JPH0199404A

JPH0199404A - 真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置

Info

Publication number: JPH0199404A
Application number: JP62254694A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Moriyama; 一郎盛山; Hiroyuki Yamakawa; 洋幸山川; Hisaharu Obinata; 小日向　久治
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1987-10-12
Filing date: 1987-10-12
Publication date: 1989-04-18
Anticipated expiration: 2013-01-21
Also published as: JP2701031B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、真空中に於いてシリコンウェハ等のワークに
スパッタリング等の処理を施すべく交差方向にワークを
搬送する磁気浮上式の搬送装置に関する。

（従来の技術）従来、真空中でワークを一方向とこれに交差する方向と
に順次搬送し、該ワークにエツチング、スパッタリング
等の処理を順次施すことが行なわれており、その搬送手
段として、ベルト搬送装置やマグネットカップリング式
直線導入装置、ベロー式直線マニピュレータ装置等を組
合せたものが知られている。しかし乍らこれらの装置は
いずれも摺動部分を有するためダスト粒子の発生が多く
、ワークを汚染し勝ちである。

（発明が解決しようとする問題点）搬送装置として磁気浮上式のリニアモータを使用すれば
非接触式の搬送を行なえ、ダストの発生を少なくするこ
とが出来るが、リニアモータはワークの搬送経路に沿っ
て浮上用の固定子を配置しなければならず、ワークの搬
送経路が交差する個所での固定子の配置が困難で交差部
に於ける可動子の走行制御が容易でない。

本発明は真空中でリニアモータによりワークを交差した
搬送経路で搬送する場合の前記問題点を解決することを
目的もする。

（問題点を解決するための手段）本発明では、真空中を直線的な長い第１ワーク搬送経路
と、これに交差する直線的な第２ワーク搬送経路に沿っ
てワークを搬送するものに於いて、第１ワーク搬送経路
に沿って間隔を存して配置した複数個のリニアモータの
固定子と、これらの固定子により同時に磁気浮上されて
往復動する１個のリニアモータの可動子とで構成した第
１リニアモータと、前記第２ワーク搬送経路上に設けた
リニアモータの固定子により磁気浮上され且つ前記第１
リニアモータの可動子の上方へ出没移動されるリニアモ
ータの可動子を備えた第２リニアモータとを設備するこ
とにより前記問題点を解決するようにした。

（作　用）ワークは第１、第２リニアモータの可動子に載せられて
搬送され、例えば第１リニアモータの磁気浮上した可動
子上にワークが載置されると、複数個の固定子により走
行制御されて第１ワーク搬送経路に沿い該可動子がワー
クを第２ワーク搬送経路と交差する゛位置にまで搬送す
る。

ワークがこの交差部に到着すると例えば交差部に設けた
ワーク昇降台により第２リニアモータの可動子上に移し
変えられ、該第２リニアモータの固定子により走行制御
されてその可動子が第２ワーク搬送経路に沿ってワーク
を搬送する。

この場合、第１、第２ワーク搬送経路の交差部では第１
、第２リニアモータの各可動子が上下に交差し、ワーク
を上下にわずかに移動する手段で各可動子間の移し変え
することが出来、二〇手段により発生するダストは少な
く、真空中をクリーンに保持することが出来る。

また長い直線的な第１ワーク搬送経路に設けられる第１
リニアモータは間隔を存して配置した複数個の固定子と
これにより磁気浮上される１個の可動子とで構成され、
該可動子を往復動させることによりワークを搬送するの
で多くの固定子を配置する必要がなく、リニアモータの
構造が簡単になる。

更に、第２ワーク搬送経路が第１ワーク搬送経路に交差
して複数本設けられ、各第２ワーク搬送経路に夫々第２
リニアモータが設けられるときは、第１リニアモー・夕
を各第２リニアモータの間隔分だけ往復させてワークの
搬送を行なえ、第１リニアモータの磁気浮上制御が容易
になる。

（実施例）本発明の実施例を図面に基づき説明すると、第１図に於
いて符号（１）は内部を真空ポンプにより真空排気され
た真空室を示し、該真空室（１）には外部ヘシリコンウ
エハ等のワーク（２）を出し入れするためのロード室（
３）とアンロード室（４）及び該ワーク（２）にスパッ
タリング、スパッタエツチング等の処理を施すための幾
つかの処理室（５）　（５）が設けられる。該ワーク（
２）はロード室（３）からアンロード室（４）へ向う直
線的な比較的長い第１ワーク搬送経路（６）と、これに
交差してロード室（３）、アンロード室（４）、各処理
室（５）　（５）へ夫々向かう数本の直線的な第２ワー
ク搬送経路（７）　（７）に沿って搬送され、図示の例
ではロード室（３）のワーク（２）は処理室（５）　（
５）を順次巡ってアンロード室（４）と運ばれる。

