KR20200129296A - 자동 반송장치 및 이를 이용한 반도체 장치 제조 시스템 - Google Patents

자동 반송장치 및 이를 이용한 반도체 장치 제조 시스템 Download PDF

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Abstract

본 기술의 일 실시예에 의한 자동 반송장치는 승강 레일을 따라 승강하도록 승강 레일의 일측에 결합되는 제 1 승강 장치, 제 1 승강 장치에 결합되는 제 1 캐리지 및 제 1 캐리지 저면에 설치되고 제 1 이송 레일을 따라 제 1 캐리지 내로 반입되는 카세트가 안착되는 적어도 하나의 제 1 모듈형 컨베이어를 포함하도록 구성될 수 있다.

Description

자동 반송장치 및 이를 이용한 반도체 장치 제조 시스템 {Apparatus for Automatic Material Handling and System for Fabrication of Semiconductor Product Using the Same}
본 기술은 반도체 장치 제조 기술에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 자동 반송장치 및 이를 이용한 반도체 장치 제조 시스템에 관한 것이다.
반도체 장치는 반도체 웨이퍼를 대상으로 여러 단위 공정들을 수행하여 웨이퍼 상에 전기 소자들을 포함하는 전기적인 회로를 형성함으로써 제조된다.
반도체 제조 설비는 복수의 웨이퍼가 탑재된 카세트(예를 들어, FOUP: Front Opening Unified Pod)를 보관하는 스토커와, 웨이퍼에 대해 단위공정이 이루어지는 단위 공정장치 사이에서 자동 반송장치에 의해 카세트가 이송되도록 형성되어 있다.
자동 반송장치는 기 설정된 제어 프로그램에 따라 무인 작업공간에서 스토커와 단위 공정장치 사이에서 복수개의 카세트를 순차적으로 이동시킬 수 있다.
현재의 자동 반송장치는 하나 또는 두 개의 카세트만을 이송하도록 구성되어 있어 카세트 반송에 긴 시간이 소요되고, 이는 제조 시간과 공정 단가를 상승시키는 요인이 될 수 있다.
본 기술의 실시예는 동시에 이송 가능한 카세트의 개수를 최대화할 수 있는 자동 반송장치 및 이를 이용한 반도체 장치 제조 시스템을 제공할 수 있다.
본 기술의 일 실시예에 의한 반도체 장치 제조 설비를 위한 자동 반송장치는 승강 레일을 따라 승강하도록 상기 승강 레일의 일측에 결합되는 제 1 승강 장치; 상기 제 1 승강 장치에 결합되는 제 1 캐리지; 및 상기 제 1 캐리지 저면에 설치되고 제 1 이송 레일을 따라 상기 제 1 캐리지 내로 반입되는 카세트가 안착되는 적어도 하나의 제 1 모듈형 컨베이어;를 포함하도록 구성될 수 있다.
본 기술의 일 실시예에 의한 자동 반송장치는 승강 레일의 일측에 결합되는 제 1 승강 장치; 상기 제 1 승강 장치에 결합되고, 제 1 이송 레일을 따라 반입되는 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 1 캐리지; 상기 승강 레일의 타측에 상기 제 1 승강 장치와 대향하도록 결합되는 제 2 승강장치; 및 상기 제 2 승강 장치에 결합되고, 제 3 이송 레일을 따라 반입되는 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 2 캐리지;를 포함하도록 구성될 수 있다.
본 기술의 일 실시예에 의한 반도체 장치 제조 시스템은 복수의 웨이퍼가 탑재되는 카세트를 보관하는 스토커; 상기 웨이퍼에 대한 단위공정을 수행하는 복수의 단위공정장치; 및 상기 자동 반송장치 간에 상기 카세트를 이송하는 자동 반송장치;를 포함하고, 상기 자동 반송장치는, 승강 레일을 따라 승강하도록 상기 승강 레일의 일측에 결합되는 제 1 승강 장치; 상기 제 1 승강 장치에 결합되는 제 1 캐리지; 상기 승강 레일의 타측에 상기 제 1 승강 장치와 대향하도록 결합되는 제 2 승강장치; 및 상기 제 2 승강 장치에 결합되고, 제 3 이송 레일을 따라 반입되는 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 2 캐리지;를 포함하도록 구성될 수 있다.
