JP4893900B2 - 半導体製造工程の制御方法 - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体工場の自動化システムにおける工程効率及び収率を向上させることのできる半導体製造工程の制御方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子は、一般に、多様な単位工程、例えば、ホトリソグラフィ工程、エッチング工程、薄膜工程及び蒸着工程などを介して半導体ウェーハ上に製造される。各単位工程には多数の工程装備が用いられる。一般に、各単位製造工程は、所定の個数のウェーハを示すロット(lot)単位で遂行される。
【0003】
しかし、半導体素子製造時に、ロット仕様で要求される所定の水準を外れた工程結果データを有するエラーが発生したロット(以下、エラーロットという)が生じうる。このようなエラーロットは、ロット自体の問題、装備条件の問題、製造ステップの問題等により発生する。
【0004】
1999年7月13日登録の米国特許第5、923、553号に、"エラー分析帰還による半導体製造工程制御方法"が開示されている。この米国特許第5、923、553号は、収率が低下するか半導体装備の誤動作が発生した時、各製造されたロットの収率と半導体装備との該当工程条件間の相互関連により獲得されたエラー工程条件データを有する監視データベースを構築するステップと、オン−ライン半導体装備に対するリアルタイム工程条件を獲得することによって装備データベースを構築するステップと、オン−ライン半導体装備に対するリアルタイム工程条件と監視データベースのエラー工程条件とを比較するステップと、リアルタイム工程条件とエラー工程条件との間の差が一定の水準の以下である時、オン−ライン半導体装備の動作を停止させるステップとを開示している。
【0005】
この場合、米国特許第5、923、553号は、エラーロットの原因を装備、または工程条件のエラーとして判断して、問題を解決するために装備を停止させる。しかしながら、エラーロットは処理されたロット自体による場合が多い。
【0006】
上記で分かるように、エラーロットがロット工程の中間に発生しても、全体ロット工程が完了する時まで後続工程が続けて進行する問題点がある。したがって、製造効率が低下する短所がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような問題点を解決するために案出された本発明は、工場自動化システムでエラーロットに対して後続工程を保留させることにより、工程効率を向上させることのできる半導体製造工程の制御方法を提供することをその目的としている。
【0008】
【課題を解決する手段】
上記目的を達成するための本発明は、工程装備(EQ)でロットを処理する第1ステップと、処理されたロットをテストしてテスト装備サーバ(132)を介してロット工程データを発生する第2ステップと、上記ロット工程データを比較手段(126)に伝送する第3ステップ(S200)と、貯蔵手段(110)に予め貯蔵されているロット仕様データを上記比較手段(126)に伝送する第4ステップ(S200)と、上記ロット工程データを上記貯蔵手段(110)に貯蔵する第5ステップと、上記ロット仕様データと上記ロット工程データとを比較して2つのデータ間の差が所定の範囲内にあるか否かを判定する第6ステップ(S204)と、上記ロット仕様データと上記ロット工程データとの間の差が上記所定の範囲を外れた場合、エラーロットの発生を示す第1メッセージを発生する第7ステップ(S206)と、上記第1メッセージに応答して、ロットが非正常的に製造されたことを示す第1トランザクションを発生する第8ステップ(S208)と、上記第1トランザクションを上記貯蔵手段(110)に貯蔵する第9ステップ(S210)と、上記第1トランザクションを臨時貯蔵手段(120)に伝送する第10ステップと、上記第1トランザクションが上記臨時貯蔵手段(120)に伝送されたことを知らせる第2メッセージを発生する第11ステップと、上記第2メッセージを受信して、上記履歴管理手段(122)により、上記第1トランザクションを上記履歴貯蔵手段(124)に貯蔵する第12ステップ(S212)と、上記、エラーロットの発生があった場合、上記エラーロットの後続工程は中断する、半導体製造工程の制御方法であって、作業者インターフェイス手段(116)により入力された上記エラーロットに対処した措置と、関連したデータを受信する第13ステップ(S214)と、上記エラーロットが後続工程で処理されても良いことを示す第2トランザクションを発生する第14ステップ(S216)と、上記貯蔵手段(110)に上記第2トランザクションを貯蔵する第15ステップ(S218)と、上記第2トランザクションを上記臨時貯蔵手段(120)に伝送する第16ステップと、上記第2トランザクションが上記臨時貯蔵手段(120)に伝送されたことを知らせる第3メッセージを発生する第17ステップと、上記第3メッセージを受信して、上記履歴管理手段(122)により、上記第2トランザクションを上記履歴貯蔵手段(124)に貯蔵する第18ステップ(S220)と、上記ロットの後続工程を進行する第19ステップ(S222)と、からなることを特徴とする。
