KR100538812B1 - 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법 및 기록매체 - Google Patents

반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법 및 기록매체 Download PDF

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇 큐의 생성시 문제점 해결방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성을 수행함에 있어서, 인트라베이 서버에서 퍼니스 장비의 모드를 체크하므로써, 잘못된 자동반송 로봇의 큐 생성을 방지하고, 퍼니스 제어 파일의 소거후에 카세트의 위치정보를 갱신하므로써, 자동반송 로봇 운용의 효율을 높일 수 있는 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체를 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 퍼니스 장비에서 공정이 완료된 로트의 이동 요청을 장비서버로 전송하고, 상기 장비서버가 회수 큐 정보를 전송하는 제 1단계; 상기 장비서버가 제공한 회수 큐 정보를 수신한 인트라베이 서버에서 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드인가를 판단하여, 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드가 아닐경우, 작업자가 직접 상기 퍼니스 장비에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하고, 판단결과, 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드일 경우, 상기 인트라베이 서버로부터 회수 큐 정보를 수신한 자동반송 로봇 제어서버가 회수 큐를 생성하는 제 2단계: 상기 자동반송 로봇 제어서버로부터 반송명령을 인가받은 자동반송 로봇이 상기 퍼니스장비에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하여, 스토커에 입고하는 제 3단계; 및 상기 장비서버에서 퍼니스 제어 파일을 소거하고, 카세트 위치정보를 갱신하는 제 4단계를 포함한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결에 이용됨.

Description

반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법 및 기록매체{METHOD FOR SOLVING PROBLEM WHEN GENERATING QUEUE OF AUTO GUIDE VEHICLE IN DIFFUSION AREA FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR AND COMPUTER READABLE MEDIUM}
본 발명은 반도체 제조를 위한 확산공정에서 운용되는 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점의 해결방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체에 관한 것이다.
일반적으로, 확산공정(diffusion area)에서는 완전 자동모드(full auto-mode; 이하 "A1 모드"라 칭함)로 공정을 진행하되, 특성상 공정을 진행하는 단위인 배치(batch)로 진행을 한다. 여기서, 배치는 다수의 로트를 지칭한다.
하지만, 확산공정을 완전 자동모드로 운용할 경우, 셀 관리서버와 스케쥴서버사이의 통신량이 많아지기 때문에 퍼니스 장비에서 공정이 완료된 후, 카세트의 아이디(ID)와, 카세트의 이동경로 정보를 가지고 있는 카세트 회수 큐(queue)를 생성하는 시간은 다른 공정에 비해 약 15~20배 정도가 소요된다.
이러한 경우, 작업자는 종종 퍼니스장비의 모드를 작업자 모드(manual mode) 또는 반 자동 모드(semi mode; 이하 "A2 모드"라 칭함)로 변경하여 작업자가 직접 카세트를 회수하게 된다.
이에 따라, 종래에는 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 발생을 수행하기 위한 시스템이 개발되어 사용되고 있다.
그러면, 첨부된 도1을 참조하여 종래의 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 발생을 수행하기 위한 메세지 흐름도를 상세히 설명한다.
먼저, 퍼니스장비(100)에서 로트의 공정이 완료되면 상기 퍼니스장비(100)는 장비서버(102)에 공정완료를 보고한다(118).
다음으로, 상기 장비서버(102)는 셀 관리서버(104)에 로트의 이동을 요청하고(120), 상기 퍼니스 장비(100)는 상기 장비서버(102)에 카세트가 회수 가능함을 보고한다(122).
이어서, 상기 셀 관리서버(104)는 스케쥴서버(116)에 로트의 이동을 요청하고(124), 상기 장비서버(102)는 카세트 회수 큐 정보를 상기 셀 관리서버(104)로 전송한다(126).
