JPS6231303A - 磁気浮上垂直走行装置 - Google Patents
磁気浮上垂直走行装置Info
- Publication number
- JPS6231303A JPS6231303A JP16645685A JP16645685A JPS6231303A JP S6231303 A JPS6231303 A JP S6231303A JP 16645685 A JP16645685 A JP 16645685A JP 16645685 A JP16645685 A JP 16645685A JP S6231303 A JPS6231303 A JP S6231303A
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- Japan
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- electromagnet
- vehicle
- guide column
- traveling
- traveling body
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- Pending
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- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、午導体製造工場や生命工学関連の工場等にお
ける搬送設備等に用いて好適な磁気浮上垂直走行装置に
関する。
ける搬送設備等に用いて好適な磁気浮上垂直走行装置に
関する。
「従来の技術」
走行体を磁気を用いて空中に浮かして軌道に沿って走行
させる磁気浮上走行装置は、走行体と軌道との接触がな
いため、塵埃か発生することがなく、しかも振動や騒音
もほとんどない。そこで、近年、この柚の走行装置を、
塵埃を極端に嫌う千導体製造工場や生命工学関連の工場
等における搬送装置として利用することが試みられてい
る。第４図は半導体製造工場においてクエハークースＷ
を搬送する搬送装置として上記の磁気浮上走行装置を用
いた例を示すもので、図中１は吊具２によって懸吊され
た鉄製の軌道、３はウエノ・−クー２Ｗの支持体となる
走行体である。上記軌道１には複数の１７ ＝アモータ
の一次側固定子４が該軌道１の長手方向に所定の間隔で
付設されている。また、上記走行体３は、下面にクエハ
ーケースＷを係止するフック５を備えた底板部３ａと、
咳紙板部３ａの左右に鉛直に連設された左右の側板部５
ｂと、該左右の側板部３ｂの上部に内方に突出して設け
られた左右の上板部３Ｃと、上記底板部６ａより若干上
方に水平に設けられた下板部６ｄとから成るもので、そ
の底板部３＆と下板部３ｄとの間には蓄市池すと該″ｊ
Ｍ電池６に連絡された制御器７とが収容され、かつ、下
板部３ｄの上面の四方の隅部には、上記制御器７に連絡
された電磁石８とセンサ９とかそれぞれ設けられると共
に、下板部６ｄの上面中央にはりニアモータの二次側可
動子（図示？ず）が取付けられている。そして、各電磁
石８が軌道１を吸引して、走行体６がその自重とウェハ
ーケースＷの重量に抗して上方に浮上さぎられると同時
に、各センサ９が走行体６と軌道１との間隙を検知し、
その検知信号が制御器７に送られて各ｘｉ石８の吸引力
が制御され、これにより、走行体６と軌道１との間隙が
一定に保たれる一方、リニアモータが作動して走行体６
が浮上状態のまま軌道１に沿って走行さぜられるように
なっている。
させる磁気浮上走行装置は、走行体と軌道との接触がな
いため、塵埃か発生することがなく、しかも振動や騒音
もほとんどない。そこで、近年、この柚の走行装置を、
塵埃を極端に嫌う千導体製造工場や生命工学関連の工場
等における搬送装置として利用することが試みられてい
る。第４図は半導体製造工場においてクエハークースＷ
を搬送する搬送装置として上記の磁気浮上走行装置を用
いた例を示すもので、図中１は吊具２によって懸吊され
た鉄製の軌道、３はウエノ・−クー２Ｗの支持体となる
走行体である。上記軌道１には複数の１７ ＝アモータ
の一次側固定子４が該軌道１の長手方向に所定の間隔で
付設されている。また、上記走行体３は、下面にクエハ
ーケースＷを係止するフック５を備えた底板部３ａと、
