JPH09186218A - ウェハ状物体の取扱い装置 - Google Patents
ウェハ状物体の取扱い装置Info
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- JPH09186218A JPH09186218A JP8157955A JP15795596A JPH09186218A JP H09186218 A JPH09186218 A JP H09186218A JP 8157955 A JP8157955 A JP 8157955A JP 15795596 A JP15795596 A JP 15795596A JP H09186218 A JPH09186218 A JP H09186218A
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- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer
Abstract
(57)【要約】
【課題】ＳＭＩＦ条件に基づいて生産性を向上し、自由
に選択し得る搬送経路を提供し、機械に関する費用を低
減するとともに、高い位置決め精度を保証すること。 【解決手段】ウェハ状物体の取扱い装置は物体の供給及
び受取りを取扱い面内に位置する供給及び受取り位置に
おいて行う少なくとも１つのインデックス装置と、ウェ
ハ状物体を供給及び受取り位置並びにワーク・ステーシ
ョン間において搬送する少なくとも１つの搬送装置とを
有する。ワーク・ステーション12が他の少なくとも１つ
のワーク・ステーション13,14とともに中心点に対して
実質的に同心をなすように配置されている。取扱い装置
は中心点を通って延びる回転軸X-Xを有する交換装置11
を更に含む。
に選択し得る搬送経路を提供し、機械に関する費用を低
減するとともに、高い位置決め精度を保証すること。 【解決手段】ウェハ状物体の取扱い装置は物体の供給及
び受取りを取扱い面内に位置する供給及び受取り位置に
おいて行う少なくとも１つのインデックス装置と、ウェ
ハ状物体を供給及び受取り位置並びにワーク・ステーシ
ョン間において搬送する少なくとも１つの搬送装置とを
有する。ワーク・ステーション12が他の少なくとも１つ
のワーク・ステーション13,14とともに中心点に対して
実質的に同心をなすように配置されている。取扱い装置
は中心点を通って延びる回転軸X-Xを有する交換装置11
を更に含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は物体の供給及び受取
りを取扱い面内に位置する供給及び受取り位置において
行う少なくとも１つのインデックス装置（Indexeinrich
tung）と、ウェハ状物体を供給及び受取り位置並びにワ
ーク・ステーション間において搬送する少なくとも１つ
の搬送装置とを有するウェハ状物体の取扱い装置に関す
る。
りを取扱い面内に位置する供給及び受取り位置において
行う少なくとも１つのインデックス装置（Indexeinrich
tung）と、ウェハ状物体を供給及び受取り位置並びにワ
ーク・ステーション間において搬送する少なくとも１つ
の搬送装置とを有するウェハ状物体の取扱い装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】装置の
幅が減少し、これに対応して加工中の半導体ウェハを取
囲む環境に関する清浄度の基準が更に厳しくなったこと
により、ローカル・クリーン・ルームが半導体製造に広
く使用されるようになった。ＳＭＩＦ（Standard Mecha
nical Interface）技術に必要なハンドリング・デザイ
ンにおいて、半導体ウェハを搬送すべく同半導体ウェハ
の裏面に対してのみ接触する装置が近年広く使用されて
いる。更に、カセットをコンテナから垂直方向に取出す
搬送装置の使用が必要とされる。例えば、この目的の実
現に適する装置はドイツ特許出願公開第ＤＥ４３１０１
４９Ａ１号に開示されている。
幅が減少し、これに対応して加工中の半導体ウェハを取
囲む環境に関する清浄度の基準が更に厳しくなったこと
により、ローカル・クリーン・ルームが半導体製造に広
く使用されるようになった。ＳＭＩＦ（Standard Mecha
nical Interface）技術に必要なハンドリング・デザイ
ンにおいて、半導体ウェハを搬送すべく同半導体ウェハ
の裏面に対してのみ接触する装置が近年広く使用されて
いる。更に、カセットをコンテナから垂直方向に取出す
搬送装置の使用が必要とされる。例えば、この目的の実
現に適する装置はドイツ特許出願公開第ＤＥ４３１０１
４９Ａ１号に開示されている。
【０００３】この種の装置では、半導体ウェハの搬送及
び準備に長い時間を要するうえ、幾つかのワーク・ステ
ーションにおいて必要とされる高い位置決め精度の実現
がギヤの高い減速比のために迅速、かつ安価に行えない
という問題がある。
び準備に長い時間を要するうえ、幾つかのワーク・ステ
ーションにおいて必要とされる高い位置決め精度の実現
がギヤの高い減速比のために迅速、かつ安価に行えない
という問題がある。
【０００４】これは少なくとも１つの装填／取出し位置
を有する搬送装置から半導体ウェハをワーク・ステーシ
ョン上へ搬送し、同半導体ウェハを作業完了後に取出し
位置のうちの１つへ戻す場合と、装填／取出しステーシ
ョン以外に半導体ウェハの準備に使用される他のステー
ションが存在する場合とにおいて特に問題になる。
を有する搬送装置から半導体ウェハをワーク・ステーシ
