JPH01303736A - ウエハ自動搬送システムにおける搬送制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、ウェハ自動搬送システムにおける搬送制御方
法に関し、詳しくは複数の製造ラインの中から搬送先の
製造ラインを決定する方法に関する。

〈従来の技術〉 第７図は、半導体の製造ラインの一例を示す構成図であ
る。

１図て示す様にラインには、半導体ウェハに対してライ
ンごとに決められた同種の処理を行う複数の処理装置１
か配置されている。この処理に該当−４−る」二程か予
定されているウニ八人りカセット（以下？ｎにカセッ）
〜と呼ぶ）は、搬入移載機２からラインへ搬入されて、
ライン処理前バッファ３に一旦保管された後、上記各処
理装置１ごとに複数併設された装訟処理前バッファ４の
うちの空いているものへ移載走行車５によｒ）＋ａ送さ
れる。

一方、処理装置１は、併設された装置処理前ハ・ンファ
４から処理に応じてカセットを装置内に取込み、ウェハ
に対する処理を実行する。処理か終了したウェハは、カ
セットに詰められて、各処理装置ｌごとに併設された装
置搬出バッファ６へ搬出される。搬出されたカセットは
、移載走行車５によりライン搬出バッファ７へ搬送され
、ここて搬出移載ａ８による搬出待ちとなる。

そして一般に半導体製造工場では、第８図の構成図て示
す様に上記製造ラインを複数配設するとともに、ライン
間搬送車９によりこれらの製造ライン間で自動的なカセ
ット搬送を行う様にしたウェハ自動搬送システムか設け
られている。第８　ｒＺの例ては、ラインＡ又はライン
Ｂて処理の終了したカセットを、ラインＣ，Ｄ、Ｅのう
ちの一つのラインへ搬送する様に構成されている。

第９図は、上記ウェハ自動搬送システムの制御系の構成
を示すブロック図である。図で示す様に、各ラインＡ〜
Ｅの構成要素、つまり処理装置１、搬入移載機２．ライ
ン処理前バッファ３．装置処理前バッファ４．移載走行
車５．装置搬出バッファ６、ライン搬出バッファ７、搬
出移載機８は、ローカルコンピュータ１０（以下ＬＣＩ
Ｏと略す）によって制御される。更にラインごとに設け
られたＬＣＩＧ、及びライン間の搬送を受持つライン間
搬送車９は、ライン統括コンピュータ１１（以下ＳＣＩ
＋と略す）によって統括されている。実際には、ＬＣＩ
Ｏは各ラインＡ〜Ｅの構成要素のコントローラと通信回
線で接続され、又Ｓ　Ｃ１１はＬＣｌｏ及び搬送車９の
コントローラと通信回線て接続されて、情報のやりとり
を行う。

次に、上記５ＣＩＩ及びＬＣＩＯを用いた従来の搬送制
御方法によるライン間搬送について説明する。

例えば、ラインＡにて処理済となったカセットは、同ラ
インのライン搬出バッファ７て待機している。このカセ
ットの次の搬送先ラインは、このカセットの次の工程に
応した処理か可能である処理装置１を設置しているライ
ンに決められる。カセットの次の工程については、ライ
ン統括コンピュータ１１か記憶している。該当する処理
装置ｌか複数のラインに存在する場合には、空き状態の
ライン処理前バッファ３の多いラインを選択していた。

そして、このカセットは搬出移載機８によりライン間搬
送車９へ移載されて、搬送先のラインの搬入移載ａ２と
の移載点まて搬送され、そのラインの搬入移載機２によ
り、ライン処理前バッファ３へ移載される。この後のラ
イン内の搬送は、−ヒ述の第７図に基づく説明の様に行
われる。

〈発明か解決しようとする課題〉 しかし上記搬送制御方法では、ライン中の複数の処理装
置ｌのうちに、メンテナンス、故障等による停止状態の
ものか発生して、ラインごとの処理能力に差か生した場
合にも、ライン処理前バッファ３に空きか生した時点で
カセットかそのラインへ搬入される。その為、相対的に
処理能力の低いラインへ搬送されたカセットについては
、ライ、ン処理前バッファ３での待ち時間か長くなり、
よって搬送や処理の効率を表すＴ　Ａ　Ｔ　（Ｔｕｒｎ
　Ａｒｏ−ｕｎｄ　Ｔｉｍｅ）か悪化するという欠点か
あった。

本発明は、上記欠点を除去し、製造ラインの中に停止状
態の処理装置か発生してラインごとの処理能力に差か生
した場合ても、ラインの処理能力に応じたカセットの搬
入を行い得る搬送制御方法を提供することを目的とする
。