咳紙板部３ａの左右に鉛直に連設された左右の側板部５
ｂと、該左右の側板部３ｂの上部に内方に突出して設け
られた左右の上板部３Ｃと、上記底板部６ａより若干上
方に水平に設けられた下板部６ｄとから成るもので、そ
の底板部３＆と下板部３ｄとの間には蓄市池すと該″ｊ
Ｍ電池６に連絡された制御器７とが収容され、かつ、下
板部３ｄの上面の四方の隅部には、上記制御器７に連絡
された電磁石８とセンサ９とかそれぞれ設けられると共
に、下板部６ｄの上面中央にはりニアモータの二次側可
動子（図示？ず）が取付けられている。そして、各電磁
石８が軌道１を吸引して、走行体６がその自重とウェハ
ーケースＷの重量に抗して上方に浮上さぎられると同時
に、各センサ９が走行体６と軌道１との間隙を検知し、
その検知信号が制御器７に送られて各ｘｉ石８の吸引力
が制御され、これにより、走行体６と軌道１との間隙が
一定に保たれる一方、リニアモータが作動して走行体６
が浮上状態のまま軌道１に沿って走行さぜられるように
なっている。
「発明が解決しようとする問題点」
ところで、上記磁気浮上走行装置を用いて千導体製造工
場等の搬送設備を構成する場合、搬送物を上下方向にも
無接触で搬送する必要があることかある。ところが、従
来の磁気浮上走行装置の偽造では走行体３を上下に昇降
させることはできなかった。
場等の搬送設備を構成する場合、搬送物を上下方向にも
無接触で搬送する必要があることかある。ところが、従
来の磁気浮上走行装置の偽造では走行体３を上下に昇降
させることはできなかった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、走行体を
上下に無接触で昇降させることができる磁気浮上垂直走
行装置を提供することを目的とする。
上下に無接触で昇降させることができる磁気浮上垂直走
行装置を提供することを目的とする。
「問題点を解決するための手段」
上記目的を達成するために、本発明の磁気浮上垂直走行
装置は、ガイド柱に走行体を磁気的に無接触状態で上下
自在に支持し、かつ、上記走行体に被案内体を設けると
共に、上記ガイド柱の近傍に、上記被案内体を吸引して
走行体をガイド柱に沿って上下動さ虻る上下案内装置を
配役して構成したものである。
装置は、ガイド柱に走行体を磁気的に無接触状態で上下
自在に支持し、かつ、上記走行体に被案内体を設けると
共に、上記ガイド柱の近傍に、上記被案内体を吸引して
走行体をガイド柱に沿って上下動さ虻る上下案内装置を
配役して構成したものである。
「作用」
本発明の′ｆｉｉｉ気浮上垂直走行装置においては、ガ
イド柱に磁気的に無接触状態で支持された走行体を、そ
の被案内体を上下案内装置により吸引することにより、
ガイド柱に沿って無接触状態を保って上下さぜる。
イド柱に磁気的に無接触状態で支持された走行体を、そ
の被案内体を上下案内装置により吸引することにより、
ガイド柱に沿って無接触状態を保って上下さぜる。
「実、［す」
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図を参照して
説明する。
説明する。
図中１０は、立設された四角筒状部材の前面中央に長手
方向に沿ってガイド溝１０ ａが形成された鉄製のガイ
ド柱、１１は該ガイド柱１０の左右側方の所定高さの所
に始端かくる水平な各軌道であり、該各軌道１１にはり
ニアモータの一次側固定子がそれぞれ備えられている。
方向に沿ってガイド溝１０ ａが形成された鉄製のガイ
ド柱、１１は該ガイド柱１０の左右側方の所定高さの所
に始端かくる水平な各軌道であり、該各軌道１１にはり
ニアモータの一次側固定子がそれぞれ備えられている。
また、１２は上記ガイド柱１０の内部に挿入された直方
体状の走行体であり、該走行体１２の前面と後面の上下
左右の四方の隅部及び左右の側面の上下の隅部には、そ
れぞれ、電磁石１３とセンサ１４とが組をなして取付け
られると共に、該走行体１２の前面中央には、蓄電池と
該蓄電池に連絡された制御器か日賦された制御箱１５が
固定して取付けられている。
体状の走行体であり、該走行体１２の前面と後面の上下
左右の四方の隅部及び左右の側面の上下の隅部には、そ
れぞれ、電磁石１３とセンサ１４とが組をなして取付け
られると共に、該走行体１２の前面中央には、蓄電池と
該蓄電池に連絡された制御器か日賦された制御箱１５が