（８）は第１ワーク搬送経路（６）に沿ってワーク（２
）を搬送する第１リニアモータ、（９）（９）は第２ワ
ーク搬送経路（７）　（７）に沿ってワークを搬送する
第２リニアモータで、第１リニアモータ（８）は第２図
のような固定子（ｉｏと可動子（ＩＴで構成され、該固
定子ａΦは第１ワーク搬送経路（６）に沿い間隔を存し
て２個設けるようにし、該可動子（１１）は各固定子（
ＩＯの上面及び両側を覆うチャンネル形の断面形状の長
尺体で構成するようにした。また各第２リニアモータ（
９）は固定子（１２１と可動子■で構成され、該可動子
ａ３は第１リニアモータ（８）の可動子（Ｉｔ）の上方
で交差するようにその固定子■により出没される。

尚、図示してはないが、第１リニアモータ（８）の固定
子（＋１）の中には、浮上用コイルと、固定子（ＩＧと
可動子１１ｖの上下方向のギャップを検出して上下のギ
ャップが均一となるように浮上用コイルを制御する上下
方向ギャップセンサとが設けられ、更に可動子を固定子
（ＩＧに沿って往復移動させるための駆動用コイルが設
けられる。また、第２リニアモータも第１リニアモータ
と同じ原理で浮上、駆動される。

ワーク（２）は第１リニアモータ（８）及び第２リニア
モータ（９）の各可動子ａ１）（＋３に交互に載せられ
て搬送されるが、両回動子（Ｉｎ　Ｇ３の交差部の具体
的構成は第２図及び第３図示の如くであり、第１リニア
モータ（８）の可動子（Ｉｖの上面にこれと間隔（ＩＯ
を有する片持ち形でフォーク状のワーク保持台（＋５１
を設け、該間隔（ＩＯをその側方から第２リニアモータ
（９）の可動子０のフォーク状に分岐した先端部ａｅと
、該ワーク保持台（′ｌｓｌ及び該先端部１１Ｇのフォ
ークに衝突しないようなフォーク状のワーク昇降台（＋
７）とを介入し得る程度の長さとし、該ワーク昇降台（
１７）は両回動子ａｉ＋　（＋３の交差部の側方に真空
室（１）の外部から導入した上下動するピストン杆から
なる昇降駆動装置（１８１により該ワーク保持台（′ｌ
Ｓの上方の位置まで昇降されるようにした。尚、実施例
では３個のワーク保持台（１５ａ）（１５ｂ）（１５ｃ
）を等間隔で可動子ａｖ上に設けるようにした。

その作動を第１図示のような４本の第２ワーク搬送経路
（７）を備え、各搬送経路（７）に沿って４本の第２リ
ニアモータ（９ａ）　（９ｂ）　（９ｃ）　（９ｄ）と
４個のワーク昇降台（１７ａ）（１７ｂ）（１７ｃ）（
１７ｄ）を設けた場合につき説明するに、まずロード室
（３）にワーク（２）が用意されると第２リニアモータ
（９ａ）の可動子ａ３が前進してそのフォーク状の先端
部ａＧでワーク（２）を受取り、第１ワーク搬送経路（
６）との交差部にまで後退する。ここでワーク昇降台（
１７ａ）が上昇して該可動子■の先端部ａＯ上のワーク
（２）を受取り、第１リニアモータ（８）のワーク保持
台（ＩＳｌよりも高い位置までワーク（２）を持ち上げ
る。次いで第１リニアモータ（８）の可動子（＋１）が
前進移動してそのワーク保持台（ｔ５ａ）が該ワーク昇
降台（１７ａ）の下方に位置すると、ワーク昇降台（１
７ａ）が降下し、その途中でワーク（２）をワーク保持
台（１７ａ）が降下し、その途中でワーク（２）をワー
ク保持台（１５ａ）に渡す。続いて第１リニアモータ（
８）の可動子ａｔ＋が後退移動してそのワーク保持台（
１５ａ）が次の第２リニアモータ（９ｂ）の可動子ａ３
の上方に位置すると、ワーク昇降台（１７ｂ）がワーク
保持台（１５ａ）上のワーク（２）を受取って上昇し、
このあと第１リニアモータ（８）の可動子（Ｉｔ）が再
び前進してそのワーク保持台（１５ａ）がワーク昇降台
（１７ｂ）の上方から去るとワーク昇降台（１７ｂ）が
降下し、待機する第２リニアモータ（９ｂ）の可動子（
′１３の先端部（Ｉｅにワーク（２）を渡す。該第２リ
ニアモータ（９ｂ）の可動子０は該ワーク（２）を前方
の処理室（５）に運び込み、これにスパッタリング等の
処理が施されると再びワーク昇降台（１７ｂ）の上方へ
戻る。

