KR100303321B1 - 반도체 라인 자동화 시스템에서의 오류발생 로트 제어 장치 및그 방법 - Google Patents

반도체 라인 자동화 시스템에서의 오류발생 로트 제어 장치 및그 방법 Download PDF

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 제조 공정의 네트웍 통신시스템에서 오류 발생 로트의 제어 장치 및 방법에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 오류 발생 로트의 보류 및 통보를 일괄적으로 실행하는 오류발생 로트의 제어 장치 및 방법을 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 로트 자체의 문제, 공정상의 문제 및 장비의 문제에 의해 오류가 발생한 로트에 대한 보류 및 오류발생 통보를 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템에 의해 한 번에 일괄적으로 수행하고, 오류발생 로트에 대한 조치를 네트웍 통신시스템으로 오퍼레이터에게 전송한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 오류 발생 로트의 제어에 이용됨.

Description

반도체 라인 자동화 시스템에서의 오류발생 로트 제어 장치 및 그 방법{APPRATUS FOR CONTROLLING ABNORMAL LOT IN AUTOMIZATION SYSTEM TO PRODUCE SEMICONDUCTOR AND CONTROL METHOD USING THE SAME}
본 발명은, 반도체 제조 공정의 네트웍 통신시스템에서 로트 자체의 문제,공정상의 문제 및 장비의 문제에 의해 오류가 발생한 로트에 대한 보류 및 오류발생 통보를 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템에 의해 자동으로 수행하고, 오류발생 로트에 대한 조치사항을 네트웍 통신시스템을 이용하여 오퍼레이터에게 전송하는 오류발생 로트 제어 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
종래에는 로트자체의 문제, 공정상의 문제 및 장비의 문제에 의해 오류가 발생한 로트는 외부 MES(Manufacturing Execution System)부에서 로트보류(HLLT : HoLd a LoT) 트랜잭션을 발생시켜 로트를 보류시킨 다음 오류발생 로트처리 프로그램을 실행하여 상기 오류상태에 대한 조치사항을 입력하였다.
이와같이, 종래의 오류가 발생한 로트에 대한 보류 및 오류발생 통보를 이중작업으로 수행해야 할 뿐만아니라, 반도체 제조공정상에서 오류가 발생한 로트를 발견하면 작업자가 직접 로트보류 트랜잭션을 발생시켜야 하므로 로트 오류발생 처리작업이 번거롭고, 추가적인 인력이 낭비되는 문제가 있었다.
또한, 작업자가 오류발생 통보를 하지 않은 경우에는 오류가 발생한 로트의 진행으로 이후 진행해야 할 로트에 대해 연속적으로 오류를 발생시키게 되며, 이것은 전체 수율의 저하를 야기시키는 문제로 작용하고 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 오류 발생 로트의 보류를 위한 로트보류 트랜잭션과 오류발생 통보를 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템을 통해 한 번의 작업으로 일괄적으로 실행하고, 오류발생 로트에 대한조치사항을 작업자에게 네트웍 통신시스템을 통하여 전달하므로써 작업을 단순화시키고 업무의 효율을 제고시키는 오류발생 로트의 제어 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 오류발생 로트 제어장치의 일실시예 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 오류발생 로트 제어 수행 절차에 대한 일실시예 흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
102 : 작업자 인터페이스 서버(OIS) 103 : 마스터 데이터베이스
106 : 로트 이력 정보 서버(HIS) 108 : 로트 이력 정보 데이타베이스
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반도체 제조 공정 라인상에서 오류가 발생한 로트에 대하여 로트 보류 트랜잭션을 발생시키는 제 1단계; 상기 로트 보류 트랜잭션이 발생하면 자동으로 상기 로트 이력 정보 수단에 오류발생 통보를 수행하는 제 2단계; 및 상기 보류된 로트에 대한 조치를 수행하고, 로트 해제 트랜잭션을 수행하는 제 3단계를 포함한다.
또한, 본 발명은, 반도체 제조 공정상에서 발생하는 오류발생 로트의 제어방법을 제공하기 위한 시스템에, 반도체 제조 공정 라인상에서 오류가 발생한 로트에 대하여 로트 보류 트랜잭션을 발생시키는 제 1기능; 상기 로트 보류 트랜잭션이 발생하면 자동으로 상기 로트 이력 정보 수단에 오류발생 통보를 수행하는 제 2기능; 상기 보류된 로트에 대한 조치를 수행하고, 로트 해제 트랜잭션을 수행하는 제 3기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체를 더 제공한다.
