JPH0199404A - 真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置 - Google Patents
真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置Info
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- JPH0199404A JPH0199404A JP62254694A JP25469487A JPH0199404A JP H0199404 A JPH0199404 A JP H0199404A JP 62254694 A JP62254694 A JP 62254694A JP 25469487 A JP25469487 A JP 25469487A JP H0199404 A JPH0199404 A JP H0199404A
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Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、真空中に於いてシリコンウェハ等のワークに
スパッタリング等の処理を施すべく交差方向にワークを
搬送する磁気浮上式の搬送装置に関する。
スパッタリング等の処理を施すべく交差方向にワークを
搬送する磁気浮上式の搬送装置に関する。
(従来の技術)
従来、真空中でワークを一方向とこれに交差する方向と
に順次搬送し、該ワークにエツチング、スパッタリング
等の処理を順次施すことが行なわれており、その搬送手
段として、ベルト搬送装置やマグネットカップリング式
直線導入装置、ベロー式直線マニピュレータ装置等を組
合せたものが知られている。しかし乍らこれらの装置は
いずれも摺動部分を有するためダスト粒子の発生が多く
、ワークを汚染し勝ちである。
に順次搬送し、該ワークにエツチング、スパッタリング
等の処理を順次施すことが行なわれており、その搬送手
段として、ベルト搬送装置やマグネットカップリング式
直線導入装置、ベロー式直線マニピュレータ装置等を組
合せたものが知られている。しかし乍らこれらの装置は
いずれも摺動部分を有するためダスト粒子の発生が多く
、ワークを汚染し勝ちである。
(発明が解決しようとする問題点)
搬送装置として磁気浮上式のリニアモータを使用すれば
非接触式の搬送を行なえ、ダストの発生を少なくするこ
とが出来るが、リニアモータはワークの搬送経路に沿っ
て浮上用の固定子を配置しなければならず、ワークの搬
送経路が交差する個所での固定子の配置が困難で交差部
に於ける可動子の走行制御が容易でない。
非接触式の搬送を行なえ、ダストの発生を少なくするこ
とが出来るが、リニアモータはワークの搬送経路に沿っ
て浮上用の固定子を配置しなければならず、ワークの搬
送経路が交差する個所での固定子の配置が困難で交差部
に於ける可動子の走行制御が容易でない。
本発明は真空中でリニアモータによりワークを交差した
搬送経路で搬送する場合の前記問題点を解決することを
目的もする。
搬送経路で搬送する場合の前記問題点を解決することを
目的もする。
(問題点を解決するための手段)
本発明では、真空中を直線的な長い第1ワーク搬送経路
と、これに交差する直線的な第2ワーク搬送経路に沿っ
てワークを搬送するものに於いて、第1ワーク搬送経路
に沿って間隔を存して配置した複数個のリニアモータの
固定子と、これらの固定子により同時に磁気浮上されて
往復動する1個のリニアモータの可動子とで構成した第
1リニアモータと、前記第2ワーク搬送経路上に設けた
リニアモータの固定子により磁気浮上され且つ前記第1
リニアモータの可動子の上方へ出没移動されるリニアモ
ータの可動子を備えた第2リニアモータとを設備するこ
とにより前記問題点を解決するようにした。
と、これに交差する直線的な第2ワーク搬送経路に沿っ
てワークを搬送するものに於いて、第1ワーク搬送経路
に沿って間隔を存して配置した複数個のリニアモータの
固定子と、これらの固定子により同時に磁気浮上されて
往復動する1個のリニアモータの可動子とで構成した第
1リニアモータと、前記第2ワーク搬送経路上に設けた
リニアモータの固定子により磁気浮上され且つ前記第1
リニアモータの可動子の上方へ出没移動されるリニアモ
ータの可動子を備えた第2リニアモータとを設備するこ
とにより前記問題点を解決するようにした。
(作 用)
ワークは第1、第2リニアモータの可動子に載せられて
搬送され、例えば第1リニアモータの磁気浮上した可動
子上にワークが載置されると、複数個の固定子により走
行制御されて第1ワーク搬送経路に沿い該可動子がワー
クを第2ワーク搬送経路と交差する゛位置にまで搬送す
る。
搬送され、例えば第1リニアモータの磁気浮上した可動
子上にワークが載置されると、複数個の固定子により走
行制御されて第1ワーク搬送経路に沿い該可動子がワー
クを第2ワーク搬送経路と交差する゛位置にまで搬送す
る。
ワークがこの交差部に到着すると例えば交差部に設けた