본 기술에 의하면 반도체 장치 제조에 사용되는 자재의 이송 효율 및 안정성을 극대화할 수 있어 제조 수율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 일 실시예에 의한 반도체 장치 제조 설비의 구성도이다.
도 2는 일 실시예에 의한 자동 반송장치의 구성도이다.
도 3은 일 실시예에 의한 자동 반송장치의 구성도이다.
도 4는 일 실시예에 의한 자동 반송장치의 구성도이다.
도 5는 일 실시예에 의한 자동 반송장치의 구성도이다.
도 6a 내지 도 6e는 일 실시예에 의한 반송 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 7a 내지 도 7d는 일 실시예에 의한 반송 과정을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 기술의 실시예를 보다 구체적으로 설명한다.
도 1은 일 실시예에 의한 반도체 장치 제조 설비의 구성도이다.
반도체 제조 설비(10)는 복수의 웨이퍼가 탑재되는 카세트를 보관하는 스토커(110)와, 웨이퍼에 대한 단위공정을 수행하는 복수의 단위공정장치(120-1~120-n)와, 카세트를 이동시키는 자동 반송장치(130)를 포함할 수 있다. 자동 반송장치(130)는 이송 레일(140)을 따라 복수의 단위공정장치(120-1~12-n) 간을 이동하면서 카세트를 운반할 수 있다.
자동 반송장치(130)의 동작은 미도시한 제어부에 의해 제어될 수 있다. 제어부는 자동 반송장치(130)가 스토커(110)의 카세트를 단위공정장치(120-1~120-n)로 이송하도록 제어하는 제어신호를 생성할 수 있다.
단위공정장치(120-1~120-n)는 카세트에 수용된 웨이퍼를 제공받아 기 설정된 반도체 제조공정 순서에 따라 다양한 종류의 가공/처리를 순차적으로 수행하는 장치이다.
자동 반송장치(130)는 이송 레일(140)을 따라 이동하는 것으로, 스토커(110)와 단위공정장치(120-1~120-n) 사이에서 카세트를 이동시키는 역할을 수행할 수 있다.
일 실시예에서, 자동 반송장치(130)는 이송 레일(140)을 따라 카세트를 수평 이동시킬 수 있다. 나아가, 자동 반송장치(130)는 승강 시스템을 통해 카세트를 수직 이동시킬 수 있다. 일 실시예에서, 자동 반송장치(130)는 동일 층에 설치된 단위공정장치(120-1~120-n) 간에 카세트를 수평 이동시키거나, 상이한 층에 설치된 단위공정장치(120-1~120-n) 간에 카세트를 수직 이동시킬 수 있다.
도 2는 일 실시예에 의한 자동 반송장치의 구성도이다.
도 2를 참조하면, 일 실시예에 의한 자동 반송장치(20)는 카세트(100)가 안착되는 안착 공간(210)이 구비되는 제 1 캐리지(220) 및, 제 1 캐리지(220)와 결합되어 승강 레일(240)을 따라 승강하는 제 1 승강 장치(230)를 포함할 수 있다.
제 1 승강 장치(230)는 승강 레일(240)을 따라 상승 또는 하강하도록 승강 레일(240)의 일측에 결합될 수 있다.
제 1 캐리지(220)는 제 1 승강 장치(230)에 결합되어 제 1 승강 장치(230)와 함께 승강 레일(240)을 따라 승강할 수 있다.
