JP2616413B2 - リペアデータの編集装置およびリペアデータの編集方法 - Google Patents
リペアデータの編集装置およびリペアデータの編集方法Info
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- JP2616413B2 JP2616413B2 JP5315988A JP31598893A JP2616413B2 JP 2616413 B2 JP2616413 B2 JP 2616413B2 JP 5315988 A JP5315988 A JP 5315988A JP 31598893 A JP31598893 A JP 31598893A JP 2616413 B2 JP2616413 B2 JP 2616413B2
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31903—Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
- G01R31/31912—Tester/user interface
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リペアデータの編集装
置およびその編集方法、詳しくは、半導体集積回路の検
査方法に関し、特に記憶半導体（以下、半導体メモリと
称す）の素子救済に使用されるレーザリペアの座標デー
タ（以下、リペアデータと称す）を自動的に編集する装
置および方法に関する。
置およびその編集方法、詳しくは、半導体集積回路の検
査方法に関し、特に記憶半導体（以下、半導体メモリと
称す）の素子救済に使用されるレーザリペアの座標デー
タ（以下、リペアデータと称す）を自動的に編集する装
置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体メモリの記憶容量が飛躍的
に増加しているが、これは１セル当りのサイズが微細化
されてきているからである。しかしながら、大容量の記
憶素子故に、部分的な製造欠陥が多少存在している。こ
の半導体メモリの製造において、冗長セルを正規のメモ
リセルの他に準備し、正規のメモリセルに欠陥がある場
合には、冗長セルにアドレス線を変更して、半導体メモ
リとしての機能を救済するところの「メモリリペア検
査」が半導体ウエハ検査工程で定着している。
に増加しているが、これは１セル当りのサイズが微細化
されてきているからである。しかしながら、大容量の記
憶素子故に、部分的な製造欠陥が多少存在している。こ
の半導体メモリの製造において、冗長セルを正規のメモ
リセルの他に準備し、正規のメモリセルに欠陥がある場
合には、冗長セルにアドレス線を変更して、半導体メモ
リとしての機能を救済するところの「メモリリペア検
査」が半導体ウエハ検査工程で定着している。
【０００３】一般的なメモリリペア検査では、まず、
「ＩＣテスタ」でウエハ上のチップをそれぞれ測定す
る。点在する不良セルに基づいて、冗長セルに置き換え
るべきアドレス（Ｘ方向、Ｙ方向のアドレス）を演算に
より求め、このデータをリペアデータとして、測定チッ
プ毎に取得する。取得したリペアデータは、「レーザト
リマ」で使用され、該当のウエハのチップに存在すると
ころのアドレス線に対応するヒューズをレーザ照射によ
り焼き切る。この後、再度、「ＩＣテスタ」によりウエ
ハ上の各チップを機能検査し、良否を判定する。なお、
本明細書では、不良セルによる冗長セル置き換えのアル
ゴリズムは、既に一般的な要素技術であり、記載を割愛
している。
「ＩＣテスタ」でウエハ上のチップをそれぞれ測定す
る。点在する不良セルに基づいて、冗長セルに置き換え
るべきアドレス（Ｘ方向、Ｙ方向のアドレス）を演算に
より求め、このデータをリペアデータとして、測定チッ
プ毎に取得する。取得したリペアデータは、「レーザト
リマ」で使用され、該当のウエハのチップに存在すると
ころのアドレス線に対応するヒューズをレーザ照射によ
り焼き切る。この後、再度、「ＩＣテスタ」によりウエ
ハ上の各チップを機能検査し、良否を判定する。なお、
本明細書では、不良セルによる冗長セル置き換えのアル
ゴリズムは、既に一般的な要素技術であり、記載を割愛
している。
【０００４】本発明の意図とする従来技術の詳細は、上
記ＩＣテスタで取得するリペアデータの編集手段につい
てである。これを、図９に示すハードウェア構成図（リ
ペア検査装置）および図１０に示すフローチャートに基
づいて説明する。ただし、半導体ウエハの検査におい
て、ウエハの被測定チップ上にあるパッドと、ウエハプ
ローバに装着するプローブカードの針を接触し、通電す
るところの検査方法は既に一般的な要素技術であり、記
載を割愛する。
記ＩＣテスタで取得するリペアデータの編集手段につい
てである。これを、図９に示すハードウェア構成図（リ
ペア検査装置）および図１０に示すフローチャートに基
づいて説明する。ただし、半導体ウエハの検査におい
て、ウエハの被測定チップ上にあるパッドと、ウエハプ
ローバに装着するプローブカードの針を接触し、通電す
るところの検査方法は既に一般的な要素技術であり、記
載を割愛する。
【０００５】ハードウェア構成は、以下のとおりであ
る。このリペア検査装置は、ホストコンピュータ１０
０、固定ディスク装置１０１、ターミナル１０２、ＩＣ
テスタ１１０、レーザトリマ１２０、ウエハプローバ１
３０を有して構成されている。ホストコンピュータ１０
０には、ネットワークケーブル１１１を介してＩＣテス
タ１１０が、ネットワークケーブル１２１を介してレー
ザトリマ１２０が、それぞれ接続されている。ＩＣテス
タ１１０は半導体メモリを検査してリペアデータを取得
するためのもので、レーザトリマ１２０はこのリペアデ
ータを使用するものである。また、固定ディスク装置１
０１はリペアデータを格納するものであり、ターミナル
１０２によりリペアデータは編集することができる。１
０３はターミナル１０２を操作するオペレータを示して
いる。また、ＩＣテスタ１１０は、制御ケーブル１１２
によりウエハプローバ１３０に接続されている。ＩＣテ
スタ１１０はウエハプローバ１３０と連動する構成であ
る。
る。このリペア検査装置は、ホストコンピュータ１０
０、固定ディスク装置１０１、ターミナル１０２、ＩＣ
テスタ１１０、レーザトリマ１２０、ウエハプローバ１
３０を有して構成されている。ホストコンピュータ１０
０には、ネットワークケーブル１１１を介してＩＣテス
タ１１０が、ネットワークケーブル１２１を介してレー
ザトリマ１２０が、それぞれ接続されている。ＩＣテス
タ１１０は半導体メモリを検査してリペアデータを取得
するためのもので、レーザトリマ１２０はこのリペアデ
ータを使用するものである。また、固定ディスク装置１
０１はリペアデータを格納するものであり、ターミナル
１０２によりリペアデータは編集することができる。１
０３はターミナル１０２を操作するオペレータを示して
いる。また、ＩＣテスタ１１０は、制御ケーブル１１２
によりウエハプローバ１３０に接続されている。ＩＣテ
スタ１１０はウエハプローバ１３０と連動する構成であ
る。
【０００６】１３１はウエハキャリアで、半導体メモリ
であるところの半導体ウエハ群１４０が収納されている
（矢印Ｄ方向）。ウエハキャリア１３１はウエハプロー
バ１３０に装着される（矢印Ｂ方向）。このようにして
半導体ウエハ群１４０はウエハプローバ１３０に装着さ
れることとなる。ウエハプローバ１３０に対しては、ウ
エハをハンドリングするための情報であるパラメータ１
３２が入力されている（矢印Ａ方向）。また、ＩＣテス
タ１１０はテストプログラム１１３を外部から読み込む
（矢印Ｃ方向）ことにより動作し、このプログラムに基
づいて半導体メモリのリペアデータを取得する。１１４
はＩＣテスタ１１０用のローカルメモリである。なお、
これらの装置を接続する制御ケーブル１１２、ネットワ
ークケーブル１１１は、ＩＣテスタ１１０、ホストコン
ピュータ１００等が実行するプログラムによりその信号
入出力の制御がなされている。
であるところの半導体ウエハ群１４０が収納されている
（矢印Ｄ方向）。ウエハキャリア１３１はウエハプロー
バ１３０に装着される（矢印Ｂ方向）。このようにして
半導体ウエハ群１４０はウエハプローバ１３０に装着さ
れることとなる。ウエハプローバ１３０に対しては、ウ
エハをハンドリングするための情報であるパラメータ１
３２が入力されている（矢印Ａ方向）。また、ＩＣテス
タ１１０はテストプログラム１１３を外部から読み込む
（矢印Ｃ方向）ことにより動作し、このプログラムに基
づいて半導体メモリのリペアデータを取得する。１１４
はＩＣテスタ１１０用のローカルメモリである。なお、
これらの装置を接続する制御ケーブル１１２、ネットワ
ークケーブル１１１は、ＩＣテスタ１１０、ホストコン
ピュータ１００等が実行するプログラムによりその信号
入出力の制御がなされている。
【０００７】したがって、ウエハプローバ１３０のスタ
ートスイッチをＯＮにして検査開始を指示すると、半導
体ウエハ群１４０の内の１枚をウエハキャリア１３１か
ら取り出して検査が開始されることとなる。
ートスイッチをＯＮにして検査開始を指示すると、半導
体ウエハ群１４０の内の１枚をウエハキャリア１３１か
ら取り出して検査が開始されることとなる。
【０００８】図１０は、半導体ウエハ群１４０の内の１
枚目から最終枚までなんら問題がなく検査された場合の
処理手順を説明するものである。すなわち、１枚目のウ
エハの検査処理が終ってから、２枚目が開始し、順に検
査を行うものである。
枚目から最終枚までなんら問題がなく検査された場合の
処理手順を説明するものである。すなわち、１枚目のウ
エハの検査処理が終ってから、２枚目が開始し、順に検
査を行うものである。
【０００９】図４（Ａ）はＩＣテスタ１１０におけるリ
ペアデータファイルを作成するための各枚葉での具体的
処理手順を示すフローチャートである。このＩＣテスタ
処理では、まず、ウエハプローバから１ｓｔチップ情報
を取得する（Ｓ４０１）。１ｓｔチップ情報とは最初の
チップであることを示す信号である。新規作成ファイル
の場合（Ｓ４０２でＹＥＳ）、リペアデータファイルを
開いた後（Ｓ４０３）、データタイトルをリペアデータ
の確証としてリペアデータファイルに書き込む（Ｓ４０
４）。次に、ｎ枚目である旨のデータをこのリペアデー
タファイルに書き込む（Ｓ４０５）。通常、１枚目から
最終枚目までストレートに（連続して）検査される場
合、データタイトルの直後のウエハ番号は１である。
ペアデータファイルを作成するための各枚葉での具体的
処理手順を示すフローチャートである。このＩＣテスタ
処理では、まず、ウエハプローバから１ｓｔチップ情報
を取得する（Ｓ４０１）。１ｓｔチップ情報とは最初の
チップであることを示す信号である。新規作成ファイル
の場合（Ｓ４０２でＹＥＳ）、リペアデータファイルを
開いた後（Ｓ４０３）、データタイトルをリペアデータ
の確証としてリペアデータファイルに書き込む（Ｓ４０
４）。次に、ｎ枚目である旨のデータをこのリペアデー
タファイルに書き込む（Ｓ４０５）。通常、１枚目から
最終枚目までストレートに（連続して）検査される場
合、データタイトルの直後のウエハ番号は１である。
【００１０】次に、１チップ目を検査し（Ｓ４０６）、
その結果をリペアデータファイルに追記する（Ｓ４０
７）。この処理を、ｎ枚目のウエハの処理として最終チ
ップまで繰り返し、１チップ目から最終チップまでのリ
ペアデータを取得し、追記する（Ｓ４０８，Ｓ４０
９）。そして、最終チップの検査が終了すると、ＩＣテ
スタ１１０では、ウエハプローバ１３０からウエハエン
ド信号（最終チップの検査終了を示す信号）を取得する
（Ｓ４１０）。このタイミングによって、ｎ枚目のデー
タが終了した旨を示すデータをリペアデータファイルに
追記する（Ｓ４１１）。さらに、最終枚目のウエハであ
る場合（Ｓ４１２でＹＥＳ）、そのウエハエンド信号の
後に、ロットエンド信号（そのロットの最終ウエハの検
査終了を示す信号）を取得し（Ｓ４１３）、リペアデー
タファイルを閉じる（Ｓ４１４）。
その結果をリペアデータファイルに追記する（Ｓ４０
７）。この処理を、ｎ枚目のウエハの処理として最終チ
ップまで繰り返し、１チップ目から最終チップまでのリ
ペアデータを取得し、追記する（Ｓ４０８，Ｓ４０
９）。そして、最終チップの検査が終了すると、ＩＣテ
スタ１１０では、ウエハプローバ１３０からウエハエン
ド信号（最終チップの検査終了を示す信号）を取得する
（Ｓ４１０）。このタイミングによって、ｎ枚目のデー
タが終了した旨を示すデータをリペアデータファイルに
追記する（Ｓ４１１）。さらに、最終枚目のウエハであ
る場合（Ｓ４１２でＹＥＳ）、そのウエハエンド信号の
後に、ロットエンド信号（そのロットの最終ウエハの検
査終了を示す信号）を取得し（Ｓ４１３）、リペアデー
タファイルを閉じる（Ｓ４１４）。
【００１１】検査の処理スピードを高めるため、ＩＣテ
スタ１１０には、ローカルメモリ１１４が付設されてい
る。ウエハエンド信号、または、ロットエンド信号の発
生タイミングによって、ローカルメモリ１１４のデータ
（リペアデータファイル）はホストコンピュータ１００
の固定ディスク装置１０１に転送、格納される。すなわ
ち、リペアデータファイルの開閉は、このローカルメモ
リ１１４に対して、または、固定ディスク装置１０１に
対してなされるものである。
スタ１１０には、ローカルメモリ１１４が付設されてい
る。ウエハエンド信号、または、ロットエンド信号の発
生タイミングによって、ローカルメモリ１１４のデータ
（リペアデータファイル）はホストコンピュータ１００
の固定ディスク装置１０１に転送、格納される。すなわ
ち、リペアデータファイルの開閉は、このローカルメモ
リ１１４に対して、または、固定ディスク装置１０１に
対してなされるものである。
【００１２】図１２は１枚目から最終枚目まで問題なく
検査を終えた場合のリペアデータの構造を示している。
データタイトルが１段目に、次の段に、１枚目のウエハ
番号、１枚目のリペアデータ、１枚目のデータ終端が格
納されている。以下、順次、２枚目のウエハ番号、２枚
目のリペアデータ、２枚目のデータ終端、・・・、最終
段には、最終枚のウエハ番号、最終枚のリペアデータ、
最終枚のデータ終端が格納されている。このリペアデー
タの特徴は、必ず、昇順、または降順にデータが格納さ
れていることである。ｎ枚目のリペアデータが２回以上
ファイルに存在することはない。また、この例では、１
枚目から最終枚目までのウエハを１つのロットとしてい
るが、２枚目または３枚目を最初のウエハとしてファイ
ルを作成しても同様な構造のファイルを作成することが
できる。逆に、最終枚目のウエハのデータを最初のデー
タとして１枚目まで降順に検査する場合は、降順のリペ
アデータが得られる。
検査を終えた場合のリペアデータの構造を示している。
データタイトルが１段目に、次の段に、１枚目のウエハ
番号、１枚目のリペアデータ、１枚目のデータ終端が格
納されている。以下、順次、２枚目のウエハ番号、２枚
目のリペアデータ、２枚目のデータ終端、・・・、最終
段には、最終枚のウエハ番号、最終枚のリペアデータ、
最終枚のデータ終端が格納されている。このリペアデー
タの特徴は、必ず、昇順、または降順にデータが格納さ
れていることである。ｎ枚目のリペアデータが２回以上
ファイルに存在することはない。また、この例では、１
枚目から最終枚目までのウエハを１つのロットとしてい
るが、２枚目または３枚目を最初のウエハとしてファイ
ルを作成しても同様な構造のファイルを作成することが
できる。逆に、最終枚目のウエハのデータを最初のデー
タとして１枚目まで降順に検査する場合は、降順のリペ
アデータが得られる。
【００１３】図１１は、半導体ウエハ群１４０の全数を
７枚としてこれを検査し、５枚目のウエハ検査において
検査異常が発生し、復旧時に３枚目から検査を再開した
ことを想定した場合の処理手順を示すフローチャートで
ある。１枚目から５枚目までの検査し、一度ロットエン
ド信号を出力する。異常に伴う不具合を除去した後、再
度３枚目から７枚目までを検査し、ロットエンド信号を
出力する。この場合、リペアデータファイルは、図１３
に示すリペアデータ構造となる。このリペアデータファ
イルにあっては、３枚目から５枚目までのデータが重複
することとなる。また、データタイトルも重複して格納
されている。
７枚としてこれを検査し、５枚目のウエハ検査において
検査異常が発生し、復旧時に３枚目から検査を再開した
ことを想定した場合の処理手順を示すフローチャートで
ある。１枚目から５枚目までの検査し、一度ロットエン
ド信号を出力する。異常に伴う不具合を除去した後、再
度３枚目から７枚目までを検査し、ロットエンド信号を
出力する。この場合、リペアデータファイルは、図１３
に示すリペアデータ構造となる。このリペアデータファ
イルにあっては、３枚目から５枚目までのデータが重複
することとなる。また、データタイトルも重複して格納
されている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図９に示す
ように、レーザトリマ１２０は、ホストコンピュータ１
００にネットワークケーブル１２１を介して接続されて
いる。この場合、リペアデータは固定ディスク装置１０
１に格納されている。固定ディスク装置１０１からリペ
アデータが転送されると、レーザトリマ１２０は、検査
された半導体ウエハ群１４０をウエハキャリア１３１に
収納してからこれを装着する。そして、レーザトリマ１
２０では、各ウエハに対してレーザを指定の座標に照射
することにより、不良セルを冗長セルにアドレス変更す
る。しかしながら、リペアデータファイルにおいて枚葉
データが重複している場合、通常、レーザトリマ１２０
にあっては動作エラーとなって、トリミングすることが
できない。
ように、レーザトリマ１２０は、ホストコンピュータ１
００にネットワークケーブル１２１を介して接続されて
いる。この場合、リペアデータは固定ディスク装置１０
１に格納されている。固定ディスク装置１０１からリペ
アデータが転送されると、レーザトリマ１２０は、検査
された半導体ウエハ群１４０をウエハキャリア１３１に
収納してからこれを装着する。そして、レーザトリマ１
２０では、各ウエハに対してレーザを指定の座標に照射
することにより、不良セルを冗長セルにアドレス変更す
る。しかしながら、リペアデータファイルにおいて枚葉
データが重複している場合、通常、レーザトリマ１２０
にあっては動作エラーとなって、トリミングすることが
できない。
【００１５】したがって、オペレータ１０３はターミナ
ル１０２にてこの重複データを除去し、昇順または降順
にデータを編集する必要があった。これは、ホストコン
ピュータ１００においてウエハの検査履歴を保持してい
ないためである。ウエハの検査履歴とは、ウエハキャリ
ア１３１からウエハを抜き取り、検査して戻す作業にて
何枚目のウエハを処理したのかを示すデータである。
ル１０２にてこの重複データを除去し、昇順または降順
にデータを編集する必要があった。これは、ホストコン
ピュータ１００においてウエハの検査履歴を保持してい
ないためである。ウエハの検査履歴とは、ウエハキャリ
ア１３１からウエハを抜き取り、検査して戻す作業にて
何枚目のウエハを処理したのかを示すデータである。
【００１６】また、リペアデータのみにより重複データ
を排除しようとすると信頼性に欠けるからでもある。こ
の理由は、検査の際、オペレータに操作の誤りが生じる
と、例えば２枚目からウエハが入っているにもかかわら
ず、リペアデータの番号が１からとなったりするからで
ある。また、ウエハエンド信号が検出されない状況で
は、図１２に示すリペアデータの構造中、データ終端が
欠落し、１枚のウエハを示すデータではなくなったりす
るからである。
を排除しようとすると信頼性に欠けるからでもある。こ
の理由は、検査の際、オペレータに操作の誤りが生じる
と、例えば２枚目からウエハが入っているにもかかわら
ず、リペアデータの番号が１からとなったりするからで
ある。また、ウエハエンド信号が検出されない状況で
は、図１２に示すリペアデータの構造中、データ終端が
欠落し、１枚のウエハを示すデータではなくなったりす
るからである。
【００１７】上述した従来技術にあっては、自動的に重
複データを除去することができないため、リペアデータ
ファイルをオペレータが編集する必要がある。編集作業
に誤りが生じると、レーザトリマ１２０によるトリミン