이후, 상기 장비서버(102)는 카세트 회수 명령을 상기 퍼니스 장비(100)에 전달하고(128), 상기 셀 관리서버(104)는 장비서버(102)로부터 수신한 상기 카세트 회수 큐 정보를 인트라베이 서버(106)로 전송한다(130).
상기 셀 관리서버(104)로부터 카세트 회수 큐 정보를 수신한 상기 인트라베이 서버(106)는 다시 카세트 회수 큐 정보를 자동반송 로봇 제어서버(108)로 전송하고(132), 자동반송 로봇 제어서버(108)는 수신한 카세트 회수 큐 정보를 이용하여 회수 큐 파일을 생성하고(134), 회수 확인 메세지를 상기 인트라베이 서버(106)로 전송한다(136).
다음으로, 상기 인트라베이 서버(106)가 상기 셀 관리서버(104) 및 장비서버(102)에 회수 확인 메세지를 전송하고(138, 140), 상기 장비서버(102)가 인트라베이 서버(106)에 회수 확인 메세지 응답을 전송하면(142), 인트라베이 서버(106)는 회수 확인 메세지 응답을 다시 상기 자동반송 로봇 제어서버(108)에 전송한다(144).
이어서, 자동반송 로봇(110)은 상기 퍼니스 장비(100)에서 열처리 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하고(146), 상기 회수한 카세트를 스토커(114)에 입고시킨다(148).
그리고, 상기 스토커(114)는 스토커 제어서버(112)에 카세트 입고를 보고하고(150), 상기 스토커 제어서버(112)는 다시 카세트 입고 메세지를 상기 셀 관리서버(104)로 전송한다.
이후, 상기 셀 관리서버(104)는 해당 카세트의 위치정보를 갱신하고(154), 상기 장비서버(102)에 카세트 입고를 보고한다(156).
마지막으로, 상기 장비서버(102)는 상기 퍼니스 장비(100)를 제어하는 퍼니스 제어 파일을 소거한다(158). 여기서, 퍼니스 제어 파일은 퍼니스 장비에서 공정을 진행하는 로트가 담긴 카세트의 정보가 기록되어 있으며, 상기 퍼니스 장비(100)는 퍼시스 제어 파일을 이용하여 카세트를 제공 / 회수할 수 있다. 또한, 상기 퍼니스 장비(100)에서 공정을 마친 로트가 담긴 카세트가 스토커(114)에 입고될 경우, 상기 장비서버(102)가 퍼니스 제어 파일을 소거한다.
그러나, 상기와 같은 일련의 과정을 수행하는 종래의 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 발생을 수행하기 위한 방법은, 확산공정을 완전 자동모드로 운용할 경우, 셀 관리서버와 스케쥴서버사이의 통신량이 많아지기 때문에 퍼니스 장비에서 공정이 완료된 후, 카세트의 아이디와, 카세트의 이동경로 정보를 가지고 있는 카세트 회수 큐를 생성하는 시간이 다른 공정에 비해 약 15~20배 정도가 소요된다. 이러한 경우, 작업자가 퍼니스장비의 모드를 작업자 모드 또는 A2 모드로 변경하여 작업자가 직접 카세트를 회수하게 되는데, 도1에서 A시점 이후에 장비의 모드가 변경되면, 장비서버, 셀 관리서버 및 인트라베이 서버에서 모두 장비의 모드를 체크하지 않기 때문에 자동반송 로봇에는 카세트 회수 큐가 생성되고, 카세트를 회수하기 위하여 장비앞으로 이동하지만 카세트 회수 작업을 수행하지 못하는 문제가 있으며, 또한, A1 모드로 운용되는 퍼니스 장비에서 공정을 진행하는 로트가 담긴 카세트의 정보가 기록되어 있는 퍼니스 제어 파일은 상기 퍼니스 장비에서 공정을 마친 로트가 담긴 카세트가 스토커에 입고될 경우, 상기 장비서버에서 소거되므로, 다음에 자동반송 로봇이 카세트 제공 명령을 수신하여도 해당 카세트의 위치를 파악할 수 없으므로 카세트의 제공 작업을 수행할 수 없는 또 다른 문제가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성을 수행함에 있어서, 인트라베이 서버에서 퍼니스 장비의 모드를 체크하므로써, 잘못된 자동반송 로봇의 큐 생성을 방지하고, 퍼니스 제어 파일의 소거후에 카세트의 위치정보를 갱신하므로써, 자동반송 로봇 운용의 효율을 높일 수 있는 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 퍼니스 장비에서 공정이 완료된 로트의 이동 요청을 장비서버로 전송하고, 상기 장비서버가 회수 