次いで該ワーク昇降台（１７ｂ）が上昇して該ワーク（
２）が上方へ持ち上げられると、第１リニアモータ（８
）の可動子（Ｉｖが再び前進し、隣りのワーク保持台（
１５ｂ）が上昇したワーク昇降台（１７ｂ）の下方に位
置したとき該ワーク昇降台（１７ｂ）が降下し、その降
下の途中で該ワーク保持台（１５ｂ）にワーク（２）を
渡す。このあと第１リニアモータ（８）の可動子ａ１は
後退移動し、これによりワーク保持台（１５ｂ）が隣り
のワーク昇降台（１７ｃ）に位置すると、前記と同様の
ワークク２）の受は渡し作動を行ない、更に該ワーク（
２）が次のワーク保持台（１５ｃ）に載せられて最後の
ワーク昇降台（１７ｄ）上に位置するとロード室（３）
に於けるときと逆の順序で各リニアモータ（８Ｈ９ｄ）
及びワーク昇降台（１７ｄ）が作動し、アンロード室（
４）に処理済みのワーク（２）が取り出される。

（発明の効果）以上のように本発明に於いては、真空中で交差する第１
ワーク搬送経路と第２ワーク搬送経路とに沿って互いに
可動子が交差する第１リニアモータと第２リニアモータ
を設け、直線的に長い第１ワーク搬送経路に設けられた
第１リニアモータを、間隔を存して配置した複数の固定
子とこれら固定子により同時に磁気浮上される一本の可
動子とで構成するようにしたので、ワーク搬送経路の交
差部に於ける固定子の配置が簡単になり、多くの固定子
を設けることなくリニアモータで搬送経路を構成出来、
摺動部分が少ないので真空中へのダストの発生も少なく
なる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の平面線図、第２図は第１図の
■−■線部分の拡大断面図、第３図は第１及び第２リニ
アモータの可動子の交差部の拡大平面図である。（１）・・・真空室（２）・・・ワーク（６）・・・第１ワーク搬送経路（７）・・・第２ワーク搬送経路（８）・・・第１リニアモータ（９）　（９ａ）　（９ｂ）　（９ｃ）　（９ｄ）　・
＝第２リニアモータ（１００・・・固定子（１１）　Ｇ３・・・可動子（＋４１・・・間隔ＱＳ　（１５ａ）（１５ｂ）（１５ｃ）−ワーク保持台
（ＩＧ・・・先端部

Claims

【特許請求の範囲】１、真空中を直線的な長い第１ワーク搬送経路と、これ
に交差する直線的な第２ワーク搬送経路に沿ってワーク
を搬送するものに於いて、第１ワーク搬送経路に沿って
間隔を存して配置した複数個のリニアモータの固定子と
、これらの固定子により同時に磁気浮上されて往復動す
る１個のリニアモータの可動子とで構成した第１リニア
モータと、前記第２ワーク搬送経路上に設けたリニアモ
ータの固定子により磁気浮上され且つ前記第１リニアモ
ータの可動子の上方へ出没移動されるリニアモータの可
動子を備えた第２リニアモータとを設備したことを特徴
とする真空中に於ける磁気浮上式交差搬送装置。２、前記第１ワーク搬送経路に交差する前記第２ワーク
搬送経路を複数本とし、各第２ワーク搬送経路上に夫々
第２リニアモータを設備するようにしたものに於いて、
第１ワーク搬送経路に沿って設けた前記第１リニアモー
タを第２ワーク搬送経路間の距離だけ往復動させること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の真空中に於け
る磁気浮上式交差搬送装置。