JP4615071B2 - 基板処理システム及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
このような場合、基板処理モジュールを追加するには、搬送チャンバを接続数の多い形状のものに取り替えたり、搬送チャンバの数を増やして搬送ロボットを追加するなど、搬送モジュールを変更する必要がある。しかし、この場合、搬送ロボットの増設に伴い、搬送ロボットを制御する搬送制御装置のプログラムなどを修正しなければならず、場合によっては新たな搬送モジュールを作製するのと同様の手間やコストを要していた。
[基板処理システム及び基板処理装置の構成について]
図1は、本実施形態に係る第1の基板処理装置100(以下、「メイン装置」と呼ぶ。)、第2及び第3の基板処理装置200,300(以下、「サブ装置」と呼ぶ。)の概観を示す図である。
図3の基板処理システムは、上述したメイン装置100及びサブ装置200,300のほか、ホストPC400を備える。ホストPC400とメイン装置100、サブ装置200,300、サブ装置200,300間は、LAN(Local Area Network)やRS−232Cなどの規格によるネットワークを介して接続され、データ通信が可能になっている。具体的には、ホストPC400は、基板の搬送順序及び搬送先を指定した搬送手順データ(後述する)を送信する搬送手順送信部410と、構成情報(後述する)を送信する構成情報送信部420と、を備える。
なお、サブ装置300は、サブ装置200と同様の構成であるので、説明は省略する。
次に、各種のデータについて説明する。
図4に構成情報の構成例を示す。
構成情報は、例えば図4に示すような構成情報ファイルFの形式で、メイン装置100及びサブ装置200,300の夫々について作成され、対応するファイルがホストPC400から該当する基板処理装置100,200,300に送信される。図4の例では、構成情報ファイルFは、上位の基板処理装置が接続する接続ポートの情報と、下位の基板処理装置が接続する接続ポートの情報と、を含む。ホストPC400における構成情報ファイルFの取得方法としては、例えば、ユーザによる入力や外部装置からの受信、ホストPC400での生成が挙げられる。
また、同様の構成情報ファイルFがサブ装置300について作成され、サブ装置300に送信される。
搬送手順データは、上述のように、基板の処理フローに沿って基板の搬送順序及び搬送先を規定したものであり、ホストPC400からメイン装置100に送信される。ホストPC400は、ユーザからの入力、外部装置からの受信、又は、ホストPC400での生成などの方法によって搬送手順データを取得する。図6の符号601、602に示す例では、搬送手順データは、基板の搬送先を基板処理システム内で一意に特定可能な搬送先指定情報(図中、'1'、'212'など)を区切り記号(図中では、'→')を挟んで搬送順に結合して形成されている。もちろん、搬送手順データは、このような構成に限らず、例えば、搬送先指定情報と対応させて搬送順の番号データを含むものであってもよいし、搬送先指定情報を所定ビット数で構成するなどして区切り符号を含まない構成であってもよいし、搬送滞留時間などの他の情報をさらに含むものであってもよい。
搬送先指定情報は、基板の搬送先を基板処理システム内で特定可能な情報であり、本実施形態では基板の搬送先となるプロセスチャンバPに接続する接続ポートを基板処理システム内で一意に特定可能な情報を用いる。搬送先指定情報の一例を図7に示す。具体的には、本実施形態では、メイン装置100のプロセスチャンバPが搬送先となるときは、図7の符号701(符号701:メイン装置への搬送先指定情報)に示すように、そのプロセスチャンバPに接続する接続ポートのローカルアドレスをそのまま搬送先指定情報とする。一方、サブ装置200,300に接続するプロセスチャンバPが基板の搬送先となるときは、図7の符号702(符号702:サブ装置への搬送先指定情報)に示すように、メイン装置のローカルアドレスと、サブ装置種別と、サブ装置のローカルアドレスと、を結合したデータを搬送先指定情報として用いる。