큐 정보를 전송하는 제 1단계; 상기 장비서버가 제공한 회수 큐 정보를 수신한 인트라베이 서버에서 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드인가를 판단하여, 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드가 아닐경우, 작업자가 직접 상기 퍼니스 장비에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하고, 판단결과, 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드일 경우, 상기 인트라베이 서버로부터 회수 큐 정보를 수신한 자동반송 로봇 제어서버가 회수 큐를 생성하는 제 2단계: 상기 자동반송 로봇 제어서버로부터 반송명령을 인가받은 자동반송 로봇이 상기 퍼니스장비에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하여, 스토커에 입고하는 제 3단계; 및 상기 장비서버에서 퍼니스 제어 파일을 소거하고, 카세트 위치정보를 갱신하는 제 4단계를 포함한다.
또한, 본 발명은, 퍼니스 장비에서 공정이 완료된 로트의 이동 요청을 장비서버로 전송하고, 상기 장비서버가 회수 큐 정보를 전송하는 제 1기능; 상기 장비서버가 제공한 회수 큐 정보를 수신한 인트라베이 서버에서 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드인가를 판단하여, 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드가 아닐경우, 작업자가 직접 상기 퍼니스 장비에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하고, 판단결과, 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드일 경우, 상기 인트라베이 서버로부터 회수 큐 정보를 수신한 자동반송 로봇 제어서버가 회수 큐를 생성하는 제 2기능: 상기 자동반송 로봇 제어서버로부터 반송명령을 인가받은 자동반송 로봇이 상기 퍼니스장비에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하여, 스토커에 입고하는 제 3기능; 및 상기 장비서버에서 퍼니스 제어 파일을 소거하고, 카세트 위치정보를 갱신하는 제 4기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체를 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 발생을 수행하기 위한 시스템은, 작업자의 명령을 입력받아 장비서버로 전송하는 작업자 인터페이스 프로세스(200)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 작업자의 명령을 수신하고 퍼니스 장비와 명령 및 보고를 송수신하며 셀 관리서버, 인트라베이 서버 및 스토커 제어서버와 메세지를 송수신하고 또, 퍼니스 제어 파일을 소거하고 카세트 위치정보를 갱신하는 장비서버(202)와, 상기 장비서버(202)와 메세지를 송수신하고 자동반송 로봇으로부터 카세트를 제공받으며 열처리 공정을 진행하는 퍼니스 장비(204)와, 상기 장비서버(202), 스케쥴 서버 및 인트라베이 서버와 메세지를 송수신하고 스토커 제어서버로부터 카세트 입고 보고를 수신하는 셀 관리서버(206)와, 상기 셀 관리서버(206)로부터 로트이동 요청을 수신하는 스케쥴 서버(208)와, 상기 셀 관리서버(206) 및 자동반송 로봇 제어서버와 메세지를 송수신하고 퍼니스 장비의 모드를 체크하는 인트라베이 서버(210)와, 상기 인트라베이 서버(210)와 메세지를 송수신하고 회수 큐 파일을 생성하는 자동반송 로봇 제어서버(212)와, 상기 퍼니스 장비(204)로부터 열처리 공정을 진행할 카세트를 제공하고 공정이 완료된 카세트를 회수하며 스토커에 카세트를 입고시키는 자동반송 로봇(214)과, 상기 셀 관리서버(206)에 카세트 입고를 보고하고 스토커를 제어하는 스토커 제어서버(218)와, 상기 자동반송 로봇(214)이 제공한 카세트를 저장하고 카세트 입고 보고를 상기 스토커 제어서버(218)로 전송하는 스토커(216)로 구성된다.