グ作業にもミスが発生し、結果として歩留まりの低下を
招くこととなる。さらに、複数人のオペレータが編集を
行う場合、編集作業にバラツキが生じて、さらに歩留ま
りに影響を与える虞もある。また、編集を行うことなく
レーザトリマ１２０にデータを転送したり、編集しても
そのデータが図９に示すリペアデータ構造に反している
場合は、装置側でデータの異常を検出し、停止するた
め、製造工期にも無駄が発生することとなる。
複データを除去することができないため、リペアデータ
ファイルをオペレータが編集する必要がある。編集作業
に誤りが生じると、レーザトリマ１２０によるトリミン
グ作業にもミスが発生し、結果として歩留まりの低下を
招くこととなる。さらに、複数人のオペレータが編集を
行う場合、編集作業にバラツキが生じて、さらに歩留ま
りに影響を与える虞もある。また、編集を行うことなく
レーザトリマ１２０にデータを転送したり、編集しても
そのデータが図９に示すリペアデータ構造に反している
場合は、装置側でデータの異常を検出し、停止するた
め、製造工期にも無駄が発生することとなる。
【００１８】
【発明の目的】そこで、本発明は、リペアデータの編集
を行うことができる装置を提供することを目的としてい
る。具体的には、編集作業での人為的なミスを排除し、
リペアデータの信頼性を高めること、正確なリペアデー
タをレーザトリマに転送すること、標準作業を実現する
こと、歩留まりを高めること、工数の削減を図ること、
ＴＡＴ（Ｔｕｒｎ Ａｒｏｕｎｄ Ｔｉｍｅ）を短縮す
ること、をその目的としている。
を行うことができる装置を提供することを目的としてい
る。具体的には、編集作業での人為的なミスを排除し、
リペアデータの信頼性を高めること、正確なリペアデー
タをレーザトリマに転送すること、標準作業を実現する
こと、歩留まりを高めること、工数の削減を図ること、
ＴＡＴ（Ｔｕｒｎ Ａｒｏｕｎｄ Ｔｉｍｅ）を短縮す
ること、をその目的としている。
【００１９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ＩＣテスタと、ホストコンピュータとを有するリペ
ア検査装置におけるリペアデータの編集装置にあって、
ＩＣテスタから得られた複数のウエハについてのリペア
データを、リペアデータファイルに格納するリペアデー
タファイル作成手段と、該リペアデータファイル中の重
複したリペアデータを削除するファイル訂正手段とを備
えたリペアデータの編集装置である。
は、ＩＣテスタと、ホストコンピュータとを有するリペ
ア検査装置におけるリペアデータの編集装置にあって、
ＩＣテスタから得られた複数のウエハについてのリペア
データを、リペアデータファイルに格納するリペアデー
タファイル作成手段と、該リペアデータファイル中の重
複したリペアデータを削除するファイル訂正手段とを備
えたリペアデータの編集装置である。
【００２０】請求項２に記載の発明は、上記ＩＣテスタ
と、ホストコンピュータとを有するリペア検査装置にお
けるリペアデータの編集装置にあって、ＩＣテスタから
の複数のウェハについてのリペアデータを検査順に格納
したリペアデータファイルを作成するリペアデータファ
イル作成手段と、複数のウェハについての検査履歴デー
タを検査順に格納したウェハ検査履歴ファイルを作成す
るウェハ検査履歴ファイル作成手段と、これらのリペア
データと検査履歴データとを比較するデータ比較手段
と、比較手段による比較の結果に基づきこれらのリペア
データ、検査履歴データが正常であるか否かを判定する
判定手段を有することを特徴とするリペアデータの編集
装置である。
と、ホストコンピュータとを有するリペア検査装置にお
けるリペアデータの編集装置にあって、ＩＣテスタから
の複数のウェハについてのリペアデータを検査順に格納
したリペアデータファイルを作成するリペアデータファ
イル作成手段と、複数のウェハについての検査履歴デー
タを検査順に格納したウェハ検査履歴ファイルを作成す
るウェハ検査履歴ファイル作成手段と、これらのリペア
データと検査履歴データとを比較するデータ比較手段
と、比較手段による比較の結果に基づきこれらのリペア
データ、検査履歴データが正常であるか否かを判定する
判定手段を有することを特徴とするリペアデータの編集
装置である。
【００２１】請求項３に記載した発明は、上記判定手段
によりリペアデータ、検査履歴データが正常である場
合、リペアデータファイル中の重複したリペアデータを
削除するファイル訂正手段を有する請求項２に記載のリ
ペアデータの編集装置である。
によりリペアデータ、検査履歴データが正常である場
合、リペアデータファイル中の重複したリペアデータを
削除するファイル訂正手段を有する請求項２に記載のリ
ペアデータの編集装置である。
【００２２】請求項４に記載の発明は、複数のウェハに
ついて順番にリペア検査しリペアデータを得るリペア検
査にあって、複数のウェハについてのリペアデータを含
むリペアデータファイルを作成し、該複数のウェハにつ
いての検査履歴データを含むウェハ検査履歴ファイルを
作成し、当該複数のウェハのリペア検査が完了した後、
検査履歴データに含まれるウェハの検査順とリペアデー
タに含まれるウェハ番号順とを比較し、リペアデータフ
ァイルに重複して含まれる同一のウェハ番号のリペアデ
ータの一方を消去し、一連の重複の無い検査順序となる
リペアデータを含むリペアデータファイルを生成し、 リ
ペアデータと検査履歴データのウェハ順に食い違いを発
見した場合、レーザリペアで使用できないリペアデータ
ファイル名に変更することを特徴とするリペアデータの
編集方法である。
ついて順番にリペア検査しリペアデータを得るリペア検
査にあって、複数のウェハについてのリペアデータを含
むリペアデータファイルを作成し、該複数のウェハにつ
いての検査履歴データを含むウェハ検査履歴ファイルを
作成し、当該複数のウェハのリペア検査が完了した後、
検査履歴データに含まれるウェハの検査順とリペアデー
タに含まれるウェハ番号順とを比較し、リペアデータフ
ァイルに重複して含まれる同一のウェハ番号のリペアデ
ータの一方を消去し、一連の重複の無い検査順序となる
リペアデータを含むリペアデータファイルを生成し、 リ
ペアデータと検査履歴データのウェハ順に食い違いを発
見した場合、レーザリペアで使用できないリペアデータ
ファイル名に変更することを特徴とするリペアデータの
編集方法である。
【００２３】
【作用】本発明によれば、複数のウエハを順次リペア検
査する場合、そのリペアデータを検査したウエハ番号順
に得て、リペアデータファイルを作成する。同時にその
検査したウエハの検査順序をウエハ番号順に並べた検査
履歴ファイルを作成する。これらのファイルに基づい
て、すなわちウエハ番号の格納順序を２つのファイルで
比較することにより、リペアデータの正常であることを
確認し、さらに重複記載のリペアデータを得て、その一