ワーク昇降台により第2リニアモータの可動子上に移し
変えられ、該第2リニアモータの固定子により走行制御
されてその可動子が第2ワーク搬送経路に沿ってワーク
を搬送する。
ワーク昇降台により第2リニアモータの可動子上に移し
変えられ、該第2リニアモータの固定子により走行制御
されてその可動子が第2ワーク搬送経路に沿ってワーク
を搬送する。
この場合、第1、第2ワーク搬送経路の交差部では第1
、第2リニアモータの各可動子が上下に交差し、ワーク
を上下にわずかに移動する手段で各可動子間の移し変え
することが出来、二〇手段により発生するダストは少な
く、真空中をクリーンに保持することが出来る。
、第2リニアモータの各可動子が上下に交差し、ワーク
を上下にわずかに移動する手段で各可動子間の移し変え
することが出来、二〇手段により発生するダストは少な
く、真空中をクリーンに保持することが出来る。
また長い直線的な第1ワーク搬送経路に設けられる第1
リニアモータは間隔を存して配置した複数個の固定子と
これにより磁気浮上される1個の可動子とで構成され、
該可動子を往復動させることによりワークを搬送するの
で多くの固定子を配置する必要がなく、リニアモータの
構造が簡単になる。
リニアモータは間隔を存して配置した複数個の固定子と
これにより磁気浮上される1個の可動子とで構成され、
該可動子を往復動させることによりワークを搬送するの
で多くの固定子を配置する必要がなく、リニアモータの
構造が簡単になる。
更に、第2ワーク搬送経路が第1ワーク搬送経路に交差
して複数本設けられ、各第2ワーク搬送経路に夫々第2
リニアモータが設けられるときは、第1リニアモー・夕
を各第2リニアモータの間隔分だけ往復させてワークの
搬送を行なえ、第1リニアモータの磁気浮上制御が容易
になる。
して複数本設けられ、各第2ワーク搬送経路に夫々第2
リニアモータが設けられるときは、第1リニアモー・夕
を各第2リニアモータの間隔分だけ往復させてワークの
搬送を行なえ、第1リニアモータの磁気浮上制御が容易
になる。
(実施例)
本発明の実施例を図面に基づき説明すると、第1図に於
いて符号(1)は内部を真空ポンプにより真空排気され
た真空室を示し、該真空室(1)には外部ヘシリコンウ
エハ等のワーク(2)を出し入れするためのロード室(
3)とアンロード室(4)及び該ワーク(2)にスパッ
タリング、スパッタエツチング等の処理を施すための幾
つかの処理室(5) (5)が設けられる。該ワーク(
2)はロード室(3)からアンロード室(4)へ向う直
線的な比較的長い第1ワーク搬送経路(6)と、これに
交差してロード室(3)、アンロード室(4)、各処理
室(5) (5)へ夫々向かう数本の直線的な第2ワー
ク搬送経路(7) (7)に沿って搬送され、図示の例
ではロード室(3)のワーク(2)は処理室(5) (
5)を順次巡ってアンロード室(4)と運ばれる。
いて符号(1)は内部を真空ポンプにより真空排気され
た真空室を示し、該真空室(1)には外部ヘシリコンウ
エハ等のワーク(2)を出し入れするためのロード室(
3)とアンロード室(4)及び該ワーク(2)にスパッ
タリング、スパッタエツチング等の処理を施すための幾
つかの処理室(5) (5)が設けられる。該ワーク(
2)はロード室(3)からアンロード室(4)へ向う直
線的な比較的長い第1ワーク搬送経路(6)と、これに
交差してロード室(3)、アンロード室(4)、各処理
室(5) (5)へ夫々向かう数本の直線的な第2ワー
ク搬送経路(7) (7)に沿って搬送され、図示の例
ではロード室(3)のワーク(2)は処理室(5) (
5)を順次巡ってアンロード室(4)と運ばれる。
(8)は第1ワーク搬送経路(6)に沿ってワーク(2
)を搬送する第1リニアモータ、(9)(9)は第2ワ
ーク搬送経路(7) (7)に沿ってワークを搬送する
第2リニアモータで、第1リニアモータ(8)は第2図
のような固定子(ioと可動子(ITで構成され、該固
定子aΦは第1ワーク搬送経路(6)に沿い間隔を存し
て2個設けるようにし、該可動子(11)は各固定子(
IOの上面及び両側を覆うチャンネル形の断面形状の長
尺体で構成するようにした。また各第2リニアモータ(
9)は固定子(121と可動子■で構成され、該可動子
a3は第1リニアモータ(8)の可動子(It)の上方
で交差するようにその固定子■により出没される。
)を搬送する第1リニアモータ、(9)(9)は第2ワ
ーク搬送経路(7) (7)に沿ってワークを搬送する
第2リニアモータで、第1リニアモータ(8)は第2図
のような固定子(ioと可動子(ITで構成され、該固
定子aΦは第1ワーク搬送経路(6)に沿い間隔を存し
て2個設けるようにし、該可動子(11)は各固定子(
IOの上面及び両側を覆うチャンネル形の断面形状の長
尺体で構成するようにした。また各第2リニアモータ(
9)は固定子(121と可動子■で構成され、該可動子
a3は第1リニアモータ(8)の可動子(It)の上方
で交差するようにその固定子■により出没される。
尚、図示してはないが、第1リニアモータ(8)の固定