제 1 캐리지(220)의 저면에는 제 1 이송 레일(251)을 따라 제 1 캐리지(220)의 안착 공간(210)으로 반입되는 카세트(100)가 안착되는 적어도 하나의 제 1 모듈형 컨베이어(211)가 구비될 수 있다. 제 1 모듈형 컨베이어(211)는 좌우로 수평하게 배치되는 한 쌍의 모듈형 컨베이어를 포함할 수 있다.
제 1 이송 레일(251)을 따라 제 1 캐리지(220)의 일측으로 유입되는 카세트(100)는 안착 공간(210)을 경유하여 제 1 캐리지(220) 타측의 제 1 이송 레일(251)을 따라 수평 이동할 수 있다. 일 실시예에서, 카세트(100)는 안착 공간(210)에 수납된 상태로 제 1 승강 장치(230)와 함께 상층(Upper floor)또는 하층(Lower floor)으로 수직 이동할 수 있다.
일 실시예에서, 안착 공간(210) 내에는 카세트(100)가 복층 구조로 수납될 수 있다. 이를 위해, 자동 반송장치(20)는 안착 공간(210) 내에서 제 1 모듈형 컨베이어(211)의 수직 상측에 배치되고 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 2 모듈형 컨베이어(213)를 더 포함할 수 있다. 제 2 모듈형 컨베이어(213)는 좌우로 수평하게 배치되는 한 쌍의 모듈형 컨베이어를 포함할 수 있다.
제 2 모듈형 컨베이어(213)는 제 1 이송 레일(251)의 수직 상측에 설치되는 제 2 이송 레일(253)을 따라 이송되는 카세트100)를 전달받도록 구성될 수 있다.
이러한 자동 반송장치(20)를 통해, 안착 공간(210) 내에 복층으로 설치된 제 1 및 제 2 모듈형 컨베이어(211, 213) 상에 복수의 카세트(100)를 안착시키고 복수의 카세트(100)를 동시에 층간 이동시킬 수 있다.
일 실시예에서, 자동 반송장치(20)는 승강레일(240)의 타측에 결합되는 제 2 승강 장치 및, 제 2 승강 장치에 결합되고 복수의 카세트(100)가 수납되는 안착 공간이 마련된 제 2 캐리지를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 카세트(100)는 OHT(Overhead Hoist Transport, 160)를 통해 제 1 또는 제 2 이송 레일(251, 253)로 제공된 후 제 1 캐리지(220) 내에 안착될 수 있다.
OHT(160)는 천장(Ceiling)에 설치된 레일(150)을 따라 카세트에 보관된 웨이퍼를 운반하는 장치이다.
도 3은 일 실시예에 의한 자동 반송장치의 구성도이다.
도 3에 도시한 자동 반송장치(20-1)는 제 1 이송 레일(251) 상측에 제 2 이송 레일(253)이 설치되지 않거나 설치할 수 없는 경우, 안착 공간(210, 211) 내에 카세트를 복층 구조로 수납하기 위하여 제 1 전달부(260)를 더 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 일 실시예에 의한 자동 반송장치(20-1)는 제 1 이송 레일(251)과 안착 공간(210) 사이에 설치되어 카세트(100)를 수직 및 수평 이동시키는 제 1 전달부(260)를 더 포함할 수 있다.
제 1 전달부(260)는 제 1 모듈형 컨베이어(211) 및 상기 제 2 모듈형 컨베이어(213)의 적어도 일측에 설치되는 리프트(265), 리프트(265)를 따라 승강하도록 구성되는 제 3 모듈형 컨베이어(261) 및 리프트(265)를 따라 승강하도록 구성되고 제 3 모듈형 컨베이어(261)의 수직 상측에 설치되는 제 4 모듈형 컨베이어(263)를 포함할 수 있다.
