JP4850404B2 - 基板搬送設備及び天井搬送装置 - Google Patents
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- 複数の基板処理装置(20)からなるベイ(16)を複数含む施設において、基板を収納した容器(12)を搬送するための基板搬送設備(10)であって、
前記ベイ(16)間における容器(12)の搬送を行うメインコンベヤ(22)を含む工程間搬送部(14)と、
前記ベイ(16)のそれぞれに対して設けられ、前記工程間搬送部(14)から搬入された容器(12)を当該ベイ(16)内における所望の基板処理装置(20)に搬送する工程内搬送部(18)と
を具備し、
前記メインコンベヤ(22)が前記工程内搬送部(18)のそれぞれに容器(12)を送り出す分岐コンベヤ(22e)を含み、
前記工程内搬送部(18)が、
前記分岐コンベヤ(22e)から送り出された容器(12)を受け入れる入庫コンベヤ(36)と、
前記入庫コンベヤ(36)の近傍に設けられ、複数の容器(12)を載置、保管することができる保管棚(40)と、
前記保管棚(40)の近傍に設けられ、容器(12)を前記メインコンベヤ(22)に搬出する出庫コンベヤ(38)と、
容器(12)を吊支して昇降させるホイスト(58)を有し、前記入庫コンベヤ(36)、前記保管棚(40)、前記出庫コンベヤ(38)、及び、当該工程内搬送部(18)に係る基板処理装置(20)の間で容器(12)の受渡しを行う天井搬送装置(46)と
を備え、
前記出庫コンベヤ(38)から搬出された容器(12)は、前記メインコンベヤ(22)の、前記出庫コンベヤ(38)との接続部分に設けられたコンベヤ(22f)を経て前記メインコンベヤ(22)に送られる、基板搬送設備。 - 複数の基板処理装置(20)からなるベイ(16)を複数含む施設において、基板を収納した容器(12)を搬送するための基板搬送設備(10)であって、
前記ベイ(16)間における容器(12)の搬送を行うメインコンベヤ(22)を含む工程間搬送部(14)と、
前記ベイ(16)のそれぞれに対して設けられ、前記工程間搬送部(14)から搬入された容器(12)を当該ベイ(16)内における所望の基板処理装置(20)に搬送する工程内搬送部(18)と
を具備し、
前記メインコンベヤ(22)が前記工程内搬送部(18)のそれぞれに容器(12)を送り出す分岐コンベヤ(22e)を含み、
前記工程内搬送部(18)が、
前記分岐コンベヤ(22e)から送り出された容器(12)を受け入れる入庫コンベヤ(36)と、
前記入庫コンベヤ(36)の近傍に設けられ、複数の容器(12)を載置、保管することができる保管棚(40)と、
前記保管棚(40)の近傍に設けられ、容器(12)を前記メインコンベヤ(22)に搬出する出庫コンベヤ(38)と、
前記保管棚(40)の一部を構成するとともに、容器(12)を前記出庫コンベヤ(38)に搬送することができる出荷ステーション(42)と、
容器(12)を吊支して昇降させるホイスト(58)を有し、前記入庫コンベヤ(36)、前記保管棚(40)、及び、当該工程内搬送部(18)に係る基板処理装置(20)の間で容器(12)の受渡しを行う天井搬送装置(46)と
を備え、
前記出庫コンベヤ(38)から搬出された容器(12)は、前記メインコンベヤ(22)の、前記出庫コンベヤ(38)との接続部分に設けられたコンベヤ(22f)を経て前記メインコンベヤ(22)に送られる、基板搬送設備。 - 前記天井搬送装置(46)が、前記入庫コンベヤ(36)と平行な第1方向に走行する第1台車(50)と、前記第1方向に直交する第2方向に、前記第1台車(50)に対して走行するとともに、前記ホイスト(58)が取り付けられた第2台車(56)とを有する、請求項1又は2に記載の基板搬送設備。
- 前記入庫コンベヤ(36)の少なくとも一部分がアキュムレート機能を有し、前記天井搬送装置(46)が、前記アキュムレート機能を有する部分の上方に前記ホイスト(58)を配置可能となっている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板搬送設備。
- 前記メインコンベヤ(22)、前記入庫コンベヤ(36)及び前記出庫コンベヤ(38)の少なくとも一つが、ゾーン毎に独立して起動・停止を行うことのできる分散駆動型ローラコンベヤを含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板搬送設備。
- 前記分岐コンベヤ(22e)が容器(12)の方向転換機能を有している、請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板搬送設備。
- 前記天井搬送装置(46)が2台のホイスト(58a,58b)を備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載の基板搬送装置。
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JP2004321089A JP4850404B2 (ja) | 2004-11-04 | 2004-11-04 | 基板搬送設備及び天井搬送装置 |
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JP2004321089A JP4850404B2 (ja) | 2004-11-04 | 2004-11-04 | 基板搬送設備及び天井搬送装置 |
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- 2004-11-04 JP JP2004321089A patent/JP4850404B2/ja not_active Expired - Fee Related
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