子(+1)の中には、浮上用コイルと、固定子(IGと
可動子11vの上下方向のギャップを検出して上下のギ
ャップが均一となるように浮上用コイルを制御する上下
方向ギャップセンサとが設けられ、更に可動子を固定子
(IGに沿って往復移動させるための駆動用コイルが設
けられる。また、第2リニアモータも第1リニアモータ
と同じ原理で浮上、駆動される。
子(+1)の中には、浮上用コイルと、固定子(IGと
可動子11vの上下方向のギャップを検出して上下のギ
ャップが均一となるように浮上用コイルを制御する上下
方向ギャップセンサとが設けられ、更に可動子を固定子
(IGに沿って往復移動させるための駆動用コイルが設
けられる。また、第2リニアモータも第1リニアモータ
と同じ原理で浮上、駆動される。
ワーク(2)は第1リニアモータ(8)及び第2リニア
モータ(9)の各可動子a1)(+3に交互に載せられ
て搬送されるが、両回動子(In G3の交差部の具体
的構成は第2図及び第3図示の如くであり、第1リニア
モータ(8)の可動子(Ivの上面にこれと間隔(IO
を有する片持ち形でフォーク状のワーク保持台(+51
を設け、該間隔(IOをその側方から第2リニアモータ
(9)の可動子0のフォーク状に分岐した先端部aeと
、該ワーク保持台(′lsl及び該先端部11Gのフォ
ークに衝突しないようなフォーク状のワーク昇降台(+
7)とを介入し得る程度の長さとし、該ワーク昇降台(
17)は両回動子ai+ (+3の交差部の側方に真空
室(1)の外部から導入した上下動するピストン杆から
なる昇降駆動装置(181により該ワーク保持台(′l
Sの上方の位置まで昇降されるようにした。尚、実施例
では3個のワーク保持台(15a)(15b)(15c
)を等間隔で可動子av上に設けるようにした。
モータ(9)の各可動子a1)(+3に交互に載せられ
て搬送されるが、両回動子(In G3の交差部の具体
的構成は第2図及び第3図示の如くであり、第1リニア
モータ(8)の可動子(Ivの上面にこれと間隔(IO
を有する片持ち形でフォーク状のワーク保持台(+51
を設け、該間隔(IOをその側方から第2リニアモータ
(9)の可動子0のフォーク状に分岐した先端部aeと
、該ワーク保持台(′lsl及び該先端部11Gのフォ
ークに衝突しないようなフォーク状のワーク昇降台(+
7)とを介入し得る程度の長さとし、該ワーク昇降台(
17)は両回動子ai+ (+3の交差部の側方に真空
室(1)の外部から導入した上下動するピストン杆から
なる昇降駆動装置(181により該ワーク保持台(′l
Sの上方の位置まで昇降されるようにした。尚、実施例
では3個のワーク保持台(15a)(15b)(15c
)を等間隔で可動子av上に設けるようにした。
その作動を第1図示のような4本の第2ワーク搬送経路
(7)を備え、各搬送経路(7)に沿って4本の第2リ
ニアモータ(9a) (9b) (9c) (9d)と
4個のワーク昇降台(17a)(17b)(17c)(
17d)を設けた場合につき説明するに、まずロード室
(3)にワーク(2)が用意されると第2リニアモータ
(9a)の可動子a3が前進してそのフォーク状の先端
部aGでワーク(2)を受取り、第1ワーク搬送経路(
6)との交差部にまで後退する。ここでワーク昇降台(
17a)が上昇して該可動子■の先端部aO上のワーク
(2)を受取り、第1リニアモータ(8)のワーク保持
台(ISlよりも高い位置までワーク(2)を持ち上げ
る。次いで第1リニアモータ(8)の可動子(+1)が
前進移動してそのワーク保持台(t5a)が該ワーク昇
降台(17a)の下方に位置すると、ワーク昇降台(1
7a)が降下し、その途中でワーク(2)をワーク保持
台(17a)が降下し、その途中でワーク(2)をワー
ク保持台(15a)に渡す。続いて第1リニアモータ(
8)の可動子at+が後退移動してそのワーク保持台(
15a)が次の第2リニアモータ(9b)の可動子a3
の上方に位置すると、ワーク昇降台(17b)がワーク
保持台(15a)上のワーク(2)を受取って上昇し、
このあと第1リニアモータ(8)の可動子(It)が再
び前進してそのワーク保持台(15a)がワーク昇降台
(17b)の上方から去るとワーク昇降台(17b)が
降下し、待機する第2リニアモータ(9b)の可動子(
′13の先端部(Ieにワーク(2)を渡す。該第2リ
ニアモータ(9b)の可動子0は該ワーク(2)を前方
の処理室(5)に運び込み、これにスパッタリング等の
処理が施されると再びワーク昇降台(17b)の上方へ
戻る。
(7)を備え、各搬送経路(7)に沿って4本の第2リ
ニアモータ(9a) (9b) (9c) (9d)と
4個のワーク昇降台(17a)(17b)(17c)(
17d)を設けた場合につき説明するに、まずロード室
(3)にワーク(2)が用意されると第2リニアモータ
(9a)の可動子a3が前進してそのフォーク状の先端
部aGでワーク(2)を受取り、第1ワーク搬送経路(
6)との交差部にまで後退する。ここでワーク昇降台(
17a)が上昇して該可動子■の先端部aO上のワーク