이하, 첨부된 도 1 이하의 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명이 적용되는 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템에 의해오류발생 로트 제어를 수행하는 시스템 구성도로서, 도면에서 '100'은 작업자가 통합 자동화 시스템에 접근하기 위해 작업자 인터페이스 서버(OIS : Operator Interface Server)와 통신하는 작업자 인터페이스 프로세스(OIP : Operator Interface Process), '102'는 상기 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 접속한 작업자를 통합 자동화 시스템에 접근할 수 있게 하며, 작업자에게 필요한 정보를 제공하는 작업자 인터페이스 서버, '104'는 통합 자동화 시스템에서 로트, 웨이퍼, 레티클 및 장비(entity)의 정보를 저장하고, 상기 작업자 인터페이스 서버와 장비서버가 요청한 데이타를 전송하는 마스터 데이타베이스, '106'은 해당 배이(Bay)에서 발생하는 모든 트랜잭션 데이타를 입력받아 관리하는 셀 관리 서버(CMS : Cell Management Server), '108'은 반도체 생산공정의 장비, '110'은 상기 장비에서 제공된 로트 데이타에 대한 오류여부를 판단하는 장비 인터페이스 서버(EIS : Equipment Interface Server), '112'는 상기 셀 관리 서버에서 전송된 데이터 및 메세지를 임시파일로 저장하는 이력 정보서버 큐 파일(queue file), '114'는 상기 셀 관리 서버에서 제공된 로트 트랜잭션 데이타의 이력을 관리하며, 정보를 가공하고, 상기 가공된 데이타를 데이타베이스에 저장하는 로트 이력 정보 서버, '116'은 상기 로트 이력정보 서버로부터 제공된 로트에 대한 이력을 저장하는 로트 이력 정보 데이타베이스(HIS database)를 각각 나타낸다.
본 발명이 적용되는 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템에 의한 오류발생 로트 제어 수행 시스템의 동작을 살펴보면 다음과 같다.
반도체 제조 라인상에서 로트 자체의 문제, 공정상의 문제 및 장비문제에 의해 오류가 발생된 로트를 작업자 인터페이스 서버(102) 또는 장비 인터페이스 서버(110)가 발견할 경우, 상기 두 서버(102, 110)가 로트에 발생된 오류의 정도를 판단한 다음, 상기 로트에 발생된 오류에 대한 자동 오류 발생 정보를 마스터 데이터 베이스(104)에 저장한다.
그리고, 오류 발생 메세지를 셀 관리 서버(106)로 전송한다.
다음으로, 상기 작업자 인터페이스 서버(102) 또는 장비 인터페이스 서버(110)로부터 오류 발생 메세지를 수신한 셀 관리 서버(106)는 자동 오류 발생 표시에 따라 로트 보류에 대한 데이타를 상기 마스터 데이터베이스(104)에 저장하고, 상기 오류 발생 로트에 대해 로트보류 트랜잭션을 발생시키며, 상기 로트에 대한 오류발생 통보를 로트 이력 정보 서버(114)로 전달한다.
또한, 상기 셀 관리 서버(106)는 상기 로트보류 트랜잭션 메세지를 이력정보서버 큐 파일(112)에 임시 저장한다.
이후, 로트 이력 정보 서버(114)는 타이머에 의해 동작하며, 상기 이력정보서버 큐 파일(112)에 임시 저장되어 있는 상기 로트보류 트랜잭션 메세지를 판독하여 로트 이력 정보 데이타베이스(116)에 상기 로트에 대한 정보를 갱신한다.
상기와 같이 구성되어 동작하는 오류발생 로트 제어장치의 처리 방법을 도 2를 참조하여 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템에 의한 오류 발생 로트 제어를 수행하기 위한 처리흐름도이다.
먼저, 작업자 인터페이스 서버(102) 또는 장비 인터페이스 서버(110)에서 로트 자체의 문제, 공정상의 문제 및 장비문제에 의해 오류가 발생한 로트를 발견(S200)하면, 상기 작업자 인터페이스 서버(102) 또는 장비 인터페이스 서버(110)에서 로트에 발생된 오류의 정도를 판단한다(S202).
상기 판단(S202)결과, 로트보류 트랜잭션을 발생시켜야할 정도의 오류에 해당한다면, 오류발생 메세지를 셀 관리 서버(106)으로 전송한다(S204).
