JP2008100835A - 搬送システム - Google Patents
搬送システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008100835A JP2008100835A JP2006286607A JP2006286607A JP2008100835A JP 2008100835 A JP2008100835 A JP 2008100835A JP 2006286607 A JP2006286607 A JP 2006286607A JP 2006286607 A JP2006286607 A JP 2006286607A JP 2008100835 A JP2008100835 A JP 2008100835A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track
- foup
- carriage
- transport
- ohs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】グリッパ47によりFOUP35を把持したOHT搬送台車16は、中継バッファ5に対向する位置において昇降ベルト46によりグリッパ47を降下させ、棚板21a、21bの上面に跨るようにFOUP35を載置する。OHS搬送台車8は、中継バッファ5に対向する位置において昇降テーブル64を上昇させて棚板21a、21bの間を通過させることによってその上面にFOUP35を載置し、その後、中継バッファ5に対向しない位置まで移動させてから昇降テーブル64を降下させることにより、FOUP35をFOUP載置台60に載置する。
【選択図】図10
Description
ここで、特許文献1には、敷設された軌道上を台車が走行することによってカセット(被搬送物)を搬送する自動倉庫システムが記載されている。また、特許文献2には、敷設された軌道に懸垂された台車が、軌道に沿って移動することによってワーク(被搬送物)を搬送し、2つの台車間でワークの受け渡しを行うために、一方の台車がワークをストレージラック部材(中継バッファ)にワーク載置し、他方の台車がストレージラック部材に載置されたワークを摘出する。
これらの技術を組み合わせれば、FOUPを搬送するための搬送装置において、その上面にFOUPを載置し、軌道上を走行するOHS(Over Head Shuttle)搬送台車と、その下端においてFOUPを把持し、軌道から懸垂された状態で走行するOHT(Over Head Transport)搬送台車の両タイプの搬送台車を搬送装置に組み入れ、OHS搬送台車が走行する軌道とOHT搬送台車が走行する軌道との間にFOUPを一時的に載置しておくことが可能な棚を有する中継バッファを設け、例えば、処理工程間のFOUPの搬送をOHS搬送台車に処理工程内のFOUPの搬送をOHT搬送台車に分担させ、OHS搬送台車とOHT搬送台車との間のFOUPの受け渡しを、中継バッファを介して行うことにより、搬送装置全体における搬送効率を向上させることが可能である。また、半導体製造の各処理工程に要する時間は処理工程毎に異なるので、ある処理工程の後、次の処理工程を行うまでに待ち時間がある場合には、FOUPを中継バッファに載置しておき、この間にOHS搬送台車及びOHT搬送台車を異なるFOUPの搬送に割り当てることにより、OHS搬送台車及びOHT搬送台車を有効利用することができる。
8 OHS搬送台車
9 OHS搬送台車走行軌道
10 OHT搬送台車走行軌道
16 OHT搬送台車
21a、21b 棚板
22a,22b 位置決めプレート
23a、23b、23c キネマティックピン
37、38 窪み
47 グリッパ
64 昇降テーブル
71a、71b 棚板
72a、72b 位置決めプレート
Claims (4)
- 天井に敷設された第1軌道と、
前記第1軌道に沿って懸垂された状態で移動することによって前記被搬送物を搬送する第1搬送台車と、
前記第1軌道の下方に敷設された第2軌道と、
前記第2軌道に沿って前記第2軌道上を移動することによって前記被搬送物を搬送する第2搬送台車と、
上下方向に関して前記第1軌道と前記第2軌道とが重なる位置において、前記第1軌道と前記第2軌道との間に配置され、前記被搬送物が載置される中継バッファとを備え、
前記中継バッファは、上下方向に関して同じ位置に、前記第2軌道の延在方向と直交する方向に関して前記第2軌道を挟んで互いに離隔して配置され、その上面に前記被搬送物が載置される2つの棚部材を有しており、
前記第1搬送台車は、上下方向に移動し、前記2つの棚部材に跨るように前記被搬送物を載置し、前記中継バッファに載置された前記被搬送物を摘出する第1授受手段を有しており、
前記第2搬送台車は、その上面に前記被搬送物を載置する載置面を有し、上下方向に移動する第2授受手段を有し、
前記第2授受手段は、前記2つの棚部材の間を通過して上下方向に移動可能となっていることを特徴とする搬送システム。 - 前記中継バッファは、上下方向に関して、前記第1軌道と前記第2軌道とが平行に延びている部分に重なる領域に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。
- 前記2つの棚部材の少なくとも一方に、前記被搬送物の前記中継バッファに対する位置決めを行う位置決め手段を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送システム。
- 前記棚部材が、その上面に複数の前記被搬送物を載置可能であることを特徴とする請求項11〜3のいずれか1項に記載の搬送システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006286607A JP5145686B2 (ja) | 2006-10-20 | 2006-10-20 | 搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006286607A JP5145686B2 (ja) | 2006-10-20 | 2006-10-20 | 搬送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008100835A true JP2008100835A (ja) | 2008-05-01 |
JP5145686B2 JP5145686B2 (ja) | 2013-02-20 |
Family
ID=39435467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006286607A Expired - Fee Related JP5145686B2 (ja) | 2006-10-20 | 2006-10-20 | 搬送システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5145686B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010006478A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Asyst Technologies Japan Inc | 走行システム |
JP2010034559A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Inotera Memories Inc | ウエハ移動用無塵ケースの搬送方法とそのシステム |
JP2011071434A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Daifuku Co Ltd | 容器搬送設備 |
WO2012014561A1 (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-02 | ムラテックオートメーション株式会社 | 搬送システム |
KR101356569B1 (ko) * | 2009-03-17 | 2014-01-28 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천장 반송 시스템과 물품의 이동 재치 방법 |
US8915690B2 (en) | 2010-11-04 | 2014-12-23 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system and transport method |
US9187260B2 (en) | 2010-11-04 | 2015-11-17 | Murata Machinery, Ltd. | Conveying system and conveying method |
US9263311B2 (en) | 2010-11-04 | 2016-02-16 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system and transport method |
CN107336714A (zh) * | 2017-05-19 | 2017-11-10 | 张元东 | 坐式列车和悬挂式列车超会车轨道系统 |
KR101862731B1 (ko) | 2011-03-17 | 2018-05-30 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
WO2019035286A1 (ja) * | 2017-08-16 | 2019-02-21 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車、搬送システム、及び天井搬送車の制御方法 |
