JPH01243538A - ウエハ移載装置の制御方法 - Google Patents
ウエハ移載装置の制御方法Info
- Publication number
- JPH01243538A JPH01243538A JP63069597A JP6959788A JPH01243538A JP H01243538 A JPH01243538 A JP H01243538A JP 63069597 A JP63069597 A JP 63069597A JP 6959788 A JP6959788 A JP 6959788A JP H01243538 A JPH01243538 A JP H01243538A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 33
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、半導体の製造装置に対して、ウェハを収納し
たカセットをロット単位で搬入、搬出するウェハ移載装
置の制御方法に関する。
たカセットをロット単位で搬入、搬出するウェハ移載装
置の制御方法に関する。
〈従来の技術〉
半導体の製造工場においては、半導体素子の集積度の増
大に伴って塵埃除去がより重大な課題となっているが、
この塵埃除去の観点からもウェハ搬送の自動化が不可欠
である。従って最近の半導体製造工場には、ウェハを収
納したカセットを自動合印と各製造装置間で自動的に搬
送するとともに搬入、搬出するウェハ自動搬送システム
が設けられている。自動倉庫と各製造装置間のカセット
の搬送は、天井空間や床上を移動する搬送車等の搬送装
置によって行われ、又各製造装置に対してカセットを搬
入、搬出する為の、上記搬送装置と製造装置間のカセッ
トの授受、所謂ロープインク、アンローティングは、各
製造装置の近傍に配設されたウェハ移載装置によって行
われる。そしてこのウェハ移載装置は、移載制御装置に
よって制御される。
大に伴って塵埃除去がより重大な課題となっているが、
この塵埃除去の観点からもウェハ搬送の自動化が不可欠
である。従って最近の半導体製造工場には、ウェハを収
納したカセットを自動合印と各製造装置間で自動的に搬
送するとともに搬入、搬出するウェハ自動搬送システム
が設けられている。自動倉庫と各製造装置間のカセット
の搬送は、天井空間や床上を移動する搬送車等の搬送装
置によって行われ、又各製造装置に対してカセットを搬
入、搬出する為の、上記搬送装置と製造装置間のカセッ
トの授受、所謂ロープインク、アンローティングは、各
製造装置の近傍に配設されたウェハ移載装置によって行
われる。そしてこのウェハ移載装置は、移載制御装置に
よって制御される。
第２図は、この種のウェハ自動搬送システムの構成を示
すブロック図である。図て示す様にこのシステムは、ウ
ェハ移載装置ｌと製造装置２とを制御する移載制御装置
３と、該移載制御装置３に対して作業者か要求や指示を
入力する入力端末４と、上記移載制御装置３と自動倉庫
５と搬送装置６とを制御してこのシステムを制御するロ
ーカルコンピュータ７とより構成されている。
すブロック図である。図て示す様にこのシステムは、ウ
ェハ移載装置ｌと製造装置２とを制御する移載制御装置
３と、該移載制御装置３に対して作業者か要求や指示を
入力する入力端末４と、上記移載制御装置３と自動倉庫
５と搬送装置６とを制御してこのシステムを制御するロ
ーカルコンピュータ７とより構成されている。
又第３図は、製造装置２に設けられた、カセットのロー
ディング、アンローディングを行うステージ部２ａを示
した概略図で、該ステージ部２ａには、ローダ８とアン
ロータ９とが設けられている。該ローダ８．アンローダ
９と装置本体２ｂとは、搬送ベルト２Ｃにより連接され
ている。更に上記ローダ８の近傍には、ローダ８にカセ
ットＣが存在する際に、次にロータ８へ移載するカセッ
トＣを一時貯留する為のバッファ１０か製造装置２とは
別個に設けられている。
ディング、アンローディングを行うステージ部２ａを示
した概略図で、該ステージ部２ａには、ローダ８とアン
ロータ９とが設けられている。該ローダ８．アンローダ
９と装置本体２ｂとは、搬送ベルト２Ｃにより連接され
ている。更に上記ローダ８の近傍には、ローダ８にカセ
