JPH05105232A - 搬送台退避機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 磁気浮上搬送装置の搬送路内を浮上走行する
搬送台を搬送軌道上から一時外して退避せしめるための
退避機構の提供。 【構成】 隔壁で包囲されて外部雰囲気から遮断された
搬送路１と、対象物を載置する搬送台１８−１，１８−
２と、該搬送台が走行する軌道と、搬送台を浮上させ且
つ走行させるための複数の磁極１２とを含み、該磁極か
らの磁力の作用により搬送台は軌道及び隔壁に対して非
接触状態を維持しつつ搬送路を浮上走行する磁気浮上搬
送装置で用いられる搬送台退避機構において、搬送台を
保持するための保持手段３０と、該保持手段を垂直方向
に移動せしめる垂直移動手段４０とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気浮上搬送装置の搬
送路内を浮上走行する搬送台を搬送軌道上から一時外
す、すなわち退避せしめるための退避機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気浮上搬送装置には種々のタイプのも
のがある。そして、対象物を載置する搬送台と、該搬送
台が走行する軌道と、搬送台を浮上させ且つ走行させる
ための複数の磁極とを含み、該磁極からの磁力の作用に
より搬送台は軌道及び隔壁に対して非接触状態を維持し
つつ搬送路を浮上走行する点で、概略共通する。

【０００３】ここで、搬送路を隔壁で包囲して外部雰囲
気から遮断するタイプの磁気浮上搬送装置は、半導体製
造設備の様な精密工学の分野で特に有効である。すなわ
ち、半導体製造設備におけるクリーンルームの様に、粉
塵の発生や粒子汚染を防止する必要がある場合には、非
接触浮上走行を行う搬送設備が必須とされ、且つ搬送路
内をその外部雰囲気に対して遮断する必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この様なタイ
プの磁気浮上搬送装置においては、搬送路内を浮上走行
する搬送台の数が少ないという問題がある。搬送設備に
必要以上のスペースが占領されるのを防ぐため、隔壁で
包囲された搬送路内部のスペースは搬送台の浮上走行に
必要最小限の大きさに抑えられている。そのため、搬送
路内部で他の搬送路を追い越したり、交差したり、退避
したり、すれちがう等の操作は不可能である。そして、
往復動を必要とする搬送対象物を載置した搬送台が走行
している場合には、他の搬送台はその搬送路を走行する
ことが出来ないのである。従って、搬送路内は極少ない
数の搬送台しか走行出来ないことになる。

【０００５】また、少数の搬送台しか走行出来ないとい
うことは、搬送設備における搬送効率を低下せしめてし
まう。さらに、搬送路のレイアウトを複雑にしてしまう
という問題も惹起する。

【０００６】本発明は上記した従来技術の問題点に鑑み
て提案されたもので、上記したタイプの磁気浮上搬送装
置において搬送台を退避せしめて搬送軌道から外れる様
にして、他の搬送台が該退避した搬送台を追い越し、或
いはすれちがう等の操作を可能にした搬送台退避機構の
提供を目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の搬送台退避機構
は、隔壁で包囲されて外部雰囲気から遮断された搬送路
と、対象物を載置する搬送台と、該搬送台が走行する軌
道と、搬送台を浮上させ且つ走行させるための複数の磁
極とを含み、該磁極からの磁力の作用により搬送台は軌
道及び隔壁に対して非接触状態を維持しつつ搬送路を浮
上走行する磁気浮上搬送装置で用いられる搬送台退避機
構において、搬送台を保持するための保持手段と、該保
持手段を垂直方向に移動せしめる垂直移動手段とを含ん
でいる。本発明の実施に際しては、前記保持手段として
は搬送台を載置することが出来る様な形状、例えばフォ
ーク状、をしたフィンガを有するロボットアームが好ま
しい。または、その内部に冷媒流過用の管路を穿設し、
搬送台を把持或いは支持する手段を設けた板状の部材
を、前記保持手段として設けるのが好ましい。