ョン上へ搬送し、同半導体ウェハを作業完了後に取出し
位置のうちの１つへ戻す場合と、装填／取出しステーシ
ョン以外に半導体ウェハの準備に使用される他のステー
ションが存在する場合とにおいて特に問題になる。
【０００５】一般的なワーク・ステーションとは例え
ば、検査装置のステージ、即ちテーブルである。半導体
ウェハを整合させるための補助ステーション、即ちウェ
ハ上に形成されたコードを識別するための補助ステーシ
ョンの使用が可能である。半導体ウェハの搬送経路を自
由に選択し得る場合、柔軟性に関する好ましい効果が得
られる。
ば、検査装置のステージ、即ちテーブルである。半導体
ウェハを整合させるための補助ステーション、即ちウェ
ハ上に形成されたコードを識別するための補助ステーシ
ョンの使用が可能である。半導体ウェハの搬送経路を自
由に選択し得る場合、柔軟性に関する好ましい効果が得
られる。
【０００６】従って、本発明の目的はＳＭＩＦ条件に基
づいて生産性を向上し、自由に選択し得る搬送経路を提
供し、機械に関する費用を低減するとともに、高い位置
決め精度を保証することにある。
づいて生産性を向上し、自由に選択し得る搬送経路を提
供し、機械に関する費用を低減するとともに、高い位置
決め精度を保証することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、物体の
供給及び受取りを取扱い面内に位置する供給及び受取り
位置において行う少なくとも１つのインデックス装置
と、ウェハ状物体を供給及び受取り位置並びにワーク・
ステーション間において搬送する少なくとも１つの搬送
装置とを有するウェハ状物体の取扱い装置であって、ワ
ーク・ステーションが他の少なくとも１つのワーク・ス
テーションとともに中心点に対して実質的に同心をなす
ように配置され、中心点を通って延びる回転軸を有する
交換装置を更に含む取扱い装置によって実現される。
供給及び受取りを取扱い面内に位置する供給及び受取り
位置において行う少なくとも１つのインデックス装置
と、ウェハ状物体を供給及び受取り位置並びにワーク・
ステーション間において搬送する少なくとも１つの搬送
装置とを有するウェハ状物体の取扱い装置であって、ワ
ーク・ステーションが他の少なくとも１つのワーク・ス
テーションとともに中心点に対して実質的に同心をなす
ように配置され、中心点を通って延びる回転軸を有する
交換装置を更に含む取扱い装置によって実現される。
【０００８】交換装置は物体を１つのワーク・ステーシ
ョンから別のワーク・ステーションへ搬送すべく、複数
のワーク・ステーションにおける自身の交換アームの正
確な位置決めを行うために、大まかな位置決めを行うス
テップ駆動装置と、少なくとも１つの基準位置における
再現可能な位置決めを行う手段とを有する。
ョンから別のワーク・ステーションへ搬送すべく、複数
のワーク・ステーションにおける自身の交換アームの正
確な位置決めを行うために、大まかな位置決めを行うス
テップ駆動装置と、少なくとも１つの基準位置における
再現可能な位置決めを行う手段とを有する。
【０００９】コーディング装置（Codiereinrichtung）
は大まかな位置決めに使用可能である。コーディング装
置はワーク・ステーションに関する位置情報と、ワーク
・ステーションに対する交換アームの瞬時の割当てとを
マルチトラック・コーディング（mehrspurige Codierun
g）に基づいて決定する。
は大まかな位置決めに使用可能である。コーディング装
置はワーク・ステーションに関する位置情報と、ワーク
・ステーションに対する交換アームの瞬時の割当てとを
マルチトラック・コーディング（mehrspurige Codierun
g）に基づいて決定する。
【００１０】本発明の取扱い装置は基準位置における交
換装置の再現可能な位置決めを行うべく一対の歯付きラ
ック部分を有する。一対の歯付きラック部分は互いに相
対的な移動が可能であり、さらには回転軸として機能す
る中心軸に取付けられた同一ピッチの歯車に対して係合
している。
換装置の再現可能な位置決めを行うべく一対の歯付きラ
ック部分を有する。一対の歯付きラック部分は互いに相
対的な移動が可能であり、さらには回転軸として機能す
る中心軸に取付けられた同一ピッチの歯車に対して係合
している。
【００１１】一対の歯付きラック部分はそれぞれ平行グ
リッパの把持エレメントであり、同平行グリッパは自身
の有効力線に直交する方向へ延伸可能であって、かつ軸
Ｙ−Ｙの周囲を回動可能であり、軸Ｙ−Ｙはベアリング
内において把持エレメントとは反対方向において回転軸
に対して平行に延びており、ベアリングは回転軸に直交
する方向へリニア・ガイド上を案内される。
リッパの把持エレメントであり、同平行グリッパは自身
の有効力線に直交する方向へ延伸可能であって、かつ軸
Ｙ−Ｙの周囲を回動可能であり、軸Ｙ−Ｙはベアリング
内において把持エレメントとは反対方向において回転軸
に対して平行に延びており、ベアリングは回転軸に直交
する方向へリニア・ガイド上を案内される。
【００１２】交換装置の無制限の回動角度を保証すべく
交換アームに取付けられたバキューム・ホールディング
装置に対する負圧供給管路が回転軸として機能する中心
軸の内部に配置されている。中心軸の内部に配置された
接続部は中心軸の外側に位置する静止バキューム接続部
に対してシーリング・システムを介して連結されてい
る。
交換アームに取付けられたバキューム・ホールディング
装置に対する負圧供給管路が回転軸として機能する中心
軸の内部に配置されている。中心軸の内部に配置された
