JP3064584B2 - 搬送用吸着チャックの移動制御方式 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体関係の製
造装置における搬送用吸着チャックの移動制御方式に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４は従来における半導体製造装置のＩ
Ｃ検査工程ラインの一例を示す概略構成配置図である。
このＩＣ検査工程ラインでは、供給トレー置場１０１，
良品Ａ置場１０２，良品Ｂ置場１０３，空トレー一時置
場１０４，不良品置場１０５，測定部(A)１０６，測定
部(B)１０７，トレー搬送用ロボット１０８，部品搬送
用ロボット１０９等が配設されている。このうち、トレ
ー搬送用ロボット１０８は上記各置場１０１，１０２，
１０３，１０４の前側と不良品置場１０５との間にＸ方
向に横たわる走行レール１１０上を移動し、部品搬送用
ロボット１０９は各測定部１０６，１０７の前側にＸ方
向に横たわる走行レール１１１ａ、および走行レール１
１１ａの一端よりＹ方向に延びて横たわる走行レール１
１１ｂ上を移動する状態になっている。また、各ロボッ
ト１０８，１０９は各々独立した図示せぬ搬送用吸着チ
ャックとハンドラーとを備え、各ロボット１０８，１０
９毎にトレーおよびＩＣ部品を個々に制御する。

【０００３】次に動作について説明する。まず、部品搬
送用ロボット１０９は、走行レール１１１ａ，１１１ｂ
上を移動して、供給トレー置場１０１に向い、この供給
トレー置場１０１に置かれた図示せぬトレー内より検査
前のＩＣを図示せぬ搬送用吸着チャックで吸着し、この
ＩＣを測定部(A)１０６および測定部(B)１０７へ搬送し
て測定する。ここで不良品と判断された場合は不良品置
場１０５に置かれたトレー内へ運んで収納し、良品と判
断された場合は、その判定結果によって良品Ａ置場１０
２または良品Ｂ置場１０３に置かれたトレー内へ運び収
納し、これを繰り返す。

【０００４】一方、トレー搬送用ロボット１０８は、供
給トレー置場１０１に図示せぬ別のロボットによって搬
送されて置かれたトレー内のＩＣ部品が部品搬送用ロボ
ット１０９で搬送されて空になると、この空のトレーを
搬送用吸着チャックで吸着して空トレー一時置場１０４
へ搬送する。そして、空いた供給トレー置場１０１には
別のロボットによって測定用のＩＣが収納されたトレー
が運ばれ、空トレー一時置場１０４へ移動された空のト
レーは図示せぬ別のロボットによって別の位置へ運ばれ
て行く。また、良品Ａ置場１０２，良品Ｂ置場１０３，
不良品置場１０４に置かれたトレーも最大許容収納量に
達すると、図示せぬ手段によって空のトレーと交換され
る。これらの一連の動作は繰り返し行われる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の装置ではＩＣ部品を搬送する部品搬送用ロボッ
ト１０９とトレー搬送用ロボット１０８とを個々に備
え、また各ロボット１０８，１０９に搬送用吸着チャッ
クとハンドラーとを設けて、各々独立して制御する方法
を採っている。このため、トレー搬送用ロボット１０８
の移動通路となる走行レール１１０と、部品搬送用ロボ
ット１０９の移動通路となる走行レール１１１ａ，１１
１ｂとを必要とし、ライン内でのロボット走行用のスペ
ースが大きく、また多くの搬送用ロボットを必要とする
ので構造も複雑化し、設備費用も高くなり、コスト面で
見ても満足するものではなかった。

【０００６】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的は省スペース化と、構造の簡略化を
図って全体としてのコストを下げることができる搬送用
吸着チャックの移動制御方式を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、複数のトレー置場にそれぞれ配置されたトレ
ーを前記トレー置場間で移し替えるトレー搬送用吸着チ
ャックと、特定の前記トレー置場に置かれたトレー内の
部品を他のトレー置場に置かれたトレー内に搬送する部
品搬送用吸着チャックと、前記トレー搬送用吸着チャッ
クと前記部品搬送用吸着チャックの移動をそれぞれ前記
搬送ロボット用のハンドラーで制御する搬送用吸着チャ
ックの移動制御方式において、前記トレー搬送用吸着チ
ャックと前記部品搬送用吸着チャックを同一のハンドラ
ー上に取り付け、前記ハンドラーで前記両搬送用吸着チ
ャックの移動を制御するようにしたものである。