리프트(265)의 상승시 제 3 모듈형 컨베이어(261)는 제 1 모듈형 컨베이어(211)와 동일 수평면에 위치하고, 제 4 모듈형 컨베이어(263)는 제 2 모듈형 컨베이어(213)와 동일 수평면에 위치할 수 있다. 리프트(265)의 하강시 제 4 모듈형 컨베이어(263)는 제 1 모듈형 컨베이어(211)와 동일 수평면에 위치할 수 있다. 따라서, 리프트(265)가 하강한 상태에서, 제 1 이송 레일(251) 또는 제 1 모듈형 컨베이어(211)로부터 제 4 모듈형 컨베이어(263)로 카세트(100)가 전달될 수 있다. 그리고, 리프트(265)가 상승하면, 제 4 모듈형 컨베이어(263)에 안착된 카세트(100)가 제 2 모듈형 컨베이어(213)로 전달될 수 있다. 제 4 모듈형 컨베이어(263)가 비어 있는 상태로 리프트(265)가 상승하여, 제 2 모듈형 컨베이어(213)로부터 제 4 모듈형 컨베이어(263)로 카세트(100)가 전달될 수 있고, 리프트(265)가 하강하면 제 4 모듈형 컨베이어(263)에 안착된 카세트(100)는 제 1 이송 레일(251)을 따라 이송될 수 있다.
도 4는 일 실시예에 의한 자동 반송장치의 구성도이다.
도 4를 참조하면, 일 실시예에 의한 자동 반송장치(20-2)는 안착 공간(210)의 일측과 제 1 이송 레일(251) 사이에 설치되어 카세트(100)를 수직 및 수평 이동시키는 제 1 전달부(260), 안착 공간(210)의 타측과 제 1 이송 레일(251) 사이에 설치되어 카세트(100)를 수직 및 수평 이동시키는 제 2 전달부(270)를 더 포함할 수 있다.
제 2 전달부(270)는 리프트(275), 리프트(275)를 따라 승강하도록 구성되는 제 7 모듈형 컨베이어(271) 및 리프트(275)를 따라 승강하도록 구성되고 제 7 모듈형 컨베이어(271)의 수직 상측에 설치되는 제 8 모듈형 컨베이어(273)를 포함할 수 있다.
제 2 전달부(270)의 구성 및 작용은 제 1 전달부(260)와 유사하므로 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 5는 일 실시예에 의한 자동 반송장치의 구성도이다.
도 5를 참조하면, 일 실시예에 의한 자동 반송장치(20-3)는 승강 레일(240)의 일측(전면)에 결합되는 제 1 승장장치(230), 제 1 승강장치(230)에 결합되는 제 1 캐리지(220), 제 1 캐리지(220)의 저면에 설치되는 복수의 제 1 모듈형 컨베이어(211FA, 211FB), 승강 레일(240)의 타측(후면)에 제 1 승강장치(230)와 대향하도록 결합되는 제 2 승장장치(231), 제 2 승강장치(231)에 결합되는 제 2 캐리지(221), 제 2 캐리지(221)의 저면에 설치되는 복수의 제 5 모듈형 컨베이어(211BA, 211BB)를 포함할 수 있다.
승강 레일(240)의 후면에 설치되는 제 2 캐리지(221) 및 제 2 승강 장치(231)의 구성은 제 1 캐리지(220) 및 제 1 승강 장치(230)의 구성과 동일할 수 있다.
제 1 캐리지(220)는 안착 공간(210) 내에서 카세트(100)가 복층으로 수납될 수 있도록 제 1 모듈형 컨베이어(211FA, 211FB)의 수직 상측에 배치되고 적어도 하나의 카세트(100)가 안착되는 제 2 모듈형 컨베이어(213)를 더 포함할 수 있다.
제 2 캐리지(221)는 안착 공간(211) 내에서 카세트(100)가 복층으로 수납될 수 있도록 제 5 모듈형 컨베이어(211BA, 211BB)의 수직 상측에 배치되고 적어도 하나의 카세트(100)가 안착되는 제 6 모듈형 컨베이어(미도시)를 더 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제 6 모듈형 컨베이어는 제 3 이송 레일의 수직 상측에 설치되는 제 4 이송 레일을 따라 이송되는 카세트를 전달받도록 구성될 수 있다.