JP7464065B2 (ja) | 2022-02-16 | 2024-04-09 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104290759A (zh) * | 2014-08-22 | 2015-01-21 | 深圳朴方环保发展有限公司 | 一种立体客运交通装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06129200A (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-10 | Kajima Corp | シールド工法用資機材の自動搬送装置 |
JP2005029319A (ja) * | 2003-07-10 | 2005-02-03 | Asyst Shinko Inc | 搬送システム |
JP2006049454A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Asyst Shinko Inc | ストッカ |
-
2006
- 2006-10-20 JP JP2006286607A patent/JP5145686B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06129200A (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-10 | Kajima Corp | シールド工法用資機材の自動搬送装置 |
JP2005029319A (ja) * | 2003-07-10 | 2005-02-03 | Asyst Shinko Inc | 搬送システム |
JP2006049454A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Asyst Shinko Inc | ストッカ |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010006478A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Asyst Technologies Japan Inc | 走行システム |
JP2010034559A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Inotera Memories Inc | ウエハ移動用無塵ケースの搬送方法とそのシステム |
KR101356569B1 (ko) * | 2009-03-17 | 2014-01-28 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천장 반송 시스템과 물품의 이동 재치 방법 |
JP2011071434A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Daifuku Co Ltd | 容器搬送設備 |
WO2012014561A1 (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-02 | ムラテックオートメーション株式会社 | 搬送システム |
JP2012025573A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送システム |
US8915690B2 (en) | 2010-11-04 | 2014-12-23 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system and transport method |
US9187260B2 (en) | 2010-11-04 | 2015-11-17 | Murata Machinery, Ltd. | Conveying system and conveying method |
US9263311B2 (en) | 2010-11-04 | 2016-02-16 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system and transport method |
KR101862731B1 (ko) | 2011-03-17 | 2018-05-30 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
CN107336714A (zh) * | 2017-05-19 | 2017-11-10 | 张元东 | 坐式列车和悬挂式列车超会车轨道系统 |
WO2019035286A1 (ja) * | 2017-08-16 | 2019-02-21 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車、搬送システム、及び天井搬送車の制御方法 |
JPWO2019035286A1 (ja) * | 2017-08-16 | 2020-08-06 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車、搬送システム、及び天井搬送車の制御方法 |
US11069549B2 (en) | 2017-08-16 | 2021-07-20 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead transport vehicle, overhead transport system, and control method for overhead transport vehicle |
JP7464065B2 (ja) | 2022-02-16 | 2024-04-09 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5145686B2 (ja) | 2013-02-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5145686B2 (ja) | 搬送システム | |
JP4848862B2 (ja) | 搬送台車走行軌道 | |
TWI729078B (zh) | 搬運系統 | |
WO2017150006A1 (ja) | 一時保管システム | |
JP5088468B2 (ja) | 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム | |
JP4636379B2 (ja) | 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置 | |
JP2007096140A (ja) | 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置 | |
JP5880693B2 (ja) | 搬送システム | |
TWI722208B (zh) | 搬送系統 | |
JP7211439B2 (ja) | 搬送システム | |
EP1845552B1 (en) | Transportation system and transportation method | |
JP2008019017A (ja) | 物品収納装置 | |
WO2013150841A1 (ja) | 搬送システム | |
KR102453197B1 (ko) | 기판 이송 용기 저장 장치 | |
JP2010241547A (ja) | 走行車システム | |
KR102531402B1 (ko) | 반송 유닛 및 물품 반송 장치 | |
JP7323059B2 (ja) | 搬送車システム | |
JP2005136294A (ja) | 移載装置 | |
JP2010235213A (ja) | 走行車システム | |
JP2008024417A (ja) | 一時保管棚装置 | |
JP2003171081A (ja) | 天井搬送システム及びその搬送方法 | |
KR20230102516A (ko) | 물품 반송 장치 | |
TW202415571A (zh) | 有軌道台車系統 | |
JP2024071931A (ja) | ステーション装置及び自動倉庫システム | |
CN118056773A (zh) | 制动装置和包括制动装置的塔式升降机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091020 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20091020 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091117 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111213 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120210 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120904 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121009 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121030 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121112 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5145686 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151207 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |