JPH0439952A - カセットストッカー - Google Patents
カセットストッカーInfo
- Publication number
- JPH0439952A JPH0439952A JP2146759A JP14675990A JPH0439952A JP H0439952 A JPH0439952 A JP H0439952A JP 2146759 A JP2146759 A JP 2146759A JP 14675990 A JP14675990 A JP 14675990A JP H0439952 A JPH0439952 A JP H0439952A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- orientation flat
- stocker
- transport
- flat alignment
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 27
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 14
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、半導体製造におけるカセットストッカーの構
造に関する。
造に関する。
［従来の技術］
従来の技術として、第２図に示すようにカセットストッ
カーは、カセット棚部、移載機、入出庫口、搬送系との
受は渡し部、制御部から構成されており、カセットの人
手または自動による出し入れ、ＩＤ認識、および保管、
管理を行う。
カーは、カセット棚部、移載機、入出庫口、搬送系との
受は渡し部、制御部から構成されており、カセットの人
手または自動による出し入れ、ＩＤ認識、および保管、
管理を行う。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、かかる従来のカセットストッカーは、カセット
の人手または自動による出し入れ、ＩＤ認識、および保
管、管理の機能しかない。
の人手または自動による出し入れ、ＩＤ認識、および保
管、管理の機能しかない。
従って、カセットが搬送される製造装置が拡散炉等のウ
ェハのオリフラが揃っている状態で供線されることを必
要とする装置であった場合には、各製造装置のカセット
ステージ部にオリフラ合わせ機能が必要となる。この場
合には、各製造装置の処理時間にウェハのオリフラ合わ
せ時間が付加されるため、製造装置の処理能力が低下す
るという問題点と、各製造装置にオリフラ合わせ機能が
必要となるため、製造装置のコストが上がるという問題
点を有していた。
ェハのオリフラが揃っている状態で供線されることを必
要とする装置であった場合には、各製造装置のカセット
ステージ部にオリフラ合わせ機能が必要となる。この場
合には、各製造装置の処理時間にウェハのオリフラ合わ
せ時間が付加されるため、製造装置の処理能力が低下す
るという問題点と、各製造装置にオリフラ合わせ機能が
必要となるため、製造装置のコストが上がるという問題
点を有していた。
そこで、本発明は従来のこのような間穎点を解決するた
め、各製造装置側にオリフラ合わせ機能が不要となるカ
セットストッカーを提供することを目的とする。
め、各製造装置側にオリフラ合わせ機能が不要となるカ
セットストッカーを提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明のカセットストッカー
は、半導体製造ラインで各製造装置までカセットを自動
搬送する工程内搬送と接続されたカセットストッカーに
おいて、前記カセットストッカー内にウェハのオリフラ
を合わせるオリフラ合わせ機能を備えたことを特徴とす
る。
は、半導体製造ラインで各製造装置までカセットを自動
搬送する工程内搬送と接続されたカセットストッカーに
おいて、前記カセットストッカー内にウェハのオリフラ
を合わせるオリフラ合わせ機能を備えたことを特徴とす
る。
［実 施 例１
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図において、カセットストッカーｌは従来からあるカ
セット棚２、移載機３、手動用入出庫口４、自動用入出
庫口（搬送系との受は渡し部）５ａ、５ｂ１、制御部６
に加えてオリフラ合わせ機能７を備えている。
１図において、カセットストッカーｌは従来からあるカ
セット棚２、移載機３、手動用入出庫口４、自動用入出
庫口（搬送系との受は渡し部）５ａ、５ｂ１、制御部６
に加えてオリフラ合わせ機能７を備えている。
またこのカセットノ、トツカ−１には２系統の搬送系、
工程間搬送８と工程内搬送９（カセットストッカー１と
製造装置１０の間）が接続されている。この製造装置ｌ
Ｏは、拡散炉、ＣＶＤ炉のよう（二供給されるカセット
１１内のウェハのオリフラは１方向に揃えられている必
要があるが、その製造装置１０自体にはオリフラ合わせ
機能は備えていない。
工程間搬送８と工程内搬送９（カセットストッカー１と
製造装置１０の間）が接続されている。この製造装置ｌ
Ｏは、拡散炉、ＣＶＤ炉のよう（二供給されるカセット
１１内のウェハのオリフラは１方向に揃えられている必
要があるが、その製造装置１０自体にはオリフラ合わせ
機能は備えていない。
工程間搬送８により前工程から搬送されてきたカセット
１１は、自動用入出庫口５ａからカセットストッカー１
内に収納される。この時にカセット１１内ウエハのオリ
フラは、すべて一方向に揃っているわけではない。そこ
で、カセットストッカー１内に収納されたカセット１１
は、移載機３によりオリフラ合わせ機構７のカセットス
テージ部へおかれ、オリフラ合わせ機構７によりカセッ
ト１１内ウエハのオリフラが一方向に揃えられる。次に
、移載機３により工程内搬送９と受は渡しを行う自動用
人出庫口５ｂにおかれ、工程内搬送９により製造装置ｌ
Ｏへ搬送される。または、自動用入出庫口５ｂ、工程内
搬送９、および製造装置１０の状態によっては、オリフ
ラ合わせを終えたカセット１１は一旦カセット棚２に保
管されて、搬送可能な状態となった時に自動用入出庫口
５ｂへ出庫され、工程内搬送９により製造装置１０へ搬
送される。
１１は、自動用入出庫口５ａからカセットストッカー１
内に収納される。この時にカセット１１内ウエハのオリ
フラは、すべて一方向に揃っているわけではない。そこ
で、カセットストッカー１内に収納されたカセット１１
は、移載機３によりオリフラ合わせ機構７のカセットス