く課題を解決するための手段〉 上記目的を達成する為に、本発明では次の様な搬送制御
方法とする。

即ち搬送を制御するコンピュータは、各製造ライン中の
、空き状７Ｂの処理装置の数と、空き状態の装置処理前
バッファの数と、空き状態のライン処理前バッファの数
とを製造ライン別に計数して記憶するとともに、搬送先
ラインの既に決定されたウニ八人りカセットの数を製造
ライン別に計数して記憶する。そして上記記憶している
各数値を用いた演算結果と工程進捗とに応じて搬送先ラ
インとして設定可能になる複数の製造ラインの中から、
■上記搬送先ラインの既に決定されたウニ八人りカセッ
トの搬送か全て終了した後にも空き状態の処理装置のあ
る製造ライン、■」二記装置処理前バッファに空きのあ
る製造ライン、■−ヒ記ライン処理前バッファに空きの
ある製造ラインの順に搬送先ラインを決定する。

〈作用〉 上記搬送制御方法ては、製造ライン中に配設された複数
の処理装置の稼動状態と装置処理前バッファ、ライン処
理前バッファの空き状態に応じて搬送先ラインか決定さ
れることになる。

〈実施例〉 以下、本発明を第７図、第８図に示した様な製造ライン
を備えたウェハ自動搬送システムに適用した実施例につ
いて図面を参照して詳細に説明する。又、ウェハ自動搬
送システムの制御系の構成についても、第９図に示した
様な既存の構成を変える必要はない。従って第７図〜第
９図における構成については説明を省略する。

第１図は、ライン間搬送を実施する場合の、搬出側ライ
ン（第８図の例ではラインＡ、Ｂ）のＬＣ（ローカルコ
ンピュータ）　１０による搬送制御を示すフローチャー
トである。

先ず、処理装置ｌにて処理が終了すると（ステップ５−
１）、ＬＣｌｏはｓｃ（ライン統括コンピュータ）１１
へ、当該カセットの工程完了通知な送信する（Ｓ−２）
。モしてＬＣＩＯは、処理装置ｌにより装置搬出バッフ
ァ６にセットされたカセットを（Ｓ−３）、ライン搬出
バッファ７の空きを待って（Ｓ−４）移載走行車５に指
示し、ライン搬出バッファ７へ搬出する（Ｓ−５）。

ライン搬出バッファ７にカセットか到着したら、ＬＣＩ
Ｏは５ＣＩＩヘラインからの搬出要求を送信する（Ｓ−
６）。その後ＬＣＩＯは、Ｓ　Ｃ１１からの搬出移載指
示を受信したら（Ｓ−７）　　搬出移載機８を動作させ
てカセットをライン間搬送車９へ移載しく５−８）、そ
の移載動作が完了したら５ＣＩＩへ完了通知を送信して
（Ｓ−９）処理を終了する。

第２図は、搬入側ライン（第８図の例ではラインＣ〜Ｅ
）のＬ　Ｃ１０によるライン間搬送の制御を示すフロー
チャートである。

先ず、Ｓ　Ｃ１１から搬入移載指示な受信すると（Ｓ−
１１）、搬入移載機２を動作させてライン間搬送車９か
らカセットを受取り（Ｓ−１２）　、　７ｒｌライン処
理前バツフア３ヘセツトして、Ｓ　Ｃ１１へ移載完了を
通知する（　Ｓ　−１”ｌ）。そこて、搬入移載指示の
中に含まれる行先処理装置の処理種別に該当する処理装
置１の装置処理前バッファ４に空きか生じた時に（Ｓ−
１４）、移載走行車５を用いてカセットをその該当する
処理装置ｌの装置処理前バッファ４へ搬送しくＳ−１５
）、処理装置１か同バッファ４上のカセットを装置内へ
投入する（　Ｓ　−１６）。

又第３図は、５Ｃ１１によるライン間搬送の制御を示す
フローチャートである。

先ず５ＣＩＩは、搬出側ラインのＬＣＩＯから搬出安求
を受信すると（Ｓ−２１）、後に説明する一定のアルゴ
リズムにより搬送先を決定しくＳ−２２）　、　当該ラ
インへのライン予約数を１つアップする（　Ｓ　−２３
）。このライン予約数とは、搬送先別に計数されるライ
ン間搬送予定及び搬送中のカセットの数、つまり搬送先
ラインの既に決定されたカセットの数であり、５Ｃ１１
の内部に記憶されるものである。