メイン装置100のローカルアドレスは、メイン装置100における、基板の搬送先となるサブ装置200,300が接続している接続ポートのローカルアドレスを用い、例えば、サブ装置200宛てのデータならば'2'、サブ装置300宛てならば'5'となる。
次に、図9A,Bに示すフローチャートを用いて、メイン装置100(図9A)及びサブ装置200,300(図9B)の基板の搬送動作を説明する。なお、構成情報は各基板処理装置がすでに取得しており、メイン装置100は上位装置のない構成情報を取得することで、最上位装置としての動作モードに移行し、サブ装置200,300は上位装置が接続された構成情報を取得することで、下位装置としての動作モードに移行する。
以上、実施形態について説明したが、本発明の適用は上記実施形態に限定されない。
例えば、図10Aに示すように接続ポート数が同じ基板処理装置(搬送モジュールTM)を接続してもよいし、図10Bに示すように基板処理装置を3階層以上になるように接続してもよい。また、1つの搬送モジュールTMに設けられる搬送ロボットは図1に示すように複数であっても、1つであってもよい。また、図11に示すように、下位の基板処理装置は、搬送先が他の基板処理装置であるかを判定する機能を有さないものを接続してもよい。この場合は、サブ装置200の搬送手順取得部231で取得した搬送手順データに基づいて、搬送指令出力部235が搬送指令を生成し、搬送ロボットTr−2に出力する。
上述の実施形態では、図3に示すように、ホストPC400、メイン装置100、サブ装置200、300を別個に用意しているが、ホストPC400の搬送手順送信部410の機能および構成情報送信部420の機能を、メイン装置100またはサブ装置200、300に組み込んでも良い。
Claims (7)
- 基板に対し処理を行うためのプロセスチャンバを接続可能な搬送チャンバと、
前記搬送チャンバ内に位置し、前記搬送チャンバに接続するプロセスチャンバに基板を搬送するための搬送ロボットと、
前記搬送ロボットを制御する搬送制御手段と、
を夫々備えた第1及び第2の基板処理装置を有する基板処理システムであって、
第1及び第2の基板処理装置の前記搬送チャンバ同士が相互に接続され、
前記第1及び第2の基板処理装置の搬送制御手段は、
自装置内で基板の搬送先に一意に割り当てられたローカルアドレスを用いて、前記搬送ロボットを制御し、前記自装置の前記搬送チャンバに接続されるプロセスチャンバに基板を搬送させるローカル搬送部を有し、
前記第1の基板処理装置の搬送制御手段は、
少なくとも前記ローカルアドレス、及び、当該ローカルアドレスの属する基板処理装置を特定可能な付加情報を含み、基板の搬送先を前記第1及び第2の基板処理装置内で一意に指定する搬送先指定情報を取得する搬送情報取得手段と、
前記搬送情報取得手段により取得した搬送先指定情報に基づいて、基板の搬送先が前記第1および第2の基板処理装置のいずれかを判定可能な搬送先判定部と、
を有することを特徴とする基板処理システム。 - 前記第1の基板処理装置の搬送制御手段は、前記搬送先判定部により基板の搬送先が前記第2の基板処理装置であると判定したときに、前記搬送先指定情報からローカルアドレスを抽出し、前記第2の基板処理装置に搬送指令を出力する装置間搬送部を有することを特徴とする請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記搬送情報取得手段は、基板の処理手順に沿った基板の搬送順序及び搬送先を特定可能な情報を含む搬送手順情報を取得し、前記搬送手順情報から前記搬送先指定情報を取得し、
前記第1及び第2の基板処理装置の搬送制御手段は、前記搬送手順情報により指定される搬送順序に従って、基板を搬送するように前記搬送ロボットを制御することを特徴とする請求項1又は2に記載の基板処理システム。 - 前記搬送先指定情報は、基板の搬送先が複数の前記基板処理装置をまたぐ場合に、基板の供給源から見て上流側から下流側に向かって接続する前記基板処理装置を階層的に指定する構造のデータとして構成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の基板処理システム。