テージ部へおかれ、オリフラ合わせ機構７によりカセッ
ト１１内ウエハのオリフラが一方向に揃えられる。次に
、移載機３により工程内搬送９と受は渡しを行う自動用
人出庫口５ｂにおかれ、工程内搬送９により製造装置ｌ
Ｏへ搬送される。または、自動用入出庫口５ｂ、工程内
搬送９、および製造装置１０の状態によっては、オリフ
ラ合わせを終えたカセット１１は一旦カセット棚２に保
管されて、搬送可能な状態となった時に自動用入出庫口
５ｂへ出庫され、工程内搬送９により製造装置１０へ搬
送される。
以上のような実施例において、前工程から搬送されてき
たカセット１１は、カセットストッカ１内のオリフラ合
わせ機構７によりウェハのオリフラを揃えられ、製造装
置１０へ搬送されるため、製造装置１０にはオリフラ合
わせ機能は不要となる。このように、すべての製造装置
１０にオリフラ合わせ機能を備えるよりは、１台のカセ
ットストッカー１にオリフラ合わせ機能を備える方が製
造ライン全体のコストも低くなり、製造装置１０の処理
時間にウェハのオリフラ合わせ時間が付加されるという
こともないため、製造装置１０の処理能力が低下すると
いう問題も発生しない。
たカセット１１は、カセットストッカ１内のオリフラ合
わせ機構７によりウェハのオリフラを揃えられ、製造装
置１０へ搬送されるため、製造装置１０にはオリフラ合
わせ機能は不要となる。このように、すべての製造装置
１０にオリフラ合わせ機能を備えるよりは、１台のカセ
ットストッカー１にオリフラ合わせ機能を備える方が製
造ライン全体のコストも低くなり、製造装置１０の処理
時間にウェハのオリフラ合わせ時間が付加されるという
こともないため、製造装置１０の処理能力が低下すると
いう問題も発生しない。
また、カセットストッカー１の仕掛り在庫の保管という
目的からすると、カセットストッカー１内に搬送されて
きたカセット１１は、多少なりともカセットストッカー
１内にイ亭滞するために、この停滞時間中にカセット１
１内のウェハのオリフラを揃えておけば、オリフラ合わ
せのための時間のロスはほとんどなく、サイクルタイム
の短縮にも効果がある。
目的からすると、カセットストッカー１内に搬送されて
きたカセット１１は、多少なりともカセットストッカー
１内にイ亭滞するために、この停滞時間中にカセット１
１内のウェハのオリフラを揃えておけば、オリフラ合わ
せのための時間のロスはほとんどなく、サイクルタイム
の短縮にも効果がある。
［発明の効果］
本発明のカセットストッカーは、以上説明したように、
カセッ１−ストッカー内にオリフラ合わせ機能を有し、
カセットストッカー内でカセット内ウェハのオリフラを
合わせることによって、各製造装置にオリフラ合わせ機
能を不要とし、各製造装置のコスト、さらには製造ライ
ン全体のコストを低減できるという効果がある。また、
オリフラ合わせのために製造装置の処理能力を低下させ
ることはなく、むしろ待ち時間を有効に活用してオリフ
ラ合わせを行えるという効果もある。
カセッ１−ストッカー内にオリフラ合わせ機能を有し、
カセットストッカー内でカセット内ウェハのオリフラを
合わせることによって、各製造装置にオリフラ合わせ機
能を不要とし、各製造装置のコスト、さらには製造ライ
ン全体のコストを低減できるという効果がある。また、
オリフラ合わせのために製造装置の処理能力を低下させ
ることはなく、むしろ待ち時間を有効に活用してオリフ
ラ合わせを行えるという効果もある。
第１図は、本発明のカセットストッカーおよび製造ライ
ンの構成図。第２図は、従来のカセットストッカーの構
成図。 カ セットストッカーカ セット ３ ・ ・ ４ ・ ・ ５ ・ ・ ６ ・ ・ ８ ・ ・ ９ ・ ・ １０ ・ ・ １１ ・ ・ ・移載機 ・手動用入出庫口 ・自動用入出庫口 ・制御部 オリフラ合わせ機構 ・工程間搬送 ・工程内搬送 ・製造装置 ・カセット 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第１ 第２図
ンの構成図。第２図は、従来のカセットストッカーの構
成図。 カ セットストッカーカ セット ３ ・ ・ ４ ・ ・ ５ ・ ・ ６ ・ ・ ８ ・ ・ ９ ・ ・ １０ ・ ・ １１ ・ ・ ・移載機 ・手動用入出庫口 ・自動用入出庫口 ・制御部 オリフラ合わせ機構 ・工程間搬送 ・工程内搬送 ・製造装置 ・カセット 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第１ 第２図
Claims (1)
- （１）半導体製造ラインで各製造装置までカセットを自
動搬送する工程内搬送と接続されたカセットストッカー
において、前記カセットストッカー内にウェハのオリフ
ラを合わせるオリフラ合わせ機能を備えたことを特徴と
するカセットストッカー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2146759A JPH0439952A (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | カセットストッカー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2146759A JPH0439952A (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | カセットストッカー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0439952A true JPH0439952A (ja) | 1992-02-10 |
Family
ID=15414931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2146759A Pending JPH0439952A (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | カセットストッカー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0439952A (ja) |
-
1990
- 1990-06-05 JP JP2146759A patent/JPH0439952A/ja active Pending
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