【０００８】

【作用】この構成によれば、一つのハンドラーでトレー
搬送用チャックと部品搬送用チャックとを必要な位置へ
移動させて、トレーおよび部品の搬送処理を行うことが
できるので、従来２つの搬送ロボットを必要としていた
のに対して１つの搬送ロボットで済み、スペースを小さ
くすることができる。また、全体的な構造も簡素化され
て設備費も安くなり、コストを下げることができる等の
効果が期待できる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を用いて
詳細に説明する。図２は、本発明を適用した半導体製造
装置におけるＩＣ検査工程ラインの一実施例を示す概略
構成配置図である。このＩＣ検査工程ラインでは、供給
トレー置場１，良品Ａ置場２，良品Ｂ置場３，空トレー
一時置場４，不良品置場５，測定部(A)６，測定部(B)
７，トレー・部品搬送用ロボット８等が配設されてい
る。なお、トレー・部品搬送用ロボット８は、各測定部
６，７の前側にＸ方向に横たわる走行レール９ａ、およ
び走行レール９ａの一端よりＹ方向に延びて横たわる走
行レール９ｂ上を移動する状態になっている。また、こ
のトレー・部品搬送用ロボット８には、一つのハンドラ
ーと、このハンドラー１０に後述するトレー搬送用吸着
チャック２４と部品搬送用吸着チャック１６とが共通に
取り付けられている。

【００１０】図１は、トレー・部品搬送用ロボット８の
ハンドラーと部品搬送用吸着チャックとトレー搬送用吸
着チャックとの概略構成配置図である。図１において、
トレー・部品搬送用ロボット８上に一体移動可能に取り
付けられたハンドラー１０の下端には、部品搬送用吸着
チャックユニット１１が着脱自在に取り付けられ、さら
にこのユニット１１を介してトレー搬送用吸着チャック
ユニット１２が取り付けられている。なお、ユニット１
１とユニット１２との間はボルト１３で着脱自在に連結
されている。

【００１１】さらに詳述すると、上記部品搬送用吸着チ
ャックユニット１１は、ベース１４の下面側にＩＣ部品
１５を吸着してチャックするための部品搬送用吸着チャ
ック１６が取り付けられ、上面側にはエアシリンダ１７
が取り付けられている。そして、エアシリンダ１７が駆
動されると、部品搬送用吸着チャック１６がＩＣ部品１
５上まで下降し、真空吸着動作されてこのＩＣ部品１５
をチャック可能になっている。

【００１２】これに対して、上記トレー搬送用吸着チャ
ックユニット１２は、第１のベース部１８と第２のベー
ス部１９とを有し、第１のベース部１８がユニット１１
のベース１４に固定して取り付けられ、第２のベース部
１９は支軸２０を支点にして第１のベース部１８に対し
て略９０度回転可能に取り付けられている。なお、この
第２のベース部１９の回転は、上下移動用エアシリンダ
２２を介して第１のベース部１８に固定して取り付けら
れたモータ２１によって制御され、図１中の実線で示す
位置Ｅと、一点鎖線で示す位置Ｆとへ移動可能な状態に
なっている。また、第２のベース部１９の下面側にはト
レー２３を吸着してチャックするためのトレー搬送用吸
着チャック２４が取り付けられ、このチャック２４がパ
イプ２５を介して真空ポンプ側に接続されている。そし
て、このトレー搬送用吸着チャックユニット１２側で
は、トレー２３を吸着チャックする場合、まずエアシリ
ンダ２２が駆動されて、トレー搬送用吸着チャック２４
がトレー２３の上に当するまで第２のベース部１９が下
降され、その後真空吸着動作されてトレー２３をチャッ
クする。次いで、エアシリンダ２２により再び実線の位
置まで持ち上げられる。この状態でハンドラー１０によ
り所定の位置まで搬送される。また、所定の位置に運ば
れた後は、逆の動作が行われてトレー２３が所定の位置
に置かれる。トレー搬送動作が終了した後は、ロータリ
ーアクチュエーター２１の駆動と同時にエアシリンダ２
２が駆動されて、第２のベース部１９が９０度、すなわ
ち上記位置Ｆまで回転される。

【００１３】次に、このＩＣ検査工程ライン全体の動作
を説明する。まず、トレー・部品搬送用ロボット８は、
走行レール９ａ，９ｂ上を移動して供給トレー置場１に
向い、この供給トレー置場１に置かれた図示せぬトレー
内より検査前のＩＣ部品１５を部品搬送用吸着チャック
１６で吸着し、このＩＣ部品１５を測定部(A)６および
測定部(B)７へ搬送して、その吸着を解いてセットし測
定する。ここで不良品と判断された場合は再び吸着して
不良品置場５に置かれたトレー内へ運び、その吸着を解
いて収納する。これに対して、良品と判断された場合
は、再び吸着して、その測定結果によって良品Ａ置場２
または良品Ｂ置場３に置かれたトレー内へ運び、その吸
着を解いて収納する。これを繰り返す。この間、トレー
搬送用吸着チャック２４も一体に移動するが、吸着動作
は行わない。