【０００８】そして前記垂直移動手段としては、ピスト
ン・シリンダ機構その他の公知の機構が全て適用可能で
あり、特に限定条件は無い。但し、搬送路内の雰囲気の
清浄度を保持出来る機構が好ましい。

【０００９】

【作用】上記した様な構成を有する本発明によれば、搬
送台を保持手段により保持或いは支持して、垂直移動手
段により、搬送台と共に保持手段を垂直方向上方或いは
下方に移動することにより、該搬送台は搬送路内の走行
軌道から一時外れて退避した状態となる。そして、退避
した搬送台が存在していた軌道をその他の搬送台が自由
に浮上走行することが出来るのである。

【００１０】ここで、例えば特願平３−１７２６６６号
に示されている様にレンツの法則に従う反撥力を応用す
るタイプの磁気浮上搬送装置の場合には、保持手段及び
保持された搬送台は垂直移動手段により垂直方向上方に
一時退避される。一方、磁力により搬送台を懸下するタ
イプの磁気浮上搬送装置では、保持手段及び保持された
搬送台は垂直方向下方に退避される。そして、垂直方向
について上方であるか下方であるかの差異は、軌道を走
行する搬送台に作用する磁気的な浮上力の方向に起因し
ている。

【００１１】退避した搬送台を再び軌道に戻す際には、
垂直移動手段により保持手段と共に搬送台を軌道の所定
の垂直方向位置まで戻し、搬送台を保持手段から保持解
除すれば良い。

【００１２】

【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明の実施例
について説明する。

【００１３】図１〜３は本発明の第１実施例を示してい
る。図１において、隔壁１０で包囲された搬送路Ｉの下
方には、セラミックスの様な非金属板８が底板として配
置されている。そして非金属板８のさらに下方には、複
数の磁極１２が配列（図１では２列）されており、該磁
極１２の各々にはコイル１４が巻き回されている。

【００１４】そして、搬送路Ｉ内にはウエハ（図示の例
では符号２０−２で示す）を載置した搬送台（図示の例
では符号１８−２で示す）が浮上走行する。ここで、搬
送台は非磁性金属から構成されている。

【００１５】この搬送路Ｉは殆どの箇所が図２で示す様
な構成となっているが、本発明の搬送台退避機構を設け
た箇所は図１で示す様な構成となっている。

【００１６】図１において、符号３０は搬送台を保持す
る保持手段であるロボットアームを示し、符号４０は垂
直移動手段である真空ロボットを示し、符号５０はアー
ム３０、真空ロボット４０を包囲する隔壁を示してい
る。このロボットアーム３０は退避するべき搬送台１８
−１を載置して保持しており、該搬送台１８−１にはウ
エハ２０−１が載置されている。明確には図示されてい
ないが、ロボットアーム３０はフォーク状のフィンガを
有するアームとなっており、搬送台の載置及び放出を容
易ならしめている。また、真空ロボット４０はアーム３
０を上下動する様に構成されている。

【００１７】次に、図３を参照してこの実施例の作用を
説明する。

【００１８】図３において、符号１８−２の位置にある
搬送台を退避するものと仮定する。先ずロボット４０を
駆動して、アーム３０を図３で示す位置よりも下降す
る。その際に、搬送台１８−２と該アームとは干渉しな
いように、アーム３０の水平方向位置を変位する必要が
ある。そして、搬送台１８−２よりも低い位置まで下降
した後に、アーム３０の水平方向位置を搬送台１８−２
を掬い取ることが出来る様な位置まで復位する。その状
態で、ロボット４０を駆動してアーム３０を上昇せしめ
れば、アーム３０は搬送台を掬い上げる（載置しる）。
それにより、搬送台は図３において符号１８−１で示す
様な状態となる。この際には、符号１８−２で示す位置
には搬送台が存在しないので、その他の搬送台が搬送路
Ｉの軌道上を自在に移動出来るのである。