(2)を受取り、第1リニアモータ(8)のワーク保持
台(ISlよりも高い位置までワーク(2)を持ち上げ
る。次いで第1リニアモータ(8)の可動子(+1)が
前進移動してそのワーク保持台(t5a)が該ワーク昇
降台(17a)の下方に位置すると、ワーク昇降台(1
7a)が降下し、その途中でワーク(2)をワーク保持
台(17a)が降下し、その途中でワーク(2)をワー
ク保持台(15a)に渡す。続いて第1リニアモータ(
8)の可動子at+が後退移動してそのワーク保持台(
15a)が次の第2リニアモータ(9b)の可動子a3
の上方に位置すると、ワーク昇降台(17b)がワーク
保持台(15a)上のワーク(2)を受取って上昇し、
このあと第1リニアモータ(8)の可動子(It)が再
び前進してそのワーク保持台(15a)がワーク昇降台
(17b)の上方から去るとワーク昇降台(17b)が
降下し、待機する第2リニアモータ(9b)の可動子(
′13の先端部(Ieにワーク(2)を渡す。該第2リ
ニアモータ(9b)の可動子0は該ワーク(2)を前方
の処理室(5)に運び込み、これにスパッタリング等の
処理が施されると再びワーク昇降台(17b)の上方へ
戻る。
次いで該ワーク昇降台(17b)が上昇して該ワーク(
2)が上方へ持ち上げられると、第1リニアモータ(8
)の可動子(Ivが再び前進し、隣りのワーク保持台(
15b)が上昇したワーク昇降台(17b)の下方に位
置したとき該ワーク昇降台(17b)が降下し、その降
下の途中で該ワーク保持台(15b)にワーク(2)を
渡す。このあと第1リニアモータ(8)の可動子a1は
後退移動し、これによりワーク保持台(15b)が隣り
のワーク昇降台(17c)に位置すると、前記と同様の
ワークク2)の受は渡し作動を行ない、更に該ワーク(
2)が次のワーク保持台(15c)に載せられて最後の
ワーク昇降台(17d)上に位置するとロード室(3)
に於けるときと逆の順序で各リニアモータ(8H9d)
及びワーク昇降台(17d)が作動し、アンロード室(
4)に処理済みのワーク(2)が取り出される。
2)が上方へ持ち上げられると、第1リニアモータ(8
)の可動子(Ivが再び前進し、隣りのワーク保持台(
15b)が上昇したワーク昇降台(17b)の下方に位
置したとき該ワーク昇降台(17b)が降下し、その降
下の途中で該ワーク保持台(15b)にワーク(2)を
渡す。このあと第1リニアモータ(8)の可動子a1は
後退移動し、これによりワーク保持台(15b)が隣り
のワーク昇降台(17c)に位置すると、前記と同様の
ワークク2)の受は渡し作動を行ない、更に該ワーク(
2)が次のワーク保持台(15c)に載せられて最後の
ワーク昇降台(17d)上に位置するとロード室(3)
に於けるときと逆の順序で各リニアモータ(8H9d)
及びワーク昇降台(17d)が作動し、アンロード室(
4)に処理済みのワーク(2)が取り出される。
(発明の効果)
以上のように本発明に於いては、真空中で交差する第1
ワーク搬送経路と第2ワーク搬送経路とに沿って互いに
可動子が交差する第1リニアモータと第2リニアモータ
を設け、直線的に長い第1ワーク搬送経路に設けられた
第1リニアモータを、間隔を存して配置した複数の固定
子とこれら固定子により同時に磁気浮上される一本の可
動子とで構成するようにしたので、ワーク搬送経路の交
差部に於ける固定子の配置が簡単になり、多くの固定子
を設けることなくリニアモータで搬送経路を構成出来、
摺動部分が少ないので真空中へのダストの発生も少なく
なる等の効果がある。
ワーク搬送経路と第2ワーク搬送経路とに沿って互いに
可動子が交差する第1リニアモータと第2リニアモータ
を設け、直線的に長い第1ワーク搬送経路に設けられた
第1リニアモータを、間隔を存して配置した複数の固定
子とこれら固定子により同時に磁気浮上される一本の可
動子とで構成するようにしたので、ワーク搬送経路の交
差部に於ける固定子の配置が簡単になり、多くの固定子
を設けることなくリニアモータで搬送経路を構成出来、
摺動部分が少ないので真空中へのダストの発生も少なく
なる等の効果がある。
第1図は本発明の実施例の平面線図、第2図は第1図の
■−■線部分の拡大断面図、第3図は第1及び第2リニ
アモータの可動子の交差部の拡大平面図である。 (1)・・・真空室 (2)・・・ワーク (6)・・・第1ワーク搬送経路 (7)・・・第2ワーク搬送経路 (8)・・・第1リニアモータ (9) (9a) (9b) (9c) (9d) ・
=第2リニアモータ(100・・・固定子 (11) G3・・・可動子 (+41・・・間隔 QS (15a)(15b)(15c)−ワーク保持台
(IG・・・先端部
■−■線部分の拡大断面図、第3図は第1及び第2リニ
アモータの可動子の交差部の拡大平面図である。 (1)・・・真空室 (2)・・・ワーク (6)・・・第1ワーク搬送経路 (7)・・・第2ワーク搬送経路 (8)・・・第1リニアモータ (9) (9a) (9b) (9c) (9d) ・