接続部は中心軸の外側に位置する静止バキューム接続部
に対してシーリング・システムを介して連結されてい
る。
【００１３】全てのインデックス装置は上下に配置され
た２つの平面間における垂直移動を実施すべく、垂直方
向に調整可能なプラットフォームに対して取付けられて
いる。２つの平面のうちの一方の平面は人間工学的に適
した装填高さに位置し、他方の平面は取扱い面内に位置
し、これによりインデックス装置及び搬送装置の効果的
な動作が可能である。
た２つの平面間における垂直移動を実施すべく、垂直方
向に調整可能なプラットフォームに対して取付けられて
いる。２つの平面のうちの一方の平面は人間工学的に適
した装填高さに位置し、他方の平面は取扱い面内に位置
し、これによりインデックス装置及び搬送装置の効果的
な動作が可能である。
【００１４】取扱い処理を行うべく開放可能に設計され
たインデックス装置の側部は適切にシールされたラビリ
ンス・システム内を案内される。
たインデックス装置の側部は適切にシールされたラビリ
ンス・システム内を案内される。
【００１５】
【発明の実施の形態】２つの装填及び取出し装置１，２
は図１及び図２に示す取扱い装置内に配置されている。
半導体ウェハ（またはマスク）等のウェハ状物体３は搬
送装置４，５により、装填及び取出し装置１，２から取
出され、その後、同装置１，２内へ戻される。装填及び
取出し装置１，２はインデックス装置である。ＳＭＩＦ
原理に基づき、マガジンはクリーン・ルーム条件下にお
いてマガジン・コンテナ６，７から取出し可能である。
更に、搬送装置４，５は取扱い面内において動作する。
そして、インデックス装置は取扱い面に直交する方向に
おいてマガジンの棚の割出しを行うべく同棚の位置を調
整する。この結果、棚の中に収容された物体３を取扱い
面内に配置し得るとともに、同物体３を棚の中へ戻すこ
とが可能である。
は図１及び図２に示す取扱い装置内に配置されている。
半導体ウェハ（またはマスク）等のウェハ状物体３は搬
送装置４，５により、装填及び取出し装置１，２から取
出され、その後、同装置１，２内へ戻される。装填及び
取出し装置１，２はインデックス装置である。ＳＭＩＦ
原理に基づき、マガジンはクリーン・ルーム条件下にお
いてマガジン・コンテナ６，７から取出し可能である。
更に、搬送装置４，５は取扱い面内において動作する。
そして、インデックス装置は取扱い面に直交する方向に
おいてマガジンの棚の割出しを行うべく同棚の位置を調
整する。この結果、棚の中に収容された物体３を取扱い
面内に配置し得るとともに、同物体３を棚の中へ戻すこ
とが可能である。
【００１６】インデックス装置は上下に離間する２つの
平面Ｅ１，Ｅ２間で垂直方向に移動する複数のプラット
フォーム８にそれぞれ取付けられており、図２は同プラ
ットフォーム８のうちの１つを示す。各プラットフォー
ム８は昇降駆動装置９を有する。ロッキング・シリンダ
１０はプラットフォームを固定すべく使用される。一方
の平面Ｅ１はマガジン・コンテナ６，７の装填に適した
人間工学的な高さに位置している。他方の平面Ｅ２は取
扱い面内に位置している。この結果、インデックス装置
及び搬送装置４，５の効果的な動作が可能である。取扱
い処理を行うべく開放可能に設計されたインデックス装
置の側部は適切にシールされたラビリンス・システム
（図示略）内を案内される。このため、クリーン・ルー
ム条件がインデックス装置の垂直移動中に悪化すること
はない。
平面Ｅ１，Ｅ２間で垂直方向に移動する複数のプラット
フォーム８にそれぞれ取付けられており、図２は同プラ
ットフォーム８のうちの１つを示す。各プラットフォー
ム８は昇降駆動装置９を有する。ロッキング・シリンダ
１０はプラットフォームを固定すべく使用される。一方
の平面Ｅ１はマガジン・コンテナ６，７の装填に適した
人間工学的な高さに位置している。他方の平面Ｅ２は取
扱い面内に位置している。この結果、インデックス装置
及び搬送装置４，５の効果的な動作が可能である。取扱
い処理を行うべく開放可能に設計されたインデックス装
置の側部は適切にシールされたラビリンス・システム
（図示略）内を案内される。このため、クリーン・ルー
ム条件がインデックス装置の垂直移動中に悪化すること
はない。
【００１７】各ワーク・ステーション１２，１３，１４
は交換装置１１の回転軸Ｘ−Ｘ上の中心点に対して実質
的に同心をなす。本実施の形態において、ワーク・ステ
ーション１２は平面上における半導体ウェハの配置位置
の調整と、同半導体ウェハの配置角度の調整とを行う装
置である。ワーク・ステーション１３は検査用顕微鏡の
ステージである。ワーク・ステーション１４は全フィー
ルド目視検査のためのワーク・ステーションである。両
搬送装置４，５がアクセスする別のステーション１５は
他のワーク・ステーション１２，１３，１４と同一距離
だけ中心点から離間している。ワーク・ステーション１
２，１３，１４は互いに１２０度離間しており、ステー
ション１５は２つのワーク・ステーション１２，１３，
１４の中間に位置する。
は交換装置１１の回転軸Ｘ−Ｘ上の中心点に対して実質
的に同心をなす。本実施の形態において、ワーク・ステ
ーション１２は平面上における半導体ウェハの配置位置
の調整と、同半導体ウェハの配置角度の調整とを行う装
置である。ワーク・ステーション１３は検査用顕微鏡の
ステージである。ワーク・ステーション１４は全フィー
ルド目視検査のためのワーク・ステーションである。両
搬送装置４，５がアクセスする別のステーション１５は