方を削除する。この結果、重複データを含まない正常な
データのみのリペアデータファイルを得ることができ
る。
査する場合、そのリペアデータを検査したウエハ番号順
に得て、リペアデータファイルを作成する。同時にその
検査したウエハの検査順序をウエハ番号順に並べた検査
履歴ファイルを作成する。これらのファイルに基づい
て、すなわちウエハ番号の格納順序を２つのファイルで
比較することにより、リペアデータの正常であることを
確認し、さらに重複記載のリペアデータを得て、その一
方を削除する。この結果、重複データを含まない正常な
データのみのリペアデータファイルを得ることができ
る。
【００２４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１〜図８は本発明の一実施例を説明するための
図である。
する。図１〜図８は本発明の一実施例を説明するための
図である。
【００２５】図１に示すように、この装置にあっては、
ホストコンピュータ１００に対してターミナル１０２、
固定ディスク装置１０１、磁気記録装置１０４、ローカ
ルメモリ１０５、ＩＣテスタ１１０、ウエハプローバ１
３０、レーザトリマ１２０がネットワークケーブル１１
１、１２１、１３３等を介してまたは直接に接続されて
いる。ＩＣテスタ１１０は、ローカルメモリ１１４、磁
気記録装置１１５を有している。ＩＣテスタ１１０は外
部のテストプログラム１１３によりリペア検査処理が可
能である。また、ＩＣテスタ１１０は制御ケーブル１１
２によりウエハプローバ１３０に接続されている。ウエ
ハプローバ１３０は、ウエハキャリア１３１に搭載した
半導体ウエハ群１４０をテストのためのハンドリングす
るものであって、外部から与えられるパラメータ１３２
により動作する。１３４はこのウエハプローバ１３０に
付設された磁気記録装置である。なお、半導体ウエハに
対してレーザトリミングを行うレーザトリマ１２０につ
いても磁気記録装置１２２が付設されている。図中、１
０３はターミナル１０２を操作するオペレータを示して
いる。
ホストコンピュータ１００に対してターミナル１０２、
固定ディスク装置１０１、磁気記録装置１０４、ローカ
ルメモリ１０５、ＩＣテスタ１１０、ウエハプローバ１
３０、レーザトリマ１２０がネットワークケーブル１１
１、１２１、１３３等を介してまたは直接に接続されて
いる。ＩＣテスタ１１０は、ローカルメモリ１１４、磁
気記録装置１１５を有している。ＩＣテスタ１１０は外
部のテストプログラム１１３によりリペア検査処理が可
能である。また、ＩＣテスタ１１０は制御ケーブル１１
２によりウエハプローバ１３０に接続されている。ウエ
ハプローバ１３０は、ウエハキャリア１３１に搭載した
半導体ウエハ群１４０をテストのためのハンドリングす
るものであって、外部から与えられるパラメータ１３２
により動作する。１３４はこのウエハプローバ１３０に
付設された磁気記録装置である。なお、半導体ウエハに
対してレーザトリミングを行うレーザトリマ１２０につ
いても磁気記録装置１２２が付設されている。図中、１
０３はターミナル１０２を操作するオペレータを示して
いる。
【００２６】以上の構成に係る半導体メモリのリペア検
査装置にあって、テストプログラム１１３に基づきＩＣ
テスタ１１０はウエハプローバ１３０を介して半導体ウ
エハ群１４０の各ウエハを検査する。図２はこの検査処
理の概略手順を示している。最終枚の検査終了後、リペ
アデータの自動編集処理がなされる。
査装置にあって、テストプログラム１１３に基づきＩＣ
テスタ１１０はウエハプローバ１３０を介して半導体ウ
エハ群１４０の各ウエハを検査する。図２はこの検査処
理の概略手順を示している。最終枚の検査終了後、リペ
アデータの自動編集処理がなされる。
【００２７】図３はこのロット単位でのウエハ検査処理
について異常検出し、異常終了処理が行われ、検査再処
理を行う場合の手順を示している。５枚目のウエハにつ
いて検査処理の終了後、異常終了した場合、３枚目のウ
エハから検査を再開した例である。この場合、７枚目の
検査終了後、リペアデータの自動編集処理が実行され
る。
について異常検出し、異常終了処理が行われ、検査再処
理を行う場合の手順を示している。５枚目のウエハにつ
いて検査処理の終了後、異常終了した場合、３枚目のウ
エハから検査を再開した例である。この場合、７枚目の
検査終了後、リペアデータの自動編集処理が実行され
る。
【００２８】図４はｎ枚目のウエハについてのＩＣテス
タ処理（Ａ）と、ウエハプローバ処理（Ｂ）とを示すも
のである。すなわち、ＩＣテスタにあっては、プローバ
から１ｓｔチップ情報を取得し（Ｓ４０１）、新規作成
ファイルの場合（Ｓ４０２でＹＥＳ）、リペアデータフ
ァイルを開く（Ｓ４０３）。データタイトルをリペアデ
ータファイルに書き込み（Ｓ４０４）、ｎ枚目のウエハ
のウエハ番号をこのリペアデータファイルに追記する
（Ｓ４０５）。そして、１チップ目を検査し（Ｓ４０
６）、１チップ目のリペアデータを取得し、リペアデー
タファイルに追記する（Ｓ４０７）。このリペアデータ
の取得、追記はチップ数に応じてなされる。そして、最
終チップを検査し（Ｓ４０８）、最終チップのリペアデ
ータを取得してリペアデータファイルに追記する（Ｓ４
０９）。ここで、プローバからウエハエンド信号を取得
し（Ｓ４１０）、ｎ枚目のウエハについてのリペアデー
タを終端する（Ｓ４１１）。このウエハが最終枚目であ
れば（Ｓ４１２でＹＥＳ）、プローバからロットエンド
信号を取得する（Ｓ４１３）。とともに、リペアデータ
ファイルを閉じる（Ｓ４１４）。最終枚目でない場合
（Ｓ４１２でＮＯ）、ロットエンド信号を取得すること
なく、またファイルを閉じることなく、このルーチンを
終了する。
タ処理（Ａ）と、ウエハプローバ処理（Ｂ）とを示すも
のである。すなわち、ＩＣテスタにあっては、プローバ
から１ｓｔチップ情報を取得し（Ｓ４０１）、新規作成
ファイルの場合（Ｓ４０２でＹＥＳ）、リペアデータフ
ァイルを開く（Ｓ４０３）。データタイトルをリペアデ
ータファイルに書き込み（Ｓ４０４）、ｎ枚目のウエハ
のウエハ番号をこのリペアデータファイルに追記する
（Ｓ４０５）。そして、１チップ目を検査し（Ｓ４０
６）、１チップ目のリペアデータを取得し、リペアデー
タファイルに追記する（Ｓ４０７）。このリペアデータ
の取得、追記はチップ数に応じてなされる。そして、最
終チップを検査し（Ｓ４０８）、最終チップのリペアデ
ータを取得してリペアデータファイルに追記する（Ｓ４
０９）。ここで、プローバからウエハエンド信号を取得
し（Ｓ４１０）、ｎ枚目のウエハについてのリペアデー
タを終端する（Ｓ４１１）。このウエハが最終枚目であ
れば（Ｓ４１２でＹＥＳ）、プローバからロットエンド
信号を取得する（Ｓ４１３）。とともに、リペアデータ
ファイルを閉じる（Ｓ４１４）。最終枚目でない場合