제 1 모듈형 컨베이어(211FA, 211FB)에는 제 1 전면 이송 레일(251F)을 따라 전달되는 복수의 카세트(100)가 안착될 수 있다. 제 5 모듈형 컨베이어(211BA, 211BB)에는 제 1 후면 이송 레일(251B)을 따라 전달되는 복수의 카세트(100)가 안착될 수 있다. 카세트(100)는 제 1 전면 이송 레일(251A) 및 제 1 후면 이송 레일(251B)을 따라 수평 이송되거나, 캐리지(220, 221)에 수납되어 승강 장치(230, 231)를 따라 수직 이송될 수 있다.
도 5에 도시한 자동 반송장치(20-3)에 의하면 승강 레일(240)의 전면에 설치된 제 1 캐리지(220)에 4개의 카세트(100)를 수용하고, 승강 레일(240)의 후면에 설치된 제 2 캐리지(221)에 4개의 카세트(100)를 수용할 수 있다. 따라서, 자동 반송장치(20)가 1회의 승강 동작으로 동시에 8개의 카세트(100)를 층간 이동시킬 수 있다.
도시하지 않았지만, 제 5 모듈형 컨베이어(221) 및 제 6 모듈형 컨베이어의 적어도 일측에 전달부가 더 구비될 수 있다. 전달부는 도 3 및 도 4에 도시한 전달부(260, 270)와 유사한 구성을 가질 수 있으므로 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
복층으로 이루어지는 제조 라인의 천장을 관통하도록 설치된 개구부에 승강 레일(240)을 설치하고, 승강 레일(240)의 전면과 후면 각각에서 복층으로 카세트를 탑재하고 수직 이송시킴에 따라 카세트 이송 속도 및 효율을 극대화할 수 있다.
또한, 본 기술에서는 캐리지 내의 카세트 탑재부가 모듈형 컨베이어로 구성될 수 있다. 모듈형 컨베이어는 기 설정된 단위로 독립적인 제어가 가능한 컨베이어를 의미한다.
도 6a 내지 도 6e는 일 실시예에 의한 반송 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 내지 도 6e를 참조하여, 제 2 전달부(270)를 구비한 자동 반송장치(20-2)의 카세트(100) 반송 과정을 설명하면 다음과 같다.
도 6a를 참조하면, 리프트(275)가 하강하면 제 8 모듈형 컨베이어(273)와 제 1 모듈형 컨베이어(211LA, 211LB)가 동일 수평면에 위치할 수 있다. 이 상태에서, 이송 레일(251)을 구동하면 이송 레일(251) 상에 탑재된 카세트(101, 102)가 제 2 전달부(270) 측으로 이송될 수 있다.
도 6b를 참조하면, 이송 레일(251)의 구동에 따라 제 8 모듈형 컨베이어(273) 상에 카세트(101)가 안착될 수 있다.
이후, 도 6c와 같이 리프트(275)가 상승시킴과 함께 이송 레일(251)을 구동할 수 있다. 그러면 제 8 모듈형 컨베이어(273)와 제 2 모듈형 컨베이어(213UA, 231UB)가 동일 수평면에 위치하고, 제 7 모듈형 컨베이어(271)와 제 1 모듈형 컨베이어(211LA, 211LB)가 동일 수평면에 위치할 수 있다. 그리고 카세트(102)는 제 2 전달부(270) 측으로 이송될 수 있다.
도 6d를 참조하면, 이송 레일(251)이 계속 구동되어 카세트(102)가 제 7 모듈형 컨베이어(271) 상에 탑재될 수 있다.
도 6e를 참조하면, 제 7 및 제 8 모듈형 컨베이어(271, 273)가 구동되어 카세트(102)가 우측 제 1 모듈형 컨베이어(211LB) 상으로 이송되는 한편, 카세트(101)가 우측 제 2 모듈형 컨베이어(213UB) 상으로 이송될 수 있다. 즉, 카세트(101, 102)가 캐리지(220) 내에 안착될 수 있고, 후속하여 이송되는 카세트(103)가 동일한 방식에 의해 캐리지(220) 내에 안착될 수 있다.