固定して取付けられている。
そして、各電磁石１３かガイド柱１０の内面を吸引して
、走行体１２がガイド柱１０の内部に浮上状態で静止す
ると同時に、各セｙす１４か走行体１２とガイド柱１０
の内向との間隙を検知し、その検知信号が制御器に送ら
れて各Ｘｉ石１３の吸引力が制御され、これにより、走
行体１２とガイド柱１０との間隙か一定に保たれるよう
になっている。
、走行体１２がガイド柱１０の内部に浮上状態で静止す
ると同時に、各セｙす１４か走行体１２とガイド柱１０
の内向との間隙を検知し、その検知信号が制御器に送ら
れて各Ｘｉ石１３の吸引力が制御され、これにより、走
行体１２とガイド柱１０との間隙か一定に保たれるよう
になっている。
さらに、上記走行体１２の前面下方には十字状の腕部材
１６がガイド溝１０ａからガイド柱１０の前方に突出し
て設けられ、該腕部材１６の左右に姑びる部位の両端に
は、上記各軌道１１の延長部分を構成する軌道台１７が
それぞれ連設されると共に、上記腕部材１６の前方に蝙
びる部位の端部には取付は座１８か連設され、該取付は
座１８上には、上記制御器に連絡された左右一対の電磁
石（被案内体）１９とセンサ２０とがそれぞれ取付けら
れている。
１６がガイド溝１０ａからガイド柱１０の前方に突出し
て設けられ、該腕部材１６の左右に姑びる部位の両端に
は、上記各軌道１１の延長部分を構成する軌道台１７が
それぞれ連設されると共に、上記腕部材１６の前方に蝙
びる部位の端部には取付は座１８か連設され、該取付は
座１８上には、上記制御器に連絡された左右一対の電磁
石（被案内体）１９とセンサ２０とがそれぞれ取付けら
れている。
一方、上記ガイド柱１０の前方には、上端にモータ２１
が下端に磁気軸受２２かそれぞれ取付けられた（口）転
軸２３に、その長手方向に亘って軟鋼製の螺旋スクリュ
２４が固着されて成る上下案内装置２５か、配設されて
おり、上記走行体１２の電磁石１９は、該上下案内装置
２５の螺旋スクリュ２４の側方部を吸引する位置に位置
している。
が下端に磁気軸受２２かそれぞれ取付けられた（口）転
軸２３に、その長手方向に亘って軟鋼製の螺旋スクリュ
２４が固着されて成る上下案内装置２５か、配設されて
おり、上記走行体１２の電磁石１９は、該上下案内装置
２５の螺旋スクリュ２４の側方部を吸引する位置に位置
している。
しかして、上記構成の磁気浮上垂直走行装置においては
、各軌道台１７上に従来例の走行体６と基本構造を同一
にする搬送体２６が無接触状態で載置される。また、走
行体１２の腕部材１ｈに設けられた電磁石１９が上下案
内装置２５の幡旋スクリュ２４を吸引して、走行体１２
か所定の高さに位置すると同時に、センサ２０が該＠磁
石１９と螺旋スクリュ２４との間隙を検知し、その検知
信号が制御器に送られてｔＶＩｉ石１９の吸引力が制御
され、これにより、を磁石１９と螺旋スクリュ２４との
間隙が一定に保たれる。この状態で上下案内装置２５の
モータ２１を作動して回転軸２６を回転さぜると、螺旋
スクリュ２４が回転し、該螺旋スクリュ２４の電磁石１
９か吸引している部位がｍ１石１９かも離れて該部位よ
り上下方向に離れた部位かｔｔａｔ石１９１Ｃ近接する
ようになるが、電磁石１９の吸引力は制御器により制御
されて電磁石１９と螺旋スクリュ２４との間隙が一定に
保たれるようになっているから、電磁石１９は螺旋スク
リュ２４に沿って除々に上下動し、これにより、定行体
１２がガイド柱１０に沿って上下に走行する。
、各軌道台１７上に従来例の走行体６と基本構造を同一
にする搬送体２６が無接触状態で載置される。また、走
行体１２の腕部材１ｈに設けられた電磁石１９が上下案
内装置２５の幡旋スクリュ２４を吸引して、走行体１２
か所定の高さに位置すると同時に、センサ２０が該＠磁
石１９と螺旋スクリュ２４との間隙を検知し、その検知
信号が制御器に送られてｔＶＩｉ石１９の吸引力が制御
され、これにより、を磁石１９と螺旋スクリュ２４との
間隙が一定に保たれる。この状態で上下案内装置２５の
モータ２１を作動して回転軸２６を回転さぜると、螺旋
スクリュ２４が回転し、該螺旋スクリュ２４の電磁石１
９か吸引している部位がｍ１石１９かも離れて該部位よ
り上下方向に離れた部位かｔｔａｔ石１９１Ｃ近接する
ようになるが、電磁石１９の吸引力は制御器により制御
されて電磁石１９と螺旋スクリュ２４との間隙が一定に
