JPS61150918A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、搬送技術、特に半導体装置の製造に収納する
カセットの各処理工程間の搬送に用いて有効な技術に関
する。

［背景技術］ 半導体装置の製造においては、たとえばシリコンからな
る基板すなわちウェハに多数の半導体素子を形成するた
め、たとえば酸化・拡散、エツチング、フォトリソグラ
フィ、ＣＶＤ、スパッタ、イオン打ち込みなど種々の処
理をウェハに施す、いわゆるウェハ処理工程がある。

この場合、各処理工程の自動化や異なる製品の製造に対
する迅速な対応さらには保守管理などの面から、前記の
各処理工程はそれぞれ隣接した独立の区画、いわゆるペ
イに仕切られ、処理されるウェハは所定の処理数量毎に
たとえばカセットなどの搬送治具にまとめて収納され、
各処理工程間を所定の順に移動される。

このウェハを収納するカセットの各処理工程間の搬送シ
ステムとしては次のようなものが考えられる。

た複数のペイにカセットの受は入れおよび払出のための
昇降装置などを備えたステーションをそれぞれ設け、各
ステーションを連絡するトラック上にカセットを搬送す
る搬送車を周回させ、所定のステーションで停止させて
カセットの積卸を行なうことによって、各処理工程間の
ウェハの搬送を行うものである。

しかしながら、上記の搬送システムでは、各処理工程の
ペイが面する中央通路の２倍の長さのトラックが必要で
あり、さらにペイと同数の昇降装置を備えたステーショ
ンが必要とされる。

この結果、システムの機構が複雑となって発塵量の増加
や信頼性の低下を招き、さらにシステムが高価になるな
ど種々の欠点があることを本発明者は見いだした。

なお、ウェハの搬送技術について説明されている文献と
しては、株式会社プレスジャーナル、昭和５９年８月１
５日発行ｒｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　　Ｗｏｒｌｄ
Ｊ　１９８４年９月号、Ｐ４０〜Ｐ４４がある。

［発明の目的］ 本発明の目的は、機構が簡単で信頼性の高い搬送技術を
提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

［発明の概要］ 本出願において開示される発明のうち代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、つぎの通りである。

すなわち、搬送路とこの搬送路に交差するように設けら
れ、両端部が被搬送物の集配先に連絡される少なくとも
一つの交差路を構成し、搬送路を移動される少なくとも
一つの搬送車に、この搬送車とは独立に移動可能な台車
を搭載させる。

さらに、前記台車には、積載される被搬送物の積卸を行
う昇降装置を設け、所定の集配先に連絡される交差路と
交差する位置で台車を交差路に移行させ、被搬送物の積
卸を行わせることによって、搬送路の長さを短縮し、さ
らに各集配先における昇降装置を不要にすることにより
、装置全体の構造を簡単化し信頼性を向上させたもので
ある。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例である搬送装置の外観斜視図
であ。

搬送路１には複数の交差路２が直交して設けられ、この
交差路２の両端部は、前記搬送路１を挟んで対向する位
置に配設され、それぞれ異なる処理工程が独立に区画さ
れたペイ（図示せず）に接続されている。

この結果、搬送路１をループ状に構成する必要がなく、
搬送路１の長さが短縮される。

さらに、交差路２の上方にはガイドレール３が交差路２
に平行に配置され、トラバースガイド４（移動手段）が
交差路２の方向に移動自在に案内されるように構成され
ている。

このトラバースガイド４は、モータ５によって駆動され
るワイヤ６に係止されて適宜所定の位置に移動される構
造とされている。

設けられ、搬送路１の方向に、たとえばりニアモータ機
構（図示せず）によって適宜移動されるように構成され
ている。

この搬送車７には、搬送車７の移動方向に直交する方向
に、搬送車７とは独立に移動可能な台車８が搭載される
ように構成され、第２図はその状態を示す斜視図である
。

また、台車８には、所定数量のウェハ（図示せず）を収
容するカセット９（被搬送物）を着脱自在に保持するホ
ルダｌＯが設けられ、このホルダ１０は、一対の昇降ベ
ルト１１とこの昇降ベルト１１を巻き取るリール１２お
よびリール１２を駆動するモータ（図示せず）などから
なる昇降機構によって台車８の底部を通過して昇降され
、カセット９の積卸が行われる構造とされている。

このように、カセット９を搬送する台車８に昇降機構を
設けることによって、カセット９の受は入れ先である各
ペイに昇降機構を設ける必要がなく、搬送装置全体の機
構を筒車化される結果搬送この場合、台車８が移動され
る際には、カセット９を保持するホルダ１０は台車８の
内部に完全に引き込まれた状態とされる。

また、搬送車７に搭載された台車８は、所定の交差路２
が搬送路１と交差する位置で前記トラバースガイド４に
係止され、トラバースガイド４と共に搬送路１と直交す
る交差路２に移行され、交差路２上を所定方向に移動さ
れる構造とされている。