상기와 같이 구성되어 동작하는 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성을 수행하는 방법을 도3을 참조하여 설명한다.
도3은 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성을 수행하기 위한 메세지 흐름도이다.
먼저, 퍼니스장비(204)에서 로트의 공정이 완료되면 상기 퍼니스장비(204)는 장비서버(202)에 공정완료를 보고한다(218).
다음으로, 상기 장비서버(202)는 셀 관리서버(206)에 로트의 이동을 요청하고(220), 상기 퍼니스 장비(204)는 상기 장비서버(202)에 카세트가 회수 가능함을 보고한다(222).
이어서, 상기 셀 관리서버(204)는 스케쥴서버(208)에 로트의 이동을 요청하고(224), 상기 장비서버(202)는 카세트 회수 큐 정보를 상기 셀 관리서버(206)로 전송한다(226).
이후, 상기 장비서버(202)는 카세트 회수 명령을 상기 퍼니스 장비(204)에 전달하고(228), 상기 셀 관리서버(206)는 장비서버(202)로부터 수신한 상기 카세트 회수 큐 정보를 인트라베이 서버(210)로 전송한다(230).
상기 셀 관리서버(206)로부터 카세트 회수 큐 정보를 수신한 상기 인트라베이 서버(210)는 퍼니스 장비(204)가 A1 모드인가를 판단한다.
상기 판단결과, 퍼니스 장비의 모드가 A1 모드가 아닐경우, 작업자가 직접 상기 퍼니스 장비(204)에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수한다.
상기 판단결과, 퍼니스 장비의 모드가 A1 모드일 경우, 상기 인트라베이 서버(210)는 카세트 회수 큐 정보를 자동반송 로봇 제어서버(212)로 전송하고(234), 자동반송 로봇 제어서버(212)는 수신한 카세트 회수 큐 정보를 이용하여 회수 큐 파일을 생성하고(236), 회수 확인 메세지를 상기 인트라베이 서버(210)로 전송한다.
다음으로, 상기 인트라베이 서버(210)가 상기 셀 관리서버(206) 및 장비서버(202)에 회수 확인 메세지를 전송하고(240, 242), 상기 장비서버(202)가 인트라베이 서버(210)에 회수 확인 메세지 응답을 전송하면(244), 인트라베이 서버(210)는 회수 확인 메세지 응답을 다시 상기 자동반송 로봇 제어서버(212)에 전송한다(246). 이때, 상기 자동반송 로봇 제어서버(212)는 반송명령을 자동반송 로봇(214)에 인가한다.
이어서, 상기 자동반송 로봇(214)은 상기 퍼니스 장비(100)에서 열처리 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하고(248), 상기 회수한 카세트를 스토커(216)에 입고시킨다(250).
그리고, 상기 스토커(216)는 스토커 제어서버(218)에 카세트 입고를 보고하고(252), 상기 스토커 제어서버(218)는 다시 카세트 입고를 상기 셀 관리서버(206)에 보고한다(254).
이후, 상기 셀 관리서버(206)는 상기 장비서버(202)에 카세트 입고를 보고한다(256).
마지막으로, 상기 장비서버(202)는 상기 퍼니스 장비(204)를 제어하는 퍼니스 제어 파일을 소거하고(258), 카세트의 위치 정보를 갱신한다(260).
첨부된 도4는 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성을 수행하기 위한 처리흐름도이며 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 퍼니스장비(204)에서 로트의 공정이 완료되면 상기 퍼니스장비(204)는 장비서버(202)에 공정완료를 보고한다.