【００１４】次に、供給トレー置場１に置かれたトレー
内のＩＣ部品１５が空になると、この空のトレーの上に
トレー搬送用吸着チャック２４が配置されるようにトレ
ー・部品搬送用ロボット８がハンドラー１０と共に移動
し、今度は部品搬送用吸着チャック１６に代えてトレー
搬送用吸着チャック２４を駆動する。そして、供給トレ
ー置場１に置かれた空のトレーをトレー搬送用吸着チャ
ック２４で吸着し、この空のトレーを空トレー一時置場
４へ搬送し、その吸着を解いてセットする。そして、空
いた供給トレー置場１には別のロボットによって測定用
のＩＣ部品１５が収納されたトレーが運ばれ、空トレー
一時置場４へ移動された空のトレーは図示せぬ別のロボ
ットによって別の位置へ運ばれて行く。また、良品Ａ置
場２，良品Ｂ置場３，不良品置場４に置かれたトレーも
最大許容収納量に達すると、図示せぬ手段によって空の
トレーと交換される。これらの一連の動作は繰り返し行
われる。

【００１５】図３は、本発明を適用した半導体製造装置
におけるトレー・部品搬送用ロボット８の動作タイムチ
ャートと、従来の半導体製造装置における部品搬送用ロ
ボット１０９およびトレー搬送用ロボット１０８の動作
タイムチャートを比較した図である。

【００１６】したがって、上記実施例による半導体製造
装置における搬送用吸着チャックの移動制御方式によれ
ば、一つのハンドラーでトレー搬送用チャックと部品搬
送用チャックとを必要な位置へ移動させて、トレーおよ
び部品の搬送処理を行うことができるので、従来２つの
搬送ロボットを必要としていたのに対して１つの搬送ロ
ボットで済み、スペースを小さくすることができる。ま
た、全体的な構造も簡素化されて設備費も安くなり、コ
ストを下げることができる等の効果が期待できる。

【００１７】なお、本発明は上記実施例により説明した
が、部品搬送用吸着チャック１６およびトレー搬送用吸
着チャック２４は真空吸着動作する場合について開示し
たが、これ以外のチャックであっても勿論差し支えない
ものである。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明に係る搬送
用吸着チャックの移動制御方式によれば、一つのハンド
ラーでトレー搬送用チャックと部品搬送用チャックとを
必要な位置へ移動させて、トレーおよび部品の搬送処理
を行うことができるので、従来２つの搬送ロボットを必
要としていたのに対して１つの搬送ロボットで済み、ス
ペースを小さくすることができる。また、全体的な構造
も簡素化されて設備費も安くなり、コストを下げること
ができる等の効果が期待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る搬送用吸着チャックの移動制御方
式を適用した半導体製造装置の要部構造図である。

【図２】本発明に係る搬送用吸着チャックの移動制御方
式を適用した半導体製造装置におけるＩＣ検査工程ライ
ンの一実施例を示す概略構成配置図である。

【図３】本発明を適用した半導体製造装置におけるトレ
ー・部品搬送用ロボットの動作タイムチャートと従来の
半導体製造装置におけるトレー搬送用ロボットおよび部
品搬送用ロボットの動作タイムチャートとを示す図であ
る。

【図４】従来の移動制御方式を適用した半導体製造装置
におけるＩＣ検査工程ラインの一例を示す概略構成配置
図である。

【符号の説明】

１…供給トレー置場 ２…良品Ａ置場 ３…良品Ｂ置場 ４…空トレー一時置場 ５…不良品置場 ６…測定部（Ａ） ７…測定部（Ｂ） ８…トレー・部品搬送用ロボット １０…ハンドラー １１…部品搬送用吸着チャックユニット １２…トレー搬送用吸着チャックユニット １５…ＩＣ部品 １６…部品搬送用吸着チャック ２４…トレー搬送用吸着チャック

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のトレー置場に配置されたトレーを
   前記トレー置場間で移し替えるトレー搬送用吸着チャッ
   クと、 特定の前記トレー置場に置かれたトレー内の部品を他の
   トレー置場に置かれたトレー内に搬送する部品搬送用吸
   着チャックと、 前記トレー搬送用吸着チャックと前記部品搬送用吸着チ
   ャックの移動をそれぞれ搬送ロボット用のハンドラーで
   制御する搬送用吸着チャックの移動制御方式において、 前記トレー搬送用吸着チャックと前記部品搬送用吸着チ
   ャックを同一のハンドラー上に取り付け、前記ハンドラ
   ーで前記両搬送用吸着チャックの移動を制御するように
   したことを特徴とする搬送用吸着チャックの移動制御方
   式。