他のワーク・ステーション１２，１３，１４と同一距離
だけ中心点から離間している。ワーク・ステーション１
２，１３，１４は互いに１２０度離間しており、ステー
ション１５は２つのワーク・ステーション１２，１３，
１４の中間に位置する。
【００１８】各種ワーク・ステーション１２，１３，１
４間における物体３の効果的、かつ柔軟な搬送はワーク
・ステーション１２，１３，１４及びステーション１５
と、物体を供給するインデックス装置とによって保証さ
れる。従って、搬送装置４，５の非効率的な動作を回避
し得る。物体３を必要に応じて任意の装填及び取出し装
置１，２から取出すことと、同物体３を同一の装置若し
くは別の装置へ戻すことのうちのいづれか一方が可能で
ある。ステーション１５は中間装填位置として機能す
る。同中間装填位置では、一方の搬送装置によって装填
された物体３を他方の搬送装置を用いて回収し得る。互
いに１２０度離間する交換アーム１６，１７，１８を有
する交換装置１１は正逆両方向への回動が可能である。
この結果、交換装置１１はワーク・ステーション１２，
１３，１４間における物体３の任意の搬送を保証する。
４間における物体３の効果的、かつ柔軟な搬送はワーク
・ステーション１２，１３，１４及びステーション１５
と、物体を供給するインデックス装置とによって保証さ
れる。従って、搬送装置４，５の非効率的な動作を回避
し得る。物体３を必要に応じて任意の装填及び取出し装
置１，２から取出すことと、同物体３を同一の装置若し
くは別の装置へ戻すことのうちのいづれか一方が可能で
ある。ステーション１５は中間装填位置として機能す
る。同中間装填位置では、一方の搬送装置によって装填
された物体３を他方の搬送装置を用いて回収し得る。互
いに１２０度離間する交換アーム１６，１７，１８を有
する交換装置１１は正逆両方向への回動が可能である。
この結果、交換装置１１はワーク・ステーション１２，
１３，１４間における物体３の任意の搬送を保証する。
【００１９】本発明の装置は、その全体をハウジング１
９によって被覆されている。ハウジング１９の内部は上
下２つの部分空間に分割されている。上部空間は取扱い
空間として使用される。大半の駆動エレメントは下部空
間内に収容されている。空気処理装置２０は乱れの小さ
い空気の流動２１として両部分空間内に純空気流を形成
するために使用される。特に、ドイツ特許出願公開第Ｄ
Ｅ４３１０１４９Ａ１号の記載に基づいて上部空間から
下部空間内へ案内される流動成分は、埃等の粒子が取扱
い空間内へ侵入することを防止している。
９によって被覆されている。ハウジング１９の内部は上
下２つの部分空間に分割されている。上部空間は取扱い
空間として使用される。大半の駆動エレメントは下部空
間内に収容されている。空気処理装置２０は乱れの小さ
い空気の流動２１として両部分空間内に純空気流を形成
するために使用される。特に、ドイツ特許出願公開第Ｄ
Ｅ４３１０１４９Ａ１号の記載に基づいて上部空間から
下部空間内へ案内される流動成分は、埃等の粒子が取扱
い空間内へ侵入することを防止している。
【００２０】本発明の装置では、ワーク・ステーション
１２，１３，１４の数と同数の交換アーム１６，１７，
１８を有する交換装置１１により、物体３の効果的及び
柔軟な取扱いと、同物体３の正確な位置決めとが可能で
ある。
１２，１３，１４の数と同数の交換アーム１６，１７，
１８を有する交換装置１１により、物体３の効果的及び
柔軟な取扱いと、同物体３の正確な位置決めとが可能で
ある。
【００２１】この目的のために、図３〜図５に示す本発
明に基づく装置を効果的に使用し得る。歯付きベルト駆
動装置２３を有するモータ２２は交換装置１１を駆動
（本実施の形態では、１２０度のステップで）すべく提
供されている。交換装置１１は正逆両方向へ回動し得
る。交換アーム１６，１７，１８は自身の先端に取付け
られた複数のバキューム・ホールディング装置２４，２
５，２６と、自身の内部空間に延びる複数のダクト２７
（このうちの１つのみを図示）とを有する。
明に基づく装置を効果的に使用し得る。歯付きベルト駆
動装置２３を有するモータ２２は交換装置１１を駆動
（本実施の形態では、１２０度のステップで）すべく提
供されている。交換装置１１は正逆両方向へ回動し得
る。交換アーム１６，１７，１８は自身の先端に取付け
られた複数のバキューム・ホールディング装置２４，２
５，２６と、自身の内部空間に延びる複数のダクト２７
（このうちの１つのみを図示）とを有する。
【００２２】交換装置１１の無制限の回動角度を保証す
べく、ダクトに対する負圧の供給は回転軸Ｘ−Ｘとして
機能する中心軸の内部に位置するホース接続部（図示
略）を通じて行われる。中心軸の内部に位置する接続部
２８，２９（１つの接続部の図示略）は中心軸の外側に
おいて、静止バキューム接続部３１，３２，３３に対し
てシーリング・システム３０を介して連結されている。
更に、負圧の供給は供給側に取付られたバルブ３４，３
５，３６、バキューム・センサ３７，３８，３９及びス
ロットル４０，４１，４２を通じて行われる。スロット
ル４３はバキューム・ホールディング装置２４，２５，
２６に対する通気を行うべく取付けられている。スロッ
トル４４によって制御されるリフティング・シリンダ４
５は物体３の交換時に交換装置１１を垂直方向に調整す
べく使用される。図４に示すセンサ４６は連結リンク４
７を介して昇程を制御する。
べく、ダクトに対する負圧の供給は回転軸Ｘ−Ｘとして
機能する中心軸の内部に位置するホース接続部（図示
略）を通じて行われる。中心軸の内部に位置する接続部