ットＣが存在する際に、次にロータ８へ移載するカセッ
トＣを一時貯留する為のバッファ１０か製造装置２とは
別個に設けられている。
次に上記ウェハ自動搬送システムにおいて、ウェハな収
納したカセットを製造装置ｉ！ｔ２に対してロットｅｔ
ｉ位て搬入、搬出する為の、移載制御装置３によるウェ
ハ移載装置ｌの従来の制御方法を、第４図のフローチャ
ートに基づいて説明する。尚−ロットは、この場合カセ
ット二個とする。
納したカセットを製造装置ｉ！ｔ２に対してロットｅｔ
ｉ位て搬入、搬出する為の、移載制御装置３によるウェ
ハ移載装置ｌの従来の制御方法を、第４図のフローチャ
ートに基づいて説明する。尚−ロットは、この場合カセ
ット二個とする。
先ず、製造装置２で処理を行うべく作業者か入力端末４
よリーロットの搬入要求の入力を行い（ステップＳ−５
１）、自動倉庫５より搬送した一ロット分の二個のカセ
ットＣを搬送装置６から製造装置２のローダ８へ移載さ
せる（ Ｓ −５２）。
よリーロットの搬入要求の入力を行い（ステップＳ−５
１）、自動倉庫５より搬送した一ロット分の二個のカセ
ットＣを搬送装置６から製造装置２のローダ８へ移載さ
せる（ Ｓ −５２）。
次いでローダ８に移載させたカセットＣ内のウェハか装
置本体２ｂへ搬送されて、該カセットＣが空になった後
、作業者が入力端末４より、ローダ８からアンロータ９
への移載指示の入力を行い（Ｓ−５３）、空になったロ
ータ８上のカセットＣをアンローダ９へ移載させる（
Ｓ −５４）。
置本体２ｂへ搬送されて、該カセットＣが空になった後
、作業者が入力端末４より、ローダ８からアンロータ９
への移載指示の入力を行い（Ｓ−５３）、空になったロ
ータ８上のカセットＣをアンローダ９へ移載させる（
Ｓ −５４）。
次いて作業者が、次のロットの搬入要求の入力を行い（
Ｓ−５５）、空いたローダ８へ次のロットを移載させる
（ Ｓ −５６）。
Ｓ−５５）、空いたローダ８へ次のロットを移載させる
（ Ｓ −５６）。
その後、上記アンローダ９へ移載させた空のカセットＣ
に、装置本体２ｂより搬送された処理の終了した一ロッ
ト分のウェハか収納された後、作業者が該アンローダ９
上の処理済ロフトの搬出要求入力を行い（Ｓ−５７）、
アンローダ９から搬送装置６へ移載させて自動倉庫５へ
搬送させる（Ｓ−５８）。
に、装置本体２ｂより搬送された処理の終了した一ロッ
ト分のウェハか収納された後、作業者が該アンローダ９
上の処理済ロフトの搬出要求入力を行い（Ｓ−５７）、
アンローダ９から搬送装置６へ移載させて自動倉庫５へ
搬送させる（Ｓ−５８）。
次いて再び、ローダ８上のカセットＣが空になった後に
作業者か、ローダ８からアンローダ９への移載指示の入
力を行い（Ｓ−５９）、空になったローダ８上のカセッ
トＣをアンローダ９へ移載させる（ Ｓ −６０）。
作業者か、ローダ８からアンローダ９への移載指示の入
力を行い（Ｓ−５９）、空になったローダ８上のカセッ
トＣをアンローダ９へ移載させる（ Ｓ −６０）。
そして上記一連のステップを繰返して、ロットの処理を
行うことになる。
行うことになる。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかし上記制御方法ては、搬入要求を一ロット毎に入力
しなければならず、よって搬入要求を入力してから次の
ロットが自動倉■５より搬送されて来る時間だけ、製造
装置２への搬入が遅れることになる。又ローダ８からア
ンローダ９への移載指示入力も作業者が行っている。
しなければならず、よって搬入要求を入力してから次の
ロットが自動倉■５より搬送されて来る時間だけ、製造
装置２への搬入が遅れることになる。又ローダ８からア
ンローダ９への移載指示入力も作業者が行っている。
この様にウェハ移載装置ｌの従来の制御方法では、製造
装置２におけるウェハの処理の効率か低かった。
装置２におけるウェハの処理の効率か低かった。
く課題を解決するための手段〉
本発明は上記問題点を解決すべく提案された制御方法で
ある。
ある。
即ち、移載制御装置へ、一度に複数のロットの搬入要求
を入力することにより、一番目のロットを製造装置のロ
ーダへ自動的に移載させるとともに、二番目のロットを
、ロットを一時貯留するバッファへ自動的に移載させる
