S512로의 처리의 흐름을 참조), 제어부(60)는 기판(Wm(k))에 대한 순차 처리 기판 데이터(Jm(k))를 이용하지 않고, 기판(W1(k))에 대한 순차 처리 기판 데이터(J1(k))를 이용하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 생성한다(도 23의 단계 S512 참조).
기판(W1(k), Wm(k))은 모두 제k의 그룹에 속한다. 이들 위치 정보(Db1)는, 기판(W1(k))이 기판(Wm(k))보다 상류측(반송 방향에 대해서 말하면 뒤측)인 것을 나타낸다. 예를 들면, 도 11을 참조하여 기판(W1(k))은 다른 기판보다 상류에 있는 것을 나타낸다. 예를 들면 도 12를 참조하여 기판(W2(k))은 다른 기판보다 상류에 있는 것을 나타낸다.
예를 들면 기판(Wm(k), …WN(k))이 검출되지 않고 기판(W1(k), …Ws(k))이 검출되었을 때에, 단계 S512에 있어서 제어부(60)가 순차 처리 기판 데이터(Jm(k), …JN(k))를 이용하지 않고, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …Ws(k))를 이용하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 생성한다.
이것에 의해, 실제로 불출되는 기판(W)과 대응한 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가, 동시 처리에 제공된다(도 22의 단계 S513 참조).
예를 들면 기판(W1(k), …Ws(k))을 제1의 기판으로서 파악하고, 기판(Wm(k), …WN(k))을 제2의 기판으로서 파악할 수 있다. 이 경우, 출구부에 있어서의 센서에 의해 제1의 기판이, 제2의 기판이 검출되지 않고 검출되었을 때에, 제어부(60)는 제2의 기판에 대한 순차 처리 기판 데이터(Jm(k), …JN(k))를 이용하지 않고, 제1의 기판에 대한 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …Js(k))를 이용하여 동시 처리 기판 데이터(D0(k))를 생성한다.
(vi) 예를 들면 출구부에 있어서의 센서는 복수 설치되며, 그 개수는 그룹에 속하는 기판(W)의 개수와 일치한다. 예를 들면 N=2일 때, 기판 도출부(33)는, 기판 도출부(33)에 있어서의 기판(W)의 존부를 검출하는 센서(334, 335)를 가진다. 이와 같은 개수로 센서를 설치하는 것은, 그룹에 있어서의 기판(W)의 존부의 적확한 검출에 기여한다.
(vii) 예를 들면 순차 처리 장치(30)는, 동시 처리 장치(40)로부터 기판(W)을 받는 입구부인 기판 도입부(31)를 포함한다. 순차 처리 장치(30)로서 세정 장치(12)를 생각하면, 동시 처리 장치(40)로서 인덱서부(11)를 생각할 수 있다. 기판 도입부(31)는, 기판 도입부(31)에 있어서의 기판(W)의 존부를 검출하는 센서(314, 315)를 가진다.
입구부에 있어서의 센서에 의해 기판(W1(k))이 검출되지 않고 기판(W2(k))이 검출되었을 때에(예를 들면 ＜6-2-4＞의 제3의 예에 있어서 설명된 경우), 제어부(60)는 순차 처리 기판 데이터(J1(k))를 생성하지 않고, 순차 처리 기판 데이터(J2(k))를 생성한다(도 21의 단계 S304 참조).
입구부에 있어서의 센서에 의해 기판(W2(k))이 검출되지 않고 기판(W1(k))이 검출되었을 때에(예를 들면 ＜6-2-4＞의 제4의 예에 있어서 설명된 경우), 제어부(60)는 순차 처리 기판 데이터(J2(k))를 생성하지 않고, 순차 처리 기판 데이터(J1(k))를 생성한다(도 21의 단계 S304 참조).
예를 들면 기판(W1(k), …Ws(k))을 제3의 기판으로서 파악하고, 기판(Wm(k), …WN(k))을 제4의 기판으로서 파악할 수 있다. 이 경우, 입구부에 있어서의 센서에 의해 제3의 기판이, 제4의 기판이 검출되지 않고 검출되었을 때에, 단계 S305에 있어서 제어부(60)가 제4의 기판에 대한 순차 처리 기판 데이터(Jm(k), …JN(k))를 생성하지 않고, 제3의 기판에 대한 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …Js(k))를 생성한다.
입구부에 있어서의 센서에 의해 제4의 기판이, 제3의 기판이 검출되지 않고 검출되었을 때에, 단계 S305에 있어서 제어부(60)가 제3의 기판에 대한 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …Js(k))를 생성하지 않고, 제4의 기판에 대한 순차 처리 기판 데이터(Jm(k), …JN(k))를 생성한다.