２８，２９（１つの接続部の図示略）は中心軸の外側に
おいて、静止バキューム接続部３１，３２，３３に対し
てシーリング・システム３０を介して連結されている。
更に、負圧の供給は供給側に取付られたバルブ３４，３
５，３６、バキューム・センサ３７，３８，３９及びス
ロットル４０，４１，４２を通じて行われる。スロット
ル４３はバキューム・ホールディング装置２４，２５，
２６に対する通気を行うべく取付けられている。スロッ
トル４４によって制御されるリフティング・シリンダ４
５は物体３の交換時に交換装置１１を垂直方向に調整す
べく使用される。図４に示すセンサ４６は連結リンク４
７を介して昇程を制御する。
【００２３】図５に示すように、センサ４８及び信号デ
ィスク４９は交換装置１１の大まかな位置決めを行うコ
ーディング装置を形成している。初期化プロセス中、モ
ータ２２によって開始された交換装置１１の回動はセン
サ４８及び信号ディスク４９上の基準点によって監視さ
れる。モータ２２（図３参照）の軸後端に取付けられた
エンコーダ５１に対して接続されたステップ・カウンタ
（図示略）は基準点に到達した際にリセットされる。回
動の更なる監視及び制御はエンコーダ５１から供給され
た経路情報に基づいて実施される。
ィスク４９は交換装置１１の大まかな位置決めを行うコ
ーディング装置を形成している。初期化プロセス中、モ
ータ２２によって開始された交換装置１１の回動はセン
サ４８及び信号ディスク４９上の基準点によって監視さ
れる。モータ２２（図３参照）の軸後端に取付けられた
エンコーダ５１に対して接続されたステップ・カウンタ
（図示略）は基準点に到達した際にリセットされる。回
動の更なる監視及び制御はエンコーダ５１から供給され
た経路情報に基づいて実施される。
【００２４】信頼性を高めるべく、信号ディスク４９は
基準点の他に窓５２を備えている。３つのワーク・ステ
ーション１２，１３，１４と、ステーション１５の中間
位置とに関する位置情報以外に、ワーク・ステーション
１２，１３，１４に対する３つの交換アーム１６，１
７，１８の瞬時における割当ては、３トラック光電子セ
ンサ（dreispurigen optoelektronischen Sensor）５３
に関連した窓５２の３トラック構造（dreispurige Anor
dnung der Fenster）により信号を介して通知される。
基準点の他に窓５２を備えている。３つのワーク・ステ
ーション１２，１３，１４と、ステーション１５の中間
位置とに関する位置情報以外に、ワーク・ステーション
１２，１３，１４に対する３つの交換アーム１６，１
７，１８の瞬時における割当ては、３トラック光電子セ
ンサ（dreispurigen optoelektronischen Sensor）５３
に関連した窓５２の３トラック構造（dreispurige Anor
dnung der Fenster）により信号を介して通知される。
【００２５】物体３を複数のワーク・ステーション１
２，１３，１４間において移動させる際に必要な位置決
め精度を実現すべく、交換装置１１は大まかな位置決め
を行うステップ駆動装置の他に、基準位置における再現
可能な位置決めを行う手段を有する。互いの相対的な位
置の変更が可能な一対の歯付きラック部分５４，５５は
３で割り切れる数の同一ピッチを備えた歯車５６に対し
て係合している。歯車５６は中心軸に対して取付けられ
ている。歯付きラック部分５４，５５は平行グリッパ５
９の把持エレメント５７，５８の一部である。平行グリ
ッパ５９は自身の有効力線に直交する方向へ延伸可能で
ある。更に、平行グリッパ５９は軸Ｙ−Ｙの周りに回動
し得る。軸Ｙ−Ｙは把持エレメント５７，５８とは反対
側のベアリング６０内において回転軸Ｘ−Ｘに対して平
行に延びている。ベアリング６０は回転軸Ｘ−Ｘに直交
する方向へリニア・ガイド６２上を案内される。弾性連
結エレメント６３は平行グリッパ５９の確実な取付け
と、非把持状態における交換装置１１の自由な回動とを
可能にする。この技術的解決策は中心軸の歯車５６に対
する無理のない力の伝達と、同歯車５６の再現可能な固
定とを保証する。
２，１３，１４間において移動させる際に必要な位置決
め精度を実現すべく、交換装置１１は大まかな位置決め
を行うステップ駆動装置の他に、基準位置における再現
可能な位置決めを行う手段を有する。互いの相対的な位
置の変更が可能な一対の歯付きラック部分５４，５５は
３で割り切れる数の同一ピッチを備えた歯車５６に対し
て係合している。歯車５６は中心軸に対して取付けられ
ている。歯付きラック部分５４，５５は平行グリッパ５
９の把持エレメント５７，５８の一部である。平行グリ
ッパ５９は自身の有効力線に直交する方向へ延伸可能で
ある。更に、平行グリッパ５９は軸Ｙ−Ｙの周りに回動
し得る。軸Ｙ−Ｙは把持エレメント５７，５８とは反対
側のベアリング６０内において回転軸Ｘ−Ｘに対して平
行に延びている。ベアリング６０は回転軸Ｘ−Ｘに直交
する方向へリニア・ガイド６２上を案内される。弾性連
結エレメント６３は平行グリッパ５９の確実な取付け
と、非把持状態における交換装置１１の自由な回動とを
可能にする。この技術的解決策は中心軸の歯車５６に対
する無理のない力の伝達と、同歯車５６の再現可能な固
定とを保証する。
【００２６】物体３はピッチ誤差を排除すべく１つのワ
ーク・ステーションから他のワークステーションへ同一
の交換アームによって常に搬送される。別の可能性とし
ては、３つの交換アーム間における系統誤差を決定し、
さらにはワーク・ステーションの位置決めの際に同誤差