다음으로, 상기 장비서버(202)는 셀 관리서버(206)에 로트의 이동을 요청하고(S400), 상기 퍼니스 장비(204)는 상기 장비서버(202)에 카세트가 회수 가능함을 보고한다.
이어서, 상기 셀 관리서버(204)는 스케쥴서버(208)에 로트의 이동을 요청하고, 상기 장비서버(202)는 카세트 회수 큐 정보를 상기 셀 관리서버(206)로 전송한다.
이후, 상기 장비서버(202)는 카세트 회수 명령을 상기 퍼니스 장비(204)에 전달하고, 상기 셀 관리서버(206)는 장비서버(202)로부터 수신한 상기 카세트 회수 큐 정보를 인트라베이 서버(210)로 전송한다.
상기 셀 관리서버(206)로부터 카세트 회수 큐 정보를 수신한 상기 인트라베이 서버(210)는 퍼니스 장비(204)가 A1 모드인가를 판단한다(S402).
상기 판단결과(S402), 퍼니스 장비의 모드가 A1 모드가 아닐경우, 작업자가 직접 상기 퍼니스 장비(204)에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수한다.
상기 판단결과(S402), 퍼니스 장비의 모드가 A1 모드일 경우, 상기 인트라베이 서버(210)는 카세트 회수 큐 정보를 자동반송 로봇 제어서버(212)로 전송하고, 자동반송 로봇 제어서버(212)는 수신한 카세트 회수 큐 정보를 이용하여 회수 큐 파일을 생성한다(S406).
이어서, 상기 자동반송 로봇 제어서버(212)는 회수 확인 메세지를 상기 인트라베이 서버(210)로 전송한다.
다음으로, 상기 인트라베이 서버(210)가 상기 셀 관리서버(206) 및 장비서버(202)에 회수 확인 메세지를 전송하고, 상기 장비서버(202)가 인트라베이 서버(210)에 회수 확인 메세지 응답을 전송하면, 인트라베이 서버(210)는 회수 확인 메세지 응답을 다시 상기 자동반송 로봇 제어서버(212)에 전송한다.
이어서, 자동반송 로봇(214)은 상기 퍼니스 장비(100)에서 열처리 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수한다(S408).
이후, 상기 자동반송 로봇(214)는 상기 회수한 카세트를 스토커(216)에 입고시킨다(S410).
그리고, 상기 스토커(216)는 스토커 제어서버(218)에 카세트 입고를 보고하고, 상기 스토커 제어서버(218)는 다시 카세트 입고를 상기 셀 관리서버(206)에 보고한다.
이후, 상기 셀 관리서버(206)는 상기 장비서버(202)에 카세트 입고를 보고한다.
마지막으로, 상기 장비서버(202)는 상기 퍼니스 장비(204)를 제어하는 퍼니스 제어 파일을 소거하고, 카세트의 위치 정보를 갱신한다(S412).
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다.
상기와 같은 본 발명은, 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성을 수행함에 있어서, 인트라베이 서버에서 퍼니스 장비의 모드를 체크하므로써, 잘못된 자동반송 로봇의 큐 생성을 방지하므로써 확산공정의 사이클 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있으며 또한, 퍼니스 제어 파일의 소거후에 카세트의 위치정보를 갱신하므로써, 자동반송 로봇 운용의 효율을 높일 수 있으며, 궁극적으로 생산의 효율을 높일 수 있는 효과가 있다.
도1은 종래의 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 발생을 수행하기 위한 메세지 흐름도.
도2는 본 발명에 의한 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 발생 방법을 제공하기 위한 시스템의 구성을 나타낸 블럭다이어그램.
도3은 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 발생을 수행하기 위한 메세지 흐름도.