- 前記搬送先指定情報は、前記第2の基板処理装置の搬送チャンバを接続する第1の基板処理装置の接続ポートのローカルアドレスを規定する装置間アドレス部と、基板の搬送先となるプロセスチャンバに接続する前記第2の基板処理装置の接続ポートのローカルアドレスを規定するサブアドレス部と、を含む構造のデータにより、前記第2の基板処理装置への搬送を指定するものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の基板処理システム。
- 基板に対し処理を行うためのプロセスチャンバ及び他の基板処理装置を接続可能な搬送チャンバと、
前記搬送チャンバ内に位置し、前記搬送チャンバに接続するプロセスチャンバに基板を搬送するための搬送ロボットと、
前記搬送ロボットを制御する搬送制御手段とを備え、
前記搬送制御手段は、
自装置内で基板の搬送先に一意に割り当てられたローカルアドレスを少なくとも含み、さらに当該ローカルアドレスの属する基板処理装置を特定可能な付加情報を任意に含み、基板の搬送先を自装置及び前記搬送チャンバに接続する他の基板処理装置内で一意に指定する搬送先指定情報を、取得する搬送情報取得手段と、
前記搬送情報取得手段により取得した搬送先指定情報に基づいて、基板の搬送先がいずれの基板処理装置かを判定可能な搬送先判定部と、
前記搬送先判定部の判定結果、基板の搬送先が自装置内である場合に、該自装置内で基板の搬送先に一意に割り当てられたローカルアドレスを用いて、前記搬送ロボットを制御し、前記自装置の前記搬送チャンバに接続されるプロセスチャンバに基板を搬送させるローカル搬送部と、
前記搬送先判定部の判定結果、基板の搬送先が前記他の基板処理装置内である場合に、前記基板を前記他の基板処理装置に搬送させる装置間搬送部と
を有することを特徴とする基板処理装置。 - 複数の接続ポートを有し、該複数の接続ポートの少なくとも1つに他の基板処理装置を接続可能な搬送チャンバと、
前記搬送チャンバに前記他の基板処理装置を接続した際に自装置が基板搬送の最上流に位置する第1の装置であるのか、または自装置が前記基板搬送の流れにおいて前記第1の装置よりも下流側の第2の装置であるのかを認識させるための第1の情報を取得し、該第1の情報に基づいて、自装置が前記第1の装置なのか前記第2の装置なのかを認識する手段と、
自装置が前記第1の装置であると認識される場合に用いられる前記第1の装置用の基板搬送手段および自装置が前記第2の装置であると認識される場合に用いられる前記第2の装置用の基板搬送手段の少なくとも一方を備え、
前記複数の接続ポートには、一意にローカルアドレスが割り当てられており、
前記第1の装置用の基板搬送手段は、
前記搬送チャンバに前記他の基板処理装置が接続された構成において基板の搬送先となる接続ポートの位置を特定するための第2の情報であって、基板の搬送対象の接続ポートに対応するローカルアドレスに関する第3の情報、および該ローカルアドレスが属する基板処理装置を特定するための第4の情報を含む第2の情報を取得する手段と、
前記取得された第2の情報に基づいて、基板の搬送先となる基板処理装置を判定する手段と、
前記判定結果、前記基板の搬送先が自装置内である場合は、前記第2の情報に含まれる第3の情報に基づいて、該ローカルアドレスに対応する接続ポートへと基板を搬送させる手段と、
前記判定結果、前記基板の搬送先が自装置以外の基板処理装置である場合は、前記第4の情報にて特定される基板処理装置に基板が搬送されるように前記他の基板処理装置の1つに基板を搬送させると共に、前記第4の情報にて特定される基板処理装置において前記第3の情報にて特定される接続ポートに基板が搬送されるような搬送指令を前記他の基板処理装置の1つに出力する手段とを有し、
前記第2の装置用の基板搬送手段は、
前記搬送指令を取得する手段と、
前記取得された搬送指令から、前記基板の搬送対象の接続ポートに対応するローカルアドレスを取得し、該取得されたローカルアドレスに対応する接続ポートへ基板を搬送させる手段と
を有することを特徴とする基板処理装置。
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