を許容することが挙げられる。この種のオペレーション
において発生し得る系統的角度誤差は、適切なオフセッ
ト値を物体３の配向に用いることによって補正される。
ーク・ステーションから他のワークステーションへ同一
の交換アームによって常に搬送される。別の可能性とし
ては、３つの交換アーム間における系統誤差を決定し、
さらにはワーク・ステーションの位置決めの際に同誤差
を許容することが挙げられる。この種のオペレーション
において発生し得る系統的角度誤差は、適切なオフセッ
ト値を物体３の配向に用いることによって補正される。
【００２７】多くの場合、移動の自由度は各ワーク・ス
テーションの受入れエレメントによって制限されてお
り、回動のみを行うことは不可能である。このため、回
動に重ねて直線移動が各基準位置において実施される。
この目的のために、半径方向に移動可能な受入れエレメ
ントが３つの交換アーム１６，１７，１８に対してそれ
ぞれ取付けられている。受入れエレメントは常には固定
（把持または弾性部材による付勢による固定）されてい
る。直線移動は交換装置１１の少なくとも１つの基準位
置において少なくとも１つの静止駆動装置を使用して行
い得る。
テーションの受入れエレメントによって制限されてお
り、回動のみを行うことは不可能である。このため、回
動に重ねて直線移動が各基準位置において実施される。
この目的のために、半径方向に移動可能な受入れエレメ
ントが３つの交換アーム１６，１７，１８に対してそれ
ぞれ取付けられている。受入れエレメントは常には固定
（把持または弾性部材による付勢による固定）されてい
る。直線移動は交換装置１１の少なくとも１つの基準位
置において少なくとも１つの静止駆動装置を使用して行
い得る。
【００２８】取扱いユニット及び検査用顕微鏡を振動か
ら絶縁すべく同取扱いユニット及び検査用顕微鏡は共通
の台板上に配置されており、同台板は振動絶縁システム
の構成部品である。
ら絶縁すべく同取扱いユニット及び検査用顕微鏡は共通
の台板上に配置されており、同台板は振動絶縁システム
の構成部品である。
【００２９】装置の運転方法を物体３の搬送に関して以
下に例示する。平面Ｅ１内の人間工学的に適した装填高
さにおいてマガジン・コンテナ６，７を配置または交換
した後、昇降駆動装置１０は２つのインデックス装置を
装填高さから取扱い面内に位置する平面Ｅ２内へ移動さ
せる。
下に例示する。平面Ｅ１内の人間工学的に適した装填高
さにおいてマガジン・コンテナ６，７を配置または交換
した後、昇降駆動装置１０は２つのインデックス装置を
装填高さから取扱い面内に位置する平面Ｅ２内へ移動さ
せる。
【００３０】インデックス装置の垂直移動中、マガジン
・コンテナ６，７は開放される。そして、インデックス
装置が上端位置へ到達した後、２つのインデックス装置
内に含まれる物体の数量、即ちインベントリが検出さ
れ、かつ確定される。インベントリはマガジン内に含ま
れる物体の数量と、取扱い面に対する物体３の位置、即
ち開放されているマガジン棚とを確定するために使用さ
れる。インベントリが検出され、かつ確定された後、同
インベントリの内容がコンピュータへ入力され、検査を
行う物体３の選択が可能になる。
・コンテナ６，７は開放される。そして、インデックス
装置が上端位置へ到達した後、２つのインデックス装置
内に含まれる物体の数量、即ちインベントリが検出さ
れ、かつ確定される。インベントリはマガジン内に含ま
れる物体の数量と、取扱い面に対する物体３の位置、即
ち開放されているマガジン棚とを確定するために使用さ
れる。インベントリが検出され、かつ確定された後、同
インベントリの内容がコンピュータへ入力され、検査を
行う物体３の選択が可能になる。
【００３１】第１の物体３は装填及び取出しステーショ
ン１から搬送アーム４によって取出され、かつ第１のワ
ーク・ステーション１２上へ搬送される。２つの搬送ア
ーム４，５は交換アーム１６，１７，１８と同様にバキ
ューム・ホールディング装置を有する。搬送アーム４に
取付けられたバキューム・ホールディング装置は第１の
ワーク・ステーション１２へ到達した際に通気され、そ
の負圧が解放される。この結果、物体３は第１のワーク
・ステーション１２上において解放され、かつ同ワーク
・ステーション上へ載置される。この例は整合ステーシ
ョンに関するものである。このため、水平面上における
物体３の配置位置の調整と、同物体３の配置角度の調整
とは物体３の吸着後に実施される。第２のワーク・ステ
ーション１３、即ち顕微鏡テーブルは回転軸Ｘ−Ｘに対
する全ワーク・ステーションの同心位置に等しい交換位
置へ移動する。整合された物体及び顕微鏡テーブル上の
物体はリフティング・シリンダ４５による交換装置１１
の上昇によって持ち上げられる。両物体３は対応する交
換アームに取付けられたバキューム・ホールディング装
置により自身の裏面を介してそれぞれ吸着される。
ン１から搬送アーム４によって取出され、かつ第１のワ
ーク・ステーション１２上へ搬送される。２つの搬送ア
ーム４，５は交換アーム１６，１７，１８と同様にバキ
ューム・ホールディング装置を有する。搬送アーム４に
取付けられたバキューム・ホールディング装置は第１の
ワーク・ステーション１２へ到達した際に通気され、そ
の負圧が解放される。この結果、物体３は第１のワーク
・ステーション１２上において解放され、かつ同ワーク
・ステーション上へ載置される。この例は整合ステーシ
ョンに関するものである。このため、水平面上における
物体３の配置位置の調整と、同物体３の配置角度の調整