또 상술한 기판 처리 장치는, 하기의 기판 처리 방법을 실현할 수 있다. 당해 기판 처리 방법은, 순차 처리와 동시 처리를 구비한다. 순차 처리는, 복수의 그룹으로 나누어진 기판(W)마다 설정되는 순차 처리 기판 데이터(Jn(k))에 의거하여, 기판(W1(k), …WN(k))을 순차적으로 반송하면서, 기판(Wn(k))에 대해 처리를 행한다. 동시 처리는, 그룹마다 설정되는 동시 처리 기판 데이터(D0(k))에 의거하여, 그룹마다 기판(W1(k), …WN(k))을 동시에 처리한다.
동시 처리 기판 데이터(D0(k))는, 그룹 식별 정보(Da1)와, 기판 번호 W1, W2와, 위치 정보(Db1)와, 레시피 정보(Dc1)를 포함한다. 그룹 식별 정보(Da1)는, 그룹을 식별한다. 구체적으로는 기판(W1(k), …WN(k))이 제k의 그룹에 속하는 것이 그룹 식별 정보(Da1)에 의해 나타난다. 기판 번호 W1, …WN은, 같은 그룹에 속하는 기판(W)을 서로 구별한다. 위치 정보(Db1)는, 같은 그룹에 있어서의 기판(W)의 반송 위치를 나타낸다. 레시피 정보(Dc1)는, 같은 그룹에 속하는 기판(W)에 공통으로 이루어지는 처리 내용을 규정한다.
순차 처리 기판 데이터(J1(k), …JN(k))는, 각각 대응하는 기판(W1(k), …WN(k))에 대한 위치 정보(Db1)와, 그룹 식별 정보(Da1)와, 레시피 정보(Dc1)를 포함한다.
동시 처리 기판 데이터(D0(k))로부터 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …JN(k))이 생성되고, 순차 처리 기판 데이터(J1(k), …JN(k))로부터 동시 처리 기판 데이터(D0(k))가 생성된다.
이상과 같이, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법은 상세하게 설명되었지만, 상기한 설명은, 모든 국면에 있어서 예시이며, 이 개시가 그것에 한정되는 것은 아니다. 또, 상술한 각종 변형예는, 서로 모순되지 않는 한 조합하여 적용 가능하다. 그리고, 예시되어 있지 않은 다수의 변형예가, 이 개시된 범위로부터 벗어나는 일 없이 상정될 수 있는 것이라고 해석된다.
31: 기판 도입부(입구부) 33: 기판 도출부(출구부)
314, 315, 334, 335: 센서 Da1: 그룹 식별 정보
Db1: 위치 정보 Dc1: 레시피 정보
Dd1: 최종 정보 k: 페어 번호
J1(k), J2(k): 순차 처리 기판 데이터
D0(k): 동시 처리 기판 데이터
W, W1, W2, W1(k), W2(k): 기판

Claims (12)

  1. 복수의 그룹으로 나누어진 기판마다 설정되는 순차 처리 기판 데이터에 의거하여, 상기 기판을 순차적으로 반송하면서, 상기 기판에 대해 처리를 행하는 순차 처리부와,
    상기 그룹마다 설정되는 동시 처리 기판 데이터에 의거하여, 상기 그룹마다 상기 기판을 동시에 처리하는 동시 처리부와,
    상기 순차 처리 기판 데이터에 의거하여 상기 순차 처리부에 있어서의 상기 기판에 대한 반송 및 상기 처리를 제어하고, 상기 동시 처리 기판 데이터에 의거하여 상기 동시 처리부에 있어서의 상기 기판에 대한 처리를 제어하는 제어부
    를 구비하고,
    상기 동시 처리 기판 데이터는, 상기 그룹을 식별하는 그룹 식별 정보와, 상기 그룹에 속하는 상기 기판을 서로 구별하는 기판 번호와, 상기 그룹에 있어서의 상기 기판의 반송 방향에 대한 위치인 반송 위치를 나타내는 위치 정보와, 상기 그룹에 속하는 상기 기판에 공통으로 이루어지는 처리 내용을 규정하기 위한 레시피 정보를 포함하며,
    상기 순차 처리 기판 데이터는, 상기 순차 처리 기판 데이터에 대응하는 상기 기판에 대한 상기 위치 정보와, 상기 그룹 식별 정보와, 상기 레시피 정보를 포함하며,
    상기 제어부는, 상기 동시 처리 기판 데이터로부터 상기 순차 처리 기판 데이터를 생성하고, 상기 순차 처리 기판 데이터로부터 상기 동시 처리 기판 데이터를 생성하는, 기판 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 동시 처리 기판 데이터의 하나의 상기 기판 번호와, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 위치 정보와, 상기 레시피 정보와, 최종 정보를 이용하여, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 생성하고,