도4는 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 발생을 수행하기 위한 처리 흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
202 : 장비서버 204 : 퍼니스 장비
206 : 셀 관리서버 208 : 스케쥴 서버
210 : 인트라베이 서버 212 : 자동반송 로봇 제어서버
214 : 자동반송 로봇 216 : 스토커
218 : 스토커 제어서버

Claims (4)

  1. 퍼니스 장비에서 공정이 완료된 로트의 이동 요청을 장비서버로 전송하고, 상기 장비서버가 회수 큐 정보를 전송하는 제 1단계;
    상기 장비서버가 제공한 회수 큐 정보를 수신한 인트라베이 서버에서 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드인가를 판단하여, 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드가 아닐경우, 작업자가 직접 상기 퍼니스 장비에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하고, 판단결과, 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드일 경우, 상기 인트라베이 서버로부터 회수 큐 정보를 수신한 자동반송 로봇 제어서버가 회수 큐를 생성하는 제 2단계:
    상기 자동반송 로봇 제어서버로부터 반송명령을 인가받은 자동반송 로봇이 상기 퍼니스장비에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하여, 스토커에 입고하는 제 3단계; 및
    상기 장비서버에서 퍼니스 제어 파일을 소거하고, 카세트 위치정보를 갱신하는 제 4단계
    를 포함하는 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1단계는,
    상기 퍼니스장비에서 로트의 열처리 공정이 완료되면 공정완료 보고 메세지를 상기 장비서버로 전송하는 제 5단계;
    상기 장비서버가 상기 셀 관리서버에 로트의 이동을 요청하고, 상기 퍼니스 장비가 상기 장비서버에 카세트가 회수 가능함을 보고하는 제 6단계;
    상기 셀 관리서버가 스케쥴서버에 로트의 이동을 요청하고, 상기 장비서버가 카세트 회수 큐 정보를 상기 셀 관리서버로 전송하는 제 7단계; 및
    상기 장비서버가 카세트 회수 명령을 상기 퍼니스 장비에 전송하고, 상기 셀 관리서버가 장비서버로부터 수신한 상기 카세트 회수 큐 정보를 인트라베이 서버로 전송하는 제 8단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제 3단계는,
    상기 자동반송 로봇 제어서버가 회수 확인 메세지를 상기 인트라베이 서버로 전송하는 제 9단계;
    상기 인트라베이 서버가 상기 셀 관리서버 및 장비서버에 회수 확인 메세지를 전송하고, 상기 장비서버가 상기 인트라베이 서버에 회수 확인 메세지 응답을 전송하는 제 10단계;
    상기 인트라베이 서버가 회수 확인 메세지 응답을 다시 상기 자동반송 로봇 제어서버에 전송하는 제 11단계;
    상기 자동반송 로봇이 상기 퍼니스 장비에서 열처리 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하는 제 12단계; 및
    상기 자동반송 로봇이 상기 회수한 카세트를 스토커에 입고시키는 제 13단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법.
  4. 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐를 생성하기 위한 시스템에,
    퍼니스 장비에서 공정이 완료된 로트의 이동 요청을 장비서버로 전송하고, 상기 장비서버가 회수 큐 정보를 전송하는 제 1기능;
    상기 장비서버가 제공한 회수 큐 정보를 수신한 인트라베이 서버에서 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드인가를 판단하여, 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드가 아닐경우, 작업자가 직접 상기 퍼니스 장비에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하고, 판단결과, 상기 퍼니스 장비가 완전자동모드일 경우, 상기 인트라베이 서버로부터 회수 큐 정보를 수신한 자동반송 로봇 제어서버가 회수 큐를 생성하는 제 2기능:
    상기 자동반송 로봇 제어서버로부터 반송명령을 인가받은 자동반송 로봇이 상기 퍼니스장비에서 공정이 완료된 로트가 담긴 카세트를 회수하여, 스토커에 입고하는 제 3기능; 및
    상기 장비서버에서 퍼니스 제어 파일을 소거하고, 카세트 위치정보를 갱신하는 제 4기능
    을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.