【0010】
以下、添付した図1を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
【0011】
半導体素子を製造するために、多数の半導体生産ベイが、半導体工場の自動化システムに配置される。この半導体生産ベイは、通信ラインを介してセル管理システムに連結される。便宜上、本発明は一つの半導体生産ベイを説明する。
【0012】
図1は、本発明にかかる半導体工場の自動化システムを示している。
【0013】
図示したように、半導体工場の自動化システムは、多数の半導体生産ベイからなるセルを管理するためのセル管理部112、このセル管理部112に連結されてリアルタイムロット工程データを貯蔵するためのリアルタイムデータベース110、セル管理部112に連結されて、テスト装備150からテストサーバ132を介して送信されてくるリアルタイムロット工程データ及びトランザクションを受信して臨時ファイルの形態で貯蔵するための臨時貯蔵部120、この臨時貯蔵部120に連結されて臨時貯蔵部120からのデータ及びトランザクションを判読して判読されたデータ及びトランザクションを履歴データベース118に貯蔵するための履歴管理部118からなる。履歴データベース124は、履歴管理部に連結されている。セル管理部112、履歴管理部118、及び履歴データベース124は、共通通信ライン144に各々連結されて相互間に通信をする。Xerox社が提供するEthernetTMケーブルを、共通通信ラインとして使用することができる。
【0014】
また、半導体工場の自動化システムは、リアルタイムロット工程データとロット仕様データとを比較して、2つのデータ間の差が、作業者が設定した所定の範囲内にあるか否かを判定するための比較部126を含んでいる。この場合、ロット仕様データは、予めリアルタイムデータベース110に貯蔵されている。
【0015】
ここで、半導体生産ベイは、ロットを処理するための多数の工程装備EQ(ステーションともいう)、セル管理部112からの命令メッセージに応じて工程装備EQを制御するための多数の工程サーバ130、処理されたロットをテストしてリアルタイムロット工程データを出力するテスト装備150、所定の個数のロットを収めるためのカセット(図示せず)をストッキング(stocking)するためのストッカ140、イントラベイに沿って動いて処理されたロットを含んでいるカセットを搬送するためのAGV(automatic guide vehicle)142、及びイントラベイに沿って動き、ある半導体生産ベイから他の半導体生産ベイにカセットを搬送するための搬送装置からなる。
【0016】
便宜上、図1で、たとえば半導体生産ベイとして薄膜工程ベイのみを図示したが、ホトリソグラフィ工程ベイ、エッチング工程ベイ及び蒸着工程ベイのような他の半導体生産ベイもやはり同様の構造からなる。
【0017】
セル管理部112は、データメッセージを伝送するかトランザクションを発生するセル管理サーバ114と、作業者がセル管理サーバ114と通信できるようにする作業者インターフェースサーバ116とを含む。
【0018】
以下、本発明にかかる半導体工場の自動化システムの作動について詳細に説明する。
【0019】
工程装備EQが装備サーバ130の制御下にロット処理を完了した後、処理されたロットは、AGV142によりテスト装備150に伝達され、テスト装備150は、処理されたロットをテストしてリアルタイムロット処理データを出力する。テスト装備サーバ132は、テスト装備150からのリアルタイムロット工程データを受信して装備インターフェースサーバ128に伝送する。また、リアルタイムロット工程データは、セル管理サーバ114を介してリアルタイムデータベース110に貯蔵される。
【0020】
装備インターフェースサーバ128は、テスト装備150からのリアルタイムロット工程データと、セル管理サーバ114を介してリアルタイムデータベース110から伝送されたロット仕様データとを比較する。比較の結果、リアルタイムロット工程データとロット仕様データとの間の差が所定の範囲内にある場合、処理されたロットは正常に製造されたものと判断して、他の工程装備で後続工程を続けて進行する。
【0021】
これに対し、リアルタイムロット工程データとロット仕様データとの間の差が所定の範囲を外れた場合、処理されたロットはエラーロットとして判断し、このエラーロットは適切な措置が取れる時まで後続工程を進行しない。
【0022】
リアルタイムロット工程データとロット仕様データとの間の差が予め設定された所定の範囲を外れた場合、装備インターフェースサーバ128は、エラーロットの発生を示す第1メッセージを発生する。その後、セル管理サーバ114は、第1メッセージに応答して現在のロットが非正常的に製造されたことを示す第1トランザクションを発生する。
【0023】
第1トランザクションは、リアルタイムデータベース110に伝送されて、リアルタイムデータベース110に貯蔵される。
【0024】