=第2リニアモータ(100・・・固定子 (11) G3・・・可動子 (+41・・・間隔 QS (15a)(15b)(15c)−ワーク保持台
(IG・・・先端部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、真空中を直線的な長い第1ワーク搬送経路と、これ
に交差する直線的な第2ワーク搬送経路に沿ってワーク
を搬送するものに於いて、第1ワーク搬送経路に沿って
間隔を存して配置した複数個のリニアモータの固定子と
、これらの固定子により同時に磁気浮上されて往復動す
る1個のリニアモータの可動子とで構成した第1リニア
モータと、前記第2ワーク搬送経路上に設けたリニアモ
ータの固定子により磁気浮上され且つ前記第1リニアモ
ータの可動子の上方へ出没移動されるリニアモータの可
動子を備えた第2リニアモータとを設備したことを特徴
とする真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置。 2、前記第1ワーク搬送経路に交差する前記第2ワーク
搬送経路を複数本とし、各第2ワーク搬送経路上に夫々
第2リニアモータを設備するようにしたものに於いて、
第1ワーク搬送経路に沿って設けた前記第1リニアモー
タを第2ワーク搬送経路間の距離だけ往復動させること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の真空中に於け
る磁気浮上式交差搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25469487A JP2701031B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25469487A JP2701031B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0199404A true JPH0199404A (ja) | 1989-04-18 |
JP2701031B2 JP2701031B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=17268562
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25469487A Expired - Fee Related JP2701031B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2701031B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0472926U (ja) * | 1990-11-05 | 1992-06-26 | ||
JPH05105232A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-04-27 | Ebara Corp | 搬送台退避機構 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61150918A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-09 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
JPS6251235A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-05 | Canon Inc | ウェハ処理装置 |
-
1987
- 1987-10-12 JP JP25469487A patent/JP2701031B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61150918A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-09 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
JPS6251235A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-05 | Canon Inc | ウェハ処理装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0472926U (ja) * | 1990-11-05 | 1992-06-26 | ||
JPH05105232A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-04-27 | Ebara Corp | 搬送台退避機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2701031B2 (ja) | 1998-01-21 |
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