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JP2000180363A JP4592878B2 (ja) 1999-06-22 2000-06-15 半導体工場自動化システム及び自動搬送ビークルの制御方法並びに記録媒体
US09/597,482 US6622057B1 (en) 1999-06-22 2000-06-19 Semiconductor factory automation system and method for controlling automatic guide vehicle
DE10030207A DE10030207A1 (de) 1999-06-22 2000-06-20 Halbleiterfabrikautomatisierungssystem und Verfahren für die Steuerung automatisch geführter Fahrzeuge
GB0015209A GB2351362B (en) 1999-06-22 2000-06-21 Semiconductor factory automation system and method for controlling automatic guide vehicle
TW089112185A TW469553B (en) 1999-06-22 2000-06-21 Semiconductor factory automation system and method for controlling automatic guide vehicle
CN00118687A CN1278618A (zh) 1999-06-22 2000-06-21 控制自动导向小车的半导体工厂自动化系统及方法

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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100538812B1 (ko) * 1999-06-22 2005-12-23 주식회사 하이닉스반도체 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법 및 기록매체
EP1231626A1 (en) * 2001-02-10 2002-08-14 Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG Measurement arrangement
US7185034B2 (en) * 2002-08-01 2007-02-27 Oracle International Corporation Buffered message queue architecture for database management systems with guaranteed at least once delivery
US7185033B2 (en) * 2002-08-01 2007-02-27 Oracle International Corporation Buffered message queue architecture for database management systems with unlimited buffered message queue with limited shared memory
US7181482B2 (en) * 2002-08-01 2007-02-20 Oracle International Corporation Buffered message queue architecture for database management systems
US7228257B1 (en) * 2003-06-13 2007-06-05 Lam Research Corporation Architecture for general purpose programmable semiconductor processing system and methods therefor
US7076326B2 (en) * 2003-10-06 2006-07-11 Intel Corporation Proactive staging for distributed material handling
US7099739B2 (en) * 2003-12-09 2006-08-29 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Stocker utilization self-balancing system and method
US7792274B2 (en) * 2004-11-04 2010-09-07 Oracle International Corporation Techniques for performing multi-media call center functionality in a database management system
US7426421B2 (en) * 2005-12-28 2008-09-16 Taiwan Semicondcutor Manufacturing Co., Ltd. Methods and systems for transport system (TS) integration
US8793066B2 (en) * 2006-06-27 2014-07-29 Microsoft Corporation Route monetization
US7966090B2 (en) * 2007-03-15 2011-06-21 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Automated material handling system and method
JP2010184760A (ja) * 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
US9901210B2 (en) 2012-01-04 2018-02-27 Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. Efficient transfer of materials in manufacturing
US9846415B2 (en) 2012-01-19 2017-12-19 Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. Efficient transfer of materials using automated guided vehicles in semiconductor manufacturing
CN103811375B (zh) * 2012-11-07 2016-08-31 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 分批处理硅片的装卸载装置和设备及方法
US9606532B2 (en) * 2014-01-29 2017-03-28 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited Method and manufacturing system
US9611595B2 (en) * 2015-08-25 2017-04-04 Caterpillar Paving Products Inc. System for communications between plant and machines
US10295979B2 (en) * 2015-09-15 2019-05-21 Applied Materials, Inc. Scheduling in manufacturing environments
CN105739500B (zh) * 2016-03-29 2020-06-30 海尔优家智能科技（北京）有限公司 一种智能扫地机器人的交互控制方法及装置