そして直ちに、搬送先ラインのＬＣＨＩへ搬入移載指示
を送信しくＳ−２４）、次いて搬出側ラインのＬＣＩＯ
へ搬出移載指示を送信しくＳ−２５）、更にライン間搬
送車９に対して、再びライン間でのカセット搬送の為の
走行指示を送信する（Ｓ−２６）。そして搬出側ライン
のＬＣＩＯと、ライン間搬送車９と、搬入側ラインのＬ
ＣＩＯの全ての移載動作についての完了通知を受信した
ら（Ｓ　−２７゜２８．２９　）　、ライン予約を１つ
タウンして（Ｓ−３０）処理を終了する。

次に、５ＣＩＩか行う各ラインＡ〜Ｅ中に存在するカセ
ットの工程管理とライン間搬送における搬送先ラインの
決定について説明する。

Ｓ　Ｃ１１内の例えば磁気ディスク上或は主メモリ上に
は、各ラインＡ〜Ｅ中に存在する全カセットの工程進捗
を記憶する為の、第４図の様な内容をもつ工程管理エリ
アか構成されている。このエリアには、カセットのＩＤ
（識別コート）ごとに、そのカセットの持つ工程順に沿
った工程コード（工程名を符号化したもの）と、現工程
ポインタと、その工程における処理を実施し得る処理装
置か配しであるラインＩＤと、ライン選択の際の優先度
か記憶されている。この工程管理エリアの中の現工程ポ
インタは、各処理装置ｌでの処理が終了した時にＬＣＩ
ＯからＳ　Ｃ１１へ送信される工程完了通知（第１図中
のステップ５−２）を受信した際に更新される。

更に上記５ＣＩＩの磁気ディスク上或は主メモリ上には
、各ライン管理用の変数を記憶する為の、第５図に示す
様な内容をもつライン管理エリアか構成されている。こ
のエリアに記憶されるのは、ライン別のライン予約数Ｐ
、空き装置数Ｑ、空き状態の装置処理前バッファ数Ｒ１
空き状態のライン処理前バッファ数Ｓである。このうち
、ライン間搬送の開始時点に一つ増加するとともに終了
時に一つ減じるライン予約数は、このライン管理エリア
の該当数を操作するものである。又空き装置数Ｑについ
ては、Ｌ　Ｃ１０から送られてくる処理装置ｌの仕掛り
通知や工程完了通知により一つずつ増減される。更に空
き状態の装置処理前バッファ数Ｑと空き状態のライン処
理前バッファ数Ｓについては、ＬＣＩＯから送信される
カセット移動通知を基に、該当バッファからカセットが
取除かれればｌ増、該当バッファにカセットが置かれれ
ば１減の操作が行われる。

第６図は、上記各記憶情報を用いた、５ＣＩＩの搬送先
ライン決定処理のフローチャートである。

先ず、搬出側ラインのＬＣＩＯより受信した搬出要求の
伝文からカセットＩＤを抽出し、そのカセットＩＤを基
に工程管理エリアを検索するとともに、当該カセットの
現工程ポインタから次の搬送先となる工程と、搬出回部
ラインとを取出す（Ｓ　−：１１）。そして、設定しで
あるラインの優先度の高い順番にチエツクするラインを
設定しくＳ−：１２）、以下のチエツクを行う。

即ち、ライン管理エリアから当該ラインのライン予約数
Ｐと空き装置数Ｑとを取出し、この両者を比較する（　
Ｓ　−３：ｌ）。もしＰ＜Ｑならばこのラインを搬送先
として決定し、搬送先ライン決定処理を終了する（　Ｓ
　−３４）。Ｐ＜Ｑか満たされなければ、当該ラインか
最低優先度のラインてない限り（Ｓ−：１５）、優先度
が次のランつてあるラインを取出して同様のチエツクを
繰返す。

もし最低優先度のラインまてチエツクして該当するもの
かなければ、再び最高優先度のラインへ戻って（Ｓ−３
６）、優先度順にラインを設定しくＳ−３７）、その設
定ラインのライン予約数Ｐ。

空き装置数Ｑ、空き状態の装置処理前バッファ数Ｒをラ
イン管理エリアから取出し、ＱとＲの和（Ｑ＋Ｒ）とＰ
とを比較する（　Ｓ　−３８）。もしＰａ、（Ｑ＋Ｒ）
か満たされればこのラインを搬送先として決定し、搬送
先ライン決定処理を終了する（Ｓ−３４）。Ｐ＜　（Ｑ
＋Ｒ）が満たされなければ、当該ラインか最低優先度の
ラインでない限り（Ｓ−３９）、優先度か次のランつて
あるラインを取出して同様のチエツクを繰返す。