（Ｓ４１２でＮＯ）、ロットエンド信号を取得すること
なく、またファイルを閉じることなく、このルーチンを
終了する。
【００２９】プローバ処理（Ｂ）は、まず、ＩＣテスタ
１１０に対して１ｓｔチップ情報を送出し（Ｓ４２
１）、新規作成ファイルであれば（Ｓ４２２でＹＥ
Ｓ）、検査履歴ファイルを開く（Ｓ４２３）。そして、
データタイトルを検査履歴ファイルに書き込む（Ｓ４２
４）。次に、１チップ目を検査する（Ｓ４２５）。さら
に、全チップを検査し、その間にロットエンド割り込み
が発生していないならば（Ｓ４２６でＮＯ）、最終チッ
プを検査し（Ｓ４２７）、ＩＣテスタ１１０に対してウ
エハエンド信号を出力する（Ｓ４２８）。また、ウエハ
番号を検査履歴ファイルに追記する（Ｓ４２９）。そし
て、最終枚目であれば（Ｓ４３０でＹＥＳ）、ＩＣテス
タ１１０にロットエンド信号を出力し（Ｓ４３１）、検
査履歴ファイルを閉じる（Ｓ４３２）。
１１０に対して１ｓｔチップ情報を送出し（Ｓ４２
１）、新規作成ファイルであれば（Ｓ４２２でＹＥ
Ｓ）、検査履歴ファイルを開く（Ｓ４２３）。そして、
データタイトルを検査履歴ファイルに書き込む（Ｓ４２
４）。次に、１チップ目を検査する（Ｓ４２５）。さら
に、全チップを検査し、その間にロットエンド割り込み
が発生していないならば（Ｓ４２６でＮＯ）、最終チッ
プを検査し（Ｓ４２７）、ＩＣテスタ１１０に対してウ
エハエンド信号を出力する（Ｓ４２８）。また、ウエハ
番号を検査履歴ファイルに追記する（Ｓ４２９）。そし
て、最終枚目であれば（Ｓ４３０でＹＥＳ）、ＩＣテス
タ１１０にロットエンド信号を出力し（Ｓ４３１）、検
査履歴ファイルを閉じる（Ｓ４３２）。
【００３０】ロットエンド割り込みが発生した場合（Ｓ
４２６でＹＥＳ）、すぐにウェハエンド信号を送出し
（Ｓ４３３）、ウェハ番号を検査履歴ファイルに追記す
る（Ｓ４３４）。
４２６でＹＥＳ）、すぐにウェハエンド信号を送出し
（Ｓ４３３）、ウェハ番号を検査履歴ファイルに追記す
る（Ｓ４３４）。
【００３１】図５には検査履歴とリペアデータとの関係
を示している。これはリペア検査が正常な状態で終了し
た場合のデータを示すものである。すなわち、全数７枚
の１つのロットについて検査した場合、検査履歴データ
ファイルには、データタイトル、ウエハ番号＃１、＃
２、＃３、＃ｎ、＃最終の昇順にデータが保持される。
一方、リペアデータファイルとして、１段目にデータタ
イトル、２段目に１枚目のウエハ番号，１枚目のリペア
データ，１枚目のデータ終端、・・、以下昇順に最終枚
のウエハ番号，最終枚のリペアデータ，最終枚のデータ
終端が格納されている。
を示している。これはリペア検査が正常な状態で終了し
た場合のデータを示すものである。すなわち、全数７枚
の１つのロットについて検査した場合、検査履歴データ
ファイルには、データタイトル、ウエハ番号＃１、＃
２、＃３、＃ｎ、＃最終の昇順にデータが保持される。
一方、リペアデータファイルとして、１段目にデータタ
イトル、２段目に１枚目のウエハ番号，１枚目のリペア
データ，１枚目のデータ終端、・・、以下昇順に最終枚
のウエハ番号，最終枚のリペアデータ，最終枚のデータ
終端が格納されている。
【００３２】一方、図６は異常終了の場合の検査履歴デ
ータとリペアデータとの関係を対比して示している。こ
の場合、１枚目から５枚目のウエハを検査した後、ロッ
トエンド信号を出力していったん終了し、復旧後３枚目
のウエハから検査を再開したものである。この図に示す
ように、検査履歴データファイルおよびリペアデータフ
ァイルには重複部分が存在する。重複部分とは３枚目の
ウエハ番号から５枚目のデータ終端を示すもの、およ
び、データタイトルである。この重複部分については以
下の編集により削除するものである。なお、異常終了の
原因としては、例えば検査中にトラブルが発生した場合
等である。具体的には、歩留まりが急激に低下した場
合、マシントラブル、アライメント（目合わせ／位置合
わせ）ができなくなる場合等である。
ータとリペアデータとの関係を対比して示している。こ
の場合、１枚目から５枚目のウエハを検査した後、ロッ
トエンド信号を出力していったん終了し、復旧後３枚目
のウエハから検査を再開したものである。この図に示す
ように、検査履歴データファイルおよびリペアデータフ
ァイルには重複部分が存在する。重複部分とは３枚目の
ウエハ番号から５枚目のデータ終端を示すもの、およ
び、データタイトルである。この重複部分については以
下の編集により削除するものである。なお、異常終了の
原因としては、例えば検査中にトラブルが発生した場合
等である。具体的には、歩留まりが急激に低下した場
合、マシントラブル、アライメント（目合わせ／位置合
わせ）ができなくなる場合等である。
【００３３】図７および図８は自動編集ルーチンを示し
ている。このルーチンは１ロットのリペア検査終了後、
例えば７枚目のウエハ検査の終了後に実行される。ま
ず、固定ディスク１０１に格納された検査履歴ファイル
を開き（Ｓ７０１）、１行データを読み取り、これをロ
ーカルメモリ１０５に格納する（Ｓ７０２）。この読み
取りをファイルのエンドまで行う（Ｓ７０３でＹＥＳと
なるまで行う）。この結果、ローカルメモリ１０５に検
査履歴ファイルが格納される。
ている。このルーチンは１ロットのリペア検査終了後、
例えば７枚目のウエハ検査の終了後に実行される。ま
ず、固定ディスク１０１に格納された検査履歴ファイル
を開き（Ｓ７０１）、１行データを読み取り、これをロ
ーカルメモリ１０５に格納する（Ｓ７０２）。この読み
取りをファイルのエンドまで行う（Ｓ７０３でＹＥＳと
なるまで行う）。この結果、ローカルメモリ１０５に検
査履歴ファイルが格納される。
【００３４】次に、固定ディスク１０１のリペアデータ
ファイルを開き（Ｓ７０４）、１行データを読む（Ｓ７
０５）。そして、ローカルメモリ１０５に書き込む前
に、そのデータの解析を行う（Ｓ７０６）。例えばデー
タタイトル部が存在するか、データの先頭がウエハ番号
か、データの末尾にデータ終端（コード）が存在するか
を解析する。そして、第１行目がデータタイトルである
場合（Ｓ７０７でＹＥＳ）、そのデータをローカルメモ
リ１０５に格納する（Ｓ７０８）。このデータの格納を
ファイルのエンドまで続行する（Ｓ７０９でＹＥＳ）。
この結果、ローカルメモリ１０５にリペアデータファイ
ルがすべて読み込まれる。データタイトルでない場合
（Ｓ７０７でＮＯ）、リペアデータファイルの拡張子を
異常終了（エラー発生）した旨の名称に変更して（Ｓ７
１０）、編集作業は異常終了とする。
ファイルを開き（Ｓ７０４）、１行データを読む（Ｓ７
０５）。そして、ローカルメモリ１０５に書き込む前
に、そのデータの解析を行う（Ｓ７０６）。例えばデー
タタイトル部が存在するか、データの先頭がウエハ番号
か、データの末尾にデータ終端（コード）が存在するか