    상기 최종 정보는, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 기판이 속하는 상기 그룹에 있어서, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 기판이 상기 반송 방향에 대한 최후미인지 아닌지를 나타내는, 기판 처리 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 동시 처리 기판 데이터의 하나의 상기 기판 번호와, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 위치 정보와, 상기 그룹 식별 정보와, 상기 레시피 정보를 이용하여, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 생성하는, 기판 처리 장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 순차 처리부는, 상기 동시 처리부로 상기 기판을 불출하는 출구부를 포함하고,
    상기 출구부는, 상기 출구부에 있어서의 상기 기판의 존부를 검출하는 센서를 가지며,
    상기 센서에 의해 제1의 상기 기판이 검출되지 않고 제2의 상기 기판이 검출되고, 또한 상기 제1의 상기 기판의 결여가 확인되었을 때, 상기 제어부는 상기 제1의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 이용하지 않고, 상기 제2의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 이용하여 상기 동시 처리 기판 데이터를 생성하고,
    상기 제1의 상기 기판과 상기 제2의 상기 기판은 같은 상기 그룹에 속하며,
    상기 제1의 상기 기판의 상기 위치 정보 또는 상기 제2의 상기 기판의 상기 위치 정보는, 상기 제1의 상기 기판이 상기 제2의 상기 기판보다 상류측인 것을 나타내는, 기판 처리 장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 순차 처리부는, 상기 동시 처리부로 상기 기판을 불출하는 출구부를 포함하고,
    상기 출구부는, 상기 출구부에 있어서의 상기 기판의 존부를 검출하는 센서를 가지며,
    상기 센서에 의해 제1의 상기 기판이 검출되지 않고 제2의 상기 기판이 검출되고, 또한 상기 제1의 상기 기판의 결여가 확인되었을 때, 상기 제어부는 상기 제1의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 이용하지 않고, 상기 제2의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 이용하여 상기 동시 처리 기판 데이터를 생성하고,
    상기 제1의 상기 기판과 상기 제2의 상기 기판은 같은 상기 그룹에 속하며,
    상기 제1의 상기 기판의 상기 위치 정보 또는 상기 제2의 상기 기판의 상기 위치 정보는, 상기 제1의 상기 기판이 상기 제2의 상기 기판보다 상류측인 것을 나타내는, 기판 처리 장치.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 순차 처리부는, 상기 동시 처리부로 상기 기판을 불출하는 출구부를 포함하고,
    상기 출구부는, 상기 출구부에 있어서의 상기 기판의 존부를 검출하는 센서를 가지며,
    상기 센서에 의해 제1의 상기 기판이, 제2의 상기 기판이 검출되지 않고 검출되었을 때에, 상기 제어부는 상기 제2의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 이용하지 않고, 상기 제1의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 이용하여 상기 동시 처리 기판 데이터를 생성하고,
    상기 제1의 상기 기판과 상기 제2의 상기 기판은 같은 상기 그룹에 속하며,
    상기 제1의 상기 기판의 상기 위치 정보 또는 상기 제2의 상기 기판의 상기 위치 정보는, 상기 제1의 상기 기판이 상기 제2의 상기 기판보다 상류측인 것을 나타내는, 기판 처리 장치.
  7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 순차 처리부는, 상기 동시 처리부로부터 상기 기판을 받는 입구부를 포함하고,
    상기 입구부는, 상기 입구부에 있어서의 상기 기판의 존부를 검출하는 센서를 가지며,
    상기 입구부에 있어서의 상기 센서에 의해 제3의 상기 기판이 검출되지 않고, 제4의 상기 기판이 검출되었을 때에, 상기 제어부는 상기 제3의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 생성하지 않고, 상기 제4의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 생성하고,
    상기 제3의 상기 기판과 상기 제4의 상기 기판은 같은 상기 그룹에 속하는, 기판 처리 장치.