ステップと、上記ローダへ移載したロット−のカセット
か空になった後、該空のカセットを自動的に上記製造装
置のアンローダへ移載させるステップと、上記ローダが
空いた後に該空いたローダへ、上記バッファへ移載した
ロットを自動的に移載させるステップと、 を備え、処理すべき次のロットを順次、上記搬送装置か
ら上記バッファへ移載させて、要求した数のロットを自
動的に上記製造装置へ搬入させ得ることを特徴とするウ
ェハ移載装置の制御方法である。
を入力することにより、一番目のロットを製造装置のロ
ーダへ自動的に移載させるとともに、二番目のロットを
、ロットを一時貯留するバッファへ自動的に移載させる
ステップと、上記ローダへ移載したロット−のカセット
か空になった後、該空のカセットを自動的に上記製造装
置のアンローダへ移載させるステップと、上記ローダが
空いた後に該空いたローダへ、上記バッファへ移載した
ロットを自動的に移載させるステップと、 を備え、処理すべき次のロットを順次、上記搬送装置か
ら上記バッファへ移載させて、要求した数のロットを自
動的に上記製造装置へ搬入させ得ることを特徴とするウ
ェハ移載装置の制御方法である。
く作用〉
上記制御方法によれば、最初に、処理すべき複数のロッ
トの搬入要求を入力すると、バッファが空いた際に順次
、次のロットが搬送装置から該バッファへ移載されて、
要求した数のロットが自動的に製造装置へ搬入される。
トの搬入要求を入力すると、バッファが空いた際に順次
、次のロットが搬送装置から該バッファへ移載されて、
要求した数のロットが自動的に製造装置へ搬入される。
〈実施例〉
以下、第１図に示したフローチャートに基づいて本発明
の制御方法の一実施例を説明する。尚、ウェハ自動搬送
システム及び製造装置の構成については従来のものを変
更する必要はなく、よって第２図、第３図を参照して説
明する。
の制御方法の一実施例を説明する。尚、ウェハ自動搬送
システム及び製造装置の構成については従来のものを変
更する必要はなく、よって第２図、第３図を参照して説
明する。
先ず作業者か入力端末４よりロットの搬入要求の入力を
行うが、本発明の制御方法ては複数のロットの搬入要求
を一度に入力することかてきる。そこて例えば二つのロ
ットの搬入要求を一度に行う（ステップ５−１）。する
と移載制御装置３はウェハ移載装置ｌに、一番目のロッ
トを搬送装置６から製造装置２のローダ８へ自動的に移
載させる（Ｓ−２）とともに、バッファ８か空いている
ことをセンサ等により確認したうえで二番目のロットの
搬送要求をローカルコンピュータ７へ送出して（Ｓ−３
） 、これにより自動倉庫５より搬送された二番目のロ
ットをバッファ８へ自動的に移載させる（Ｓ−４）。
行うが、本発明の制御方法ては複数のロットの搬入要求
を一度に入力することかてきる。そこて例えば二つのロ
ットの搬入要求を一度に行う（ステップ５−１）。する
と移載制御装置３はウェハ移載装置ｌに、一番目のロッ
トを搬送装置６から製造装置２のローダ８へ自動的に移
載させる（Ｓ−２）とともに、バッファ８か空いている
ことをセンサ等により確認したうえで二番目のロットの
搬送要求をローカルコンピュータ７へ送出して（Ｓ−３
） 、これにより自動倉庫５より搬送された二番目のロ
ットをバッファ８へ自動的に移載させる（Ｓ−４）。
次いてロータ８に移載した一番目のロットのカセットＣ
内のウェハか装置本体２ｂへ搬送されて、該カセットＣ
か空になったことを製造装置２から通知された後、移載
制御装置３は、アンロータ９が空いていることを確認し
たうえてウェハ移載装置ｌヘローダ８からアンローダ９
への移載指示を出す（Ｓ−Ｓ）。これによりウェハ移載
装置１に、ローダ８上の空のカセットＣをアンロータ９
へ自動的に移載させる（Ｓ−６）。
内のウェハか装置本体２ｂへ搬送されて、該カセットＣ
か空になったことを製造装置２から通知された後、移載
制御装置３は、アンロータ９が空いていることを確認し
たうえてウェハ移載装置ｌヘローダ８からアンローダ９
への移載指示を出す（Ｓ−Ｓ）。これによりウェハ移載
装置１に、ローダ８上の空のカセットＣをアンロータ９
へ自動的に移載させる（Ｓ−６）。
次いてローダ８が空いたことを製造装置２から通知され
た後、移載制御装置３は、ウェハ移載装置１へバッファ
１０からロータ８への移載指示を出しく５−７）、バッ