を解析する。そして、第１行目がデータタイトルである
場合（Ｓ７０７でＹＥＳ）、そのデータをローカルメモ
リ１０５に格納する（Ｓ７０８）。このデータの格納を
ファイルのエンドまで続行する（Ｓ７０９でＹＥＳ）。
この結果、ローカルメモリ１０５にリペアデータファイ
ルがすべて読み込まれる。データタイトルでない場合
（Ｓ７０７でＮＯ）、リペアデータファイルの拡張子を
異常終了（エラー発生）した旨の名称に変更して（Ｓ７
１０）、編集作業は異常終了とする。
【００３５】そして、検査履歴データが正常か否かを確
認する（Ｓ８０１）。例えば「Ｄ１２３４Ｄ１３５」で
あれば、１〜４枚目まで検査して中断し、再開後、１枚
目、３枚目、５枚目を検査しており、正常な検査であっ
たことを示す。一方、「Ｄ４３２１Ｄ１３５」となって
いる場合、４枚目から降順に１枚目までを検査し、中断
し、再開後、１枚目、３枚目、５枚目を検査している。
これは、降順、昇順の検査が混在しており、異常な検査
であったことが判明する。通常の製造プロセス、検査プ
ロセスでは昇順、降順の検査が混在することはないから
である。これは、製造装置によっては、降順のみ、また
は、昇順のみにしか対応することができないことがある
からである。
認する（Ｓ８０１）。例えば「Ｄ１２３４Ｄ１３５」で
あれば、１〜４枚目まで検査して中断し、再開後、１枚
目、３枚目、５枚目を検査しており、正常な検査であっ
たことを示す。一方、「Ｄ４３２１Ｄ１３５」となって
いる場合、４枚目から降順に１枚目までを検査し、中断
し、再開後、１枚目、３枚目、５枚目を検査している。
これは、降順、昇順の検査が混在しており、異常な検査
であったことが判明する。通常の製造プロセス、検査プ
ロセスでは昇順、降順の検査が混在することはないから
である。これは、製造装置によっては、降順のみ、また
は、昇順のみにしか対応することができないことがある
からである。
【００３６】次に、リペアデータについても同様にウエ
ハ番号が正常であるか否かを確認する（Ｓ８０２）。正
常であれば（Ｓ８０３でＹＥＳ）、検査履歴データのウ
エハ番号の順序とリペアデータのウエハ番号の順序とを
比較する（Ｓ８０４）。これらが一致しておれば（Ｓ８
０５でＹＥＳ）、次のステップＳ８０６に進む。例えば
図６に示す場合、いずれのファイルも「Ｄ１２３４５Ｄ
３４５６７」となって正常である。一方、リペアデータ
のウエハ番号順が正常でない場合（Ｓ８０３でＮＯ）、
また、ウエハ番号同士が一致していない場合（Ｓ８０５
でＮＯ）は、リペアデータファイルの拡張子を異常終了
した旨の名称に変更して（Ｓ８１２）この自動編集ルー
チンを終了する。例えば検査履歴ファイルが「Ｄ１２３
４５Ｄ３４５６７」で、リペアデータファイルが「Ｄ１
２３４Ｄ３４５６７」の場合は不一致となる。
ハ番号が正常であるか否かを確認する（Ｓ８０２）。正
常であれば（Ｓ８０３でＹＥＳ）、検査履歴データのウ
エハ番号の順序とリペアデータのウエハ番号の順序とを
比較する（Ｓ８０４）。これらが一致しておれば（Ｓ８
０５でＹＥＳ）、次のステップＳ８０６に進む。例えば
図６に示す場合、いずれのファイルも「Ｄ１２３４５Ｄ
３４５６７」となって正常である。一方、リペアデータ
のウエハ番号順が正常でない場合（Ｓ８０３でＮＯ）、
また、ウエハ番号同士が一致していない場合（Ｓ８０５
でＮＯ）は、リペアデータファイルの拡張子を異常終了
した旨の名称に変更して（Ｓ８１２）この自動編集ルー
チンを終了する。例えば検査履歴ファイルが「Ｄ１２３
４５Ｄ３４５６７」で、リペアデータファイルが「Ｄ１
２３４Ｄ３４５６７」の場合は不一致となる。
【００３７】次に、リペアデータファイルにおいて重複
してデータ行を削除する意志決定を行う（Ｓ８０６）。
なお、このファイルの重複データは既に検出してあるも
のとする。すなわち、データタイトルは先頭行を有効と
し、リペアデータブロックは後に出現するデータを有効
とする。そして、リペアデータファイルの消去すべき行
を消去し、続くデータを１行ずつ詰める（Ｓ８０７）。
この意志決定と、行消去とをすべてが完了するまで行い
（Ｓ８０８でＹＥＳ）、その後、リペアデータファイ
ル、検査履歴データファイルを閉じる（Ｓ８０９）。そ
して、リペアデータファイルの拡張子をオリジナルであ
る旨の名称に変更する（Ｓ８１０）。さらに、編集後の
ローカルメモリ１０５上でのリペアデータを元のファイ
ル名および拡張子で固定ディスク装置１０１に新規に書
き込み（Ｓ８１１）、このルーチンを終了する。この結
果、レーザトリマ１２０には重複のない正常なリペアデ
ータが転送されることとなる。すなわち、「データタイ
トル、１枚目のウエハのデータ、２枚目のウエハのデー
タ、・・・・、７枚目のウエハのデータ」と、昇順に、
重複なく並んだデータが送られる。よって、レーザトリ
マ１２０はこのリペアデータに基づきこのロットについ
て正常なレーザ照射を行うことが可能となる。
してデータ行を削除する意志決定を行う（Ｓ８０６）。
なお、このファイルの重複データは既に検出してあるも
のとする。すなわち、データタイトルは先頭行を有効と
し、リペアデータブロックは後に出現するデータを有効
とする。そして、リペアデータファイルの消去すべき行
を消去し、続くデータを１行ずつ詰める（Ｓ８０７）。
この意志決定と、行消去とをすべてが完了するまで行い
（Ｓ８０８でＹＥＳ）、その後、リペアデータファイ
ル、検査履歴データファイルを閉じる（Ｓ８０９）。そ
して、リペアデータファイルの拡張子をオリジナルであ
る旨の名称に変更する（Ｓ８１０）。さらに、編集後の
ローカルメモリ１０５上でのリペアデータを元のファイ
ル名および拡張子で固定ディスク装置１０１に新規に書
き込み（Ｓ８１１）、このルーチンを終了する。この結
果、レーザトリマ１２０には重複のない正常なリペアデ
ータが転送されることとなる。すなわち、「データタイ
トル、１枚目のウエハのデータ、２枚目のウエハのデー
タ、・・・・、７枚目のウエハのデータ」と、昇順に、
重複なく並んだデータが送られる。よって、レーザトリ
マ１２０はこのリペアデータに基づきこのロットについ
て正常なレーザ照射を行うことが可能となる。
【００３８】なお、以上説明した実施例にあっては、ネ
ットワーク接続されたホストコンピュータ１００、ＩＣ
テスタ１１０、ウエハプローバ１３０、レーザトリマ１
２０等を用いた場合について説明している。しかし、こ
の発明にあっては、このようなネットワークを用いてい
ない場合についても適用することができる。すなわち、
ＩＣテスタ１１０の磁気記録装置１１５にリペアデータ
ファイルを、ウエハプローバ１３０の磁気記録装置１３
４に検査履歴ファイルを、それぞれ書き込む。オペレー
タ１０３が、それらの書き込まれた記録媒体（例えばフ
ロッピディスク）をホストコンピュータ１００の磁気記
録装置１０４にセットする。そして、これらのファイル