保たれるようになっているから、電磁石１９は螺旋スク
リュ２４に沿って除々に上下動し、これにより、定行体
１２がガイド柱１０に沿って上下に走行する。
このように、上口己′ｌ５ｂｙ、の磁気浮上垂直走行装
置では、モータ２１によって回転さビられろ螺旋スクリ
ュ２４により、走行体１２が無接触状態を保って吸引さ
れ、ガイド柱１０Ｖこ沿ってガイド柱１０とも無接触状
帖を保って上下動さ忙られる。したかつて、上記垂直走
行装置は、膳埃を嫌う千尋体工場青における垂直搬送装
置として有効に４り用することができる。
置では、モータ２１によって回転さビられろ螺旋スクリ
ュ２４により、走行体１２が無接触状態を保って吸引さ
れ、ガイド柱１０Ｖこ沿ってガイド柱１０とも無接触状
帖を保って上下動さ忙られる。したかつて、上記垂直走
行装置は、膳埃を嫌う千尋体工場青における垂直搬送装
置として有効に４り用することができる。
なお、上記実施例では、各軌道台１７上に各搬送体２６
か無接触状態で載置され、各すし迫台１７が各軌道１１
の始端に匿ったところで、各軌道１１と丸送体２６に設
けられたりニアモータの推力により各搬送体２６が各ａ
這１１ｖＣ沿って走行するようになっている３また、上
記実施？ｌＪでは走行シト１２を無接触でガイド柱１０
に支持するために電磁石１６を用い、走行体１２を螺旋
スクリュ２４に追従さぜるために電磁石１９を用いたか
、これらｔｍ磁石１３１９に永久磁石を併用してもよい
。
か無接触状態で載置され、各すし迫台１７が各軌道１１
の始端に匿ったところで、各軌道１１と丸送体２６に設
けられたりニアモータの推力により各搬送体２６が各ａ
這１１ｖＣ沿って走行するようになっている３また、上
記実施？ｌＪでは走行シト１２を無接触でガイド柱１０
に支持するために電磁石１６を用い、走行体１２を螺旋
スクリュ２４に追従さぜるために電磁石１９を用いたか
、これらｔｍ磁石１３１９に永久磁石を併用してもよい
。
さらに、ガイド柱１０に走行体１２を無接触状態で保つ
方法は、図示の方法に限るものではなく、νりえば、ガ
イド柱１０側に谷！研石１３とセンサ１４を設けるなど
、他の方法によってもよい。
方法は、図示の方法に限るものではなく、νりえば、ガ
イド柱１０側に谷！研石１３とセンサ１４を設けるなど
、他の方法によってもよい。
次に、第３図は本発明の第２実施例を示すもので、該実
施例においては、上下系内装置２５０回転軸２３は上下
端が磁気軸受２２によって支持されて回転自在なる構造
とされ、かつ、螺旋スクリ ４゜ユ２４にはりニアモー
タの二次側可動子か設けられているうまた、走行体１２
の腕部材１６にはｔ磁石１９とセンサ２０に加えてリニ
アモータの一次側固定子２７が備えられている。そして
、を磁石１９とセンサ２０とにより走行体１２が螺旋ス
クリュ２４に無接触状態で吸引され、かつ、リニアモー
タの推力により螺旋スクリュ２４か回転し、これにより
、走行体１２かガイド柱１０に酎って上下動するように
なっている。
施例においては、上下系内装置２５０回転軸２３は上下
端が磁気軸受２２によって支持されて回転自在なる構造
とされ、かつ、螺旋スクリ ４゜ユ２４にはりニアモー
タの二次側可動子か設けられているうまた、走行体１２
の腕部材１６にはｔ磁石１９とセンサ２０に加えてリニ
アモータの一次側固定子２７が備えられている。そして
、を磁石１９とセンサ２０とにより走行体１２が螺旋ス
クリュ２４に無接触状態で吸引され、かつ、リニアモー
タの推力により螺旋スクリュ２４か回転し、これにより
、走行体１２かガイド柱１０に酎って上下動するように
なっている。
「発明の効果」
以上説明したように、本発明の磁気浮上垂直走行装置は
、ガイド柱の近傍に上下案内装置を配設し、ガイド柱に
磁気的に無接触状態で支持された走行体を、その被案内
体を該上下案内装置により吸引して上下動さ虻ることに
より、ガイド柱に沿って上下動さげるようにしたもので
あるから、走行体を無接触状態で確実に昇ｐ・ｆさ虻る
ことかでき、したがって、千導体製造工場等における垂
直搬送装置ｊｉ等として幅広く利用することができる。
、ガイド柱の近傍に上下案内装置を配設し、ガイド柱に
磁気的に無接触状態で支持された走行体を、その被案内
体を該上下案内装置により吸引して上下動さ虻ることに
より、ガイド柱に沿って上下動さげるようにしたもので