도 7a 내지 도 7d는 일 실시예에 의한 반송 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 7a 내지 도 7d는 제 1 전달부(260) 및 제 2 전달부(270)를 이용한 카세트 반송 과정을 설명하기 위한 도면이다.
예를 들어 도 6a 내지 도 6e에 도시한 것과 같이 제 2 전달부(270)에 의해 제 1 및 제 2 모듈형 컨베이어(211LA/211LB, 213UA/213UB) 상에 카세트를 탑재(로딩)하여 이송한 후, 이송된 카세트를 제 1 전달부(260)에 의해 캐리지(220)로부터 언로딩하는 과정을 설명한다.
도 7a를 참조하면, 캐리지(210)의 제 1 모듈형 컨베이어(211LA, 211LB) 및 제 2 모듈형 컨베이어(213UA, 213UB)에 각각 카세트(104, 105, 107, 108)가 안착되어 있고, 카세트가 탑재되지 않은 제 1 전달부(260) 및 카세트(106, 109)가 탑재된 제 2 전달부(270)의 리프트(265)를 상승시킨 상태에서, 좌측 제 1 및 제 2 모듈형 컨베이어(211LA, 213UA)를 구동한다.
이에 따라 도 7b에 도시한 것과 같이, 카세트(104, 107)가 각각 제 3 모듈형 컨베이어(261) 및 제 4 모듈형 컨베이어(263)로 전달될 수 있다.
이어서 도 7c에 도시한 것과 같이 제 3 모듈형 컨베이어(261), 우측 제 1 및 제 2 모듈형 컨베이어(211LB, 213UB)를 구동하여, 카세트(104)를 이송 레일(251) 상으로 전달하는 한편, 카세트(105, 108)를 좌측 제 1 및 제 2 모듈형 컨베이어(211LA, 213UA)상으로 이동시킨다.
도 7d에 도시한 것과 같이, 리프트(265)를 하강시키는 한편, 제 2 전달부(270)의 제 7 및 제 8 모듈형 컨베이어(271, 273)를 구동하여 카세트(106, 109)를 우측 제 1 및 제 2 모듈형 컨베이어(211LB, 213UB) 상으로 이동시킨다.
이에 따라, 제 1 캐리지(220)를 통해 이송된 카세트(104, 107)는 제 1 캐리지(220)로부터 언로딩되고 제 1 이송 레일(251)을 따라 단위 공정장치로 이송될 수 있다. 아울러, 제 2 전달부(270)를 통해 전달된 카세트(106, 109)는 제 1 캐리지(220)에 안착되어 다른 층으로 수직 이송될 수 있다.
본 기술에서는 카세트 안착부가 모듈형 컨베이어로 구성됨에 따라, 이웃하는 모듈형 컨베이어 상에 탑재된 카세트를 동시에 이송할 수 있다. 즉, 이송 레일의 이송 방향을 따라 선행하는 버퍼(모듈형 컨베이어)가 비어 있지 않은 상태에서도 속 버퍼에 탑재된 카세트를 이송할 수 있으므로, 카세트 이송 속도를 향상시킬 수 있다.
또한, 카세트의 저면을 지지한 상태로 수평 및 수직 이송할 수 있어 이송 중의 안정성을 확보할 수 있다.