もし最低優先度のラインまでチエツクしても該当するも
のかなければ、再び最高優先度のラインへ戻って（Ｓ−
４０）、優先度順にラインを設定しくＳ−４１）、その
設定ラインのライン予約数Ｐ。

空き装こ数Ｑ、空き状態の装置処理前バッファ数Ｒ１空
き状態のライン処理前バッファ数Ｓをライン管理エリア
から取出し、Ｑ、Ｒ，Ｓの和（Ｑ＋Ｒ＋Ｓ）とＰとを比
較する（　Ｓ　−４２）。もし、Ｐ＜　（Ｑ＋Ｒ＋Ｓ）
か満たされればこのラインを搬送先として決定し、搬送
先ライン決定の為の処理を終了する（　Ｓ　−３４）。

Ｐ＜　（Ｑ＋Ｒ＋Ｓ）が満たされなければ、当該ライン
か最低優先度のラインてない限り（Ｓ−４３）、優先度
が次のランつてあるラインを取出して同様のチエツクを
繰返す。

もし最低優先度のラインまでチエツクしても該当するも
のがなければ、５ＣＩＩはＬ　ｅ　１０へ搬送不能のメ
ツセージを送信する（　Ｓ　−４４）。そしてこのカセ
ットかオペレータによって取除かれた（　Ｓ　−４５）
後、５０１１は搬送先ライン決定処理を終了する。

〈発明の効果〉 以上述べた様に本発明の搬送制御方法によれば、処理装
置の稼動状態やバッファの空き状態に応じて搬送先ライ
ンを決定する為、製造ラインごとに処理能力か異なる場
合にも、各ラインの処理前カセット数のバランスが保た
れ、その結果、ウェハ自動搬送システムにおけるＴＡＴ
が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、搬出側ラインのローカルコンピュータによる
ライン間搬送制御のフローチャート、第２図は、搬入側
ラインのローカルコンピュータによるライン間搬送制御
のフローチャート、第３図は、ライン統括コンピュータ
によるライン間搬送制御のフローチャート、 第４図は、工程管理エリアの内容を示す図、第５図は、
ライン管理エリアの内容を示す図、第６図は、ライン統
括コンピュータの搬送先ライン決定処理のフローチャー
ト、 第７図は、半導体の製造ラインの一例を示す構成図、 第８図は、製造ラインを複数配設したウェハ自動搬送シ
ステムの一例を示す構成図、 第９図は、ウェハ自動搬送システムの制御系の構成を示
すフロック図である。 ■・・・処理装置、　３・・・ライン処理前バッファ。 ４・・・装置処理前バッファ、　５・・・移載走行車。 ９・・・ライン間搬送車。 ＩＯ・・・ローカルコンピュータ。 １１・・・ライン統括コンピュータ。 特許出願人　　　　沖電気工業株式会社第１図 第２図 第４図 第５図 第８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　複数の製造ラインを配設し、該各製造ラインには、半
   導体ウェハに対して製造ラインごとに決められた同種の
   処理を行う複数の処理装置と、該各処理装置に仕掛ける
   前のウェハ入りカセットを保管する複数の装置処理前バ
   ッファと、製造ライン内での処理前カセットを保管する
   複数のライン処理前バッファとを備え、前記各製造ライ
   ン内での移載走行車によるウェハ入りカセットの搬送と
   、前記各製造ライン間でのライン間搬送車による搬送と
   をコンピュータにより制御するウェハ自動搬送システム
   における搬送制御方法において、前記コンピュータは、 前記各製造ライン中の、空き状態の処理装置の数と、空
   き状態の装置処理前バッファの数と、空き状態のライン
   処理前バッファの数とを製造ライン別に計数して記憶す
   るとともに、 搬送先ラインの既に決定されたウェハ入りカセットの数
   を製造ライン別に計数して記憶し、前記記憶している各
   数値を用いた演算結果と工程進捗とに応じて搬送先ライ
   ンとして設定可能になる複数の製造ラインの中から、（
   １）前記搬送先ラインの既に決定されたウェハ入りカセ
   ットの搬送か全て終了した後にも空き状態の処理装置の
   ある製造ライン、（２）前記装置処理前バッファに空き
   のある製造ライン、（３）前記ライン処理前バッファに
   空きのある製造ラインの順に搬送先ラインを決定するこ
   とを特徴とするウェハ自動搬送システムにおける搬送制
   御方法。