【００１９】符号１８−１で示す様に、退避位置にある
搬送台を元の浮上走行位置（符号１８−２で示す状態）
に復位する際には、ロボット４０により搬送台毎アーム
３０を下降すれば良い。

【００２０】図４はその他の実施例の要部を示してい
る。上述の実施例においては、保持手段すなわちアーム
はフォーク状のフィンガを有する形状と説明されている
が、図４で示す様な板状に形成することも可能である。
図４において、保持手段のその他の実施例である保持プ
レート６０には、冷却用の冷媒が流過する管路６２…が
穿孔されている。そして図示はされていないが、搬送台
の載置、放出を容易にする様な機構を具備している。

【００２１】作用については、図１−３で説明したのと
略々同一であるので省略する。

【００２２】ここで、図示の実施例はあくまでも例示で
あり、本発明は図示の実施例以外にも種々適用可能であ
る。例えば図示の実施例は、レンツの法則に従う反撥力
を応用するタイプの磁気浮上搬送装置、すなわち特願平
３−１７２６６６号に示されている磁気浮上搬送装置に
ついて適用する場合が示されているが、その他のタイプ
の磁気浮上搬送装置においても本発明は利用可能であ
る。例えば、磁力により搬送台を懸下するタイプの磁気
浮上搬送装置にも本発明が適用出来る。その場合は、保
持手段及び保持された搬送台は垂直方向下方に退避され
る。

【００２３】

【発明の効果】以上説明した本発明の作用効果を以下に
列挙する。

【００２４】（１） 搬送台を保持手段により保持或い
は支持して、垂直移動手段により、搬送台と共に保持手
段を垂直方向上方或いは下方に移動することにより、該
搬送台は搬送路内の走行軌道から一時外れて退避した状
態となり、退避した搬送台が存在していた軌道をその他
の搬送台が自由に浮上走行することが出来る。

【００２５】（２） 搬送台が退避した搬送台を追い越
し、或いはすれ違うことができて、搬送路を双方向に利
用できるため、複数の作業工程について、共通して磁気
搬送装置を使用できる。

【００２６】（３） 待ち時間の最中の搬送台を退避さ
せることにより、搬送路全体を無駄に待機状態としてお
く必要が無くなる。その結果、搬送時間に無駄が無くな
る。 （４） 浮上走行する搬送台の数を増加することが出来
る。そのため、搬送効率が向上する。

【００２７】（５） 搬送台が退避した搬送台を追い越
し、或いはすれ違うことができて、搬送路を双方向に利
用できることに関連して、搬送路のレイアウトを簡略化
することが出来る。

【００２８】（６） 既存の磁気浮上搬送装置に対し
て、容易に付加することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の正面図。

【図２】本発明を適用する磁気浮上搬送装置の搬送路を
示す斜視図。

【図３】図１の実施例の作用を説明する正面図。

【図４】本発明の他の実施例の要部を示す断面図。

【符号の説明】

１０、５０・・・隔壁 １２・・・磁極 １８−１、１８−２・・・搬送台 ２０−１、２０−２・・・ウエハ ３０・・・ロボットアーム ４０・・・真空ロボット ４０・・・冷却室 Ｉ・・・搬送路

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ 8418−4Ｍ (72)発明者 金光 陽一 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 隔壁で包囲されて外部雰囲気から遮断さ
   れた搬送路と、対象物を載置する搬送台と、該搬送台が
   走行する軌道と、搬送台を浮上させ且つ走行させるため
   の複数の磁極とを含み、該磁極からの磁力の作用により
   搬送台は軌道及び隔壁に対して非接触状態を維持しつつ
   搬送路を浮上走行する磁気浮上搬送装置で用いられる搬
   送台退避機構において、搬送台を保持するための保持手
   段と、該保持手段を垂直方向に移動せしめる垂直移動手
   段とを含むことを特徴とする搬送台退避機構。