ファ８に貯留させておいた上記二番目のロフトをローダ
８へ自動的に移載させる（Ｓ−Ｓ）。これにより二番目
のロットの処理か開始される。
た後、移載制御装置３は、ウェハ移載装置１へバッファ
１０からロータ８への移載指示を出しく５−７）、バッ
ファ８に貯留させておいた上記二番目のロフトをローダ
８へ自動的に移載させる（Ｓ−Ｓ）。これにより二番目
のロットの処理か開始される。
次いで上記一番目のロット、或は今回の搬入要求入力以
前に搬入されたロットが処理されてアンローダ９上の空
のカセットＣに収納された後、作業者が入力端末４より
ロットの搬出要求の入力を行う（Ｓ−９）。これにより
移載制御装置３は、ウェハ移載装置ｌにアンローダ９上
の処理済みのロットを搬送装置６へ移載させ、自動倉庫
５へ搬送させる（ Ｓ −ｔＯ）。
前に搬入されたロットが処理されてアンローダ９上の空
のカセットＣに収納された後、作業者が入力端末４より
ロットの搬出要求の入力を行う（Ｓ−９）。これにより
移載制御装置３は、ウェハ移載装置ｌにアンローダ９上
の処理済みのロットを搬送装置６へ移載させ、自動倉庫
５へ搬送させる（ Ｓ −ｔＯ）。
その後、ローダ８に移載した上記二番目のロットのカセ
ットＣ内のウェハが空になったことを製造装置２から通
知された後に移載制御装置３は、アンローダ９が空いて
いることを確認したうえでウェハ移載装置ｌヘローダ８
からアンローダ９への移載指示を出しくＳ−１１）、ロ
ーダ８上の空のカセットＣをアンロータ９へ自動的に移
載させる（ Ｓ −１２）。これて二つのロットの搬入
か完了する。
ットＣ内のウェハが空になったことを製造装置２から通
知された後に移載制御装置３は、アンローダ９が空いて
いることを確認したうえでウェハ移載装置ｌヘローダ８
からアンローダ９への移載指示を出しくＳ−１１）、ロ
ーダ８上の空のカセットＣをアンロータ９へ自動的に移
載させる（ Ｓ −１２）。これて二つのロットの搬入
か完了する。
最初に三つ以上のロットの搬入要求を入力した場合には
、バッファ１０が空いた際に順次、次のロットを自動的
に搬送させてバッファ１０に移載させる。つまりステッ
プＳ−３からの動作を繰返すことになる。
、バッファ１０が空いた際に順次、次のロットを自動的
に搬送させてバッファ１０に移載させる。つまりステッ
プＳ−３からの動作を繰返すことになる。
上述の如く本発明の制御方法では、製造装置２て連続し
て処理させたい複数のロットの搬入要求を一度に行うこ
とができ、しかも搬入要求入力後には、作業者は搬出要
求を入力するだけでよい。
て処理させたい複数のロットの搬入要求を一度に行うこ
とができ、しかも搬入要求入力後には、作業者は搬出要
求を入力するだけでよい。
〈発明の効果〉
以上述べた様に本発明の制御方法によれば、任意数のロ
ットを自動的に次々と製造装置へ搬入させることができ
る。即ち次のロフトか自動倉庫より搬送されて来る時間
だけ製造装置への搬入か遅れるということかなく、よっ
て製造装置の処理の効率か大幅に向上する。しかも作業
者か為すべき要求入力か非常に少ない為、作業性も大幅
に向上する。
ットを自動的に次々と製造装置へ搬入させることができ
る。即ち次のロフトか自動倉庫より搬送されて来る時間
だけ製造装置への搬入か遅れるということかなく、よっ
て製造装置の処理の効率か大幅に向上する。しかも作業
者か為すべき要求入力か非常に少ない為、作業性も大幅
に向上する。
第１図は、本発明の制御方法を説明するフローチャート
、 第２図は、ウニ八自動搬送システムの構成を示すフロッ
ク図、 第３図は、製造装置の構成を示す概略図、第４図は、従
来の制御方法を説明するフローチャートである。 ■・・・ウェハ移載装置、 ２・・・製造装置。 ３・・・移載制御装置、 ６・・・搬送装置。 ８・・・ローダ、 ９・・・アンローダ。 １０・・・バッファ、 Ｃ・・・カセット。
、 第２図は、ウニ八自動搬送システムの構成を示すフロッ
ク図、 第３図は、製造装置の構成を示す概略図、第４図は、従
来の制御方法を説明するフローチャートである。 ■・・・ウェハ移載装置、 ２・・・製造装置。 ３・・・移載制御装置、 ６・・・搬送装置。 ８・・・ローダ、 ９・・・アンローダ。 １０・・・バッファ、 Ｃ・・・カセット。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 搬送装置によって搬送される、ウェハを収納したカセ