また、第1トランザクションは、臨時貯蔵部120に伝送されて臨時ファイルの形態で貯蔵される。その後、セル管理サーバ114は、履歴インターフェースサーバ122に第1トランザクションが臨時貯蔵部120に貯蔵されていると知らせる第2メッセージを発生する。履歴インターフェースサーバ122は、臨時貯蔵部120に貯蔵されている第1トランザクションを判読して履歴データベース124に貯蔵する。すなわち、第1トランザクションがロットと関連した履歴データとして履歴データベース124に貯蔵される。
【0025】
エラーロットの発生時、作業者は必要な措置を取り、作業者インターフェースサーバ116を介して措置と関連したデータを入力する。例えば、エラーロット発生の原因が装備条件であるならば、作業者は作業者インターフェースサーバ116を介して装備条件を変更するか、該当装備の動作を中止させる。エラーロット発生の原因がロット自体にあるならば、追加の工程を実施するか廃棄した後、取った措置と関連したデータを作業者インターフェースサーバ116を介して入力する。措置と関連したデータもやはりセル管理サーバ114を介してリアルタイムデータベース110及び履歴データベース124に貯蔵する。
【0026】
この場合、エラーロット発生の原因がロット自体であるならば、セル管理サーバ114は必要な措置を取った後、作業者インターフェースサーバ116から入力されたデータを受信して該当ロットは後続工程で処理されても良いということを示す第2トランザクションを発生する。
【0027】
第2トランザクションも、やはりセル管理サーバ114を介してリアルタイムデータベース110に貯蔵される。また、第1トランザクションと同様に、セル管理サーバ114は、第2トランザクションを臨時貯蔵部120に臨時ファイルの形態で貯蔵した後、第2トランザクションが臨時貯蔵部120に貯蔵されていることを知らせる第3メッセージを発生する。履歴インターフェースサーバ122は、第3メッセージに応答して臨時貯蔵部120に貯蔵されている第2トランザクションを判読して履歴データベース124に貯蔵する。すなわち、第2トランザクションは、該当ロットと関連した履歴データとして履歴データベース124に貯蔵される。
【0028】
上述したように、他の工程装備がロットに対して後続工程を実施する時、該当装備サーバは、ロットと関連したロットデータを参照して、第1トランザクションデータがあれば、該当ロットをエラーロットと見なして後続工程が進行されるのを止める。しかし、もし第1トランザクションデータだけでなく第2トランザクションデータがあれば、すなわち、エラーが発生したが適切な措置を取ったロットである場合、該当ロットは後続工程が続けて実施される。
【0029】
以下、図2及び図3を参照し、本発明にかかる半導体製造工程の自動制御方法を詳細に説明する。
【0030】
まず、装備インターフェースサーバ128が、テスト装備150からのリアルタイムロット工程データをテスト装備サーバ132を介して入力し、また、リアルタイムデータベース110に貯蔵されているロット仕様データを、セル管理サーバ114を介して入力する(S200)。
【0031】
装備インターフェースサーバ128は、リアルタイムロット工程データとロット仕様データとを比較し、2つのデータ間の差が、作業者が設定した所定の範囲内にあるか否かを判断する(S202)。
【0032】
比較の結果、リアルタイムロット工程データとロット仕様データとの間の差が所定の範囲内にあれば、装備インターフェースサーバ128は、該当ロットは正常に製造されたものと判断して、ロット工程の保留なしに後続工程を続けて進行する(S204)。
【0033】
これに対し、前記比較の結果、リアルタイムロット工程データとロット仕様データとの間の差が所定の範囲を外れた場合には、装備インターフェースサーバ128は、エラーロットの発生を示す第1メッセージを発生する(S206)。
【0034】
セル管理サーバ114は、第1メッセージに応答して該当ロットが非正常的に製造されたことを示す第1トランザクションを発生する(S208)。
【0035】
第1トランザクションは、セル管理サーバ114を介してリアルタイムデータベース110に伝送して、リアルタイムデータベース110に貯蔵される(S210)。
【0036】
セル管理サーバ114は、第1トランザクションを臨時貯蔵部120に伝送した後、履歴インターフェースサーバ116に第1トランザクションが臨時貯蔵部120に貯蔵されたことを知らせる第2メッセージを発生する。履歴インターフェースサーバ122は、第2メッセージに応答して臨時貯蔵部120に貯蔵されている第1トランザクションを判読して履歴データベース124に伝送する。したがって、第1トランザクションが履歴データベース124に貯蔵される(S212)。
【0037】
エラーロットに対して必要な措置を取った後、作業者インターフェースサーバ116を介して、前記措置と関連するデータを入力する。取った措置と関連するデータは、セル管理サーバ114を介してリアルタイムデータベース110及び履歴データベース124に貯蔵される(S214)。
【0038】
セル管理サーバ114は、作業者インターフェースサーバ116からの措置と関連するデータの入力を受けて、該当ロットは、後続工程で処理されても良いことを示す第2トランザクションを発生する(S216)。