US10540217B2 (en) 2016-09-16 2020-01-21 Oracle International Corporation Message cache sizing
CN115083034A (zh) * 2022-05-31 2022-09-20 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体设备的消息上报方法、装置及半导体设备

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4672185A (en) * 1984-11-28 1987-06-09 Kabushiki Kaisha Toshiba Control system for semiconductor substrate process line
GB2233790A (en) * 1989-05-02 1991-01-16 Toyota Motor Co Ltd Control of a FMS line
KR970063608A (ko) * 1996-02-23 1997-09-12 김광호 반도체 설비의 통계적 공정관리 시스템 및 그 방법
US5668056A (en) * 1990-12-17 1997-09-16 United Microelectronics Corporation Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system
JPH10133706A (ja) * 1996-11-01 1998-05-22 Nittetsu Semiconductor Kk ロボット搬送方法
KR19980030956A (ko) * 1996-10-30 1998-07-25 김광호 반도체 공정요소의 제어방법
GB2351362A (en) * 1999-06-22 2000-12-27 Hyundai Electronics Ind Semiconductor factory automation system and method for controlling automatic guide vehicle

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4571685A (en) 1982-06-23 1986-02-18 Nec Corporation Production system for manufacturing semiconductor devices
JPH0616475B2 (ja) 1987-04-03 1994-03-02 三菱電機株式会社 物品の製造システム及び物品の製造方法
JP2780814B2 (ja) 1989-06-22 1998-07-30 株式会社日立製作所 生産管理システム
DE69124133T2 (de) 1990-05-11 1997-08-21 Hitachi Ltd Automatisierte Produktionsstrasse
JPH0425349A (ja) 1990-05-21 1992-01-29 Mitsubishi Electric Corp 混成ロット編成方法及び装置
US5495417A (en) 1990-08-14 1996-02-27 Kabushiki Kaisha Toshiba System for automatically producing different semiconductor products in different quantities through a plurality of processes along a production line
US5579231A (en) 1991-03-19 1996-11-26 Fujitsu Limited Management system for manufacture
JP2828526B2 (ja) 1991-06-20 1998-11-25 三菱電機株式会社 生産ラインの制御情報自動生成方式
JP2985505B2 (ja) 1991-07-08 1999-12-06 株式会社日立製作所 品質情報収集診断システム及びその方法
JP2880876B2 (ja) 1993-04-15 1999-04-12 山口日本電気株式会社 搬送制御システム
JP3446256B2 (ja) 1993-09-03 2003-09-16 株式会社日立製作所 Ｆａシステムの制御方法及び装置
JP2616413B2 (ja) 1993-11-22 1997-06-04 日本電気株式会社 リペアデータの編集装置およびリペアデータの編集方法
JPH11121582A (ja) * 1997-10-15 1999-04-30 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハ製造設備制御方法および半導体ウェハ製造設備
DE10024734A1 (de) * 1999-05-20 2001-01-18 Hyundai Electronics Ind Halbleiterfabrikautomatisierungssystem und Verfahren zum Transportieren von Halbleiterwafern

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4672185A (en) * 1984-11-28 1987-06-09 Kabushiki Kaisha Toshiba Control system for semiconductor substrate process line
GB2233790A (en) * 1989-05-02 1991-01-16 Toyota Motor Co Ltd Control of a FMS line
US5668056A (en) * 1990-12-17 1997-09-16 United Microelectronics Corporation Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system
KR970063608A (ko) * 1996-02-23 1997-09-12 김광호 반도체 설비의 통계적 공정관리 시스템 및 그 방법
KR19980030956A (ko) * 1996-10-30 1998-07-25 김광호 반도체 공정요소의 제어방법
JPH10133706A (ja) * 1996-11-01 1998-05-22 Nittetsu Semiconductor Kk ロボット搬送方法
GB2351362A (en) * 1999-06-22 2000-12-27 Hyundai Electronics Ind Semiconductor factory automation system and method for controlling automatic guide vehicle
US6622057B1 (en) * 1999-06-22 2003-09-16 Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. Semiconductor factory automation system and method for controlling automatic guide vehicle

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JP2001060539A (ja) 2001-03-06
DE10030207A1 (de) 2001-01-18
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GB2351362A (en) 2000-12-27

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