を、オペレータ１０３が固定ディスク装置１０１に転送
する。この後、自動編集プログラムを起動することによ
り、上記と同様のリペアデータファイル、検査履歴ファ
イルの正常確認と、リペアデータファイル中の重複デー
タの消去を実行することができる。また、レーザトリマ
１２０へのリペアデータの転送も、いったん磁気記録装
置１０４に書き込んだ後、レーザトリマ１２０の磁気記
録装置１２２に記録媒体から書き込むことにより、可能
となる。
ットワーク接続されたホストコンピュータ１００、ＩＣ
テスタ１１０、ウエハプローバ１３０、レーザトリマ１
２０等を用いた場合について説明している。しかし、こ
の発明にあっては、このようなネットワークを用いてい
ない場合についても適用することができる。すなわち、
ＩＣテスタ１１０の磁気記録装置１１５にリペアデータ
ファイルを、ウエハプローバ１３０の磁気記録装置１３
４に検査履歴ファイルを、それぞれ書き込む。オペレー
タ１０３が、それらの書き込まれた記録媒体（例えばフ
ロッピディスク）をホストコンピュータ１００の磁気記
録装置１０４にセットする。そして、これらのファイル
を、オペレータ１０３が固定ディスク装置１０１に転送
する。この後、自動編集プログラムを起動することによ
り、上記と同様のリペアデータファイル、検査履歴ファ
イルの正常確認と、リペアデータファイル中の重複デー
タの消去を実行することができる。また、レーザトリマ
１２０へのリペアデータの転送も、いったん磁気記録装
置１０４に書き込んだ後、レーザトリマ１２０の磁気記
録装置１２２に記録媒体から書き込むことにより、可能
となる。
【００３９】
【発明の効果】本発明によれば、自動的にリペアデータ
を編集することにより、誤りのない安定したリペアデー
タを得ることができる。この結果、レーザトリマの作動
不良を排除することができる。また、標準作業を実現す
ることができる。また、歩留まりを高めることができ
る。また、工数の削減を図ることができる。さらに、Ｔ
ＡＴ（製品投入から完成までの時間）を短縮することが
できる。
を編集することにより、誤りのない安定したリペアデー
タを得ることができる。この結果、レーザトリマの作動
不良を排除することができる。また、標準作業を実現す
ることができる。また、歩留まりを高めることができ
る。また、工数の削減を図ることができる。さらに、Ｔ
ＡＴ（製品投入から完成までの時間）を短縮することが
できる。
【図１】本発明の一実施例に係るリペアデータの編集装
置を示すブロック図である。
置を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施例に係るリペア検査の概略を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図３】本発明の一実施例に係るリペア検査にて異常終
了処理を含む場合の概略を示すフローチャートである。
了処理を含む場合の概略を示すフローチャートである。
【図４】本発明の一実施例に係るリペア検査処理の内容
を示すフローチャートである。
を示すフローチャートである。
【図５】本発明の一実施例に係る検査履歴データファイ
ルとリペアデータファイルとを示す図である。
ルとリペアデータファイルとを示す図である。
【図６】本発明の一実施例に係る異常終了処理がなされ
た場合の検査履歴データファイルとリペアデータファイ
ルとの関係を示す図である。
た場合の検査履歴データファイルとリペアデータファイ
ルとの関係を示す図である。
【図７】本発明の一実施例に係るリペアデータの自動編
集処理を示すフローチャートである。
集処理を示すフローチャートである。
【図８】同じく本発明の一実施例に係るリペアデータの
自動編集を示すフローチャートである。
自動編集を示すフローチャートである。
【図９】従来のリペア検査装置の概略を示すブロック図
である。
である。
【図１０】同装置におけるリペア検査の概略を示すフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図１１】同じくリペア検査にて異常終了処理を含む場
合の概略を示すフローチャートである。
合の概略を示すフローチャートである。
【図１２】検査正常時のリペアデータの構造を示す図で
ある。
ある。
【図１３】異常終了処理がなされた場合のリペアデータ
の構造を示す図である。
の構造を示す図である。
１００ ホストコンピュータ １１０ ＩＣテスタ １３０ ウエハプローバ Ｓ８０６，Ｓ８０７ 重複データの削除を示すステップ
Claims (4)
- 【請求項１】 ＩＣテスタと、ホストコンピュータとを
有するリペア検査装置におけるリペアデータの編集装置
にあって、 ＩＣテスタから得られた複数のウエハについてのリペア
データを、リペアデータファイルに格納するリペアデー
タファイル作成手段と、 該リペアデータファイル中の重複したリペアデータを削
除するファイル訂正手段とを備えたことを特徴とするリ
ペアデータの編集装置。 - 【請求項２】上記ＩＣテスタと、ホストコンピュータと
を有するリペア検査装置におけるリペアデータの編集装
置にあって、 ＩＣテスタからの複数のウェハについてのリペアデータ
を検査順に格納したリペアデータファイルを作成するリ
ペアデータファイル作成手段と、 複数のウェハについての検査履歴データを検査順に格納
したウェハ検査履歴ファイルを作成するウェハ検査履歴
ファイル作成手段と、 これらのリペアデータと検査履歴データとを比較するデ
ータ比較手段と、 比較手段による比較の結果に基づきこれらのリペアデー
タ、検査履歴データが正常であるか否かを判定する判定
手段を有することを特徴とするリペアデータの編集装
置。 - 【請求項３】 上記判定手段によりリペアデータ、検査
履歴データが正常である場合、リペアデータファイル中
の重複したリペアデータを削除するファイル訂正手段を
有する請求項２に記載のリペアデータの編集装置。 - 【請求項４】複数のウェハについて順番にリペア検査し
リペアデータを得るリペア検査にあって、 複数のウェハについてのリペアデータを含むリペアデー
タファイルを作成し、該複数のウェハについての検査履
歴データを含むウェハ検査履歴ファイルを作成し、 当該複数のウェハのリペア検査が完了した後、検査履歴
データに含まれるウェハの検査順とリペアデータに含ま
れるウェハ番号順とを比較し、 リペアデータファイルに重複して含まれる同一のウェハ
番号のリペアデータの一方を消去し、 一連の重複の無い検査順序となるリペアデータを含むリ
ペアデータファイルを生成し、 リペアデータと検査履歴データのウェハ順に食い違いを
発見した場合、レーザリペアで使用できないリペアデー
タファイル名に変更 することを特徴とするリペアデータ
の編集方法。
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