JPH0537772U - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】被搬送物と浮上体との間の間隙が、簡単な浮上
体構造で形成でき、被搬送物として許容できる載荷重量
の減少を防止し、且つ製作コストを低減することを目的
とする。 【構成】電磁石列１上を浮上走行する浮上体２２の中央
に空孔２２ａを設け、浮上体２２外に設けられた支持部
材４の上部が浮上体２２の降下状態でこの空孔２２ａよ
り上方に突き出る構造とし、浮上体２２を降下させた場
合に、被搬送物３を浮上体２２から支持部材４の上端に
移載させると共に、被搬送物３と浮上体２２との間に保
持治具１４を挿入する間隙を生じさせることを特徴とす
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば発塵を嫌う半導体製造装置におけるウエハー搬送機器、その 他、非接触で物体を搬送することが要求される分野に用いて好適な搬送装置に係 り、特に被搬送物体を浮上体の上に載置し、この浮上体を磁石列上で浮上走行さ せる磁気浮上搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

近年、この種の磁気浮上搬送装置が各種研究・開発されている。従来の磁気浮 上搬送装置の構成を図５に示す。同図において、１は電磁石列、２は電磁石列１ 上を浮上して移動走行（搬送）する浮上体であり、アルミニウムなどの軽くて導 電性の高い非磁性金属材料を用いて構成される。この浮上体２上には移送の対象 となる半導体ウエハーなどの被搬送物３が載置される。また、図６に上記磁気浮 上搬送装置の平面図を示す。

【０００３】 図５および図６に示す構成による従来の磁気浮上搬送装置の浮上体２の上側表 面は、平滑面であり、これにやはり平滑面を有する例えば円板型の半導体ウエハ ーなどを被搬送物３として載荷させている。この状態では、被搬送物３と浮上体 ２との間に間隙がないため、被搬送物３に損傷を与えずに同被搬送物３を浮上体 ２から下ろすことや、被搬送物３を浮上体２に載せることは困難である。

【０００４】 そこで、図５に示す状態において、被搬送物３を浮上体２から下ろす場合、あ るいは浮上体２の上に被搬送物３を載せる場合に対処できるように、本出願人は 実願平２−１１６００５における如く、図７に示すような載荷体１２ｃを浮上体 ２上に複数個立設し、その上面に円板型半導体ウエハー等の被搬送物３を載荷さ せることで、被搬送物３と浮上体２との間に間隙（空間）を形成する構造を提案 している。このような構造の磁気浮上搬送装置では、図８に示す如く、保持治具 １４を載荷体１２ｃによって形成される間隙に差し込むことで、被搬送物３を保 持治具１４に保持して浮上体２から下ろす、あるいは浮上体２の上に被搬送物３ を載せることが行われる。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

上記したように先願考案に係る磁気浮上搬送装置（以下、先願装置と称する） では、被搬送物と浮上体との間に間隙を形成するのに、浮上体の上に、被搬送物 を支持するための載荷体を複数個設けた構造をとっていた。このため先願装置で は、浮上体の構造が複雑となり、製作コストが増大する上に、載荷体の重量を支 える必要から、被搬送物として許容できる載荷重量の減少を招き、搬送装置の用 途を著しく制限するという問題があった。

【０００６】 本考案は上記事情に鑑みてなされたものでその目的は、被搬送物を浮上体に載 せたり、あるいは下ろすことを可能とするために必要な被搬送物と浮上体との間 の間隙が、簡単な浮上体構造でもって形成でき、もって被搬送物として許容でき る載荷重量の減少防止および製作コストの低減が計れる磁気浮上搬送装置を提供 することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上記課題を解決するために、磁石列上を浮上走行する浮上体の中央 に下面と上面を貫通する空孔を設け、浮上体外に設けられた被搬送物支持部材が 浮上体の降下状態でこの空孔を遊貫して被搬送物を支持せしめる構造としたこと を特徴とする。