【0039】
第2トランザクションは、セル管理サーバ114を介してリアルタイムデータベース110に伝送されて貯蔵される(S218)。
【0040】
セル管理サーバ114は、第2トランザクションを臨時貯蔵部120に伝送して臨時ファイルの形態で貯蔵し、履歴インターフェースサーバ122に第2トランザクションが臨時貯蔵部に貯蔵されていることを知らせる第3メッセージを発生する。履歴インターフェースサーバ122は、第3メッセージに応答して臨時貯蔵部120に貯蔵されている第2トランザクションを判読して履歴データベース124に貯蔵する(S220)。
【0041】
他の工程装備がロットに対して後続工程を実施する時、該当装備サーバは、ロットと関連するロットデータを参照して、第1トランザクションデータがあれば、該当ロットをエラーロットと見なして後続工程の進行を止める。しかし、もし第1トランザクションデータだけでなく第2トランザクションデータがあれば、すなわち、エラーが発生したが措置を取ったロットである場合、該当ロットは後続工程が続けて実施される(S222)。
【0042】
以上で説明した本発明は、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する当業者において、本発明の技術思想を超えない範囲で種々の置換、変形及び変更が可能であり、本願発明は、前述した実施例及び添付した図面に限定されない。
【0043】
【発明の効果】
上記説明のように本発明においては、半導体工場の自動化システムにおいて、ロットがロット工程の後非正常的に製造された場合、エラーロットに対して後続工程を進行しないようにすることにより、製造効率を向上させることができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる半導体工場の自動化システムを示すブロック図である。
【図2】本発明にかかる半導体工場の自動化システムにおける半導体製造工程の自動制御方法を説明するためのフローチャートである。
【図3】本発明にかかる半導体工場の自動化システムにおける半導体製造工程の自動制御方法を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
110 リアルタイムデータベース
112 セル管理部
118 履歴管理部
120 臨時貯蔵部
124 履歴データベース
126 比較部
Claims (1)
- 工程装備(EQ)でロットを処理する第1ステップと、
処理されたロットをテストしてテスト装備サーバ(132)を介してロット工程データを発生する第2ステップと、
上記ロット工程データを比較手段(126)に伝送する第3ステップ(S200)と、
貯蔵手段(110)に予め貯蔵されているロット仕様データを上記比較手段(126)に伝送する第4ステップ(S200)と、
上記ロット工程データを上記貯蔵手段(110)に貯蔵する第5ステップと、
上記ロット仕様データと上記ロット工程データとを比較して2つのデータ間の差が所定の範囲内にあるか否かを判定する第6ステップ(S204)と、
上記ロット仕様データと上記ロット工程データとの間の差が上記所定の範囲を外れた場合、エラーロットの発生を示す第1メッセージを発生する第7ステップ(S206)と、
上記第1メッセージに応答して、ロットが非正常的に製造されたことを示す第1トランザクションを発生する第8ステップ(S208)と、
上記第1トランザクションを上記貯蔵手段(110)に貯蔵する第9ステップ(S210)と、
上記第1トランザクションを臨時貯蔵手段(120)に伝送する第10ステップと、
上記第1トランザクションが上記臨時貯蔵手段(120)に伝送されたことを知らせる第2メッセージを発生する第11ステップと、
上記第2メッセージを受信して、上記履歴管理手段(122)により、上記第1トランザクションを上記履歴貯蔵手段(124)に貯蔵する第12ステップ(S212)と、
上記、エラーロットの発生があった場合、上記エラーロットの後続工程は中断する、
半導体製造工程の制御方法であって、
作業者インターフェイス手段(116)により入力された上記エラーロットに対処した措置と、関連したデータを受信する第13ステップ(S214)と、
上記エラーロットが後続工程で処理されても良いことを示す第2トランザクションを発生する第14ステップ(S216)と、
上記貯蔵手段(110)に上記第2トランザクションを貯蔵する第15ステップ(S218)と、
上記第2トランザクションを上記臨時貯蔵手段(120)に伝送する第16ステップと、
上記第2トランザクションが上記臨時貯蔵手段(120)に伝送されたことを知らせる第3メッセージを発生する第17ステップと、
上記第3メッセージを受信して、上記履歴管理手段(122)により、上記第2トランザクションを上記履歴貯蔵手段(124)に貯蔵する第18ステップ(S220)と、
上記ロットの後続工程を進行する第19ステップ(S222)と、
からなることを特徴とする半導体製造工程の制御方法。
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