상기 판단(S202)결과, 로트보류 트랜잭션을 발생시키지 않아도 될 정도의 오류에 해당한다면, 상기 오류가 발생한 로트는 다시 공정을 진행한다(S218).
상기 S204단계에서, 상기 오류발생 메세지를 수신한 셀 관리 서버(106)는 로트보류 트랜잭션을 발생시키고(S206), 로트보류 트랜잭션이 발생한 로트에 대해 오류발생 통보를 로트 이력 정보 서버(114)로 자동적으로 전송하고(S208), 이력정보서버 큐 파일에 로트보류 트랜잭션 메세지를 임시 저장한다(S210). 이때, 상기 오류발생 통보를 수신한 이력 정보 서버(114)는 상기 이력정보서버 큐 파일에 저장된 로트보류 트랜잭션 메세지를 판독하여 이력 데이타 베이스(116)에 저장한다.
다음으로, 상기와 같이 오류발생 통보를 수행한 로트 중에서 로트 보류후 후속조치가 필요한 로트를 판단한다(S212).
상기 판단(S212)결과, 상기 로트보류 트랜잭션이 로트 보류후 후속조치가 필요한 로트일 경우, 작업자가 라인상에서 조치사항을 수행한다(S214).
그리고, 작업자가 상기 작업자 인터페이스 프로세스(100)를 통해 오류발생 원인공정과 장비, 처리지침 및 대책을 입력하고(S216), 상기 작업자 인터페이스 프로세스(100)를 통하여 로트 해제 트랜잭션을 발생시킨다(S218).
상기 판단(S212)결과, 상기 로트보류 트랜잭션이 로트 보류후 후속조치가 필요하지 않은 로트일 경우에는, 상기 S216단계를 수행한다.
이때, 작업자 인터페이스 서버(102)는 마스터 데이타베이스(104)에 상기 로트의 오류발생 조치 정보를 갱신한다.
마지막으로, 로트해제 트랜잭션이 발생된 상기 로트는 반도체 제조 공정을 다시 진행한다(S220).
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다.
상기와 같은 본 발명은, 종래의 오류 발생 로트에 대한 보류 및 통보를 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템을 이용하여 자동으로 처리하고, 오류발생 로트에 대한 조치사항을 네트웍 통신시스템을 이용하여 전달하므로써, 오퍼레이터가 오류발생 통보를 하지 않았을 경우에 발생하는 위험이나 손실을 예방함으로써 로트에 대한 오류발생 확인, 오류발생에 대한 조치 시간을 단축시키며, 이에따라 업무의 효율 및 전체 수율을 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

Claims (12)

  1. 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템에 접근할 수 있게 하며, 오퍼레이팅 정보를 제공하기 위한 작업 정보 제공 수단;
    장비에서 제공된 로트 데이타의 오류 여부를 판단하는 장비 인터페이스 수단; 및
    상기 작업 정보 제공 수단과 인터페이스 수단을 통하여 제공된 메세지를 사용하여 오류 발생 로트의 보류 및 통보를 자동으로 수행하며, 오류 발생 로트의 해제 및 조치를 수행하기 위한 오류 발생 로트 제어 수단
    을 포함하는 오류발생 로트의 제어장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 작업 정보 제공 수단은,
    오퍼레이터를 상기 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템에 접근시키기 위한 작업자 인터페이스 수단; 및
    상기 작업자 인터페이스 수단을 이용하여 접속한 오퍼레이터에게 필요한 정보를 제공하고, 오류발생 메세지를 상기 오류발생 로트 제어수단에 전송하기 위한 작업자 인터페이스 서버를 포함하는 오류발생 로트의 제어장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 오류 발생 로트 제어 수단은,
    해당 베이에서 발생하는 모든 트랜잭션 데이타를 입력받아 관리하고, 로트 보류 트랜잭션을 발생시키는 셀 관리 수단; 및
    상기 셀 관리 수단으로부터 오류발생 메세지를 수신하며, 로트의 이력을 관리하고 로트, 웨이퍼, 레티클 및 장비 정보를 제공하기 위한 로트 이력 정보 수단을 포함하는 오류발생 로트의 제어장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    작업자 인터페이스 수단, 장비 인터페이스 수단 및 셀 관리 수단과 데이타 수수를 수행하며 로트, 웨이퍼, 레티클 및 장비의 정보를 저장하는 마스터 데이타베이스;
    상기 셀 관리 수단에서 제공하는 메세지 및 데이타를 임시 파일로 저장하기 위한 이력정보서버 큐 파일; 및
    상기 로트 이력 정보 수단과 데이타 수수를 하며, 로트에 대한 이력 및 정보를 저장하기 위한 로트 이력 저장 수단을 더 포함하는 오류발생 로트 제어장치.