이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 반도체 제조 설비
110 : 스토커
120-1~120-n : 단위공정장치
130, 20, 20-1, 20-2, 20-3 : 자동 반송장치
140 : 이송 레일
210 : 안착 공간
211, 213 : 모듈형 컨베이어
220 : 캐리지
230 : 승강 장치
240 : 승강 레일
251, 253 : 이송 레일

Claims (22)

  1. 승강 레일을 따라 승강하도록 상기 승강 레일의 일측에 결합되는 제 1 승강 장치;
    상기 제 1 승강 장치에 결합되는 제 1 캐리지; 및
    상기 제 1 캐리지 저면에 설치되고 제 1 이송 레일을 따라 상기 제 1 캐리지 내로 반입되는 카세트가 안착되는 적어도 하나의 제 1 모듈형 컨베이어;
    를 포함하도록 구성되는 자동 반송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 배치되고 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 2 모듈형 컨베이어를 더 포함하도록 구성되는 자동 반송장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 모듈형 컨베이어는, 상기 제 1 이송 레일의 수직 상측에 설치되는 제 2 이송 레일을 따라 이송되는 카세트를 전달받도록 구성되는 자동 반송장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 모듈형 컨베이어 및 상기 제 2 모듈형 컨베이어의 적어도 일측에 설치되는 리프트;
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되는 제 3 모듈형 컨베이어; 및
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되고 상기 제 3 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 설치되는 제 4 모듈형 컨베이어;
    를 더 포함하도록 구성되는 자동 반송장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 리프트의 상승시 상기 제 3 모듈형 컨베이어는 상기 제 1 모듈형 컨베이어와 동일 수평면에 위치하고, 상기 제 4 모듈형 컨베이어는 상기 제 2 모듈형 컨베이어와 동일 수평면에 위치하며,
    상기 리프트의 하강시 상기 제 4 모듈형 컨베이어는 상기 제 1 모듈형 컨베이어와 동일 수평면에 위치하도록 구성되는 자동 반송장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 승강 레일의 타측에 상기 제 1 승강 장치와 대향하도록 결합되는 제 2 승강 장치;
    상기 제 2 승강 장치에 결합되는 제 2 캐리지; 및
    상기 제 2 캐리지 저면에 설치되고 제 3 이송 레일을 따라 상기 제 2 캐리지 내로 반입되는 카세트가 안착되는 적어도 하나의 제 5 모듈형 컨베이어;
    를 포함하도록 구성되는 자동 반송장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 5 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 배치되고 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 6 모듈형 컨베이어를 더 포함하도록 구성되는 자동 반송장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 6 모듈형 컨베이어는, 상기 제 3 이송 레일의 수직 상측에 설치되는 제 4 이송 레일을 따라 이송되는 카세트를 전달받도록 구성되는 자동 반송장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 5 모듈형 컨베이어 및 상기 제 6 모듈형 컨베이어의 적어도 일측에 설치되는 리프트;
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되는 제 7 모듈형 컨베이어; 및
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되고 상기 제 7 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 설치되는 제 8 모듈형 컨베이어;
    를 더 포함하도록 구성되는 자동 반송장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 리프트의 상승시 상기 제 7 모듈형 컨베이어는 상기 제 5 모듈형 컨베이어와 동일 수평면에 위치하고, 상기 제 8 모듈형 컨베이어는 상기 제 6 모듈형 컨베이어와 동일 수평면에 위치하며,
    상기 리프트의 하강시 상기 제 8 모듈형 컨베이어는 상기 제 5 모듈형 컨베이어와 동일 수평면에 위치하도록 구성되는 자동 반송장치.
