JP5852787B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
特許文献3は、レジスト塗布・露光・現像処理システムを開示している。このシステムでは、2台の塗布モジュールの一方で障害が発生したときに、次に塗布モジュールに搬入すべきウエハが退避モジュールに退避させられる。そして、正常な塗布モジュールから処理済みのウエハが搬出されると、その後に、前記退避モジュールに退避させたウエハが当該正常な塗布モジュールに搬入されて処理される。退避モジュールが使用不可能のときは、搬送先の塗布モジュールのトラブルが解消するまで、搬送が停止される。
また、特許文献3のシステムは、搬送先のユニットに障害が生じた場合に退避モジュールへと基板を退避させるように構成されている。したがって、退避モジュールが必要であるから、このような退避モジュールを設けることができない基板処理装置においては、基板搬送の途中で搬送先のユニットに障害が発生すると、その障害が解消されるまで、基板搬送動作を中断せざるをえない。退避モジュールが使用不可能のときも、基板退避場所がなくなるので同様であり、基板搬送が中断される。このように基板搬送が中断されてしまうと、たとえば、基板処理装置内に処理済みの基板が存在している場合であっても、そのような処理済みの基板の搬出が滞り、処理済みの基板を次工程へと送り出すことができない。
請求項6記載の発明は、前記障害が発生している一つのユニットの当該障害が解消したとき、前記搬送ロボットが、前記一つのハンドで保持している前記基板を当該ユニットに渡すステップをさらに含む、請求項5に記載の基板処理方法である。
図1は、この発明の第1の実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを説明するための図解的な平面図である。この基板処理装置は、3つの処理ユニット1,2,3と、未処理基板載置部4と、処理済み基板載置部5と、搬送ロボット6と、制御装置7とを含む。処理ユニット1,2,3は、それぞれ、基板を保持して、その保持した基板に対して処理を行うユニットであり、この実施形態では、互いに異なる処理を基板に対して実行するように構成されている。処理ユニット1,2,3には、障害検知手段の一例である各種のセンサ類1S,2S,3Sが備えられている。これらのセンサ類1S,2S,3Sの出力を監視することによって、処理ユニット1,2,3に生じた障害を検知できる。
未処理基板載置部4は、たとえば、未処理基板を収容した基板収容器8を載置可能なユニットであってもよい。同様に、処理済み基板載置部5は、たとえば、処理済み基板を収容するための基板収容器9を載置可能なユニットであってもよい。
その指定情報に従って、搬送ロボット6の基板搬送動作を制御するようにプログラムされている。
図5は、障害発生時に基板をハンドに保持した状態で搬送ロボット6を動作させることによる一つの効果を説明するための図である。一つのハンドで未処理基板を保持しているときに、その未処理基板の搬入先の処理ユニットで障害が発生した場合に、その未処理基板を基板収容器8に一旦戻すことが考えられる。この場合の動作ステップを図5の左欄(比較例)に示す。また、障害発生時に当該未処理基板を一つのハンドで保持したまま別のハンドで処理済み基板の搬送動作を継続する場合の動作ステップを図5の右欄(実施例)に示す。
未処理基板を基板収容器8に一旦戻す動作(図5の左欄)は、基板収容器8へのハンド11の移動、および基板収容器8への未処理基板の搬入(障害回避動作。Put)を含む。その後、搬送ロボット6は、ハンド11,12を、正常な処理ユニットに移動させて、処理済み基板を搬出(Get)させることになる。
図6は、障害発生時に基板をハンドに保持した状態で搬送ロボット6を動作させることによる他の効果を説明するための図である。一つのハンドで未処理基板を保持しているときに、その未処理基板の搬入先の処理ユニットで障害が発生した場合に、その未処理基板を基板収容器8に一旦戻したとする(図5の左欄の動作)。この場合における障害復旧動作ステップを図6の左欄(比較例)に示す。また、障害発生時に当該未処理基板を一つのハンドで保持したまま別のハンドで処理済み基板の搬送動作を継続する場合(図5の右欄の動作)における障害復旧動作ステップを図6の右欄(実施例)に示す。
図7は、この発明の第2の実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを説明するための図解的な平面図である。この基板処理装置は、インデクサセクション21と、プロセスセクション22とを含む。インデクサセクション21は、未処理基板載置部24と、処理済み基板載置部25と、インデクサロボット26と、反転受渡ユニット27と、受渡ユニット28とを含む。プロセスセクション22は、処理ユニット31,32,33と、主搬送ロボット36とを含む。インデクサセクション21およびプロセスセクション22の各部は、制御装置30によって制御される。また、反転受渡ユニット27(基板姿勢を変化させる処理ユニットの一例)、および処理ユニット31,32,33には、各種のセンサ類27S,31S,32S,33Sが備えられている。これらのセンサ類27S,31S,32S,33Sの出力を監視することによって、ユニット27,31,32,33に生じた障害を検知できる。
