JP2008100835A - 搬送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】グリッパ47によりFOUP35を把持したOHT搬送台車16は、中継バッファ5に対向する位置において昇降ベルト46によりグリッパ47を降下させ、棚板21a、21bの上面に跨るようにFOUP35を載置する。OHS搬送台車8は、中継バッファ5に対向する位置において昇降テーブル64を上昇させて棚板21a、21bの間を通過させることによってその上面にFOUP35を載置し、その後、中継バッファ5に対向しない位置まで移動させてから昇降テーブル64を降下させることにより、FOUP35をFOUP載置台60に載置する。
【選択図】図10
Description
ここで、特許文献1には、敷設された軌道上を台車が走行することによってカセット(被搬送物)を搬送する自動倉庫システムが記載されている。また、特許文献2には、敷設された軌道に懸垂された台車が、軌道に沿って移動することによってワーク(被搬送物)を搬送し、2つの台車間でワークの受け渡しを行うために、一方の台車がワークをストレージラック部材(中継バッファ)にワーク載置し、他方の台車がストレージラック部材に載置されたワークを摘出する。
これらの技術を組み合わせれば、FOUPを搬送するための搬送装置において、その上面にFOUPを載置し、軌道上を走行するOHS(Over Head Shuttle)搬送台車と、その下端においてFOUPを把持し、軌道から懸垂された状態で走行するOHT(Over Head Transport)搬送台車の両タイプの搬送台車を搬送装置に組み入れ、OHS搬送台車が走行する軌道とOHT搬送台車が走行する軌道との間にFOUPを一時的に載置しておくことが可能な棚を有する中継バッファを設け、例えば、処理工程間のFOUPの搬送をOHS搬送台車に処理工程内のFOUPの搬送をOHT搬送台車に分担させ、OHS搬送台車とOHT搬送台車との間のFOUPの受け渡しを、中継バッファを介して行うことにより、搬送装置全体における搬送効率を向上させることが可能である。また、半導体製造の各処理工程に要する時間は処理工程毎に異なるので、ある処理工程の後、次の処理工程を行うまでに待ち時間がある場合には、FOUPを中継バッファに載置しておき、この間にOHS搬送台車及びOHT搬送台車を異なるFOUPの搬送に割り当てることにより、OHS搬送台車及びOHT搬送台車を有効利用することができる。
8 OHS搬送台車
9 OHS搬送台車走行軌道
10 OHT搬送台車走行軌道
16 OHT搬送台車
21a、21b 棚板
22a,22b 位置決めプレート
23a、23b、23c キネマティックピン
37、38 窪み
47 グリッパ
64 昇降テーブル
71a、71b 棚板
72a、72b 位置決めプレート
Claims (4)
- 天井に敷設された第1軌道と、
前記第1軌道に沿って懸垂された状態で移動することによって前記被搬送物を搬送する第1搬送台車と、
前記第1軌道の下方に敷設された第2軌道と、
前記第2軌道に沿って前記第2軌道上を移動することによって前記被搬送物を搬送する第2搬送台車と、
上下方向に関して前記第1軌道と前記第2軌道とが重なる位置において、前記第1軌道と前記第2軌道との間に配置され、前記被搬送物が載置される中継バッファとを備え、
前記中継バッファは、上下方向に関して同じ位置に、前記第2軌道の延在方向と直交する方向に関して前記第2軌道を挟んで互いに離隔して配置され、その上面に前記被搬送物が載置される2つの棚部材を有しており、
前記第1搬送台車は、上下方向に移動し、前記2つの棚部材に跨るように前記被搬送物を載置し、前記中継バッファに載置された前記被搬送物を摘出する第1授受手段を有しており、
前記第2搬送台車は、その上面に前記被搬送物を載置する載置面を有し、上下方向に移動する第2授受手段を有し、
前記第2授受手段は、前記2つの棚部材の間を通過して上下方向に移動可能となっていることを特徴とする搬送システム。 - 前記中継バッファは、上下方向に関して、前記第1軌道と前記第2軌道とが平行に延びている部分に重なる領域に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。
- 前記2つの棚部材の少なくとも一方に、前記被搬送物の前記中継バッファに対する位置決めを行う位置決め手段を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送システム。
- 前記棚部材が、その上面に複数の前記被搬送物を載置可能であることを特徴とする請求項11〜3のいずれか1項に記載の搬送システム。
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