とは物体３の吸着後に実施される。第２のワーク・ステ
ーション１３、即ち顕微鏡テーブルは回転軸Ｘ−Ｘに対
する全ワーク・ステーションの同心位置に等しい交換位
置へ移動する。整合された物体及び顕微鏡テーブル上の
物体はリフティング・シリンダ４５による交換装置１１
の上昇によって持ち上げられる。両物体３は対応する交
換アームに取付けられたバキューム・ホールディング装
置により自身の裏面を介してそれぞれ吸着される。
【００３２】続いて、交換装置１１を１２０度回動させ
る間、一方の物体３は整合ステーションから顕微鏡テー
ブルへ搬送され、他方の物体３は顕微鏡テーブルから別
のワーク・ステーション１４へ同時に搬送される。その
後、両バキューム・ホールディング装置の負圧が解放さ
れ、両物体３は下方への移動により対応するワーク・ス
テーション上へ載置される。
る間、一方の物体３は整合ステーションから顕微鏡テー
ブルへ搬送され、他方の物体３は顕微鏡テーブルから別
のワーク・ステーション１４へ同時に搬送される。その
後、両バキューム・ホールディング装置の負圧が解放さ
れ、両物体３は下方への移動により対応するワーク・ス
テーション上へ載置される。
【００３３】一回の交換動作において複数の物体３を同
時に交換することにより、物体３の交換時間が短縮され
る。これにより、生産性向上が可能になる。その後の検
査中、物体３は搬送装置５によりワーク・ステーション
１４から装填及び取出し装置２上へ搬送される。この搬
送を実施すべくバキューム・ホールディング装置内に負
圧が形成される。そして、物体３は上方への移動により
ワーク・ステーション１４から持ち上げられ、次いで選
択されたマガジン棚内へ格納される。これと同時に、次
の物体が整合ステーション上へ搬送される。
時に交換することにより、物体３の交換時間が短縮され
る。これにより、生産性向上が可能になる。その後の検
査中、物体３は搬送装置５によりワーク・ステーション
１４から装填及び取出し装置２上へ搬送される。この搬
送を実施すべくバキューム・ホールディング装置内に負
圧が形成される。そして、物体３は上方への移動により
ワーク・ステーション１４から持ち上げられ、次いで選
択されたマガジン棚内へ格納される。これと同時に、次
の物体が整合ステーション上へ搬送される。
【００３４】本明細書中に開示する物体３の搬送経路は
例示を目的とするのみである。図１に破線で示す搬送ア
ームから明らかなように、本発明の装置を使用すること
により各種の搬送経路を柔軟に実現し得る。前記したよ
うに、この目的を実現すべくステーション１５も使用さ
れる。物体３は正逆両方向への回動が可能な交換装置１
１を用いて交換し得る。
例示を目的とするのみである。図１に破線で示す搬送ア
ームから明らかなように、本発明の装置を使用すること
により各種の搬送経路を柔軟に実現し得る。前記したよ
うに、この目的を実現すべくステーション１５も使用さ
れる。物体３は正逆両方向への回動が可能な交換装置１
１を用いて交換し得る。
【００３５】更に、中間装填位置としての使用のみを開
示したステーション１５は物体３を分類し、かつ混合す
るために使用できる。最後の物体の検査終了後、両マガ
ジンはマガジン・コンテナ６，７内へ格納される。マガ
ジン・コンテナ６，７はロックされ、これと同時にイン
デックス装置は装填高さへ移動される。
示したステーション１５は物体３を分類し、かつ混合す
るために使用できる。最後の物体の検査終了後、両マガ
ジンはマガジン・コンテナ６，７内へ格納される。マガ
ジン・コンテナ６，７はロックされ、これと同時にイン
デックス装置は装填高さへ移動される。
【００３６】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
ＳＭＩＦ条件に基づいて生産性を向上し、自由に選択し
得る搬送経路を提供し、機械に関する費用を低減すると
ともに、高い位置決め精度を保証するという優れた効果
を発揮する。
ＳＭＩＦ条件に基づいて生産性を向上し、自由に選択し
得る搬送経路を提供し、機械に関する費用を低減すると
ともに、高い位置決め精度を保証するという優れた効果
を発揮する。
【図１】取扱い装置の平面図。
【図２】取扱い装置の側面図。
【図３】交換装置の縦断面図。
【図４】交換装置の平面図。
【図５】交換装置の大まかな位置決めを行うコーディン
グ装置の平面図。
グ装置の平面図。
【図６】交換装置の正確な位置決めを行う装置の部分平
面図。
面図。
４，５…搬送装置、８…プラットフォーム、１１…交換
装置、１２，１３，１４，１５…ワーク・ステーショ
ン、１６，１７，１８…交換アーム、２４，２５，２６
…バキューム・ホールディング装置、２８，２９…接続
部、３０…シーリング・システム、３１，３２，３３…
静止バキューム接続部、５４，５５…歯付きラック部
分、５７，５８…把持エレメント、５９…平行グリッ
パ、６０…ベアリング、６２…リニア・ガイド、Ｅ１，
Ｅ２…平面。
装置、１２，１３，１４，１５…ワーク・ステーショ
ン、１６，１７，１８…交換アーム、２４，２５，２６
…バキューム・ホールディング装置、２８，２９…接続
部、３０…シーリング・システム、３１，３２，３３…
静止バキューム接続部、５４，５５…歯付きラック部
分、５７，５８…把持エレメント、５９…平行グリッ
パ、６０…ベアリング、６２…リニア・ガイド、Ｅ１，