  5. 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템을 이용한 오류발생 로트의 제어방법에 있어서,
    반도체 제조 공정 라인상에서 오류가 발생한 로트에 대하여 로트 보류 트랜잭션을 발생시키는 제 1단계;
    상기 로트 보류 트랜잭션이 발생하면 자동으로 상기 로트 이력 정보 수단에 오류발생 통보를 수행하는 제 2단계; 및
    상기 보류된 로트에 대한 조치를 수행하고, 로트 해제 트랜잭션을 수행하는 제 3단계
    를 포함하는 오류발생 로트 제어방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 1단계는,
    작업자 인터페이스 수단 또는 장비 제어 수단에서 로트 자체의 문제, 공정상의 문제 및 장비문제에 의해 오류가 발생한 로트를 발견하는 제 4단계; 및
    상기 작업자 인터페이스 수단 또는 장비 제어 수단에서 로트에 발생된 오류의 정도가 로트보류 트랜잭션을 발생시켜야 하는 오류정보인가를 판단하는 제 5단계를 포함하는 오류발생 로트 제어방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제 5단계의 판단결과, 로트보류 트랜잭션을 발생시켜야할 정도의 오류에 해당한다면, 오류발생 메세지를 상기 셀 관리 수단으로 전송하는 제 6단계; 및
    상기 오류발생 메세지를 수신한 셀 관리 수단이 로트보류 트랜잭션을 발생시키는 제 7단계를 더 포함하는 오류발생 로트 제어방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 제 5단계의 판단결과, 로트보류 트랜잭션을 발생시키지 않아도 될 정도의 오류에 해당한다면, 상기 오류가 발생한 로트가 다시 공정을 진행하는 제 8단계를 더 포함하는 오류발생 로트 제어방법.
  9. 제 5항 내지 제 8항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2단계는,
    상기 셀 관리 수단이 로트보류 트랜잭션이 발생한 로트에 대해 오류발생 통보를 자동으로 로트 이력 정보 수단에 전송하는 제 9단계;
    상기 셀 관리 수단이 이력정보서버 큐 파일에 로트보류 트랜잭션 메세지를 임시 저장하는 제 10단계; 및
    상기 오류발생 통보를 수신한 이력 정보 수단이 상기 이력정보서버 큐 파일에 저장된 로트보류 트랜잭션 메세지를 판독하여 로트 이력 저장수단에 저장하는 제 11단계를 포함하는 오류발생 로트 제어방법.
  10. 제 5항에 있어서,
    상기 제 3단계는,
    오류발생 통보를 수행한 로트 중에서 로트 보류후 후속조치가 필요한 로트를 판단하는 제 12단계;
    상기 제 12단계의 판단결과, 상기 로트보류 트랜잭션이 로트 보류후 후속조치가 필요한 로트일 경우, 작업자가 라인상에서 조치사항을 수행하는 제 13단계;
    작업자가 상기 작업자 인터페이스 수단을 통해 오류발생 원인공정과 장비, 처리지침 및 대책을 입력하는 제 14단계;
    작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이타베이스에 상기 로트의 오류발생 조치 정보를 갱신하는 제 15단계; 및
    상기 작업자 인터페이스 수단을 통하여 로트 해제 트랜잭션을 발생시킨 후 로트가 공정을 다시 진행하는 제 16단계를 포함하는 오류발생 로트 제어방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 제 12단계의 판단결과, 상기 로트보류 트랜잭션이 로트 보류후 후속조치가 필요하지 않은 로트일 경우, 조치작업의 수행없이 작업자가 상기 작업자 인터페이스 수단을 통하여 로트 해제 트랜잭션을 발생시키는 제 17단계를 포함하는 오류발생 로트 제어방법.
  12. 반도체 제조 공정상에서 발생하는 오류발생 로트의 제어방법을 제공하기 위한 시스템에,
    반도체 제조 공정 라인상에서 오류가 발생한 로트에 대하여 로트 보류 트랜잭션을 발생시키는 제 1기능;
    상기 로트 보류 트랜잭션이 발생하면 자동으로 상기 로트 이력 정보 수단에 오류발생 통보를 수행하는 제 2기능; 및
    상기 보류된 로트에 대한 조치를 수행하고, 로트 해제 트랜잭션을 수행하는 제 3기능
    을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체.
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