  11. 승강 레일의 일측에 결합되는 제 1 승강 장치;
    상기 제 1 승강 장치에 결합되고, 제 1 이송 레일을 따라 반입되는 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 1 캐리지;
    상기 승강 레일의 타측에 상기 제 1 승강 장치와 대향하도록 결합되는 제 2 승강장치; 및
    상기 제 2 승강 장치에 결합되고, 제 3 이송 레일을 따라 반입되는 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 2 캐리지;
    를 포함하도록 구성되는 자동 반송장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 캐리지 저면에 설치되고 제 1 이송 레일을 따라 상기 제 1 캐리지 내로 반입되는 카세트가 안착되는 적어도 하나의 제 1 모듈형 컨베이어; 및
    상기 제 1 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 배치되고 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 2 모듈형 컨베이어를 더 포함하도록 구성되는 자동 반송장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 2 모듈형 컨베이어는, 상기 제 1 이송 레일의 수직 상측에 설치되는 제 2 이송 레일을 따라 이송되는 카세트를 전달받도록 구성되는 자동 반송장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 1 모듈형 컨베이어 및 상기 제 2 모듈형 컨베이어의 적어도 일측에 설치되는 리프트;
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되는 제 3 모듈형 컨베이어; 및
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되고 상기 제 3 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 설치되는 제 4 모듈형 컨베이어;
    를 더 포함하도록 구성되는 자동 반송장치.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 2 캐리지 저면에 설치되고 상기 제 3 이송 레일을 따라 상기 제 2 캐리지 내로 반입되는 카세트가 안착되는 적어도 하나의 제 5 모듈형 컨베이어; 및
    상기 제 5 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 배치되고 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 6 모듈형 컨베이어를 더 포함하도록 구성되는 자동 반송장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제 5 모듈형 컨베이어는, 상기 제 3 이송 레일의 수직 상측에 설치되는 제 4 이송 레일을 따라 이송되는 카세트를 전달받도록 구성되는 자동 반송장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 제 5 모듈형 컨베이어 및 상기 제 6 모듈형 컨베이어의 적어도 일측에 설치되는 리프트;
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되는 제 7 모듈형 컨베이어; 및
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되고 상기 제 7 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 설치되는 제 8 모듈형 컨베이어;
    를 더 포함하도록 구성되는 자동 반송장치.
  18. 복수의 웨이퍼가 탑재되는 카세트를 보관하는 스토커;
    상기 웨이퍼에 대한 단위공정을 수행하는 복수의 단위공정장치; 및
    상기 자동 반송장치 간에 상기 카세트를 이송하는 자동 반송장치;를 포함하고,
    상기 자동 반송장치는, 승강 레일을 따라 승강하도록 상기 승강 레일의 일측에 결합되는 제 1 승강 장치;
    상기 제 1 승강 장치에 결합되는 제 1 캐리지;
    상기 승강 레일의 타측에 상기 제 1 승강 장치와 대향하도록 결합되는 제 2 승강장치; 및
    상기 제 2 승강 장치에 결합되고, 제 3 이송 레일을 따라 반입되는 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 2 캐리지;를 포함하도록 구성되는 반도체 장치 제조 시스템.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 캐리지 저면에 설치되고 제 1 이송 레일을 따라 상기 제 1 캐리지 내로 반입되는 카세트가 안착되는 적어도 하나의 제 1 모듈형 컨베이어; 및
    상기 제 1 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 배치되고 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 2 모듈형 컨베이어를 더 포함하도록 구성되는 반도체 장치 제조 시스템.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 제 1 모듈형 컨베이어 및 상기 제 2 모듈형 컨베이어의 적어도 일측에 설치되는 리프트;
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되는 제 3 모듈형 컨베이어; 및
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되고 상기 제 3 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 설치되는 제 4 모듈형 컨베이어;
    를 더 포함하도록 구성되는 반도체 장치 제조 시스템.
  21. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 2 캐리지 저면에 설치되고 상기 제 3 이송 레일을 따라 상기 제 2 캐리지 내로 반입되는 카세트가 안착되는 적어도 하나의 제 5 모듈형 컨베이어; 및
    상기 제 5 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 배치되고 적어도 하나의 카세트가 안착되는 제 6 모듈형 컨베이어를 더 포함하도록 구성되는 반도체 장치 제조 시스템.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 제 5 모듈형 컨베이어 및 상기 제 6 모듈형 컨베이어의 적어도 일측에 설치되는 리프트;
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되는 제 7 모듈형 컨베이어; 및
    상기 리프트를 따라 승강하도록 구성되고 상기 제 7 모듈형 컨베이어의 수직 상측에 설치되는 제 8 모듈형 컨베이어;
    를 더 포함하도록 구성되는 반도체 장치 제조 시스템.
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