Ｅ２…平面。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ハラルド ベッケルト ドイツ連邦共和国 デー−07747 イェナ リゼロッテ−ヘルマン−シュトラーセ 50アー (72)発明者 ベルント ラーネ ドイツ連邦共和国 デー−07747 イェナ フェリックス−オイエルバッハ−シュト ラーセ 18 (72)発明者 マンフレッド ハインツェ ドイツ連邦共和国 デー−01109 ドレス デンシュテンダラー シュトラーセ 22
Claims (8)
- 【請求項１】 物体の供給及び受取りを取扱い面内に位
置する供給及び受取り位置において行う少なくとも１つ
のインデックス装置と、ウェハ状物体を供給及び受取り
位置並びにワーク・ステーション間において搬送する少
なくとも１つの搬送装置とを有するウェハ状物体の取扱
い装置であって、前記ワーク・ステーション（１２）が
他の少なくとも１つのワーク・ステーション（１３，１
４）とともに中心点に対して実質的に同心をなすように
配置され、前記中心点を通って延びる回転軸（Ｘ−Ｘ）
を有する交換装置（１１）を更に含む取扱い装置。 - 【請求項２】 前記交換装置（１１）は物体（３）を１
つのワーク・ステーションから別のワーク・ステーショ
ンへ搬送すべく、複数のワーク・ステーション（１２，
１３，１４）における自身の交換アーム（１６，１７，
１８）の正確な位置決めを行うために、大まかな位置決
めを行うステップ駆動装置と、少なくとも１つの基準位
置における再現可能な位置決めを行う手段とを有する請
求項１に記載の装置。 - 【請求項３】 前記大まかな位置決めはコーディング装
置によって実施され、同コーディング装置はワーク・ス
テーション（１２，１３，１４，１５）に関する位置情
報と、ワーク・ステーション（１２，１３，１４）に対
する交換アーム（１６，１７，１８）の瞬時の割当てと
をマルチトラック・コーディングに基づいて決定する請
求項２に記載の装置。 - 【請求項４】 前記基準位置における交換装置（１１）
の再現可能な位置決めを行うべく一対の歯付きラック部
分（５４，５５）を有し、前記一対の歯付きラック部分
（５４，５５）は互いに相対的な移動が可能であり、さ
らには回転軸（Ｘ−Ｘ）として機能する中心軸に取付け
られた同一ピッチの歯車に対して係合している請求項１
乃至３のうちのいづれか一項に記載の装置。 - 【請求項５】 前記一対の歯付きラック部分（５４，５
５）はそれぞれ平行グリッパ（５９）の把持エレメント
（５７，５８）であり、同平行グリッパ（５９）は自身
の有効力線に直交する方向へ延伸可能であって、かつ軸
Ｙ−Ｙの周囲を回動可能であり、前記軸Ｙ−Ｙはベアリ
ング（６０）内において把持エレメント（５７，５８）
とは反対方向において回転軸Ｘ−Ｘに対して平行に延び
ており、ベアリング（６０）は回転軸Ｘ−Ｘに直交する
方向へリニア・ガイド（６２）上を案内される請求項４
に記載の装置。 - 【請求項６】 交換装置（１１）の無制限の回動角度を
保証すべく交換アーム（１６，１７，１８）に取付けら
れたバキューム・ホールディング装置（２４，２５，２
６）に対する負圧供給管路が回転軸Ｘ−Ｘとして機能す
る中心軸の内部に配置されており、同中心軸の内部に配
置された接続部（２８，２９）は中心軸の外側に位置す
る静止バキューム接続部（３１，３２，３３）に対して
シーリング・システム（３０）を介して連結されている
請求項１乃至５のうちのいづれか一項に記載の装置。 - 【請求項７】 全てのインデックス装置は上下に配置さ
れた２つの平面（Ｅ１，Ｅ２）間における垂直移動を実
施すべく、垂直方向に調整可能なプラットフォーム
（８）に対して取付けられており、前記２つの平面のう
ちの一方の平面（Ｅ１）は人間工学的に適した装填高さ
に位置し、他方の平面（Ｅ２）は取扱い面内に位置し、
これによりインデックス装置及び搬送装置（４，５）の
効果的な動作を可能にした請求項１に記載の装置。 - 【請求項８】 取扱い処理を行うべく開放可能に設計さ
れたインデックス装置の側部は適切にシールされたラビ
リンス・システム内を案内される請求項７に記載の装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19549045-2 | 1995-12-28 | ||
| DE19549045A DE19549045C1 (de) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09186218A true JPH09186218A (ja) | 1997-07-15 |
| JP2840060B2 JP2840060B2 (ja) | 1998-12-24 |
Family
ID=7781594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8157955A Expired - Lifetime JP2840060B2 (ja) | 1995-12-28 | 1996-06-19 | ウェハ状物体の取扱い装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5807062A (ja) |
| EP (1) | EP0782175A3 (ja) |
| JP (1) | JP2840060B2 (ja) |
| KR (1) | KR970053353A (ja) |
| DE (1) | DE19549045C1 (ja) |
| SG (1) | SG44949A1 (ja) |
| TW (1) | TW332306B (ja) |
Cited By (2)
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