【０００８】

【作用】

上記の構成によれば、浮上体を被搬送物支持部材の設置位置で降下させると、 被搬送物支持部材の上部が浮上体の空孔を貫通して浮上体上方へ突き出て、被搬 送物支持部材上面に被搬送物を移載させることが可能となり、被搬送物と浮上体 の間に間隙を形成させることができる。この間隙は、半導体ウエハーなどの被搬 送物を浮上体の上に載せたり、あるいは浮上体上に載せられていた被搬送物を下 ろすための被搬送物保持治具挿入用の空間として用いられる。

【０００９】 このため、先願装置における載荷体のような、浮上体上に保持治具挿入用の間 隙を設けるための構造を予め具備する必要がなく、それら構造による重量増のた めに、被搬送物の重量を制限されることもなくなる。

【００１０】

【実施例】

以下、図面を参照して本考案の一実施例を説明する。

【００１１】 図１は同実施例に係る磁気浮上搬送装置の浮上体を中心とする構造を示す図で あり、同図１（ａ）は平面図、同図（ｂ）はその正面図である。なお、図５、図 ６と同一部分には同一符号を付してある。

【００１２】 図１において、２２は電磁石列１上を浮上走行する新規な構造の浮上体であり 、円板型半導体ウエハー等の被搬送物３はこの浮上体２２の上面に載置されて搬 送される。浮上体２２の中央には、空孔２２ａが形成されている。

【００１３】 図２は、浮上体２２に形成された空孔２２ａの利用形態を説明するための図で あり、同図２（ａ）は浮上体２２が浮上・静止している状態を示す。 図２（ａ）において、４は浮上体２２外に設けられた支持部材（被搬送物支持 部材）である。この支持部材４は、被搬送物３を浮上体２２上に載せたり、ある いは浮上体２２から下ろすことが要求される位置（即ち浮上体２２の浮上開始位 置あるいは降下位置）に設けられるもので、その断面形状はＴ字形となっており 、被搬送物３を水平に支持可能なように上面が平坦な構造となっている。また、 支持部材４の上面の大きさは、同支持部材４が浮上体２２の空孔２２ａの周縁部 に接触することなく貫通可能なように設定されている。浮上体２２の浮上・静止 状態では、浮上体２２（の下面）と支持部材４（の上面）との間には隙間が確保 されており、浮上体２２が支持部材４に接触もしくは衝突しないようになってい る。

【００１４】 図２（ｂ）は、図２（ａ）の状態から、電磁石列１による浮上体２２の浮上力 をやや減じ、浮上体２２を降下させている状態を示す。 図２（ａ）の状態で浮上体２２が降下を始めると、支持部材４の上端が浮上体２ ２の空孔２２ａ内に遊挿されるようになり、さらに浮上体２２が降下すると、図 ２（ｂ）に示すように支持部材４の上部が空孔２２ａを遊貫して、浮上体２２の 上方へ突き出る。これにより、支持部材４の上端で浮上体２２上の被搬送物３が 押上げられ、被搬送物３が支持部材４の上面に移載され、同時に浮上体２２と被 搬送物３との間に間隙が生じる。

【００１５】 図２（ｃ）は、浮上体２２と被搬送物３との間の間隙に保持治具１４を挿入し た状態を示す。 浮上体２２を支持部材４の設置位置で下降させることにより、浮上体２２と被 搬送物３との間には図２（ｂ）に示したように間隙が生じる。このため、被搬送 物３の下側には、図８に示したような例えば上下左右に移動制御可能なフォーク 状の保持治具１４を、その先端から図示矢印ＹL 方向（左方向）に移動すること により簡単に挿入することができる。この後、保持治具１４を図示矢印ＸU 方向 （上方向）へ移動することにより、被搬送物３を支持部材４から保持治具１４上 に移載することができる。この状態で、保持治具１４を図示矢印ＹR 方向（右方 向）へ移動させれば、被搬送物３を保持治具１４と共に別の場所へ移動させるこ とができる。

【００１６】 一方、被搬送物３を保持治具１４によって支持部材４に載せるには、まず被搬 送物３を載せた保持治具１４を、その先端から矢印ＹL 方向（左方向）に移動す ることで、浮上体２２の上側に挿入する。次に、保持治具１４を矢印ＸD 方向（ 下方向）に移動することにより、被搬送物３を保持治具１４から支持部材４上に 移載することができる。このとき、保持治具１４は被搬送物３から離れているた め、被搬送物３を支持部材４に移した状態で、保持治具１４だけを矢印ＹR 方向 （右方向）へ移動させることができる。