  8. 복수의 그룹으로 나누어진 기판마다 설정되는 순차 처리 기판 데이터에 의거하여, 상기 기판을 순차적으로 반송하면서, 상기 기판에 대해 처리를 행하는 순차 처리와,
    상기 그룹마다 설정되는 동시 처리 기판 데이터에 의거하여, 상기 그룹마다 상기 기판을 동시에 처리하는 동시 처리
    를 구비하는 기판 처리 방법으로서,
    상기 순차 처리 기판 데이터에 의거하여 상기 순차 처리에 있어서의 상기 기판에 대한 반송 및 상기 처리가 제어되고,
    상기 동시 처리 기판 데이터에 의거하여 상기 동시 처리에 있어서의 상기 기판에 대한 처리가 제어되며,
    상기 동시 처리 기판 데이터는, 상기 그룹을 식별하는 그룹 식별 정보와, 상기 그룹에 속하는 상기 기판을 서로 구별하는 기판 번호와, 상기 그룹에 있어서의 상기 기판의 반송 방향에 대한 위치인 반송 위치를 나타내는 위치 정보와, 상기 그룹에 속하는 상기 기판에 공통으로 이루어지는 처리 내용을 규정하기 위한 레시피 정보를 포함하며,
    상기 순차 처리 기판 데이터는, 상기 순차 처리 기판 데이터에 대응하는 상기 기판에 대한 상기 위치 정보와, 상기 그룹 식별 정보와, 상기 레시피 정보를 포함하며,
    상기 동시 처리 기판 데이터로부터 상기 순차 처리 기판 데이터가 생성되고, 상기 순차 처리 기판 데이터로부터 상기 동시 처리 기판 데이터가 생성되는, 기판 처리 방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 동시 처리 기판 데이터의 하나의 상기 기판 번호와, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 위치 정보와, 상기 레시피 정보와, 최종 정보를 이용하여, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터가 생성되며,
    상기 최종 정보는, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 기판이 속하는 상기 그룹에 있어서, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 기판이 상기 반송 방향에 대한 최후미인지 아닌지를 나타내는, 기판 처리 방법.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 동시 처리 기판 데이터의 하나의 상기 기판 번호와, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 위치 정보와, 상기 그룹 식별 정보와, 상기 레시피 정보를 이용하여, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터가 생성되며,
    상기 동시 처리는 동시 처리부에 의해 행해지고,
    상기 순차 처리는 순차 처리부에 의해 행해지며,
    상기 순차 처리부는, 상기 동시 처리부로 상기 기판을 불출하는 출구부를 포함하고,
    상기 출구부는, 상기 출구부에 있어서의 상기 기판의 존부를 검출하는 센서를 가지며,
    상기 센서에 의해 제1의 상기 기판이 검출되지 않고 제2의 상기 기판이 검출되고, 또한 상기 제1의 상기 기판의 결여가 확인되었을 때, 상기 동시 처리 기판 데이터는 상기 제1의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 이용하지 않고, 상기 제2의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 이용하여 생성되고,
    상기 제1의 상기 기판과 상기 제2의 상기 기판은 같은 상기 그룹에 속하며,
    상기 제1의 상기 기판의 상기 위치 정보 또는 상기 제2의 상기 기판의 상기 위치 정보는, 상기 제1의 상기 기판이 상기 제2의 상기 기판보다 상류측인 것을 나타내는, 기판 처리 방법.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 동시 처리 기판 데이터의 하나의 상기 기판 번호와, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 위치 정보와, 상기 그룹 식별 정보와, 상기 레시피 정보를 이용하여, 상기 하나의 상기 기판 번호에 대응하는 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터가 생성되며,
    상기 동시 처리는 동시 처리부에 의해 행해지고,
    상기 순차 처리는 순차 처리부에 의해 행해지며,
    상기 순차 처리부는, 상기 동시 처리부로 상기 기판을 불출하는 출구부를 포함하고,
    상기 출구부는, 상기 출구부에 있어서의 상기 기판의 존부를 검출하는 센서를 가지며,
    상기 센서에 의해 제1의 상기 기판이, 제2의 상기 기판이 검출되지 않고 검출되었을 때에, 상기 동시 처리 기판 데이터는 상기 제2의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 이용하지 않고, 상기 제1의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터를 이용하여 생성되고,
    상기 제1의 상기 기판과 상기 제2의 상기 기판은 같은 그룹에 속하며,
    상기 제1의 상기 기판의 상기 위치 정보 또는 상기 제2의 상기 기판의 상기 위치 정보는, 상기 제1의 상기 기판이 상기 제2의 상기 기판보다 상류측인 것을 나타내는, 기판 처리 방법.
  12. 청구항 8에 있어서,
    상기 동시 처리는 동시 처리부에 의해 행해지고,
    상기 순차 처리는 순차 처리부에 의해 행해지며,
    상기 순차 처리부는, 상기 동시 처리부로부터 상기 기판을 받는 입구부를 포함하고,
    상기 입구부는, 상기 입구부에 있어서의 상기 기판의 존부를 검출하는 센서를 가지며,
    상기 입구부에 있어서의 상기 센서에 의해 제3의 상기 기판이 검출되지 않고, 제4의 상기 기판이 검출되었을 때에, 상기 제3의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터가 생성되지 않고, 상기 제4의 상기 기판에 대한 상기 순차 처리 기판 데이터가 생성되고,
    상기 제3의 상기 기판과 상기 제4의 상기 기판은 같은 그룹에 속하는, 기판 처리 방법.
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