次に、本実施例の作用について説明する。

まず、交差路２の端部に設けられたカセット９の受は入
れ部（図示せず）においてホルダ１０にカセットを保持
した台車８は、搬送車７に搭載されて搬送路１上を移動
され、搬送路１と所定の交差路２との交差位置で停止さ
れ、搬送車７に搭載された台車８は前記交差位置で待機
するトラバースガイド４に係止される。

次に、トラバースガイド４はワイヤ６を介してモータ５
によって交差路２の端部の所定のペイまで移動され、停
止される。

次に、昇降機構のり−ル１２に巻き取られた昇降へルト
１１が繰り出されてホルダｌＯが降下され、ホルダＩＯ
に保持されたカセット９は、ヘイに設けられた、たとえ
ばコンヘアなどに受は渡され、搬送動作が完了される。

このように、台車８に設けられた昇降機構によってカセ
ット９の受は渡しが行われるため、各ヘイ毎にカセット
９の積卸のための昇降機構を設ける必要がな（、搬送装
置全体の機構が簡単化される結果、搬送装置の動作の信
頼性が向上され、さらにウェハを汚染する装置からの発
塵が抑制され、ウェハ処理工程の歩留りが向上される。

カセット９の受は渡しを終えた後、昇降ベルト１１はリ
ール１２に、巻き取られてホルダ１０は上昇され、台車
８内に完全に収容され、その後トラバースガイド４によ
って交差路２上を搬送路１との交差位置まで移動され、
台車８は搬送車７に搭載される。

こうして、搬送車７に搭載された空の台車８は、たとえ
ば処理を終えたウェハが収納され、払い出しを待つカセ
ット９がある所定のペイに前記と同様の手順で移動され
、カセット９を保持した後、保持したカセット９を配達
すべき所定のペイに移動されカセット９は前記と同様の
手順で受は渡される。

この場合、直線状の搬送路１に交差して各ペイを結ぶ交
差路２が構成されているため、搬送路ｌの長さを短縮で
き、さらに、たとえば搬送路ｌを挟んで対向して位置さ
れるペイ間のカセット９の受は渡しでは、カセット９を
保持′した台車８は、迂回することなく目的のペイに到
達できることとなり、カセット９の搬送動作が迅速とな
る。

また、上記の動作においては一つの搬送車７および台車
８の場合について説明したが、搬送車７および台車８の
数量は同一でなくともよく、たとえば複数の搬送車７お
よび台車８を同時に走行させ、台車８が交差路２におい
てカセット９の積卸し動作を実行中に、搬送車７は単に
搬送路１において待機するだけでなく、適宜搬送路Ｉを
移動しえば搬送路１を移動するべく交差路２において待
機中の台車８を搭載して搬送路１を所定の位置に移動す
るなどの動作も可能である。

上記の搬送動作を繰り返すことによって、各ペイと外部
との間および各ヘイ間のカセット９の搬送が確実かつ迅
速に行われる。

［効果］ （１１，１１１送路とこの搬送路に交差され、両端部が
被搬送物の集配先に連絡される交差路が構成され、搬送
路を移動される搬送車に、この搬送車とは独立に移動可
能で積載される被搬送物の積卸を行う昇降装置を備えた
台車が搭載され、所定の集配先に連絡される交差路と交
差する位置で台車を交差路に移行させることによって、
被搬送物の搬送および積卸が行われるため、搬送路の長
さが短縮され、さらに各集配先における昇降装置が不要
となる結果、搬送装置の構造が簡単化でき信頼性が向上
される。

（２）、前記（１１の結果、搬送装置からの発塵が抑制
で（３）、前記（２）の結果、ウェハ処理工程における
歩留りが向上される。

（４）、前記（１１の結果、搬送装置の価格を低減でき
、搬送工程の生産性が向上される。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

たとえば、搬送車に搭載される台車の交差路における移
動は自走式とすることも可能である。

［利用分野］ 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置の製造に
おける搬送技術に適用した場合について説明したが、そ
れに限定されるものではなく、異なる複数の処理が施さ
れる物品の製造工程における搬送技術などに広く適用で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である搬送装置の動作状態を
示す外観斜視図、 第２図はその一部を取り出して示す斜視図である。 ｌ・・・搬送路、２・・・交差路、３・・・ガイドレー
ル、４・・・トラバースガイド（移動手段）、５・・・
モータ、６・・・ワイヤ、７・・・搬送車、８・・・台
車、９・・・カセット（被搬送物）、１０・・・ボルダ
、１１・・・昇降ベルト、１２・・・リール。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、搬送路と、該搬送路を移動自在な少なくとも一つの
   搬送車と、該搬送車に搭載されて前記搬送路を移動され
   、積載される被搬送物の積卸を行う昇降装置を備え、前
   記搬送路に交差して設けられた少なくとも一つの交差路
   に前記搬送車とは独立に移行可能な台車と、該台車を前
   記交差路の方向に移動させる移動手段とからなることを
   特徴とする搬送装置。 ２、被搬送物がウェハを収納するカセットであることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。 ３、移動手段がトラバースガイドであることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。