主搬送ロボット36は、複数(たとえば2本)のハンド41,42と、これらのハンド41,42を駆動するハンド駆動機構40とを備えている。ハンド41は、それぞれ基板を1枚ずつ保持することができるように構成されている。ハンド駆動機構40は、たとえば、ハンド41,42を水平方向に移動させる水平移動機構と、ハンド41,42を鉛直方向に移動させる昇降機構と、ハンド41,42の向きを鉛直軸線まわりで変化させるための回転機構とを備えていてもよい。これにより、ハンド41,42を水平方向および鉛直方向に移動させ、かつその向きを変えることができるので、反転受渡ユニット27、処理ユニット31,32,33、および受渡ユニット28にアクセスさせ、それらとの間で基板の受け渡しをさせることができる。
反転受渡ユニット27は、基板の表裏を反転させる表裏反転機構を備えている。反転受渡ユニット27は、インデクサロボット26によってアクセス可能に構成されており、インデクサロボット26から渡された基板を表裏反転するように構成されている。また、反転受渡ユニット27は、主搬送ロボット36によってアクセス可能に構成されており、表裏反転された基板が主搬送ロボット36によって搬出されるように構成されている。
反転受渡ユニット27に障害が発生したときに、未処理基板を、一旦、基板収容器18に戻すことが考えられる(障害回避動作)。しかし、このような障害回避動作を行わず、未処理基板を一つのハンドで保持したままの方が、基板搬送に要する時間を短縮できる。このことは、前述の第1の実施形態において図5および図6を参照して説明した考察と同様の考察を行うことによって裏付けられる。
1S,2S,3S センサ類
4 未処理基板載置部
5 処理済み基板載置部
6 搬送ロボット
7 制御装置
8 基板収容器
9 基板収容器
11,12 ハンド
18 基板収容器
19 基板収容器
21 インデクサセクション
22 プロセスセクション
24 未処理基板載置部
25 処理済み基板載置部
26 インデクサロボット
27 反転受渡ユニット
27S,31S,32S,33S センサ類
28 受渡ユニット
30 制御装置
31,32,33 処理ユニット
36 主搬送ロボット
40 ハンド駆動機構
41,42 ハンド
50 ハンド駆動機構
51,52 ハンド
52 ハンド
W1〜W5 基板
Claims (6)
- 基板を保持することができる複数のユニットと、
前記複数のユニットとの間で基板を受け渡しすることができ、基板をそれぞれ保持するための複数のハンドを有する搬送ロボットと、
前記複数のユニットのいずれかに発生した障害を検知する障害検知手段と、
前記障害検知手段によって障害発生が検知されているユニットに基板を渡さないように前記搬送ロボットを制御するロボット制御手段とを含み、
前記ロボット制御手段は、一つのユニットに搬入すべき基板を一つのハンドで保持しているときに当該ユニットに障害が発生した場合に、当該ユニットへの当該基板の搬入を停止し、かつ、当該基板を退避場所に退避させることなく当該一つのハンドで保持したまま、残りのハンドで他のユニットとの間で当該基板以外の基板を受け渡しするように前記搬送ロボットを制御する障害制御を実行するようにプログラムされている、基板処理装置。 - 前記複数のユニットが、基板に対して処理を行う処理ユニットを含む、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記複数の処理ユニットが、異なる処理を実行するように構成されている、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記ロボット制御手段は、前記障害が発生している一つのユニットの当該障害が解消したとき、前記一つのハンドで保持している基板を当該ユニットに渡すように前記搬送ロボットを制御するようにプログラムされている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 基板を保持することができる複数のユニットと、前記複数のユニットとの間で基板を受け渡しすることができ、基板をそれぞれ保持するための複数のハンドを有する搬送ロボットとを含む基板処理装置における基板処理方法であって、
前記複数のユニットのいずれかに発生した障害を検知する障害検知ステップと、
前記搬送ロボットが一つのユニットに搬入すべき基板を一つのハンドで保持しているときに前記障害検知ステップによって当該ユニットに発生した障害が検知された場合に、前記搬送ロボットが、当該ユニットへの当該基板の搬入を停止し、かつ、当該基板を退避場所に退避させることなく当該一つのハンドで保持したまま、残りのハンドで他のユニットとの間で当該基板以外の基板を受け渡しするステップとを含む、基板処理方法。 - 前記障害が発生している一つのユニットの当該障害が解消したとき、前記搬送ロボットが、前記一つのハンドで保持している前記基板を当該ユニットに渡すステップをさらに含む、請求項5に記載の基板処理方法。
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