あるから、走行体を無接触状態で確実に昇ｐ・ｆさ虻る
ことかでき、したがって、千導体製造工場等における垂
直搬送装置ｊｉ等として幅広く利用することができる。
第１図及び第２図は本発明の磁気浮上垂直走行装置の一
実施νりを示すもので、第１図は装部を切欠いて示す斜
視図、第２図は断面図、また、第６図は第２実施例を示
す側’ｌｌ１１略図、第４図は便来し１］を示す一部切
欠き斜視図でるる。 １０・・・・・・ガイド柱、１２・・・・・・走行体、
１９・・・・・・電磁石（被案内体）、２５・・・・・
・上下案内装置ｆｔ−５出願人 石川島播磨重工業株式
会社 代理人 計理士 志 賀 正 武 ＼ 第３図
実施νりを示すもので、第１図は装部を切欠いて示す斜
視図、第２図は断面図、また、第６図は第２実施例を示
す側’ｌｌ１１略図、第４図は便来し１］を示す一部切
欠き斜視図でるる。 １０・・・・・・ガイド柱、１２・・・・・・走行体、
１９・・・・・・電磁石（被案内体）、２５・・・・・
・上下案内装置ｆｔ−５出願人 石川島播磨重工業株式
会社 代理人 計理士 志 賀 正 武 ＼ 第３図
Claims (1)
- ガイド柱に走行体が磁気的に無接触状態で上下自在に支
持され、かつ、上記走行体に被案内体が設けられると共
に、上記ガイド柱の近傍には、上記被案内体を吸引して
上記走行体をガイド柱に沿って上下動させる上下案内装
置が配設されて成ることを特徴とする磁気浮上垂直走行
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16645685A JPS6231303A (ja) | 1985-07-27 | 1985-07-27 | 磁気浮上垂直走行装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16645685A JPS6231303A (ja) | 1985-07-27 | 1985-07-27 | 磁気浮上垂直走行装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231303A true JPS6231303A (ja) | 1987-02-10 |
Family
ID=15831737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16645685A Pending JPS6231303A (ja) | 1985-07-27 | 1985-07-27 | 磁気浮上垂直走行装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6231303A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014524229A (ja) * | 2011-06-30 | 2014-09-18 | スカイトラン | 輸送システム用駆動システム |
| JP2017532936A (ja) * | 2014-09-08 | 2017-11-02 | スカイトラン インコーポレイテッド | 輸送システム用の浮上制御システム |
-
1985
- 1985-07-27 JP JP16645685A patent/JPS6231303A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014524229A (ja) * | 2011-06-30 | 2014-09-18 | スカイトラン | 輸送システム用駆動システム |
| JP2017532936A (ja) * | 2014-09-08 | 2017-11-02 | スカイトラン インコーポレイテッド | 輸送システム用の浮上制御システム |
| JP2020174528A (ja) * | 2014-09-08 | 2020-10-22 | スカイトラン インコーポレイテッド | 輸送システム用の浮上制御システム |
| US11890946B2 (en) | 2014-09-08 | 2024-02-06 | Skytran, Inc. | Levitation control system for a transportation system |
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