【００１７】 さて、被搬送物３を支持部材４に載せた状態で、電磁石列１により浮上体２２ を浮上させると、支持部材４に載せられていた被搬送物３が浮上体２２に移載さ れる。この状態で、浮上体２２を走行させれば、浮上体２２上の被搬送物３を搬 送することができる。

【００１８】 ここで、浮上体２２に設けられた空孔２２ａの位置、大きさは、支持部材４が その空孔２２ａを介して被搬送物３の重心を支持できるように決定されており、 更に保持治具１４の形状、浮上体２２の浮上力を考慮して決定されている。上記 実施例における保持治具１４、支持部材４および空孔２２ａの位置関係を図３に 示す。

【００１９】 なお、上記実施例では、保持治具１４が上下方向（ＸL ，ＸR 方向）への移動 機能を持つものとしているが、この移動機能を支持部材４に持たせることも可能 である。

【００２０】 また、上記実施例では、中央に空孔２２ａが設けられた浮上体２２を用いた場 合について説明したが、これに限るものではなく、例えば図４に示すように、軸 対象な４つの空孔３２ａが設けられた浮上体３２を用いることも可能である。こ のような浮上体３２の構造では、同浮上体３２が降下状態（浮上開始前の状態） にある場合に、図４に示すように、同浮上体３２の４つの空孔３２ａに遊貫する ４つの支持部材２４を支持部材４に代えて用いる必要がある。 この他、空孔の数、形状、位置、大きさは、本考案の要旨を逸脱しない範囲で 種々変形可能であることは言うまでもない。

【００２１】

【考案の効果】

以上詳述したように本考案によれば、磁石列上を浮上走行する浮上体に空孔を 設け、浮上体外に設けられた被搬送物支持部材の上部が浮上体の降下状態でこの 空孔より突き出る構造としたので、浮上体を降下させると、浮上体上の被搬送物 と浮上体との間に被搬送物を保持するための保持治具を挿入する間隙を形成する ことができ、これにより被搬送物を保持治具上に移載することができる。また、 同様にして、保持治具から被搬送物を被搬送物支持部材に移載して、この状態で 浮上体を浮上させることにより、更に支持部材から浮上体に被搬送物を移載する ことができる。

【００２２】 このように本考案によれば、被搬送物を浮上体に載せたり、あるいは下ろすこ とを可能とするために必要な被搬送物と浮上体との間の間隙を、浮上体に空孔を 設けるだけで形成できるので、先願装置における載荷体のような、浮上体上に保 持治具挿入用の間隙を設けるための構造を予め具備する必要がなく、それら構造 による重量増のために、被搬送物の重量を制限されることもなくなる。また、構 造が簡単であるために、製作コストも低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係る磁気浮上搬送装置の浮
上体を中心とする構造を示す図。

【図２】同実施例における機能説明図。

【図３】同実施例における浮上体と他部材との関連を示
す図。

【図４】本考案の他の実施例に係る磁気浮上搬送装置の
浮上体の構造を他部材と関連させて示す図。

【図５】従来の磁気浮上搬送装置の構成を示す正面図。

【図６】従来の磁気浮上搬送装置の構成を示す平面図。

【図７】先願考案に係る浮上体の構造を示す図。

【図８】先願考案に係る浮上体の構造を他部材と関連さ
せて示す図。

【符号の説明】

１…電磁石列、２，２２，３２…浮上体、３…被搬送
物、４，２４…支持部材、１２ｃ…載荷体、１４…保持
治具、２２ａ，３２ａ…空孔。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 中島 元巳 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 浮上体を磁石列上で浮上走行させる磁気
   浮上搬送装置において、上記浮上体の中央に空孔を設
   け、上記浮上体外に設けられた被搬送物支持部材が上記
   浮上体の降下状態で上記空孔を遊貫し、上記浮上体上の
   被搬送物を支持せしめるようにしたことを特徴とする磁
   気浮上搬送装置。