ットをロット単位で半導体の製造装置に対して搬入、搬
出するウェハ移載装置を、移載制御装置により制御する
方法において、 前記移載制御装置へ、一度に複数のロットの搬入要求を
入力することにより、一番目のロットを前記製造装置の
ローダへ自動的に移載させるとともに、二番目のロット
を、ロットを一時貯留するバッファへ自動的に移載させ
るステップと、前記ローダへ移載したロットのカセット
が空になった後、該空のカセットを自動的に前記製造装
置のアンローダへ移載させるステップと、 前記ローダが空いた後に該空いたローダへ、前記バッフ
ァへ移載したロットを自動的に移載させるステップと、 を備え、処理すべき次のロットを順次、前記搬送装置か
ら前記バッファへ移載させて、要求した数のロットを自
動的に前記製造装置へ搬入させ得ることを特徴とするウ
ェハ移載装置の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63069597A JPH01243538A (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | ウエハ移載装置の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63069597A JPH01243538A (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | ウエハ移載装置の制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01243538A true JPH01243538A (ja) | 1989-09-28 |
Family
ID=13407403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63069597A Pending JPH01243538A (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | ウエハ移載装置の制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01243538A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5403147A (en) * | 1991-06-28 | 1995-04-04 | Kao Corporation | Method for warehousing and delivery of articles |
| WO2002037540A1 (en) * | 2000-11-02 | 2002-05-10 | Motorola Inc. | Wafer processing equipment and method for processing wafers |
-
1988
- 1988-03-25 JP JP63069597A patent/JPH01243538A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5403147A (en) * | 1991-06-28 | 1995-04-04 | Kao Corporation | Method for warehousing and delivery of articles |
| WO2002037540A1 (en) * | 2000-11-02 | 2002-05-10 | Motorola Inc. | Wafer processing equipment and method for processing wafers |
| US6491451B1 (en) | 2000-11-03 | 2002-12-10 | Motorola, Inc. | Wafer processing equipment and method for processing wafers |
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